CN108181271A - 用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器，利用40％浓度的氢氟酸溶液腐蚀去除涂覆层的HI‑1060光纤端面，形成一个倒锥形凹槽作为传感头，该传感器具有较高的折射率灵敏度和温度灵敏度。本发明的光纤微结构传感器结构新颖、体积小、结构简单、灵敏度高、制作成本低，适合大批量生产，在温度和液体折射率传感领域具有巨大的应用意义。

Description

用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器及其制 备方法
技术领域
本发明涉及光纤传感领域，特别涉及一种用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器及其制备方法。
背景技术
光纤传感器由于测量精度高，响应速度快，体积小，受电磁干扰小等优点受到科学界广泛关注，并被应用于各个领域。其中，干涉型光纤传感器通过探测干涉条纹移动或干涉光谱漂移来实现对外界介质特性改变的测量，当外界环境发生变化时，光纤内相干光光程差随之改变，从而引起干涉信号的变化。干涉型传感器测量灵敏度高，具有很快的响应速度，被广泛应用于温度、折射率、应变、曲率和湿度等参数的测量。其中，温度和折射率是对于材料本身非常重要两个参数，在航空、化学、生物和医疗等领域都需要对材料的温度和折射率进行测量，在工业生产、环境监测和食品监测方面也具有广泛的应用,迄今为止，测量温度和折射率的方法有很多。由于干涉型传感器自身的优点以及光纤微结构的发展，基于光纤端面微结构的光纤干涉型传感器受到广泛青睐。
目前基于光纤端面微加工法制作光纤干涉型传感器的方法主要有熔接放电法、化学腐蚀法和激光加工法。激光微加工法主要是利用飞秒激光或准分子激光设备，激光微加工法具有很高的加工精度和加工质量；化学腐蚀法主要是利用氢氟酸腐蚀光纤制作光纤传感器，化学腐蚀法操作简单，制作成本低，近年来受到广泛关注。2012年，S.Zhang等人通过错位熔接及电弧放电制作了一种基于Mach-Zehnder(M-Z)干涉型传感器，并应用于曲率的测量，在1463.86nm和1548.41nm处灵敏度达到11.987nm/m-1和8.697nm/m-1。2014年北京理工大学的姜澜等人利用飞秒激光对光纤纤芯进行微加工并用氢氟酸进行平滑处理制作出条纹对比度为20dB的光纤Fabry-Perot(F-P)传感器，并应用于液体折射率的测量，灵敏度为1135.7nm/RIU。2016年Yong Zhao等人通过熔接机在两段单模光纤之间利用重叠熔接法熔接一段光子晶体光纤制成条纹对比度为7dB的M-Z传感器，并应用于折射率的测量，灵敏度最高达281.6nm/RIU；同年暨南大学刘博等人提出了一种基于氢氟酸微滴腐蚀制作高双折射的微纳光纤F-P传感器，其光纤F-P传感器沿快轴和慢轴干涉峰的折射率灵敏度分别为133.8nm/RIU和117.1nm/RIU，温度灵敏度为0.012nm/℃；西安石油大学李辉栋等人，通过化学腐蚀方法制作了一种基于光纤气泡级联M-Z干涉液体折射率传感器，当外界折射率变化范围在1.345～1.389时，传感器的灵敏度为-216.21dB/RIU。利用化学腐蚀法制作的光纤传感器，并研究传感器的传感特性具有重要意义。
因此，需要一种具有较高的折射率灵敏度和温度灵敏度的用于温度传感和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器及其制备方法。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器，包括HI-1060光纤，所述HI-1060光纤末端设置有倒锥形凹槽结构。
优选地，所述倒锥形凹槽结构的凹槽深度为45μm。
优选地，所述倒锥形凹槽结构为HI-1060光纤端面经过化学腐蚀得到。
优选地，所述化学腐蚀方法具体为：将HI-1060光纤端面插入40％浓度的氢氟酸溶液中，腐蚀20min。
所述光纤微结构传感器的工作原理为：光从HI-1060光纤的一端进入，入射到经过化学腐蚀得到的倒锥形凹槽结构的斜面时在所述光纤斜面分为两束反射光束。其中一束光直接反射回纤芯，另一束经过3次反射返回纤芯，两束反射光产生光程差，相遇发生相互干涉，产生干涉条纹；当外界条件发生变化时，光程差发生变化，使得干涉光相位差变化导致干涉光谱变化，从而感知外界环境的变化，达到传感效果，实现温度传感和液体折射率传感测量。
根据本发明的另一个方面，本发明还提供一种用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器的制备方法，包括以下步骤：
步骤一：采用HI-1060光纤，将HI-1060光纤一端去除涂覆层，用酒精擦拭干净，再用切割刀将光纤端面切平，固定在支架上；
步骤二：将固定在支架上的光纤端面插入40％浓度的氢氟酸溶液中，腐蚀20min，形成凹槽；
步骤三：取出光纤，先在蒸馏水中经过5分钟浸泡清洗，再放入到超声清洗机中进行二次清洗，除去凹槽中残留的氢氟酸残液，得到光纤微结构传感器。
优选地，所述腐蚀后的HI-1060光纤端面的凹槽深度为45μm，制得的光纤微结构传感器的条纹对比度为6dB，波长间隔14nm。
本发明的化学腐蚀法主要是利用氢氟酸溶液来腐蚀光纤，使光纤端面出现凹槽结构，一般光纤包层材质为纯SiO2，为增加纤芯折射率，在纤芯一般掺杂GeO2，SiO2和GeO2在HF中的反应可表示为：
SiO2和GeO2腐蚀速率大小主要与氧化物化学键的结合能以及氧化物在水中的溶解度大小有关，化学键结合能低的氧化物更容易被氢氟酸打断，与其发生反应，Si-O键结合能为799.6kJ/mol，Ge-O键结合能为660.3kJ/mol，GeO2更容易被氢氟酸腐蚀，所以光纤包层被腐蚀的速率小于纤芯，光纤端面可以被腐蚀出凹槽。
本发明提出基于氢氟酸腐蚀的光纤微结构传感器，利用40％浓度的氢氟酸溶液腐蚀去除涂覆层的HI-1060光纤端面，形成一个倒锥形凹槽作为传感头，该传感器具有较高的折射率灵敏度和温度灵敏度。本发明的光纤微结构传感器结构新颖、体积小、结构简单、灵敏度高、制作成本低，适合大批量生产，在温度和液体折射率传感领域具有巨大的应用意义。
应当理解，前述大体的描述和后续详尽的描述均为示例性说明和解释，并不应当用作对本发明所要求保护内容的限制。
附图说明
参考随附的附图，本发明更多的目的、功能和优点将通过本发明实施方式的如下描述得以阐明，其中：
图1示出了光纤微结构传感器传感结构示意图；
图2示出了化学腐蚀光纤系统图；
图3(a)示出了SMF-28光纤腐蚀20分钟影像图；
图3(b)示出了HI-1060光纤腐蚀20分钟影像图；
图4示出了光纤微结构传感器检测系统图；
图5示出了光纤微结构传感器反射谱图；
图6示出了温度传感特性测量系统图；
图7示出了不同干涉波谷随温度的变化曲线和温度响应特性曲线；a不同干涉谷随温度变化曲线；b温度响应特性曲线；
图8示出了折射率传感测量系统图；
图9示出了不同干涉波谷随酒精折射率的变化曲线和折射率响应特性曲线；a干涉谷波长折射率曲线；b对应折射率响应特性曲线
具体实施方式
通过参考示范性实施例，本发明的目的和功能以及用于实现这些目的和功能的方法将得以阐明。然而，本发明并不受限于以下所公开的示范性实施例；可以通过不同形式来对其加以实现。说明书的实质仅仅是帮助相关领域技术人员综合理解本发明的具体细节。
在下文中，将参考附图描述本发明的实施例。在附图中，相同的附图标记代表相同或类似的部件，或者相同或类似的步骤。
本发明提供一种用于温度传感和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器，包括HI-1060光纤，所述HI-1060光纤末端设置有倒锥形凹槽结构。所述倒锥形凹槽结构的凹槽深度为45μm。所述倒锥形凹槽结构为HI-1060光纤端面经过化学腐蚀得到。所述化学腐蚀方法具体为：将HI-1060光纤端面插入40％浓度的氢氟酸溶液中，腐蚀20min。
光从HI-1060光纤的一端进入，入射到经过化学腐蚀得到的倒锥形凹槽结构的斜面时在所述光纤斜面分为两束反射光束。其中一束光直接反射回纤芯，另一束经过3次反射返回纤芯，两束反射光产生光程差，相遇发生相互干涉，产生干涉条纹；当外界条件发生变化时，光程差发生变化，使得干涉光相位差变化导致干涉光谱变化，从而感知外界环境的变化，达到传感效果，实现温度传感和液体折射率传感测量。
根据本发明的另一个方面，本发明还提供一种用于温度传感和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器的制备方法，包括以下步骤：
步骤一：采用HI-1060光纤，将HI-1060光纤一端去除涂覆层，用酒精擦拭干净，再用切割刀将光纤端面切平，固定在支架上；
其中，将所述光纤固定在支架上，是为可防止光纤端面被破坏，同时避免光纤与烧杯内壁碰触。
步骤二：将固定在支架上的光纤端面插入40％浓度的氢氟酸溶液中，腐蚀20min，形成凹槽；具体地，所述腐蚀后的HI-1060光纤端面的凹槽深度为45μm，
步骤三：取出光纤，先在蒸馏水中经过5分钟浸泡清洗，再放入到超声清洗机中进行二次清洗，除去凹槽中残留的氢氟酸残液，得到条纹对比度为6dB，波长间隔14nm的光纤微结构传感器。
参见图3-图5，分别将一端切平的光纤和上述腐蚀好的HI-1060光纤300通过1×2耦合器200连接光谱仪400和光源100作为本发明所述光纤微结构传感器的测试系统，如图4所示，其中，所述光源100采用JDSU公司生产的宽带光源，该光源100的出射波长范围为1530nm～1600nm。所述光谱仪400采用日本YOKOGAWA公司的AQ6375光谱分析仪，工作波长范围为1200nm～2400nm，最小分辨精度为0.02nm。
参见图3(a)、图3(b)所示，为在20分钟腐蚀时间和40％浓度氢氟酸腐蚀浓度下，分别对SMF-28和HI-1060光纤进行腐蚀对比实验得到的显微镜下的结构影像图，由图可知：两种光纤凹槽的形状明显不同，其中HI-1060光纤纤芯更细且腐蚀的凹槽更深，且所述凹槽为倒锥形结构。
进一步地，通过光谱仪观察所述光纤微结构传感器产生的反射谱图，由图4可知：一端切平未腐蚀的光纤和腐蚀过的SMF-28光纤都没有产生明显的干涉反射谱，而腐蚀过的HI-1060光纤产生了如图5所示的干涉光谱，条纹对比度为6dB。
以下对本发明制得的光纤微结构传感器的传感特性进行测试与分析。
温度特性实验
为了防止湿度等外界因素对传感区域的影响，整个测量操作在超净间完成，实验过程中除温度外，保持其他环境不变，该测量系统包括：宽带光源100、1×2光纤耦合器200、光谱仪400、光纤微结构传感器300、加热平台500；所述光纤微结构传感器300通过1×2耦合器200与宽带光源100和光谱仪400连接，将光纤微结构传感器300的传感结构310平直无应力放在加热台500上，将温度从100℃上升到300℃，每次上升50℃，待温度稳定后记录光谱仪400中光谱数据，其中温度测量系统如图6所示。
通过对从光谱仪400中采取的数据进行拟合，并对不同干涉波谷对温度的灵敏度以及线性度进行分析。如图7所示，选取1550nm～1562nm、1564nm～1576nm、1590nm～1604nm三个波段(第3个，第4个，第6个干涉波谷)为代表，分别解调以上干涉波谷波长值，拟合成波长温度曲线。
实验可知：每个干涉波谷波长漂移趋势与温度变化呈相同线性关系，线性度均达到0.99以上。3个波谷的特征波长均随温度的升高而发生红移，波谷3波长从1554.71nm漂移到1556.92nm，灵敏度为11.3pm/℃，线性度为0.997；波谷4波长从1568.98nm漂移到1571.3nm，灵敏度为11.4pm/℃，线性度为0.996，波谷6波长从1595.88nm漂移到1599.02nm，灵敏度为15.3pm/℃，线性度为0.996。
折射率特性实验
与温度特性测量相似，折射率传感特性测量系统如图8所示，整个实验在恒温恒定湿度的超净间完成。所述测量系统包括：宽带光源100、1×2光纤耦合器200、光谱仪400、光纤微结构传感器300、酒精溶液600；所述光纤微结构传感器300通过1×2耦合器200与宽带光源100和光谱仪400连接，将光纤微结构传感器300的传感结构310放入不同质量浓度的酒精溶液600中，测试其反射光谱，每次测完后用无水乙醇清洗传感头，晾干后再插入待测液体中进行测量。实验分别测试了质量浓度为5％、10％、15％、20％和25％的酒精溶液，其溶液折射率变化范围为1.3417～1.3483，将传感结构310放在以上几种溶液中通过对从光谱仪4400中采取的数据进行拟合，并对不同干涉波谷对折射率的灵敏度以及线性度进行分析。这里我们选取第3个，第4个，第5个干涉波谷为代表，不同折射率光谱曲线变化及对应响应特性曲线如图9所示，分别解调以上干涉波谷波长值，拟合成波长折射率曲线。
实验可知：每个干涉波谷波长漂移趋势与折射率变化关系呈相同增减线性关系，线性度均达到0.9以上。3个波谷的特征波长均随着折射率的升高而发生蓝移，波谷3波长从1561.23nm漂移到1553.48nm，灵敏度为-1219.79pm/RIU，线性度为0.934；波谷4波长从1574.82nm漂移到1566.98nm，灵敏度为-1029.25pm/RIU，线性度为0.915，波谷5波长从1588.68nm漂移到1580.85nm，灵敏度为-1183.87pm/RIU，线性度为0.951。
以上，通过对本发明所述光纤微结构传感器的干涉谱波长漂移随温度和折射率的变化规律进行了实验研究，当外界温度从100～300℃变化时，传感器灵敏度可达15.3pm/℃，波谷波长与温度呈线性关系，线性度都达到0.996以上。折射率变化范围在1.3417～1.3483时，传感器的灵敏度为-1219.79nm/RIU，波谷波长与折射率呈线性关系，线性度都达到0.91以上。
本发明提出基于氢氟酸腐蚀的光纤微结构传感器，利用40％浓度的氢氟酸溶液腐蚀去除涂覆层的HI-1060光纤端面，形成一个倒锥形凹槽作为传感头，该传感器具有较高的折射率灵敏度和温度灵敏度。本发明的光纤微结构传感器结构新颖、体积小、结构简单、灵敏度高、制作成本低，适合大批量生产，在温度和液体折射率传感领域具有巨大的应用意义。
结合这里披露的本发明的说明和实践，本发明的其他实施例对于本领域技术人员都是易于想到和理解的。说明和实施例仅被认为是示例性的，本发明的真正范围和主旨均由权利要求所限定。

Claims (5)

1.一种用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器，其特征在于，包括HI-1060光纤，所述HI-1060光纤末端设置有倒锥形凹槽结构。
2.根据权利要求1所述的光纤微结构传感器，其特征在于，所述倒锥形凹槽结构的凹槽深度为45μm。
3.根据权利要求1或2所述的光纤微结构传感器，其特征在于，所述倒锥形凹槽结构为HI-1060光纤端面经过化学腐蚀得到，所述化学腐蚀方法为：将HI-1060光纤端面插入40％浓度的氢氟酸溶液中，腐蚀20min。
4.一种用于温度和液体折射率传感测量的光纤微结构传感器的制备方法，包括以下步骤：
步骤一：采用HI-1060光纤，将HI-1060光纤一端去除涂覆层，用酒精擦拭干净，再用切割刀将该光纤端面切平，固定在支架上；
步骤二：将固定在支架上的光纤端面插入40％浓度的氢氟酸溶液中，腐蚀20min，形成倒锥形凹槽结构；
步骤三：取出光纤，先在蒸馏水中经过5分钟浸泡清洗，再放入到超声清洗机中进行二次清洗，除去凹槽中残留的氢氟酸残液，得到条纹对比度为6dB，波长间隔14nm的光纤微结构传感器。
5.根据权利要求4所述的光纤微结构传感器的制备方法，其特征在于，在步骤二中，所述倒锥形凹槽结构的凹槽深度为45μm。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110006846A (zh) * 2019-04-19 2019-07-12 哈尔滨工程大学 一种v型特种光纤的微量液体折射率测量装置与制备方法
CN110296766A (zh) * 2019-07-09 2019-10-01 南京工程学院 一种基于倾斜面间隙光纤结构的水下温度测量装置及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4560248A (en) * 1981-08-14 1985-12-24 Imperial Chemical Industries, Plc Fibre optic sensor with bonded dye
WO2004088290A1 (en) * 2003-04-02 2004-10-14 Rand Afrikaans University A fibre optic sensor for measurement of refractive index
CN102778306A (zh) * 2012-07-13 2012-11-14 南京信息工程大学 光子晶体光纤折射率温度传感器、制作方法及测量系统
CN102967388A (zh) * 2012-11-01 2013-03-13 上海大学 基于微尺寸锥形光纤探针的本征型f-p微腔高灵敏度温度传感器及其制造方法
CN103134775A (zh) * 2011-11-30 2013-06-05 中国计量学院 一种光纤液体折射率及温度传感器
WO2014085916A1 (en) * 2012-12-07 2014-06-12 Yves-Alain Peter Deformable interferometric sensor
CN106949916A (zh) * 2016-11-02 2017-07-14 北京信息科技大学 一种采用光纤端面腐蚀的温度和应变测试方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4560248A (en) * 1981-08-14 1985-12-24 Imperial Chemical Industries, Plc Fibre optic sensor with bonded dye
WO2004088290A1 (en) * 2003-04-02 2004-10-14 Rand Afrikaans University A fibre optic sensor for measurement of refractive index
CN103134775A (zh) * 2011-11-30 2013-06-05 中国计量学院 一种光纤液体折射率及温度传感器
CN102778306A (zh) * 2012-07-13 2012-11-14 南京信息工程大学 光子晶体光纤折射率温度传感器、制作方法及测量系统
CN102967388A (zh) * 2012-11-01 2013-03-13 上海大学 基于微尺寸锥形光纤探针的本征型f-p微腔高灵敏度温度传感器及其制造方法
WO2014085916A1 (en) * 2012-12-07 2014-06-12 Yves-Alain Peter Deformable interferometric sensor
CN106949916A (zh) * 2016-11-02 2017-07-14 北京信息科技大学 一种采用光纤端面腐蚀的温度和应变测试方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
上官春梅等: "采用化学腐蚀法制备光纤Fabry－Perot 应变传感器", 《激光与红外》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110006846A (zh) * 2019-04-19 2019-07-12 哈尔滨工程大学 一种v型特种光纤的微量液体折射率测量装置与制备方法
CN110296766A (zh) * 2019-07-09 2019-10-01 南京工程学院 一种基于倾斜面间隙光纤结构的水下温度测量装置及方法

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