CN108172534A - 气压监控方法、装置及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及抛光技术领域，具体而言，涉及气压监控方法、装置及电子设备，气压监控方法通过第一压力传感器检测压力平衡部件内的第一压力信息，通过第二压力传感器检测抛光气管内的第二压力信息，信息汇总板将第一压力信息和第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将汇总压力信号通过通讯单元发送至总控中心，通讯单元接收由总控中心发送的气压调节信息，信息汇总板根据气压调节信息控制压力平衡部件和供气部件分别调节压力平衡部件内的第一压力和抛光气管内的第二压力。该方法能够对晶圆的抛光气压进行精准监控。

Description

气压监控方法、装置及电子设备

技术领域

本发明涉及抛光技术领域，具体而言，涉及气压监控方法、装置及电子设备。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆属于精密元件，晶圆的加工工艺对精确度要求极高。

目前，通过向抛光头输入抛光气体，抛光头向晶圆喷抛光气体进而实现抛光晶圆，具体的，通过喷出的抛光气体形成的下压力对晶圆进行抛光，抛光气压大，晶圆抛光去除率高，抛光气压小，晶圆抛光去除率低。然而，目前对晶圆的抛光气压的监控不精准。

发明内容

本发明的目的在于提供气压监控方法、装置及电子设备，其旨在改善现有技术中存在的以上问题。

本发明实施例提供了一种气压监控方法，应用于抛光头，所述抛光头包括信息汇总板、第一压力传感器、第二压力传感器、通讯单元、供气部件、压力平衡部件和抛光气管；所述供气部件与所述抛光气管连接以给所述抛光气管提供抛光气体；所述压力平衡部件套设在所述抛光气管远离所述供气部件的一端，用于平衡所述抛光气管内和所述抛光气管外的气压；所述信息汇总板、所述通讯单元设置在所述压力平衡部件内；所述第一压力传感器设置在所述压力平衡部件内，所述第二压力传感器设置在所述抛光气管远离所述供气部件的端口上以检测抛光气管内的气压；所述第一压力传感器、所述第二压力传感器、所述供气部件、所述通讯单元与所述信息汇总板连接；

所述气压监控方法包括：通过所述第一压力传感器检测所述压力平衡部件内的第一压力信息，并将所述第一压力信息发送至所述信息汇总板；通过所述第二压力传感器检测所述抛光气管内的第二压力信息，并将所述第二压力信息发送至所述信息汇总板；所述信息汇总板将所述第一压力信息和所述第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将所述汇总压力信号通过所述通讯单元发送至用于分析汇总压力信号的总控中心；所述通讯单元接收由所述总控中心发送的气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至所述信息汇总板；所述信息汇总板根据所述气压调节信息控制所述压力平衡部件和所述供气部件分别调节所述压力平衡部件内的第一压力和所述抛光气管内的第二压力。

本发明实施例还提供了一种气压监控方法，应用于总控中心，所述方法包括：获取抛光头发送的汇总压力信号；根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至抛光头。

本发明实施例还提供了一种气压监控装置，所述装置包括：获取汇总信息模块，用于获取抛光头发送的汇总压力信号；解析模块，用于根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；调节信息生成模块，用于根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；调节信息汇总模块，用于将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至抛光头。

本发明实施例还提供了一种电子设备，包括：存储器；处理器，所述处理器与所述存储器连接；以及气压监控装置，所述气压监控装置包括一个或者多个存储于所述存储器并由所述处理器执行的计算机软件功能模组，其包括：获取汇总信息模块，用于获取抛光头发送的汇总压力信号；解析模块，用于根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；调节信息生成模块，用于所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；调节信息汇总模块，用于将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至抛光头。

本发明实施例还提供了一种气压监控方法，应用于气压监控系统，所述气压监控系统包括总控中心和抛光头，所述总控中心和所述抛光头通讯连接；所述抛光头包括压力平衡部件、供气部件和抛光气管，所述供气部件与所述抛光气管连接，所述供气部件用于给所述抛光气管提供抛光气体，所述压力平衡部件套设在所述抛光气管远离所述供气部件的一端；

所述气压监控方法包括：所述抛光头检测所述压力平衡部件内的第一压力信息；所述抛光头检测所述抛光气管内的第二压力信息；所述抛光头将所述第一压力信息和所述第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将所述汇总压力信号发送至所述总控中心；所述总控中心获取所述抛光头发送的汇总压力信号；所述总控中心根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；所述总控中心根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；所述总控中心将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至所述抛光头；所述抛光头接收所述气压调节信息；所述抛光头根据所述气压调节信息控制所述压力平衡部件和所述供气部件分别调节所述压力平衡部件内的第一压力和所述抛光气管内的第二压力。

本发明实施例提供的气压监控方法、装置及电子设备，首先通过第一压力传感器检测压力平衡部件内的第一压力信息，并将第一压力信息发送至信息汇总板，通过第二压力传感器检测抛光气管内的第二压力信息，并将第二压力信息发送至信息汇总板，然后信息汇总板将第一压力信息和第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将汇总压力信号通过通讯单元发送至总控中心；然后总控中心汇总压力信号，并根据预设的数据格式解析汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息，根据第一气压信息得到第一调节信息，根据第二气压信息得到第二调节信息，将第一调节信息和第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将气压调节信息发送至抛光头；然后抛光头的通讯单元接收气压调节信息，并将气压调节信息发送至信息汇总板，最后，信息汇总板根据气压调节信息控制压力平衡部件调节压力平衡部件内的第一压力，信息汇总板根据气压调节信息控制供气部件调节抛光气管内的第二压力，具体的，信息汇总板按照预设的数据格式解析气压调节信息，得到与第一压力信息对应的第一调节信息和与第二压力信息对应的第二调节信息，信息汇总板根据第一调节信息控制压力平衡部件上的盖子打开或者关闭压力平衡部件上的第一通孔以调节压力平衡部件内的第一压力，信息汇总板根据第二调节信息控制供气部件增加或者减少给抛光气管注入的抛光气体，以调节所述抛光气管内的第二压力。该方法能够对晶圆的抛光气压进行精准监控。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的一种气压监控方法的流程图。

图2示出了步骤S500的流程图。

图3示出了步骤S520的流程图。

图4示出了步骤S530的流程图。

图5示出了本发明实施例提供的一种电子设备100的方框结构示意图。

图6示出了本发明实施例提供的气压监控装置200的方框结构示意图。

图7示出了本发明实施例提供的又一种气压监控方法流程图。

图8示出了一种气压监控系统300方框结构示意图。

图9示出了本发明实施例提供的又一种气压监控方法流程图。

图标：100-电子设备；101-存储器；102-存储控制器；103-处理器；104-外设接口；105-通讯接口；106-显示装置；200-气压监控装置；201-获取汇总信息模块；202-解析模块；203-调节信息生成模块；204-调节信息汇总模块；300-气压监控系统；301-总控中心；302-抛光头；600-网络。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1，图1为本发明实施例提供的一种气压监控方法的流程图。在本发明实施例中，图1提供的气压监控方法应用于抛光头302。在本发明实施例中，抛光头302包括信息汇总板、第一压力传感器、第二压力传感器、通讯单元、供气部件、压力平衡部件和抛光气管；供气部件与抛光气管连接以给抛光气管提供抛光气体；压力平衡部件套设在抛光气管远离供气部件的一端，用于平衡抛光气管内和抛光气管外的气压；信息汇总板、通讯单元设置在压力平衡部件内；第一压力传感器设置在压力平衡部件内，第二压力传感器设置在抛光气管远离供气部件的端口上以检测抛光气管内的气压；第一压力传感器、第二压力传感器、供气部件、通讯单元与信息汇总板连接。在本发明实施例中，抛光头302还包括电源，电源与信息汇总板、第一压力传感器、第二压力传感器、通讯单元、供气部件连接，电源设置在压力平衡部件内。

以下对图1示出的一种气压监控方法进行详细阐述。一种气压监控方法包括：

步骤S100：通过第一压力传感器检测压力平衡部件内的第一压力信息，并将第一压力信息发送至信息汇总板。

步骤S200：通过第二压力传感器检测抛光气管内的第二压力信息，并将第二压力信息发送至信息汇总板。

在本发明实施例中，步骤S100和步骤S200之前的先后关系可以是先执行步骤S100再执行步骤S200，也可以是先执行步骤S200再执行步骤S100。

步骤S300：信息汇总板将第一压力信息和第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将汇总压力信号通过通讯单元发送至用于分析汇总压力信号的总控中心。

步骤S400：通讯单元接收由总控中心发送的气压调节信息，并将气压调节信息发送至信息汇总板。

步骤S500：信息汇总板根据气压调节信息控制压力平衡部件和供气部件分别调节压力平衡部件内的第一压力和抛光气管内的第二压力。

在本发明实施例中，抛光头上的压力平衡部件上开设有第一通孔和第二通孔，在压力平衡部件上设置有一个盖子，该盖子能够盖住第一通孔，作为一种实施方式，盖子与第一通孔边缘的压力平衡部件活动连接，抛光气管通过穿过第二通孔给晶圆进行抛光。

在本发明实施例中，步骤S500包括步骤S510、步骤S520和步骤S530。请参阅图2，图2示出了步骤S500的流程图。以下对步骤S510、步骤S520和步骤S530进行详细阐述。

步骤S510：信息汇总板按照预设的数据格式解析气压调节信息，得到与第一压力信息对应的第一调节信息和与第二压力信息对应的第二调节信息。

步骤S520：信息汇总板根据第一调节信息控制盖子打开或者关闭第一通孔以调节压力平衡部件内的第一压力。

在本发明实施例中，第一调节信息包括第一调节时间和第一调节气压。步骤S520包括步骤S521和步骤S522。请参阅图3，图3示出了步骤S520的流程图。以下结合图3对步骤S521和步骤S522进行详细阐述。

步骤S521：信息汇总板根据第一调节气压得到对应的开口面积。

在本发明实施例中，开口面积可以是预设的，每一个值的第一调节气压对应一个值的开口面积。开口面积也可以是实时计算得到的。在本发明实施例中，在步骤S521之前还可以包括获取外界压力。开口面积通过实时计算得到具体的可以是，根据压力平衡部件内的压力与外界的压力之差、预设的压力平衡部件内的压力和第一通孔的最大面积来估计压力变化率，将压力变化率、压力平衡部件内的压力与外界的压力之差、预设的压力平衡部件内的压力和第一通孔的最大面积建立平衡方程，进而确定开口面积。

步骤S522：信息汇总板根据开口面积控制盖子打开或者关闭第一通孔第一调节时间的时长以调节压力平衡部件内的第一压力。

在本发明实施例中，当需要增大压力平衡部件内的第一压力时，如果第一压力小于外界压力，则信息汇总板根据开口面积控制盖子打开第一通孔第一调节时间的时长以增大压力平衡部件内的第一压力，如果第一压力大于外界压力，则信息汇总板根据开口面积控制盖子关闭第一通孔第一调节时间的时长，以避免压力平衡部件内的部件产生的能量损失进而增大压力平衡部件内的第一压力。压力平衡部件内能够产生能量的部件包括信息汇总板、第一压力传感器、第二压力传感器、通讯单元、电源等。

当需要减小压力平衡部件内的第一压力时，如果第一压力大于外界压力，则信息汇总板根据开口面积控制盖子打开第一通孔第一调节时间的时长，以使压力平衡部件内气体分子扩散至外界进而减小平衡部件内的第一压力。

步骤S530：信息汇总板根据第二调节信息控制供气部件增加或者减少给抛光气管注入的抛光气体，以调节抛光气管内的第二压力。

在本发明实施例中，第二调节信息包括第二调节时间和第二调节压力。步骤S530包括步骤S531、步骤S532和步骤S533。请参阅图4，图4示出了步骤S530的流程图。以下结合图4对步骤S531、步骤S532和步骤S533进行详细阐述。

步骤S531：信息汇总板根据第二调节压力判断是否需要增大抛光气管内的压力。

步骤S532：当判定需要增大抛光气管内的压力时，信息汇总板根据第二调节压力得到对应的增加气流信息，控制供气部件按照所述增加气流信息给抛光气管增加气流第二调节时间的时长，以增加抛光气管内的第二压力。

步骤S533：当判定需要减小抛光气管内的压力时，信息汇总板根据第二调节压力得到对应的减少气流信息，控制供气部件按照减少气流信息给所述抛光气管减少气流第二调节时间的时长，以减小抛光气管内的第二压力。

通过采用以上方案，能够精确测量抛光晶圆的抛光气压，能够准确调控抛光气压。将压力平衡部件套设在抛光气管远离供气部件的一端，并通过调节压力平衡部件内的第一气压，能够将接近晶圆的抛光气管与气压信息不稳定的外接隔开，使得接近晶圆的抛光气管内的气压不受外接气压影响，同时，通过检测和调控调节压力平衡部件内第一气压，能够保证接近晶圆的抛光气管内的第二压力和接近晶圆的抛光气管外的压力平衡。进一步的，能够使得有稳定的、精确的抛光气压对晶圆进行抛光，抛光精度高，成品率高。

请参阅图5，图5示出了本发明实施例提供的一种电子设备100的方框结构示意图。在本发明实施例中，电子设备100可以是，但不限于智能手机、平板电脑、膝上便携计算机、车载电脑、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)、穿戴式移动终端、台式电脑、工业PC等。所述电子设备100包括存储器101、存储控制器102、处理器103、外设接口104、通讯接口105、显示装置106和气压监控装置200。

所述存储器101、存储控制器102、处理器103、外设接口104、通讯接口105和显示装置106各个元件之间直接或间接地电性连接，以实现数据的传输或交互。例如这些元件相互之间可通过一条或多条通讯总线或信号线实现电性连接。所述气压监控装置200包括至少一个可以以软件或固件(firmware)的形式存储于所述存储器101中或固化在所述电子设备100的操作系统(operation system，OS)中的软件功能模块。所述处理器103用于执行存储器101中储存的可执行模块或计算机程序，例如所述气压监控装置200包括的软件功能模块或计算机程序。

其中，存储器101可以是，但不限于，随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)，只读存储器(Read Only Memory，ROM)，可编程只读存储器(Programmable Read-OnlyMemory，PROM)，可擦除只读存储器(Erasable Programmable Read-Only Memory，EPROM)，电可擦除只读存储器(Electric Erasable Programmable Read-Only Memory，EEPROM)等。存储器101用于储存程序，所述处理器103在接收到执行指令后，执行所述程序，本发明任一实施例解释的流程定义的服务器所执行的方法可以应用于处理器103中，或者由处理器103实现。

处理器103可以是一种集成芯片，具有信号处理能力。上述的处理器103可以是通用处理器103，包括中央处理器103(Central Processing Unit，CPU)、网络600处理器103(Network Processor，NP)、语音处理器103以及视频处理器103等；还可以是数字处理器103、专用集成电路、现场可编程门阵列或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。可以实现或者执行本发明实施例中公开的各方法、步骤及逻辑框图。通用处理器103可以是微处理器103或者该处理器103也可以是任何常规的处理器103等。

所述外设接口104用于将各种输入/输出装置耦合至处理器103以及存储器101。在一些实施例中，外设104、处理器103以及存储控制器102可以在单个芯片中实现。在其他一些实例中，它们可以分别由独立的芯片实现。

通讯接口105用于与通讯的天线等设备连接，用于接收通讯的信息。

显示装置106用于实现用户与电子设备100之间的交互，例如，但不限于显示装置106可以将检测到的部件内的第一压力信息、抛光气管内的第二压力信息、以及与第一压力信息对应的第一调节信息和与第二压力信息对应的第二调节信息等信息进行显示。

请参阅图6，图6示出了本发明实施例提供的气压监控装置200的方框结构示意图。在本发明实施例中，气压监控装置包括获取汇总信息模块201、解析模块202、调节信息生成模块203和调节信息汇总模块204。获取汇总信息模块201、解析模块202、调节信息生成模块203和调节信息汇总模块204之间依次连接。

获取汇总信息模块201，用于获取抛光头302发送的汇总压力信号。

解析模块202，用于根据预设的数据格式解析汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息。

调节信息生成模块203，用于根据第一气压信息得到第一调节信息，根据第二气压信息得到第二调节信息。

调节信息汇总模块204，用于将第一调节信息和第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将气压调节信息发送至抛光头302。

请参阅图7，图7示出了本发明实施例提供的又一种气压监控方法流程图。本发明实施例提供的一种气压监控方法，应用于总控中心301。以下结合图7对本发明实施例提供的一种气压监控方法进行详细阐述。一种气压监控方法以下步骤。

步骤S21：获取抛光头302发送的汇总压力信号。在本发明实施例中，步骤S21可以通过上述获取汇总信息模块201执行，步骤S21所述内容均适用于上述获取汇总信息模块201。获取的汇总压力信号可以通过通讯接口105接收得到。

步骤S22：根据预设的数据格式解析汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息。在本发明实施例中，步骤S22可以通过上述的解析模块202执行，步骤S22所述内容适用于上述的解析模块202。

步骤S23：根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息。在本发明实施例中，步骤S23可以通过上述的调节信息生成模块203执行，步骤S23所述内容均适用于上述调节信息生成模块203。

作为一种实施方式，步骤S23可以包括：对于根据第一气压信息得到第一调节信息的步骤可以是：判断第一气压信息是否在预设范围内，当第一气压信息不在预设范围内时，则以第一气压信息与预设范围之差的最小值作为第一调节压力，获取与第一调节压力对应的第一调节时间，将第一调节压力和第一调节时间按照规定格式汇总，得到第一调节信息。对于根据第二气压信息得到第二调节信息的步骤，可以是：判断第二气压信息是否在设定范围内，当第二气压信息不在设定范围内时，则以第二气压信息与设定范围之差的最小值作为第二调节压力，获取与第二调节压力对应的第二调节时间，将第二调节压力和第二调节时间按照规定格式汇总，得到第二调节信息。

在本发明实施例中，第一调节时间和第二调节时间可以是预先是定的，也可以是根据第一调节压力、第一调节气压实时计算得到第一调节时间，根据第二调节压力、第二调节气压实时计算得到第二调节时间。

步骤S24：将第一调节信息和第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将气压调节信息发送至抛光头302。在本发明实施例中，步骤S24可以通过上述调节信息汇总模块204执行，步骤S24所述内容均适用于上述调节信息汇总模块204。

请参阅图8，图8示出了一种气压监控系统300方框结构示意图。在本发明实施例中，气压监控系统300包括总控中心301和抛光头302，总控中心301和抛光头302通讯连接。在本发明实施例中，总控中心301和抛光头302通讯连接方式可以是通过网络600通讯连接，也可以通过蓝牙连接。中控中心可以包括如图5所述的电子设备100。具体的可以是一台工业PC。抛光头302包括压力平衡部件、供气部件和抛光气管，供气部件与抛光气管连接，供气部件用于给抛光气管提供抛光气体，压力平衡部件套设在抛光气管远离所述供气部件的一端。

请参阅图9，图9示出了本发明实施例提供的又一种气压监控方法流程图。在本发明实施例中，图9示出了一种气压监控方法可以应用于图8所述的气压监控系统300。以下，结合图9对一种气压监控方法进行详细阐述。

在本发明实施例中提供的一种气压监控方法包括以下步骤。

步骤S1：抛光头302检测压力平衡部件内的第一压力信息。在本发明实施例中，上述步骤S100所述内容适用于步骤S1，在此不再赘述。

步骤S2：抛光头302检测抛光气管内的第二压力信息。在本发明实施例中，上述步骤S200适用于步骤S2，在此不再赘述。

步骤S3：抛光头302将第一压力信息和第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将汇总压力信号发送至总控中心301。在本发明实施例中，上述步骤S300所述内容适用于步骤S3，在此不再赘述。

步骤S4：总控中心301获取抛光头302发送的汇总压力信号。在本发明实施例中，上述步骤S21所述内容适用于步骤S4，在此不再赘述。

步骤S5：总控中心301根据预设的数据格式解析汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息。在本发明实施例中，上述步骤S22所述内容适用于步骤S5，在此不再赘述。

步骤S6：总控中心301第一气压信息得到第一调节信息，根据第二气压信息得到第二调节信息。在本发明实施例中，上述步骤S23所述内容适用于步骤S6，在此不再赘述。

步骤S7：总控中心301将第一调节信息和第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将气压调节信息发送至抛光头302。在本发明实施例中，上述步骤S24所述内容适用于步骤S7，在此不再赘述。

步骤S8：抛光头302接收气压调节信息。在本发明实施例中，上述步骤S400所述内容适用于步骤S8，在此不再赘述。

步骤S9：抛光头302根据气压调节信息控制压力平衡部件和供气部件分别调节压力平衡部件内的第一压力和抛光气管内的第二压力。在本发明实施例中，上述步骤S500所述内容适用于步骤S9，在此不再赘述。

综上所述，本发明实施例提供的气压监控方法、装置及电子设备，首先通过第一压力传感器检测压力平衡部件内的第一压力信息，并将第一压力信息发送至信息汇总板，通过第二压力传感器检测抛光气管内的第二压力信息，并将第二压力信息发送至信息汇总板，然后信息汇总板将第一压力信息和第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将汇总压力信号通过通讯单元发送至总控中心；然后总控中心汇总压力信号，并根据预设的数据格式解析汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息，根据第一气压信息得到第一调节信息，根据第二气压信息得到第二调节信息，将第一调节信息和第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将气压调节信息发送至抛光头；然后抛光头的通讯单元接收气压调节信息，并将气压调节信息发送至信息汇总板，最后，信息汇总板根据气压调节信息控制压力平衡部件调节压力平衡部件内的第一压力，信息汇总板根据气压调节信息控制供气部件调节抛光气管内的第二压力，具体的，信息汇总板按照预设的数据格式解析气压调节信息，得到与第一压力信息对应的第一调节信息和与第二压力信息对应的第二调节信息，信息汇总板根据第一调节信息控制压力平衡部件上的盖子打开或者关闭压力平衡部件上的第一通孔以调节压力平衡部件内的第一压力，信息汇总板根据第二调节信息控制供气部件增加或者减少给抛光气管注入的抛光气体，以调节所述抛光气管内的第二压力。该方法能够对晶圆的抛光气压进行精准监控。抛光头能够精确测量抛光晶圆的抛光气压，能够准确调控抛光气压。将压力平衡部件套设在抛光气管远离供气部件的一端，并通过调节压力平衡部件内的第一气压，能够将接近晶圆的抛光气管与气压信息不稳定的外接隔开，使得接近晶圆的抛光气管内的气压不受外接气压影响，同时，通过检测和调控调节压力平衡部件内第一气压，能够保证接近晶圆的抛光气管内的第二压力和接近晶圆的抛光气管外的压力平衡。进一步的，能够使得有稳定的、精确的抛光气压对晶圆进行抛光，抛光精度高，成品率高。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，也可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的装置、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方式中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

另外，在本发明各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。

所述功能如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (10)

1.一种气压监控方法，其特征在于，应用于抛光头，所述抛光头包括信息汇总板、第一压力传感器、第二压力传感器、通讯单元、供气部件、压力平衡部件和抛光气管；所述供气部件与所述抛光气管连接以给所述抛光气管提供抛光气体；所述压力平衡部件套设在所述抛光气管远离所述供气部件的一端，用于平衡所述抛光气管内和所述抛光气管外的气压；所述信息汇总板、所述通讯单元设置在所述压力平衡部件内；所述第一压力传感器设置在所述压力平衡部件内，所述第二压力传感器设置在所述抛光气管远离所述供气部件的端口上以检测抛光气管内的气压；所述第一压力传感器、所述第二压力传感器、所述供气部件、所述通讯单元与所述信息汇总板连接；所述气压监控方法包括：

通过所述第一压力传感器检测所述压力平衡部件内的第一压力信息，并将所述第一压力信息发送至所述信息汇总板；

通过所述第二压力传感器检测所述抛光气管内的第二压力信息，并将所述第二压力信息发送至所述信息汇总板；

所述信息汇总板将所述第一压力信息和所述第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将所述汇总压力信号通过所述通讯单元发送至用于分析汇总压力信号的总控中心；

所述通讯单元接收由所述总控中心发送的气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至所述信息汇总板；

所述信息汇总板根据所述气压调节信息控制所述压力平衡部件和所述供气部件分别调节所述压力平衡部件内的第一压力和所述抛光气管内的第二压力。

2.根据权利要求1所述的气压监控方法，其特征在于，所述压力平衡部件上开设有第一通孔和第二通孔；在所述压力平衡部件上设置有一个盖子，所述盖子能够盖住所述第一通孔；所述抛光气管穿过所述第二通孔；

所述信息汇总板根据所述气压调节信息控制所述压力平衡部件和所述供气部件分别调节所述压力平衡部件内的第一压力和所述抛光气管内的第二压力的步骤，包括：

所述信息汇总板按照预设的数据格式解析所述气压调节信息，得到与所述第一压力信息对应的第一调节信息和与所述第二压力信息对应的第二调节信息；

所述信息汇总板根据所述第一调节信息控制所述盖子打开或者关闭所述第一通孔以调节所述压力平衡部件内的第一压力；

所述信息汇总板根据所述第二调节信息控制所述供气部件增加或者减少给所述抛光气管注入的抛光气体，以调节所述抛光气管内的第二压力。

3.根据权利要求2所述的气压监控方法，其特征在于，所述第一调节信息包括第一调节时间和第一调节气压；

所述信息汇总板根据所述第一调节信息控制所述盖子打开或者关闭所述第一通孔以调节所述压力平衡部件内的第一压力的步骤，包括：

所述信息汇总板根据第一调节气压得到对应的开口面积；

所述信息汇总板根据所述开口面积控制所述盖子打开或者关闭所述第一通孔所述第一调节时间的时长以调节所述压力平衡部件内的第一压力。

4.根据权利要求3所述的气压监控方法，其特征在于，所述第二调节信息包括第二调节时间和第二调节压力；

所述信息汇总板根据所述第二调节信息控制所述供气部件增加或者减少给所述抛光气管注入的抛光气体，以调节所述抛光气管内的第二压力的步骤，包括：

所述信息汇总板根据所述第二调节压力判断是否需要增大所述抛光气管内的压力；

当判定需要增大所述抛光气管内的压力时，所述信息汇总板根据所述第二调节压力得到对应的增加气流信息，控制所述供气部件按照所述增加气流信息给所述抛光气管增加气流所述第二调节时间的时长，以增加所述抛光气管内的第二压力；

当判定需要减小所述抛光气管内的压力时，所述信息汇总板根据所述第二调节压力得到对应的减少气流信息，控制所述供气部件按照所述减少气流信息给所述抛光气管减少气流所述第二调节时间的时长，以减小所述抛光气管内的第二压力。

5.一种气压监控方法，其特征在于，应用于总控中心，所述方法包括：

获取抛光头发送的汇总压力信号；

根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；

根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；

将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至抛光头。

6.根据权利要求5所述的气压监控方法，其特征在于，根据所述第一气压信息得到第一调节信息的步骤，包括：

判断所述第一气压信息是否在预设范围内；

当所述第一气压信息不在预设范围内时，则以所述第一气压信息与所述预设范围之差的最小值作为第一调节压力；

获取与所述第一调节压力对应的第一调节时间；

将所述第一调节压力和所述第一调节时间按照规定格式汇总，得到第一调节信息。

7.根据权利要求6所述的气压监控方法，其特征在于，根据所述第二气压信息得到第二调节信息的步骤，包括：

判断所述第二气压信息是否在设定范围内；

当所述第二气压信息不在设定范围内时，则以所述第二气压信息与所述设定范围之差的最小值作为第二调节压力；

获取与所述第二调节压力对应的第二调节时间；

将所述第二调节压力和所述第二调节时间按照规定格式汇总，得到第二调节信息。

8.一种气压监控装置，其特征在于，所述装置包括：

获取汇总信息模块，用于获取抛光头发送的汇总压力信号；

解析模块，用于根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；

调节信息生成模块，用于根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；

调节信息汇总模块，用于将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至抛光头。

9.一种电子设备，其特征在于，包括：

存储器；

处理器，所述处理器与所述存储器连接；以及

气压监控装置，所述气压监控装置包括一个或者多个存储于所述存储器并由所述处理器执行的计算机软件功能模组，其包括：

获取汇总信息模块，用于获取抛光头发送的汇总压力信号；

解析模块，用于根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；

调节信息生成模块，用于所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；

调节信息汇总模块，用于将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至抛光头。

10.一种气压监控方法，其特征在于，应用于气压监控系统，所述气压监控系统包括总控中心和抛光头，所述总控中心和所述抛光头通讯连接；所述抛光头包括压力平衡部件、供气部件和抛光气管，所述供气部件与所述抛光气管连接，所述供气部件用于给所述抛光气管提供抛光气体，所述压力平衡部件套设在所述抛光气管远离所述供气部件的一端；所述气压监控方法包括：

所述抛光头检测所述压力平衡部件内的第一压力信息；

所述抛光头检测所述抛光气管内的第二压力信息；

所述抛光头将所述第一压力信息和所述第二压力信息按照设定的数据格式进行汇总，得到汇总压力信号，并将所述汇总压力信号发送至所述总控中心；

所述总控中心获取所述抛光头发送的汇总压力信号；

所述总控中心根据预设的数据格式解析所述汇总压力信号，得到第一气压信息和第二气压信息；

所述总控中心根据所述第一气压信息得到第一调节信息，根据所述第二气压信息得到第二调节信息；

所述总控中心将所述第一调节信息和所述第二调节信息按照设定的数据格式打包，得到气压调节信息，并将所述气压调节信息发送至所述抛光头；

所述抛光头接收所述气压调节信息；

所述抛光头根据所述气压调节信息控制所述压力平衡部件和所述供气部件分别调节所述压力平衡部件内的第一压力和所述抛光气管内的第二压力。