CN108010826A - 一种便于更换保养的p5k-mxp石英护罩机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种便于更换保养的P5K‑MXP石英护罩机构，包括石英件，所述石英件为环形结构，所述石英件的内侧安装有拆卸环，所述拆卸环的内侧固定安装有保养本体，所述拆卸环的外侧开设有多个限位槽，所述石英件的内侧设有多个滑动槽，多个滑动槽与多个限位槽一一对应，所述限位槽内滑动安装有方形限位柱，所述方形限位柱远离保养本体的一侧延伸至相对应的滑动槽内并开设有调节槽，所述调节槽内滑动安装有转动杆，所述滑动槽的底部内壁上滑动安装有滑板，所述滑板的顶部安装有驱动电机。本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱进行移动，解除对拆卸环的固定，从而便于对保养本体进行拆卸更换。
Description
技术领域
本发明涉及P5K-MXP石英护罩设备技术领域，尤其涉及一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构。
背景技术
等离子体刻蚀机工艺运行一段时间后，专业术语RF ON TIME一定时间后，腔体内的损耗件石英护罩(专业术语叫shadowring)会因腐蚀，离子体轰击等原因消耗掉一部分，导致不能使用我们需要整体更换。由于工艺工程中被腐蚀消耗掉的面积很小，而且是固定区域。整体更换掉的成本很高。所以研究此改造方案。改造内容：把易腐蚀坏的区域和石英护罩的本体分离出来，单独加工出一个小的石英环，这样就不用更换整个shadlwring，每次PM(设备保养维护)后只需要更换加工的小石英环就可以了。更换方便快捷，这样做能有效降低设备运行成本，提高PM效率。
P5K-MXP腔体内石英件石英护罩在使用一定时间后，环圆片外侧的石英会部分会腐蚀，这样整个石英件只能废掉，成本高，浪费也大，为了降低石英成本的消耗，对P5K腔体石英耗件石英护罩进行自主改造，把易腐蚀部分与整体分离出来，发生腐蚀时只需更换易腐蚀部分，未腐蚀部分清洗后继续使用，能够有效的降低耗件成本，因此我们提出了一种便于更换保养的P5K-MXP+石英护罩机构用于解决上述问题。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种便于更换保养的P5K-MXP+石英护罩机构。
本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，包括石英件，所述石英件为环形结构，所述石英件的内侧安装有拆卸环，所述拆卸环的内侧固定安装有保养本体，所述拆卸环的外侧开设有多个限位槽，所述石英件的内侧设有多个滑动槽，多个滑动槽与多个限位槽一一对应，所述限位槽内滑动安装有方形限位柱，所述方形限位柱远离保养本体的一侧延伸至相对应的滑动槽内并开设有调节槽，所述调节槽内滑动安装有转动杆，所述滑动槽的底部内壁上滑动安装有滑板，所述滑板的顶部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴上焊接有丝杆，丝杆的外侧螺纹安装有固定板，固定板的底部与相对应的滑动槽的底部内壁相焊接，所述转动杆的一侧延伸至方形限位柱的外侧并与相对应的丝杆相焊接，所述调节槽的底部内壁上开设有卡柱孔，卡柱孔内滑动安装有卡柱，限位槽的底部内壁上设有卡槽，卡槽与卡柱相配合，所述调节槽的一侧内壁上转动安装有绕线轮，所述绕线轮的外侧绕设有拉丝，拉丝的一端延伸至相对应的卡柱孔内并与卡柱的顶部固定连接，拉丝的另一端与相对应的转动杆转动连接，调节槽的底部内壁上还开设有安装槽，安装槽的底部内壁上固定安装有推杆电机，推杆电机的输出轴上焊接有限位杆，转动杆的外侧开设有多个环形滑槽，环形滑槽与限位杆滑动连接。
优选的，所述转动杆靠近保养本体的一侧开设有镶嵌槽，镶嵌槽内转动安装有滚珠，滚珠的一侧延伸至转动杆的外侧并与相对应的拉丝固定连接。
优选的，所述卡柱的顶部焊接有压缩弹簧，压缩弹簧的顶端与相对应的调节槽的顶部内壁相焊接。
优选的，所述滑板上设有滑孔，滑孔内滑动安装有限位滑杆，限位滑杆远离保养本体的一侧与相对应的滑动槽远离保养本体的一侧内壁相焊接。
优选的，所述滑板的顶部螺纹固定有拆卸板，拆卸板的顶部与相对应的驱动电机的底部相焊接。
优选的，所述固定板上设有螺纹孔，丝杆与相对应的螺纹孔螺纹连接。
优选的，所述限位槽靠近保养本体的一侧内壁上焊接有限位块，限位块远离保养本体的一侧与相对应的方形限位柱相接触。
优选的，所述调节槽的竖截面和转动杆的竖截面均为圆形结构。
优选的，位于同一个转动杆上的环形滑槽的数量为三到五个，且位于同一个转动杆上的三到五个环形滑槽等间距分布在转动杆上。
优选的，所述限位槽的数量为四到六个，且四到六个限位槽呈环形分布在拆卸环的外侧。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过调节槽、转动杆、滑板、驱动电机、丝杆、固定板、卡柱孔、卡柱、卡槽、绕线轮、拉丝、滚珠和压缩弹簧相配合，便于对卡柱进行移动，使得卡柱与卡槽分离，解除对方形限位柱的固定，通过石英件、拆卸环、保养本体、限位槽、滑动槽、方形限位柱、安装槽、推杆电机、限位杆、环形滑槽和限位块相配合，便于对方形限位柱进行移动，从而解除对拆卸环的固定，实现了对保养本体的拆卸，便于对保养本体进行更换。
本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱进行移动，解除对拆卸环的固定，从而便于对保养本体进行拆卸更换。
附图说明
图1为本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构的剖视结构示意图；
图2为本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构的俯视结构示意图；
图3为本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构的A部分的剖视结构示意图；
图4为本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构的A部分的局部放大图；
图5为本发明提出的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构的B部分的剖视结构示意图。
附图标记：
1石英件 2拆卸环 3保养本体
4限位槽 5滑动槽 6方形限位柱
7调节槽 8转动杆 9滑板
10驱动电机 11丝杆 12固定板
13卡柱孔 14卡柱 15卡槽
16绕线轮 17拉丝 18安装槽
19推杆电机 20限位杆 21环形滑槽
22滚珠 23限位块
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步解说。
实施例
参考图1-5，本实施例中提出了一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，包括石英件1，石英件1为环形结构，石英件1的内侧安装有拆卸环2，拆卸环2的内侧固定安装有保养本体3，拆卸环2的外侧开设有多个限位槽4，石英件1的内侧设有多个滑动槽5，多个滑动槽5与多个限位槽4一一对应，限位槽4内滑动安装有方形限位柱6，方形限位柱6远离保养本体3的一侧延伸至相对应的滑动槽5内并开设有调节槽7，调节槽7内滑动安装有转动杆8，滑动槽5的底部内壁上滑动安装有滑板9，滑板9的顶部安装有驱动电机10，驱动电机10的输出轴上焊接有丝杆11，丝杆11的外侧螺纹安装有固定板12，固定板12的底部与相对应的滑动槽5的底部内壁相焊接，转动杆8的一侧延伸至方形限位柱6的外侧并与相对应的丝杆11相焊接，调节槽7的底部内壁上开设有卡柱孔13，卡柱孔13内滑动安装有卡柱14，限位槽4的底部内壁上设有卡槽15，卡槽15与卡柱14相配合，调节槽7的一侧内壁上转动安装有绕线轮16，绕线轮16的外侧绕设有拉丝17，拉丝17的一端延伸至相对应的卡柱孔13内并与卡柱14的顶部固定连接，拉丝17的另一端与相对应的转动杆8转动连接，调节槽7的底部内壁上还开设有安装槽18，安装槽18的底部内壁上固定安装有推杆电机19，推杆电机19的输出轴上焊接有限位杆20，转动杆8的外侧开设有多个环形滑槽21，环形滑槽21与限位杆20滑动连接，在调节槽7、转动杆8、滑板9、驱动电机10、丝杆11、固定板12、卡柱孔13、卡柱14、卡槽15、绕线轮16、拉丝17、滚珠22和压缩弹簧的配合之下，便于对卡柱14进行移动，使得卡柱14与卡槽15分离，解除对方形限位柱6的固定，在石英件1、拆卸环2、保养本体3、限位槽4、滑动槽5、方形限位柱6、安装槽18、推杆电机19、限位杆20、环形滑槽21和限位块23的配合之下，便于对方形限位柱6进行移动，从而解除对拆卸环2的固定，实现了对保养本体3的拆卸，便于对保养本体3进行更换，本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱6进行移动，解除对拆卸环2的固定，从而便于对保养本体3进行拆卸更换。
本实施例中，转动杆8靠近保养本体3的一侧开设有镶嵌槽，镶嵌槽内转动安装有滚珠22，滚珠22的一侧延伸至转动杆8的外侧并与相对应的拉丝17固定连接，卡柱14的顶部焊接有压缩弹簧，压缩弹簧的顶端与相对应的调节槽7的顶部内壁相焊接，滑板9上设有滑孔，滑孔内滑动安装有限位滑杆，限位滑杆远离保养本体3的一侧与相对应的滑动槽5远离保养本体3的一侧内壁相焊接，滑板9的顶部螺纹固定有拆卸板，拆卸板的顶部与相对应的驱动电机10的底部相焊接，固定板12上设有螺纹孔，丝杆11与相对应的螺纹孔螺纹连接，限位槽4靠近保养本体3的一侧内壁上焊接有限位块23，限位块23远离保养本体3的一侧与相对应的方形限位柱6相接触，调节槽7的竖截面和转动杆8的竖截面均为圆形结构，位于同一个转动杆8上的环形滑槽21的数量为三到五个，且位于同一个转动杆8上的三到五个环形滑槽21等间距分布在转动杆8上，限位槽4的数量为四到六个，且四到六个限位槽4呈环形分布在拆卸环2的外侧，在调节槽7、转动杆8、滑板9、驱动电机10、丝杆11、固定板12、卡柱孔13、卡柱14、卡槽15、绕线轮16、拉丝17、滚珠22和压缩弹簧的配合之下，便于对卡柱14进行移动，使得卡柱14与卡槽15分离，解除对方形限位柱6的固定，在石英件1、拆卸环2、保养本体3、限位槽4、滑动槽5、方形限位柱6、安装槽18、推杆电机19、限位杆20、环形滑槽21和限位块23的配合之下，便于对方形限位柱6进行移动，从而解除对拆卸环2的固定，实现了对保养本体3的拆卸，便于对保养本体3进行更换，本发明实用性能高，结构简单，操作方便，便于对方形限位柱6进行移动，解除对拆卸环2的固定，从而便于对保养本体3进行拆卸更换。
本实施例中，当卡柱14卡入卡槽15内时，方形限位柱6卡入限位槽4内，对拆卸环2进行固定，且卡柱14能够对方形限位柱6进行加固，使得保养本体3更加稳定的安装在石英件1内，此时限位杆20位于多个环形滑槽21中远离保养本体3的一个环形滑槽21内，当需要对保养本体3进行拆卸时，此时启动推杆电机19，推杆电机19的输出轴带动限位杆20向下进行移动，使得限位杆20与环形滑槽21分离，此时关闭推杆电机19，启动驱动电机10，驱动电机10的输出轴带动丝杆11进行转动，丝杆11通过螺纹孔在固定板12上进行转动，此时丝杆11向远离保养本体3的方向进行移动，丝杆11带动转动杆8进行转动，且使得转动杆8向远离保养本体3的方向进行移动，转动杆8通过拉丝17带动卡柱14向上进行移动，使得卡柱14与卡槽15分离，解除对方形限位柱6的固定，此时关闭驱动电机10，启动推杆电机19，推杆电机19带动限位杆20向上移动，使得限位杆20移动至相对应的环形滑槽21内，此时关闭推杆电机19，启动驱动电机10，驱动电机10的输出轴带动丝杆11进行转动，使得转动杆8向远离保养本体3的方向进行移动，此时转动杆8在调节槽7内进行转动，且环形滑槽21在限位杆20的外侧进行转动，转动杆8通过限位杆20带动方形限位柱6进行移动，使得方形限位柱6移动至相对应的滑动槽5内，关闭驱动电机10，解除了对拆卸环2的固定，此时可对保养本体3进行更换，且便于将换新后的保养本体3再次安装在石英件1上。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，包括石英件(1)，其特征在于，所述石英件(1)为环形结构，所述石英件(1)的内侧安装有拆卸环(2)，所述拆卸环(2)的内侧固定安装有保养本体(3)，所述拆卸环(2)的外侧开设有多个限位槽(4)，所述石英件(1)的内侧设有多个滑动槽(5)，多个滑动槽(5)与多个限位槽(4)一一对应，所述限位槽(4)内滑动安装有方形限位柱(6)，所述方形限位柱(6)远离保养本体(3)的一侧延伸至相对应的滑动槽(5)内并开设有调节槽(7)，所述调节槽(7)内滑动安装有转动杆(8)，所述滑动槽(5)的底部内壁上滑动安装有滑板(9)，所述滑板(9)的顶部安装有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)的输出轴上焊接有丝杆(11)，丝杆(11)的外侧螺纹安装有固定板(12)，固定板(12)的底部与相对应的滑动槽(5)的底部内壁相焊接，所述转动杆(8)的一侧延伸至方形限位柱(6)的外侧并与相对应的丝杆(11)相焊接，所述调节槽(7)的底部内壁上开设有卡柱孔(13)，卡柱孔(13)内滑动安装有卡柱(14)，限位槽(4)的底部内壁上设有卡槽(15)，卡槽(15)与卡柱(14)相配合，所述调节槽(7)的一侧内壁上转动安装有绕线轮(16)，所述绕线轮(16)的外侧绕设有拉丝(17)，拉丝(17)的一端延伸至相对应的卡柱孔(13)内并与卡柱(14)的顶部固定连接，拉丝(17)的另一端与相对应的转动杆(8)转动连接，调节槽(7)的底部内壁上还开设有安装槽(18)，安装槽(18)的底部内壁上固定安装有推杆电机(19)，推杆电机(19)的输出轴上焊接有限位杆(20)，转动杆(8)的外侧开设有多个环形滑槽(21)，环形滑槽(21)与限位杆(20)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述转动杆(8)靠近保养本体(3)的一侧开设有镶嵌槽，镶嵌槽内转动安装有滚珠(22)，滚珠(22)的一侧延伸至转动杆(8)的外侧并与相对应的拉丝(17)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述卡柱(14)的顶部焊接有压缩弹簧，压缩弹簧的顶端与相对应的调节槽(7)的顶部内壁相焊接。
4.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述滑板(9)上设有滑孔，滑孔内滑动安装有限位滑杆，限位滑杆远离保养本体(3)的一侧与相对应的滑动槽(5)远离保养本体(3)的一侧内壁相焊接。
5.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述滑板(9)的顶部螺纹固定有拆卸板，拆卸板的顶部与相对应的驱动电机(10)的底部相焊接。
6.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述固定板(12)上设有螺纹孔，丝杆(11)与相对应的螺纹孔螺纹连接。
7.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述限位槽(4)靠近保养本体(3)的一侧内壁上焊接有限位块(23)，限位块(23)远离保养本体(3)的一侧与相对应的方形限位柱(6)相接触。
8.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述调节槽(7)的竖截面和转动杆(8)的竖截面均为圆形结构。
9.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，位于同一个转动杆(8)上的环形滑槽(21)的数量为三到五个，且位于同一个转动杆(8)上的三到五个环形滑槽(21)等间距分布在转动杆(8)上。
10.根据权利要求1所述的一种便于更换保养的P5K-MXP石英护罩机构，其特征在于，所述限位槽(4)的数量为四到六个，且四到六个限位槽(4)呈环形分布在拆卸环(2)的外侧。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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