CN107768283A - 机台及机台控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种机台及机台校准方法，通过给控制器一控制信号，使得所述控制器控制驱动件转动，并通过所述驱动件带动校准螺母转动，再通过所述校准螺母的转动实现对待校准件的校准，从而实现对所述机台自动的校准。相比于现有技术来说，不需要通过人工手持调节件来对调节螺母进行调节，从而实现所述机台安全校准。并且，通过自动校准的方式能够快速的实现所述机台的校准，从而提升了校准操作的效率。

Description

机台及机台控制方法

技术领域

本发明涉及显示器制备技术领域，尤其涉及一种机台及机台控制方法。

背景技术

目前，在准分子激光退火(ELA)机台中，常常需要对窗口镜片窗口镜片的位置进行校准，从而对放置于所述机台中的基板进行精确高效的准分子激光退火。而现有技术中，对所述窗口镜片的位置校准一般是通过调节调节螺母来实现。并且，现有技术中，对调节螺母的调节只能够通过人工来实现。具体的，在激光开启时，手持一调节件对所述调节螺母进行调整，同时观察所述机台上的监控参数，使得所述窗口镜片的位置参数达到规定范围内，从而完成所述窗口镜片的位置校准。但是，人工调节的方式存在一定风险性、且效率较低。

发明内容

本发明提供一种机台及机台校准方法，能够通过高效、安全的操作实现对所述机台的校准。

所述机台包括待校准件、校准螺母、驱动件及控制器；所述控制器与所述驱动件电连接，通过所述控制器控制所述驱动件转动；所述驱动件的转动带动所述校准螺母转动；所述校准螺母转动并带动所述待校准件移动以实现对所述待校准件的校准。

其中，所述校准螺母上连接有第一传动件，所述驱动件上包括第二传动件，所述第二传动件带动所述第一传动件转动，并通过所述第一传动件带动所述校准螺母的转动。

其中，所述第一传动件为斜齿轮，所述第二传动件为与所述第一传动件相啮合的斜齿轮。

其中，所述校准螺母通过一连接杆与所述第一传动件连接。

其中，所述校准螺母上设有一内六角孔，所述连接杆一端与所述第一传动件固定，远离所述第一传动件的另一端为与所述校准螺母的内六角孔相配合的外六角结构，所述连接杆远离所述第一传动件的一端插入所述校准螺母上的内六角孔内，实现所述校准螺母与所述第一传动件的连接。

其中，所述机台还包括控制终端，所述控制终端与所述控制器电连接，通过所述控制终端给所述控制器一控制信号，以使所述控制器控制所述驱动件。

其中，所述机台还包括感应器，所述感应器感应所述待校准件的偏移量得到偏移信号，并将所述偏移信号发送至所述控制终端。

本发明还提供一种机台自动校准方法，包括步骤：

提供一种机台，所述机台包括待校准件、校准螺母、驱动件及控制器待校准件，并通过所述控制器控制所述驱动件进行转动；所述驱动件的转动带动所述校准螺母进行转动；所述校准螺母转动带动所述待校准件的移动，以实现所述待校准件的校准。

其中，所述机台还包括控制终端，所述控制终端与所述控制器电连接；所述控制终端给所述控制器发送所述控制信号，所述控制器接收所述控制信号并根据所述控制信号控制所述驱动件的转动，以控制所述校准螺母的转动。

其中，所述机台还包括感应器，所述感应器感应所述待校准件的偏移量并得到偏移信号，并将所述偏移信号发送至所述控制终端，所述控制终端根据所述偏移信号形成所述控制信号。

本发明提供的所述机台及机台校准方法，通过给所述控制器一控制信号，使得所述控制器控制所述驱动件转动，并通过所述驱动件带动所述校准螺母转动，再通过所述校准螺母的转动实现对所述待校准件的校准，从而实现对所述机台自动的校准。相比于现有技术来说，不需要通过人工手持调节件来对调节螺母进行调节，从而实现所述机台安全校准。并且，通过自动校准的方式能够快速的实现所述机台的校准，从而提升了校准操作的效率。

附图说明

为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。

图1是本发明实施例的机台结构示意图；

图2是本发明实施例的机台校准流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，不能理解为对本专利的限制。

请参阅图1，本发明提供一种机台100。所述机台100包括需要校准的待校准件(图中未示出)、与所述待校准件连接的校准螺母20、与所述校准螺母20连接的驱动件30及与所述驱动件30电连接的控制器40。所述控制器40控制所述驱动件30转动。所述驱动件30转动以带动所述校准螺母20转动。所述校准螺母20转动带动所述转动件的移动以实现对所述待校准件的校准。本实施例中，所述机台100为准分子激光退火(ELA)机台，所述待校准件为所述准分子激光退火(ELA)机台中的窗口镜片。在对所述窗口镜片更换或其它情况下需要对所述窗口镜片的位置进行校准，从而实现对所述机台100的校准。可以理解的是，所述机台100还可以为其它需要通过校准螺母进行校准的机台。

本实施例中，所述校准螺母20上设有一内六角孔。本实施例中的所述校准螺母20的结构与现有技术中的所述校准螺母的结构相同，使得能够通过现有技术中机台而得到本申请的所述机台100，从而降低成本。可以理解的是，所述校准螺母20可以为普通的不设开孔的螺母，或者具有其它多边形开孔的结构。根据所述待校准件的偏移量及偏移方向等相应的对所述校准螺母20进行顺时针或者逆时针转动一定的角度，从而实现对所述待校准件的校准。具体的，通过所述校准螺母20的转动方向控制所述待校准件的移动方向，通过所述校准螺母20的转动角度控制所述待校准件的在移动方向上的移动距离。本实施例中，所述校准螺母20抵靠于所述待校准件的一个端面上，所述校准螺母20转动时，推动所述待校准件沿所述校准螺母20轴向方向进行移动。并且，为了更精确的控制所述待校准件的移动，本实施例中，所述校准螺母20为两个，两个所述校准螺母20分别设于所述待校准件的所述端面的两端。可以理解的是，所述校准螺母20的数量也可以为一个或多个。

所述驱动件30用于驱动所述校准螺母20转动，通过控制所述驱动件30的转动方向及转动角度，从而控制所述校准螺母20的转动方向及转动角度。所述驱动件30可以为能够实现驱动效果的马达或者气缸。本实施例中，所述驱动件30为电动马达，且所述驱动件30为两个，每一个所述驱动件30对应一个所述校准螺母20，分别驱动所述校准螺母20的转动。

所述校准螺母20通过一连接杆24与所述第一传动件21连接。本实施例中，所述连接杆24一端与所述第一传动件21固定，远离所述第一传动件21的另一端为与所述校准螺母20的内六角孔相配合的外六角结构。所述连接杆24远离所述第一传动件21的一端插入所述校准螺母20上的内六角孔内，实现所述校准螺母20与所述第一传动件21的连接。可以理解的是，所述校准螺母20为其它的结构的螺母时，所述第一传动件21与所述校准螺母20的固定方式可以不同。例如，所述连接杆24的两端可以分别与所述校准螺母20及所述第一传动件21通过焊接等方式固定，从而实现所述第一传动件21与所述校准螺母20的连接；或者，直接将所述第一传动件21与所述校准螺母20直接通过螺接或者焊接等方式固定，从而实现所述第一传动件21与所述校准螺母20的连接。本实施例中，所述第一传动件21为一斜齿轮，所述第二传动件31为与所述第一传动件21相啮合的斜齿轮，从而通过所述第二传动件31带动所述第一传动件21的转动，进而通过所述第一传动件21带动所述校准螺母20的转动。

本发明的所述驱动件30与所述控制器40进行电连接。本实施例中，所述控制器40通过传输线分别与两个所述驱动件30电连接。通过给予所述控制器40一控制信号，所述控制信号包括指定所述驱动器30的信号信息、所述驱动件30的转动方向及转动角度等信息。从而通过所述控制器40根据所述控制信号控制指定的所述驱动件30按一定的方向及角度进行转动，从而实现对所述第一传动件21及所述第二传动件31的精准控制，进而实现对所述校准螺母20的转动角度及方向的精准控制，实现对所述待校准件的精准的校准。

进一步的，本实施例中，所述机台100还包括控制终端50。所述控制终端50与所述控制器40电连接。通过所述控制终端50给所述控制器40提供所述控制信号，从而实现对所述校准螺母20的精确控制。通过所述控制终端50能够开启或关闭所述待校准件的校准操作。具体的，在需要对所述待校准件进行校准时，通过所述控制终端50开启校准操作，所述控制终端50向所述驱动件30发送一控制信号，从而控制所述驱动件30的转动，进而控制所述校准螺母20的转动，以完成所述机台的校准。并且，所述控制终端50还包括显示界面51及处理器52，所述显示界面51用于显示所述待校准件的位置等参数信息，并通过所述处理器52判断所述待校准件的位置等参数信息是否在规定值内，若不在规定值内，则能够通过计算等操作得到所述控制信号，并自动将所述控制信号发送至所述控制器40，从而能够实现所述机台100任意时刻的自动校准。可以理解的是，在本发明的其它实施例中，所述控制终端50也可以不包括所述处理器52，可以通过手动向所述控制终端50输入控制信号，并将所述控制信号发送至上所述控制器40。

本发明的所述机台100还包括感应器(图中未示出)。所述感应器能够感应所述待校准件的偏移量从而得到偏移信号，并将所述偏移信号发送至所述控制终端50。所述偏移信号包括所述待校准件的位置等参数信息，所述控制终端50接收包含所述待校准件的位置等参数信息的偏移信号，在所述显示界面51上进行参数显示，并通过所述参数信号对所述控制器40发送所述控制信号，从而实现对于所述机台100的安全、高效、精确且方便快捷的自动化的校准。

请参阅图2，本发明还提供一种机台100的校准方法。本发明实施例中，所述机台100的校准方法包括步骤：

110、提供所述机台100，通过所述控制器40控制所述驱动件30进行转动。具体的，通过给所述控制器40一控制信号，所述控制信号包括指定所述驱动器30的信号信息、所述驱动件30的转动方向及转动角度等信息。所述控制器40根据所述控制信号控制指定的所述驱动件30进行一定方向及一定角度的转动。

本实施例中，给所述控制器40一控制信号具体包括：

所述感应器感应所述待校准件的偏移量从而得到偏移信号，并发送至所述控制终端50。

所述控制终端50接收所述偏移信号并通过所述处理器52进行处理形成所述控制信号，并将所述控制信号发送至所述控制器40。具体的，所述处理器52内预存有所述待校准件的标准位置参数信息，通过将所述偏移信号中包含的所述待校准件的偏移量参数信息与所述待校准件的标准位置参数信息进行比对，若所述待校准件的偏移量参数信息与所述待校准件的标准位置参数信息的差值在阈值范围内，则不形成所述控制信号，即不需要对所述标准件进行校准；若所述待校准件的偏移量参数信息与所述待校准件的标准位置参数信息的差值在阈值范围外，则根据所述待校准件的偏移量参数信息与所述待校准件的标准位置参数信息的差值，通过所述处理器52计算得到包含所述驱动件30的旋转方向及旋转角度的控制信号，再将所述控制信号发送至所述控制器40。

120、所述驱动件30的转动带动所述校准螺母20进行转动。具体的，所述驱动件以一定旋转方向及旋转角度的转动，所述驱动件30的转动带动其上的所述第二传动件31，进而通过所述第二传动件31与所述第一传动件21的传动，带动所述第一传动件21及与所述第一传动件21连接的所述校准螺母20以一定旋转方向及旋转角度的转动。

130、所述校准螺母20转动控制所述待校准件的移动，以实现所述待校准件的校准。具体的，通过所述校准螺母20以一定旋转方向及旋转角度的转动，进而实现所述待校准件以一定方向及以一定的位移进行移动，从而实现所述待校准件的校准。

本发明提供的所述机台100及所述机台100的校准方法，通过给所述控制器40一控制信号，使得所述控制器40控制所述驱动件30，并使所述驱动件30驱动所述校准螺母20转动，再通过所述校准螺母20的转动实现对所述待校准件10的移动，以实现所述待校准件的校准。本发明通过自动化的方式对所述机台100进行自动的校准。相比于现有技术来说，不需要通过人工手持调节件来对调节螺母20进行调节，从而实现所述机台100安全校准。并且，通过自动校准的方式能够快速的实现所述机台100的校准，从而提升了校准操作的效率。进一步的，通过所述感应器及所述控制终端能够对所述待校准件的位置等信息进行监控，当所述待校准件的位置等不符合要求时，能通过所述控制终端实现对所述待校准件的自动校准，保证所述机台100生产得到产品的品质。

以上所述为本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种机台，其特征在于，包括待校准件、校准螺母、驱动件及控制器；所述控制器与所述驱动件电连接，通过所述控制器控制所述驱动件转动；所述驱动件的转动带动所述校准螺母转动；所述校准螺母转动并带动所述待校准件移动以实现对所述待校准件的校准。

2.如权利要求1所述的机台，其特征在于，所述校准螺母上连接有第一传动件，所述驱动件上包括第二传动件，所述第二传动件带动所述第一传动件转动，并通过所述第一传动件带动所述校准螺母的转动。

3.如权利要求2所述的机台，其特征在于，所述第一传动件为斜齿轮，所述第二传动件为与所述第一传动件相啮合的斜齿轮。

4.如权利要求2所述的机台，其特征在于，所述校准螺母通过一连接杆与所述第一传动件连接。

5.如权利要求4所述的机台，其特征在于，所述校准螺母上设有一内六角孔，所述连接杆一端与所述第一传动件固定，远离所述第一传动件的另一端为与所述校准螺母的内六角孔相配合的外六角结构，所述连接杆远离所述第一传动件的一端插入所述校准螺母上的内六角孔内，实现所述校准螺母与所述第一传动件的连接。

6.如权利要求1-5任一项所述的机台，其特征在于，所述机台还包括感应器，所述感应器感应所述待校准件的偏移量。

7.如权利要求6所述的机台，其特征在于，所述机台还包括控制终端，所述控制终端与所述控制器及所述感应器均电连接，通过所述控制终端给所述控制器一控制信号，以使所述控制器控制所述驱动件。

8.一种机台自动校准方法，其特征在于，包括步骤：

提供一种机台，所述机台包括待校准件、校准螺母、驱动件及控制器待校准件驱动件驱动件，并通过所述控制器控制所述驱动件进行转动；

所述驱动件的转动带动所述校准螺母进行转动；

所述校准螺母转动控制所述待校准件的移动，以实现所述待校准件的校准。

9.如权利要求8所述的机台自动校准方法，其特征在于，所述机台还包括控制终端，所述控制终端与所述控制器电连接；所述控制终端给所述控制器发送所述控制信号，所述控制器接收所述控制信号并根据所述控制信号控制所述驱动件的转动，以控制所述校准螺母的转动。

10.如权利要求9所述的机台自动校准方法，其特征在于，所述机台还包括感应器，所述感应器感应所述待校准件的偏移量并得到偏移信号，并将所述偏移信号发送至所述控制终端，所述控制终端根据所述偏移信号形成所述控制信号。