CN107727655A - 一种快速光学校正装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001915 proofreading effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/127—Calibration; base line adjustment; drift compensation
Abstract
本发明涉及光学光源的校正技术领域,具体地指一种快速光学校正装置。用于光学检测设备的光学校正,包括载台,其特征在于:所述的载台上开设有沿多颗CCD相机排列方向布置的滑槽;所述的滑槽内放置有可沿滑槽长度方向滑动的校正板;所述的校正板上设置有用于调整CCD相机角度和高度的第一标示。本发明的调节装置结构简单,校正方便、快速,能够精确调整CCD相机和光源是两者精确配合,提高了面板检测的效率,降低了面板漏检和错检的概率,且校正方式极为简单,具有极大的推广价值。
Description
技术领域
本发明涉及光学校正技术领域,具体地指一种快速校正多个光学相机和光源的装置。
背景技术
光学检测是面板生产流程中的重要环节,目前随着智能手机的飞速发展,面板产量越来越大,需要大幅度提高面板生产检测的效率才能应对日益增长的需求。通常情况下,为了提高面板检测的效率,都是通过增加CCD相机的数量,通过多数量的CCD相机提高单位时间内的检测面积,以此来提高面板检测的效率。但多颗CCD相机的使用会让CCD相机的校准面临多重困难。现有调校方法是以校正片或校正板做单颗光学CCD相机的光源及角度调校,在多颗光学CCD相机应用调校上因动作路径的限制变得难以控制多颗光学CCD相机的一致性,需调校一颗光学CCD相机后再移动校正片(板),费时且又有移动误差。由于无法保证光源的均一性和平整性,会造成自动光学的漏检或是误检,影响整个生产流程的正常进行。
发明内容
本发明的目的就是要解决上述背景技术中提到的现有技术的多颗CCD相机校准方法存在费时、费力,还无法保证校准精度的问题,提供一种快速光学校正装置。
本发明的技术方案为:一种快速光学校正装置,用于光学检测设备的光学校正,包括载台,其特征在于:所述的载台上开设有沿多颗CCD相机排列方向布置的滑槽;所述的滑槽内放置有可沿滑槽长度方向滑动的校正板;所述的校正板上设置有用于调整CCD相机角度和高度的第一标示。
进一步的所述的校正板上还设置有用于调整光源的照射强度和照射角度的第二标示。
进一步的所述的第二标示包括设置于校正板表面的刻度;所述的刻度包含多条沿滑槽长度方向等距间隔平行布置的刻度线,每条刻度线沿滑槽的宽度方向布置。
进一步的第二标示包括设置于校正板表面的多排刻度组,多排刻度沿滑槽的宽度方向间隔布置;每排刻度的相邻两条刻度线间距相等,且与相邻一排刻度中相邻两条刻度线的间距不等。
进一步的所述的校正板表面设置有三排刻度,包括距离第一标示最近的第一排刻度、距离第一标示最远的第三排刻度以及位于第一排刻度、第三排刻度之间的第二排刻度;所述的第一排刻度中相邻两条刻度线间距为150微米;所述的第二刻度中相邻两条刻度线间距为100微米;所述的第三刻度中相邻两条刻度线间距为50微米。
进一步的所述的校正板为透明基板,所述第二标示为金属镀层。
进一步的所述滑槽的深度、直线度和平面度的精度小于±10微米。
进一步的所述的第一标示包括设置于校正板表面的多个沿滑槽长度方向等距间隔排列的对位标靶,所述的对位标靶为十字形结构。
进一步的所述的对位标靶中的十字形结构的两根线条的线条长度为1000微米~1500微米,相邻两个对位标靶的间距小于CCD相机视野范围长度的四分之一。
进一步的所述的载台可拆卸的安装于所述检测设备的检测平台上,且校正板表面与检测平台表面在同一平面上。
本发明的优点有:1、通过设置沿CCD相机排列方向移动的校正板,保证了校正过程中所有CCD相机的X坐标始终统一,校正板移动更加规则,减小了因移动误差造成的错检和漏检;
2、通过设置第一标示能够快速将CCD相机调整至与校正板平行,快速的将所有CCD相机调整至同一高度,调节方式简单,高效;
3、通过设置刻度线能够快速通过刻度线在CCD相机上的读取信息调节照射光源的强度和照射角度,使其与对应的CCD相机保持一致性,保证了CCD相机与光源的精确配合,提高了面板检测的准确率;
4、通过设置三组刻度,能够对照射光源进行三次调节,通过逐步降低刻度线的间距,使调节精度逐渐增加,直至达到CCD相机与照射光源的精确配合,调节方式简单,方便;
本发明的调节装置结构简单,校正方便、快速,能够精确调整CCD相机和光源使两者精确配合,提高了面板检测的效率,降低了面板漏检和错检的概率,且校正方式极为简单,具有极大的推广价值。
附图说明
图1:本发明的校正板与载台安装结构示意图;
图2:本发明的校正板布置于滑槽内的结构示意图;
图3:本发明的校正板表面标示布置结构示意图;
图4:本发明的CCD相机与光源调校示意图;
其中:1—载台;2—CCD相机;3—滑槽;4—校正板;5—光源;6—对位标靶;7—第一刻度;8—第二刻度;9—第三刻度;
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的详细说明。
如图1~4,一种快速光学校正方法,包括载台1,载台1可拆卸的安装于检测设备的检测平台(承载待测物)上。本实施例在载台1上开设有沿多颗CCD相机2排列方向布置的滑槽3,滑槽3的深度、直线度和平面度的精度小于±10微米,滑槽3为上端开口的凹槽结构,滑槽3内放置有可沿滑槽3长度方向滑动的校正板4,校正板4表面与检测平台表面在同一平面上。校正板4为水晶玻璃基板,其长宽高为120毫米*20毫米*4.3毫米,校正板4的宽度比滑槽3的宽度小100微米左右,以便于校正板4在滑槽3内滑动,校正板4的上表面超出于载台1的上表面。
校正板4上设置有用于调整CCD相机2平面角度和高度的第一标示以及用于调整光源5的照射强度和照射角度的第二标示。
如图3所示,第一标示包括设置于校正板4表面的多个沿滑槽3长度方向等距间隔排列的对位标靶6,对位标靶6为两根垂直相交、且长度相等的线条组成的十字形结构,其中一根线条沿滑槽3长度方向布置,另一根沿滑槽3的宽度方向布置。对位标靶6中的线条为校正板4表面镀金属(如镀铬、银等)形成的不透明线条,线条长度为1000~1500微米,相邻两个对位标靶6的间距小于相机视野范围长度的四分之一,保证每个相机能够照射到两个对位标靶6。本实施例的相邻两个对位标靶6之间的间距为20~30毫米。
如图3所示,第二标示包括设置于校正板4表面的刻度,校正板4表面设置有多组刻度,多组刻度沿校正板4的宽度方向间隔布置,每组刻度由多条沿滑槽3长度方向等距间隔排列布置的刻度线组成,每条刻度线沿滑槽3的宽度方向布置,刻度线的宽度为20微米。
本实施例的校正板4上设置有三组刻度,如图3所示,包括距离第一标示最近的第一刻度7、距离第一标示最远的第三刻度9以及位于第一、第三刻度之间的第二刻度8;第一刻度7中相邻两条刻度线间距为150微米;第二刻度8中相邻两条刻度线间距为100微米;第三刻度9中相邻两条刻度线间距为50微米。
第一刻度7的刻度线的长度为5毫米,第二刻度8的刻度线为5毫米,第三刻度9的刻度线为4毫米。
使用时,校对方法包括以下步骤:
1、沿滑槽3的长度方向移动校正板4,使多颗CCD相机2中沿其排列方向的第一颗CCD相机和第二颗CCD相机正对校正板4上的十字形对位标靶6,每个CCD相机至少摄取校正板4上两个对位标靶6,然后根据对位标靶6在第一颗CCD相机和第二颗CCD相机的读取信息调整第一颗CCD相机和第二颗CCD相机,两颗CCD相机的中心连线与两个对位标靶6的中点连线平行,即认为此时第一颗CCD相机和第二颗CCD相机与校正板4平行,且两颗CCD相机位于同一条线;
2、调整第一颗CCD相机直至至少两个第一标示的X坐标相同或Y坐标相同;以及还根据上述调整后的X坐标或Y坐标,调整第二颗CCD相机直至其获取的第一标示具有相同的X坐标或Y坐标,调节两颗CCD相机至同一高度和角度;
3、沿滑槽3的宽度方向移动载台1使第一颗CCD相机和第二颗CCD相机聚焦在校正板4的第一刻度7上,通过第一颗CCD相机获取的第一信号调整与第一颗CCD相机对应的第一光源5的照射强度及照射角度,根据第一信号的强度调整照射强度,根据第一信号的平整性,即相邻刻度线的间距对应的信号幅值的一致性,来调整照射角度;依据上述调节方法,将第一颗CCD相机分别对焦第二、第三刻度线获得对应的信号信息,对第一颗CCD相机进行精细调节。
同样的方法,对第二颗CCD相机对应的第二光源5进行调整,第二颗CCD相机获取的第二光源5照射在第一刻度7上时产生的第二信号,根据调整后的第一信号的强度和平整度,调整第二信号的信号强度和平整度,从而第一光源与第二光源的强度及照射角度皆达到一致。
如此,根据第一颗CCD相机和第二颗CCD相机分别对焦刻度获取的信号,分别调整第一颗CCD相机的第一光源和第二颗CCD相机的第二光源,使得第一光源与第二光源的强度一致,且照射角度一致,依照该模式调节第三、第四以及其余光源。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (10)
1.一种快速光学校正装置,用于光学检测设备的光学校正,包括载台(1),其特征在于:所述的载台(1)上开设有沿多颗CCD相机(2)排列方向布置的滑槽(3);所述的滑槽(3)内放置有可沿滑槽(3)长度方向滑动的校正板(4);所述的校正板(4)上设置有用于调整CCD相机(2)角度和高度的第一标示。
2.如权利1所述的一种快速光学校正装置,其特征在于:所述的校正板(4)上还设置有用于调整光源(5)的照射强度和照射角度的第二标示。
3.如权利2所述的一种快速光学校正装置,其特征在于:所述的第二标示包括设置于校正板(4)表面的刻度;所述的刻度包含多条沿滑槽(3)长度方向等距间隔平行布置的刻度线,每条刻度线沿滑槽(3)的宽度方向布置。
4.如权利3所述的一种快速光学校正装置,其特征在于:第二标示包括设置于校正板(4)表面的多排刻度组,多排刻度沿滑槽(3)的宽度方向间隔布置;每排刻度的相邻两条刻度线间距相等,且与相邻一排刻度中相邻两条刻度线的间距不等。
5.如权利4所述的一种快速光学校正装置,其特征在于:所述的校正板(4)表面设置有三排刻度,包括距离第一标示最近的第一刻度(7)、距离第一标示最远的第三刻度(9)以及位于第一排刻度、第三排刻度之间的第二刻度(8);所述的第一排、刻度(7)中相邻两条刻度线间距为150微米;所述的第二刻度(8)中相邻两条刻度线间距为100微米;所述的第三刻度(9)中相邻两条刻度线间距为50微米。
6.如权利1或2所述的一种快速光学校正装置,其特征在于:所述的校正板(4)为透明基板,所述第二标示为金属镀层。
7.如权利1或2所述的一种快速光学校正装置,其特征在于:所述滑槽(3)的深度、直线度和平面度的精度小于±10微米。
8.如权利1或2所述的一种快速校正多个光学光源的装置,其特征在于:所述的第一标示包括设置于校正板(4)表面的多个沿滑槽(3)长度方向等距间隔排列的对位标靶(6),所述的对位标靶(6)为十字形结构。
9.如权利8所述的一种快速校正多个光学光源的装置,其特征在于:所述的对位标靶(6)中的十字形结构的两根线条的线条长度为1000微米~1500微米,相邻两个对位标靶(6)的间距小于CCD相机(2)视野范围长度的四分之一。
10.如权利8所述的一种快速校正多个光学光源的装置,其特征在于:所述的载台(1)可拆卸的安装于所述检测设备的检测平台上,且校正板(4)表面与检测平台表面在同一平面上。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711188146.3A CN107727655A (zh) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 一种快速光学校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711188146.3A CN107727655A (zh) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 一种快速光学校正装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107727655A true CN107727655A (zh) | 2018-02-23 |
Family
ID=61219102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201711188146.3A Pending CN107727655A (zh) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 一种快速光学校正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107727655A (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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PB01 | Publication | ||
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