CN107523802B - 一种用于化学气相沉积的反应设备 - Google Patents
一种用于化学气相沉积的反应设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107523802B CN107523802B CN201710703718.0A CN201710703718A CN107523802B CN 107523802 B CN107523802 B CN 107523802B CN 201710703718 A CN201710703718 A CN 201710703718A CN 107523802 B CN107523802 B CN 107523802B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bell
- retort
- vapor deposition
- chemical vapor
- consersion unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于化学气相沉积的反应设备,其技术方案要点是包括炉罐、可拆卸连接于炉罐上的炉盖、加热系统、设置在炉盖上的预抽真空系统、冷却系统以及气流循环系统,利用预抽真空系统对炉罐内抽真空,打开冷却系统,利用加热系统升温,直至渗剂中的氯化物开始分解,与铝粉反应形成AlxCly、HCl等气态化合物,气态化合物与热态的叶片表面发生反应,在叶片与气态化合物接触的表面形成金属化合物渗层;同时,在气流循环系统的作用下,气态化合物沿着叶片复杂的内腔与外表面反复流动,从而在叶片表面形成质量稳定的渗层。
Description
技术领域
本发明涉及热处理加工,特别涉及一种用于化学气相沉积的反应设备。
背景技术
发动机高压涡轮导向叶片是航空发动机的重要热端部件,在工作条件下其表面存在高温氧化腐蚀现象,尤其是叶片的内腔腐蚀与氧化已成为发动机设计的一项技术难题。为了提高叶片的可靠性和延长叶片使用寿命,高导叶片内外流道表面同时采用了高温防护技术,即在高导叶片外流道表面制备深度为0.02~0.055mm的渗铝层,内腔制备0.01~0.035mm的渗铝层,从而起到良好的抗高温氧化和抗腐蚀作用。
金属渗层可以通过多种方法制备,如:固体法、气体法、料浆法、化学气相沉积法。1、固体法是将需要涂覆的零件置于容器内,容器用粉状混合物填充。固体法简单,无须使用复杂的夹具和设备,主要是用以制取没有气孔和没有剥落缺陷的高质量均匀涂层。2、料浆法是涂层材料以料浆形式,即以金属氧化物粉末或其他化合物粉末的浓缩悬浮液的形式,喷涂在零件表面上,然后在高温下烧结。料浆法生产效率高,但是也无法用于带有内腔的零件。3、气体法和化学气相沉积法均是用气体法制取涂层,先制成含饱和元素的气态化合物,然后将其输送给零件,经过热分解反应、还原反应、歧化反应或其他输气反应而沉淀出饱和元素的原子,形成涂层。但是气体法不可控,而且渗层深度较浅。
最新研究的化学气相沉积是将反应气体直接通入设备中,通过扩散和对流进入零件内腔气冷通道中的反应气体与灼热的零件内表面进行化学反应,在内腔表面生成沉积或扩散型防护涂层,特别适合于导向叶片组合件气冷内腔防护涂层的制备,但国内化学气相沉积技术才刚刚起步,还需要本领域技术人员从设备上进行深入研究。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种用于化学气相沉积的反应设备,实现了在复杂内腔叶片的内、外表面同时涂覆金属渗层,结构简单合理,工程化应用水平较高。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种用于化学气相沉积的反应设备,包括:
炉罐、可拆卸连接于炉罐上的炉盖、加热系统、预抽真空系统、冷却系统以及气流循环系统;
所述炉罐内设有凸出于炉罐底部的工装以及环设在工装圆周方向的导风筒,所述工装的侧壁上设有第一通孔;
所述炉盖上设有延伸向炉罐内的搅拌风扇、与导风筒相对接的托板,所述托板上设有第二通孔;所述托板、导风筒与工装围合形成风道一,所述导风筒外壁与炉罐内壁之间形成风道二,搅拌风扇在旋转过程中形成气流,气流沿着风道二、风道一、风道二的路径构成气流循环系统;
所述预抽真空系统包括炉盖连接管、与炉盖连接管相连通的真空过滤装置,所述真空过滤装置上连接有用于抽气的机械泵;
所述冷却系统包括冷却管路,所述冷却管路凸出于炉盖的上表面且沿着炉盖的圆周方向环设,所述冷却管路的侧壁上设有用于与外接冷却水相连的进水嘴与出水嘴。
通过采用上述技术方案,将炉盖盖在炉罐上,利用预抽真空系统对炉罐内抽真空,利用加热系统升温,同时打开冷却系统,直至渗剂中的氯化物开始分解,与铝粉反应形成AlxCly、HCl等气态化合物,气态化合物与热态的叶片表面发生反应,在叶片与气态化合物接触的表面形成金属化合物渗层;同时,在气流循环系统的作用下,气态化合物沿着叶片复杂的内腔与外表面反复流动,从而在叶片表面形成质量稳定的渗层。
本发明进一步设置为:所述炉盖的上表面圆心处凸出设有安装座,所述安装座上设有电机,所述电机的电机轴上连接有用于驱动搅拌风扇旋转的转轴。
通过采用上述技术方案,利用电机驱动转轴旋转,带动搅拌风扇进行转动,进而在炉罐内产生气流,气流沿着通道二、通道一、通道二循环旋转,从而实现气流在炉罐内的循环流动。
本发明进一步设置为:所述炉盖朝向炉罐内的一侧凸出设有环形隔热组件,所述环形隔热组件环绕转轴设置,所述环形隔热组件的底壁上凸出设有延伸杆,所述延伸杆远离环形隔热组件的一端与托板相连接。
通过采用上述技术方案,炉罐内设置环形隔热组件,环形隔热组件围设在转轴的圆周方向上,该反应设备在加热过程中,炉罐内温度较高,环形隔热组件具有良好的隔热作用,有效阻挡炉罐内的高温向炉盖方向传递;设置延伸杆将环形隔热组件与托板之间连接,在环形隔热组件与托板之间形成安装搅拌风扇的空间,搅拌风扇在旋转过程中,产生向圆周外侧的离心力,驱动气流向通道二运动。
本发明进一步设置为:所述托板的圆周侧壁上环绕设有向下倾斜的环形边沿,所述环形边沿与托板的底面共同围成用于罩设导风筒上方的敞口的密封罩。
通过采用上述技术方案,当炉盖盖设在炉罐上后,密封罩罩设在导风筒上方的敞口,使得托板与导风筒之间直接对接,进入导风筒内的气流通过第二通孔流出导风筒,有利于提高气流循环系统的流畅性。
本发明进一步设置为:所述安装座内设有冷却空腔,所述安装座的侧壁上设有分别与冷却空腔相连通的进水管与出水管。
通过采用上述技术方案,向进水管内通入冷却水,冷却水经过冷却空腔后,从出水管排出,持续向进水管内通水,实现对安装座起到良好的冷却、降温作用,从而对电机进行较好的保护。
本发明进一步设置为:所述炉盖连接管包括凸出于炉盖上表面的竖管一、垂直于竖管一设置的横管一,所述竖管一贯穿环形隔热组件至与炉罐相连通;所述真空过滤装置包括竖直延伸的过滤管以及设置在过滤管内的滤芯,所述过滤管的侧壁上垂直设有向相反方向延伸的横管二与横管三,所述横管二与横管一通过法兰连接,所述横管三与机械泵相连。
通过采用上述技术方案,炉盖连接管贯穿环形隔热组件,并与炉罐相连通设置,炉罐内部弥漫着粉尘,在机械泵抽气的过程中,滤芯对粉尘起到有效的阻挡作用,防止粉尘从炉罐内部溢出,从而保证预抽真空系统的使用稳定性。
本发明进一步设置为:所述横管二的侧壁上设有用于对炉罐内气压进行放气的放气阀以及用于测量炉罐内真空度的真空硅管。
通过采用上述技术方案,由于炉盖连接管是贯穿于环形隔热组件设置,在炉罐加热过程中,炉罐内气压升高,此时,机械泵处于关闭状态,不能及时排出炉罐内的空气,利用放气阀及时对炉罐内多余的空气排出;利用真空硅管配合机械泵对炉罐内进行抽气,实现对炉罐内真空度的监测。
本发明进一步设置为:所述炉盖上设有用于排出炉盖内气压的排气阀、监测炉盖内气压的压强表以及用于配合安装热电偶以监测炉罐内温度的热电偶安装座。
通过采用上述技术方案,加热时,炉盖内的气体会发生膨胀,利用排气阀及时对炉盖内的气体进行放气,利用压强表实时监测炉盖内的气压情况;在热电偶安装座上安装热电偶,实现监测炉罐内的温度,有利于提高该设备在使用过程中的安全性能。
本发明进一步设置为:所述炉盖的圆周壁上设有连接耳,所述连接耳上设有定位孔,所述炉罐接近罐口的圆周壁上设有双层法兰盘,所述双层法兰盘的下层盘体上设有用于与定位孔插接配合的定位销。
通过采用上述技术方案,利用定位销插接在定位孔内,实现将炉盖盖设在炉罐上,进行初步定位,提高了炉盖安装过程的方便、快捷性。
本发明进一步设置为:所述双层法兰盘沿其圆周方向上均布设有若干个U型缺口一,所述炉盖上沿其圆周方向均布设有若干个与U型缺口一相对的U型缺口二,所述双层法兰盘在U型缺口一内铰接设有紧固螺栓,所述紧固螺栓的非铰接端设有用于将炉盖固定在炉罐上的调节螺帽。
通过采用上述技术方案,待定位销插进定位孔内后,将U型缺口一与U型缺口二相对,转动紧固螺栓依次穿过U型缺口一、U型缺口二,利用调节螺帽旋紧在紧固螺栓上,当调节螺帽与炉盖的上表面紧密抵接后,实现将炉盖进一步稳固在炉罐上。
综上所述,本发明具有以下有益效果:
1、渗层质量稳定:叶片放置在工装上,搅拌风扇在旋转过程中产生气流,气态化合物沿着气流循环系统的路线,在叶片复杂的内腔与外表面反复流动,从而实现在叶片表面形成质量稳定的渗层;
2、安全性高:加热系统对炉罐进行加热,热量会传递至炉盖上,环形隔热组件起到优异的隔热作用,有效隔绝热量向炉盖方向传递;同时,利用冷却系统对炉盖进行冷却、降温,尽可能地降低炉盖上表面的温度,有利于提高该反应设备的安全性;另外,通过设置排气阀、放气阀,分别对炉盖与炉罐内的气压进行调节,提高对该反应设备的灵活调节性,进一步增强该反应设备的使用安全性;
3、使用寿命长:在电机的安装座内设置冷却空腔,持续向进水管与出水管内通水,有利于降低电机附近的温度,延长电机的使用寿命;
4、密封性高:将炉盖盖设在炉罐上时,首先利用定位销与定位孔插接配合进行初步定位,然后将U型缺口一与U型缺口二相对,利用紧固螺栓依次穿过U型缺口一、U型缺口二,并通过调节螺帽旋紧在紧固螺栓上,直至与炉盖的上表面紧密抵接,进一步实现将炉盖盖设在炉罐上。
附图说明
图1是实施例反应设备的结构示意图,用于体现反应设备的外部结构;
图2是实施例反应设备的剖视图,用于体现反应设备的内部结构;
图3是实施例中炉罐的俯视图,用以体现工装的结构;
图4是实施例中炉盖的结构示意图,用于体现密封罩的结构;
图5是实施例中炉盖的结构示意图,用于体现排气管、压力表二、启闭阀、三通阀门的结构关系;
图6是实施例中搅拌风扇的结构示意图;
图7是实施例中炉罐的断面结构示意图,用于体现进水嘴、出水嘴、进水口、出水口、进水管与出水管的结构与位置关系;
图8是实施例中炉罐的剖面结构示意图,用于体现冷却空腔与冷水空腔的位置关系;
图9是用于体现实施例中紧固螺栓、调节螺帽、定位销与定位孔的结构与位置关系。
图中:1、炉罐;101、反应腔;2、炉盖;3、预抽真空系统;4、冷却系统;5、气流循环系统;6、工装;61、底座;611、第一通孔;62、支脚;7、导风筒;8、搅拌风扇;81、扇叶;82、开口;9、托板;91、第二通孔;10、风道一;11、风道二;12、炉盖连接管;121、竖管一;122、横管一;13、真空过滤装置;131、过滤管;132、横管二;133、横管三;14、机械泵;15、冷却管路;16、进水嘴;17、出水嘴;18、安装座;181、冷却空腔;182、进水管;183、出水管;19、电机;20、转轴;21、环形隔热组件;211、环形隔热块;212、环形隔热板;22、隔热腔;23、延伸杆;24、环形边沿;25、密封罩;26、放气阀;27、真空硅管;28、排气阀;29、压强表;30、热电偶安装座;31、连接耳;311、定位孔;32、双层法兰盘;321、上层盘体;322、下层盘体;323、U型缺口一;33、定位销;34、U型缺口二;35、紧固螺栓;36、调节螺帽;37、滤芯;38、压力表一;39、排气管;40、压力表二;41、启闭阀;42、连接管;43、三通阀门;44、控制阀;45、环形槽;46、冷水空腔;47、进水口;48、出水口。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
实施例:
一种用于化学气相沉积的反应设备,如图1和图2所示,包括炉罐1、可拆卸连接于炉罐1上的炉盖2、加热系统(图中未示出)、预抽真空系统3、冷却系统4以及气流循环系统5,预先将金属粉末以及渗剂放置在炉罐1的底部,优选为铝粉、硅粉或者钴粉,然后将炉盖2盖在炉罐1上,并启动预抽真空系统3,对炉罐1内进行抽真空,继而启动加热系统,对炉罐1进行加热,同时打开冷却系统4,有利于炉罐1稳定升温,当达到渗剂中氯化物的分解温度时,氯气与金属粉末反应形成气态氯化物,气态氯化物沿着气流循环系统5的路线,待加工的叶片具有内腔,在叶片的内腔与外表面反复流动,从而实现化学气相沉积镀制质量稳定的渗层。
如图1和图3所示,炉罐1是嵌设在地坑内,加热系统采用天然气火焰对炉罐1的外壁进行加热,炉罐1是采用耐高温合金制造的圆柱体,高温合金优选为GH3039,炉罐1内设有反应腔101,反应腔101内有工装6,工装6包括焊接在炉罐1底面中心的底座61,底座61为圆环体,待加工的叶片放置在底座61上。
如图3所示,底座61的圆周侧壁上水平延伸有支脚62,数量为四个,四个支脚62的上表面与底座61的上端面平齐,形成用于放置导风筒7的水平面,导风筒7在竖直方向上贯穿设置,且导风筒7的直径小于炉罐1的内径。
如图2和图4所示,炉盖2为圆形的盘体,在炉盖2朝向炉罐1的一侧凸出有环形隔热组件21,环形隔热组件21包括环形隔热块211与环形隔热板212,环形隔热块211的直径与导风筒7的直径相近,在环形隔热块211内挖设有若干个水平延伸的隔热腔22,若干个隔热腔22沿着环形隔热块211的厚度方向等间距排布;环形隔热块211的底面延伸有延伸杆23,数量为两个,若干个环形隔热板212水平设置,等间距焊接在延伸杆23上,环形隔热组件21起到良好的隔热作用,减少高温向炉盖2方向的热传递。
如图3和图4所示,延伸杆23穿过环形隔热板212后继续延伸,延伸杆23远离环形隔热块211的一端连接有托板9,托板9的形状为圆盘形,托板9的直径与环形隔热板212的直径相近,托板9的圆周侧壁上设有向下倾斜的环形边沿24,环形边沿24与托板9的底面围设形成密封罩25,当炉盖2盖在炉罐1上时,密封罩25与导风筒7上方的敞口对接。
如图5所示,炉盖2的上表面在圆心处凸出设有安装座18,安装座18上固定设置有电机19,如图4所示,电机19的电机轴上连接有转轴20,转轴20竖直延伸设置,转轴20远离电机19的一端有搅拌风扇8,搅拌风扇8位于环形隔热组件21与托板9之间的间隙内。
如图6所示,搅拌风扇8呈圆环体形,在其圆周侧壁上设有若干个等距排布的扇叶81,相邻扇叶81之间形成开口82,用以供搅拌风扇8旋转产生的气流排出。
如图2所示,托板9的圆心开设有第二通孔91,底座61的圆周壁上开设有第一通孔611,托板9、导风筒7与工装6围合形成风道一10,导风筒7的外壁与炉罐1的内壁之间形成风道二11,气流依次经过风道二11、风道一10,并再次进入风道二11形成气流循环系统5。
如图1和图2所示,预抽真空系统3包括炉盖连接管12、与炉盖连接管12相连通的真空过滤装置13,真空过滤装置13上连接有机械泵14。
如图2所示,炉盖连接12包括竖管一121与横管一122,竖管一121的顶端凸出于炉盖2上表面、底端延伸至环形隔热块211的底面,以使炉盖连接管12与炉罐1内相连通,横管一122垂直于竖管一121的侧壁设置;真空过滤装置13包括竖直延伸的过滤管131以及设置在过滤管131内的滤芯37,过滤管131的侧壁上垂直设置横管二132与横管三133,横管二132与横管三133分别向相反的方向延伸,横管二132与横管一122通过法兰连接,横管三133与机械泵14相连。
如图2和图5所示,竖管一121的顶端安装有压力表一38,用于监测炉罐1内的气压变化;横管二132的侧壁上安装有放气阀26、真空硅管27,在炉罐1加热过程中,气体受热膨胀,炉罐1内的气压会逐渐增大,打开放气阀26进行排气,以保持炉罐1内的所需气压。
如图2和图5所示,炉盖2上凸出设有竖直延伸的排气管39,排气管39与隔热腔22相连通,排气管39的顶端安装有压力表二40以及启闭阀41,排气管39上垂直设有连接管42,连接管42上安装有三通阀门43以及控制阀44,三通阀门43的一个入口端与连接管42相连,另外两个出口端分别与机械泵14、排气阀28相连。
如图7和图8所示,在化学气相沉积过程中,炉罐1的温度极高,通过热传递作用,炉盖2的温度也急剧升高。炉罐1接近罐口的圆周壁上凸出设有双层法兰盘32,双层法兰盘32包括上层盘体321与下层盘体322,上层盘体321的直径小于下层盘体322的直径,在上层盘体321与下层盘体322之间凹陷设有环形槽45,在双层法兰盘32内设有冷水空腔46,在环形槽45的槽壁上设有与冷水空腔46相连通的进水口47与出水口48,通过水循环对炉罐1在罐口处进行降温。
如图7所示,在炉盖2的上表面沿其圆周方向凸出设有冷却管路15,冷却管路15的纵截面形状为正方形,在冷却管路15的侧壁上连接有进水嘴16与出水嘴17,外接冷却水通过进水嘴16流进冷却管路15内,经由冷却管路15的冷却、降温后,从出水嘴17流出,通过水循环实现对炉盖2的降温。
如图7和图8所示,在安装座18内开设有冷却空腔181,安装座18的侧壁上延伸有与冷却空腔181相连通的进水管182与出水管183,外接冷却水从进水管182流进冷却空腔181内,并经过出水管183排出,对安装座18起到有效的降温作用,从而有利于延长电机19的使用寿命。
如图9所示,为了提高炉盖2在炉罐1上的密封性,在炉盖2的圆周壁上设有连接耳31,优选为两个,连接耳31上开设有定位孔311,在下层盘体322上凸出有定位销33,定位销33的竖直高度高于上层盘体321的竖直高度,当进行炉盖2与炉罐1的安装时,通过定位销33与定位孔311的插接配合实现初步定位。
进行初步定位后,在上层盘体321沿其圆周方向上均布设有若干个U型缺口一323,炉盖2上沿其圆周方向均布有若干个与U型缺口一323相对的U型缺口二34,下层盘体322上铰接设置有紧固螺栓35,紧固螺栓35的非铰接端设有调节螺帽36,当U型缺口一323与U型缺口二34相对后,旋转紧固螺栓35依次穿过U型缺口二34、U型缺口一323后,利用调节螺帽36旋在紧固螺栓35上,直至调节螺帽36紧密抵接在炉盖2的上表面,从而实现将炉盖2紧密地盖在炉罐1上。
本具体实施例仅仅是对本发明的解释,其并不是对本发明的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (10)
1.一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于,包括:
炉罐(1)、可拆卸连接于炉罐(1)上的炉盖(2)、加热系统、预抽真空系统(3)、冷却系统(4)以及气流循环系统(5);
所述炉罐(1)内设有凸出于炉罐(1)底部的工装(6)以及环设在工装(6)圆周方向的导风筒(7),所述工装(6)的侧壁上设有第一通孔(611);
所述炉盖(2)上设有延伸向炉罐(1)内的搅拌风扇(8)、与导风筒(7)相对接的托板(9),所述托板(9)上设有第二通孔(91);所述托板(9)、导风筒(7)与工装(6)围合形成风道一(10),所述导风筒(7)外壁与炉罐(1)内壁之间形成风道二(11),搅拌风扇(8)在旋转过程中形成气流,气流沿着风道二(11)、风道一(10)、风道二(11)的路径构成气流循环系统(5);
所述预抽真空系统(3)包括炉盖连接管(12)、与炉盖连接管(12)相连通的真空过滤装置(13),所述真空过滤装置(13)上连接有用于抽气的机械泵(14);
所述冷却系统(4)包括冷却管路(15),所述冷却管路(15)凸出于炉盖(2)的上表面且沿着炉盖(2)的圆周方向环设,所述冷却管路(15)的侧壁上设有用于与外接冷却水相连的进水嘴(16)与出水嘴(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述炉盖(2)的上表面圆心处凸出设有安装座(18),所述安装座(18)上设有电机(19),所述电机(19)的电机轴上连接有用于驱动搅拌风扇(8)旋转的转轴(20)。
3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述炉盖(2)朝向炉罐(1)内的一侧凸出设有环形隔热组件(21),所述环形隔热组件(21)环绕转轴(20)设置,所述环形隔热组件(21)的底壁上凸出设有延伸杆(23),所述延伸杆(23)远离环形隔热组件(21)的一端与托板(9)相连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述托板(9)的圆周侧壁上环绕设有向下倾斜的环形边沿(24),所述环形边沿(24)与托板(9)的底面共同围成用于罩设导风筒(7)上方的敞口的密封罩(25)。
5.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述安装座(18)内设有冷却空腔(181),所述安装座(18)的侧壁上设有分别与冷却空腔(181)相连通的进水管(182)与出水管(183)。
6.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述炉盖连接管(12)包括凸出于炉盖(2)上表面的竖管一(121)、垂直于竖管一(121)设置的横管一(122),所述竖管一(121)贯穿环形隔热组件(21)至与炉罐(1)相连通;所述真空过滤装置(13)包括竖直延伸的过滤管(131)以及设置在过滤管(131)内的滤芯(37),所述过滤管(131)的侧壁上垂直设有向相反方向延伸的横管二(132)与横管三(133),所述横管二(132)与横管一(122)通过法兰连接,所述横管三(133)与机械泵(14)相连。
7.根据权利要求6所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述横管二(132)的侧壁上设有用于对炉罐(1)内气压进行放气的放气阀(26)以及用于测量炉罐(1)内真空度的真空硅管(27)。
8.根据权利要求7所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述炉盖(2)上设有用于排出炉盖(2)内气压的排气阀(28)、监测炉盖(2)内气压的压强表(29)以及用于配合安装热电偶以监测炉罐(1)内温度的热电偶安装座(30)。
9.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述炉盖(2)的圆周壁上设有连接耳(31),所述连接耳(31)上设有定位孔(311),所述炉罐(1)接近罐口的圆周壁上设有双层法兰盘(32),所述双层法兰盘(32)的下层盘体(322)上设有用于与定位孔(311)插接配合的定位销(33)。
10.根据权利要求9所述的一种用于化学气相沉积的反应设备,其特征在于:所述双层法兰盘(32)沿其圆周方向上均布设有若干个U型缺口一(323),所述炉盖(2)上沿其圆周方向均布设有若干个与U型缺口一(323)相对的U型缺口二(34),所述双层法兰盘(32)在U型缺口一(323)内铰接设有紧固螺栓(35),所述紧固螺栓(35)的非铰接端设有用于将炉盖(2)固定在炉罐(1)上的调节螺帽(36)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710703718.0A CN107523802B (zh) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | 一种用于化学气相沉积的反应设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710703718.0A CN107523802B (zh) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | 一种用于化学气相沉积的反应设备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107523802A CN107523802A (zh) | 2017-12-29 |
CN107523802B true CN107523802B (zh) | 2019-04-05 |
Family
ID=60681268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710703718.0A Active CN107523802B (zh) | 2017-08-16 | 2017-08-16 | 一种用于化学气相沉积的反应设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107523802B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020248244A1 (zh) * | 2019-06-14 | 2020-12-17 | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 | 一种二维材料及其制备方法、制备装置及用途 |
CN113798701A (zh) * | 2021-09-28 | 2021-12-17 | 北京理工大学珠海学院 | 燃气轮机叶片打孔方法和燃气轮机叶片打孔系统 |
CN114672761B (zh) * | 2022-03-11 | 2024-06-28 | 沈阳梅特科航空科技有限公司 | 空心叶片内外表面共沉积改性铝化物涂层及其制备工艺 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102719804A (zh) * | 2012-07-02 | 2012-10-10 | 兰州大学 | 气体内循环型热丝cvd金刚石膜生长装置 |
CN204174276U (zh) * | 2014-10-24 | 2015-02-25 | 西安热工研究院有限公司 | 用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备 |
CN204825045U (zh) * | 2015-07-06 | 2015-12-02 | 华能国际电力股份有限公司 | 一种用于制备多元素改性铝化物涂层的化学气相沉积设备 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090317547A1 (en) * | 2008-06-18 | 2009-12-24 | Honeywell International Inc. | Chemical vapor deposition systems and methods for coating a substrate |
-
2017
- 2017-08-16 CN CN201710703718.0A patent/CN107523802B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102719804A (zh) * | 2012-07-02 | 2012-10-10 | 兰州大学 | 气体内循环型热丝cvd金刚石膜生长装置 |
CN204174276U (zh) * | 2014-10-24 | 2015-02-25 | 西安热工研究院有限公司 | 用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备 |
CN204825045U (zh) * | 2015-07-06 | 2015-12-02 | 华能国际电力股份有限公司 | 一种用于制备多元素改性铝化物涂层的化学气相沉积设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107523802A (zh) | 2017-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107523802B (zh) | 一种用于化学气相沉积的反应设备 | |
CN206089789U (zh) | 真空炉主机、真空渗碳炉 | |
JP2009147308A (ja) | 金属有機化学気相蒸着装置 | |
CN109234701A (zh) | 一种化学气相沉积铼层的装置及方法 | |
CN204825045U (zh) | 一种用于制备多元素改性铝化物涂层的化学气相沉积设备 | |
CN106191808A (zh) | 一种化学气相沉积反应器 | |
CN204174276U (zh) | 用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备 | |
CN117466304B (zh) | 氧化亚硅生产设备 | |
CN108317810A (zh) | 一体式粉末混合真空干燥装置及粉末混合干燥系统 | |
CN205856602U (zh) | 一种高效节能式硒化锌气相沉积炉 | |
CN204550789U (zh) | 一种外延用石墨盘清洁炉 | |
CN221117601U (zh) | 一种化学气相沉积炉及碳化物涂层的制备系统 | |
CN206529518U (zh) | 氮化炉 | |
CN115928045A (zh) | 一种刀具涂层喷涂装置及其喷涂工艺 | |
CN206015085U (zh) | 一种化学气相沉积反应器 | |
CN212006700U (zh) | 一种连续式直流超高温电炉 | |
CN109763116B (zh) | 用于cvd设备的双轴正交旋转系统及方法 | |
CN207068813U (zh) | 用于化学气相成膜的晶圆传送腔室及晶圆镀膜设备 | |
CN105088194B (zh) | 一种微波加热的化学气相沉积设备 | |
CN207385486U (zh) | 渗剂发生器 | |
CN214470055U (zh) | 一种仿古陶瓷烤炉 | |
CN117488274B (zh) | 冷凝收集结构及氧化亚硅生产设备 | |
CN213556982U (zh) | 一种连接管道具有支撑结构的化工反应釜 | |
CN206014711U (zh) | 一种石墨件表面沉积碳化硅的装置 | |
CN219907010U (zh) | 一种多晶硅冷氢化反应氢气加热器组件 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |