CN107483064A - 面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端 - Google Patents

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Abstract

本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端使用微波天线接收微波信号，接收到的信号接入基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器进行滤波，同时实现驻波能量收集，并将能量储存于电池之中。而后信号进入自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器，多余能量被再次收集于电池之中，并实现恒幅输出。自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器输出的恒定功率信号进入低噪声放大器并被放大后，依次进入带有本地振荡器的混频器、中频滤波器实现中频输出。储存能量的电池与直流电源并联后，为有源电路供电。这种结构能够收集驻波能量和多余的能量，改善了电磁兼容环境，保护了低噪声放大器，提高了系统的稳定性。

Description

面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端
技术领域
本发明提出了一种面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端，属于微电子机械系统(MEMS)的技术领域。
背景技术
微波通信是直接使用微波作为介质进行的通信，利用微波进行通信具有容量大、质量好的特点，而微波接收机前端是微波通信的重要组成部分。传统的微波接收机前端一般包括微波天线、微波滤波器、低噪声放大器、混频器、本地振荡器和中频滤波器。近年来，随着物联网技术的发展，微波接收机在物联网中的应用越来越多，传统的微波接收机具有的系统不稳定，低噪声放大器易损坏，较大的功耗以及内部具有很强的驻波电磁干扰的问题越来越突出，这对微波接收机前端的性能提出了新的要求。近年来，随着MEMS技术的快速发展，并对MEMS能量收集技术和MEMS滤波器技术进行了深入的研究，使得面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端具有实现的可能。
发明内容
技术问题：本发明的目的是提供一种面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端。接收机使用微波天线接收信号，接入基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器进行滤波，同时达到驻波能量收集，减少驻波电磁干扰的目的。滤波后的信号进入自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器，再次收集多余能量，并通过自检测实现输出信号恒定，同时无需改变后端低噪声放大器的直流偏置点，使得低噪声放大器中不再需要复杂的AGC模块,提高了低噪声放大器的线性度，在微波天线突发性接收到超大的微波信号时，能有效地起到保护低噪声放大器的作用。自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器输出恒定的微波信号进入低噪声放大器放大后，依次进入混频器、中频滤波器，最终实现中频输出。以上被收集的两种能量同时由AC/DC转换模块转换成直流电压后储存于充电电池中，充电电池与直流电源并联后与有源电路相连，实现有源电路的自供电。
技术方案：为解决上述技术问题，本发明提出了一种面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端。该面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端包括:微波天线、基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器、充电电池、自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器、低噪声放大器、混频器、本地振荡器、中频滤波器、直流电源。
微波天线，用来接收微波信号。
基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器，是由LC可调带通滤波器、第一LC可调带阻滤波器、第二LC可调带阻滤波器、第一AC/DC转换模块、第二AC/DC转换模块、微波信号输入端口和微波信号输出端口构成。其中第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器结构完全一样，其阻带的频域与LC带通滤波器通带的频域相同，形成互补，第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器的通带频域与驻波信号的频域相同，可以收集LC可调带通滤波器两端的驻波能量，并且能够实现滤波器滤波频段可调。
充电电池，将基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器的第一AC/DC转换模块、第二AC/DC转换模块、自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器的第三AC/DC转换模块和第四AC/DC转换模块得到的直流电压能量储存在电池之中，同时与直流电源并联，给有源电路实现自供电。
自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器，是由4个共面波导结构、2个悬臂梁和4个极板所构成。主信号线的输入端与地线构成CPW作为信号输入端，第一悬臂梁分别跨在CPW的两个地线上与信号线间悬空，CPW的信号线和地线之间有两个极板分别位于两个第一悬臂梁下面，形成电容式传感器结构；主信号线中部，第二对悬臂梁分别与第一锚区和第二锚区形成悬臂梁悬于信号线上方，形成耦合电容结构，两个第二悬臂梁的第一锚区和第二锚区与地线构成两个支路的传输线CPW，两个锚区分别作为耦合支路的信号线，第二悬臂梁下方锚区和主信号线之间分别有两个下拉极板，第一锚区和第二锚区与地线构成的CPW分别接第三AC/DC转换模块和第四AC/DC转换模块，收集多余的微波能量；主信号线的输出端与地线构成CPW作为信号输出端。自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器把输入的微波信号处理成固定幅度的信号输出，有效的保护了后级电路，同时无需改变后端低噪声放大器的直流偏置点，使得低噪声放大器中不再需要复杂的AGC模块,提高了低噪声放大器的线性度。
低噪声放大器，放大自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器输出的稳定的微波信号，并接入混频器。
混频器，通过与本地振荡器混频，将微波信号变换为中频微波信号。
本地振荡器，产生本地振荡信号。
中频滤波器，滤波后输出中频信号。
有益效果:本发明相对于现有的微波接收机具有以下优点：
1.本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端中包含基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器。所述的滤波器只需要简单的控制电容式悬臂梁的下拉驱动电压的大小，就可以调节滤波器的滤波，不仅操作简单，而且效果明显。此外，本发明中的两个结构完全一样的LC可调带阻滤波器阻带的频域与LC带通滤波器通带的频域相同，形成互补，LC可调带通滤波器的通带频段外的微波信号在其两端形成驻波，第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器的通带频段与驻波信号频段相同，可以收集LC可调带通滤波器两端的驻波，并利用AC/DC转换模块转换成直流电压，最终存储在充电电池中，在滤波的同时，也改善了电路的电磁兼容环境。
2.本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端包含自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器。所述的恒幅器只需要在外加直流电压驱动下，控制悬臂梁对不同输入功率信号的耦合程度，即可保证输出恒定幅度的信号，同时耦合的信号被AC/DC模块转换为直流电压，最终存储在充电电池中。当微波天线接收到超大的信号时，恒幅器把输入的微波信号处理成固定幅度的信号输出，有效的保护了后级低噪声放大器电路，提高了微波接收机前端的抗烧毁水平，此外，无需改变后端低噪声放大器的直流偏置点，使得低噪声放大器中不再需要复杂的AGC模块，提高了低噪声放大器的线性度。
3.充电电池与直流电源并联，给有源电路实现自供电。
附图说明:
图1为本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端的原理框图。
图2是基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器的结构框图。
图3是LC可调带通滤波器的原理图。
图4是第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器的原理图。
图5是LC可调带通滤波器、第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器中的电容式悬臂梁的俯视图。
图6是LC可调带通滤波器、第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器中的电容式悬臂梁的BB’面剖面图。
图7为自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器的俯视图。
图8为自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器AA’方向的剖面图。
图9为自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器BB’方向的剖面图。
面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端的原理框图中包括：微波天线1，基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2，充电电池3，自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4，低噪声放大器5，混频器6，本地振荡器7，中频滤波器8，中频输出9，直流电源32；基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2由LC可调带通滤波器，第一LC可调带阻滤波器10，第二LC可调带阻滤波器11，第一AC/DC转换模块12-1，第二AC/DC转换模块12-2，微波信号输入端口，微波信号输出端口，LC可调带通滤波器和LC可调带阻滤波器均由平面电感和电容式悬臂梁构成；电容式悬臂梁由硅衬底20、下拉电极13、第一段传输线15、第二段传输线14、第二氮化硅介质层16、第一氮化硅介质层17、锚区18和悬臂梁19构成；自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4由主信号线21，第一地线22-1，第二地线22-2，第三地线22-3，第四地线22-4，第一悬臂梁23，第一电容极板24-1，第二电容极板24-2，第二悬臂梁25，第一锚区26-1，第二锚区26-2，第一下拉极板27-1，第二下拉极板27-2，Si3N4介质层28-1，Si3N4介质层28-2，SiO2层29，Si衬底30，第三AC/DC转换模块31-1和第四AC/DC转换模块31-2构成。
具体实施方式
本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端的具体实施方案如下：
本发明提出面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端包括：微波天线1，基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2，充电电池3，自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4，低噪声放大器5，混频器6，本地振荡器7，中频滤波器8，中频输出9，直流电源32。基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2由LC可调带通滤波器，第一LC可调带阻滤波器10，第二LC可调带阻滤波器11，第一AC/DC转换模块12-1，第二AC/DC转换模块12-2，微波信号输入端口，微波信号输出端口，LC可调带通滤波器和LC可调带阻滤波器均由平面电感和电容式悬臂梁构成。电容式悬臂梁由硅衬底20、下拉电极13、第一段传输线15、第二段传输线14、氮化硅介质层16、氮化硅介质层17、锚区18和悬臂梁19构成。自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4由主信号线21，第一地线22-1，第二地线22-2，第三地线22-3，第四地线22-4，第一悬臂梁23，第一电容极板24-1，第二电容极板24-2，第二悬臂梁25，第一锚区26-1，第二锚区26-2，第一下拉极板27-1，第二下拉极板27-2，Si3N4介质层28-1，Si3N4介质层28-2，SiO2层29，Si衬底30，AC/DC转换模块构成。
如图1所示，微波天线1接收到微波信号，该信号经过基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2后，在实现滤波的同时，带通滤波器两端形成的驻波能量会被两端的带阻滤波器的滤波器吸收。而后信号到达下一级的自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4，自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4通过测量悬臂梁与极板之间电容大小实现信号功率大小的检测，并通过耦合梁耦合不同比例的输入信号，使得输出微波信号的幅度恒定。恒定功率的微波信号接入固定增益的低噪声放大器5，而后被放大的微波信号经过混频器6，使该微波信号变频到中频，在经中频滤波器8滤波后，便可得到可以处理的中频信号9。基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2和自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4的AC/DC转换模块分别连接充电电池3，充电电池3与直流电源32并联后，共同为低噪声放大器5，混频器6和本地振荡器7提供能量。
如图2所示，所述的基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器2包括LC可调带通滤波器、第一LC可调带阻滤波器10、第二LC可调带阻滤波器11、第一AC/DC转换模块12-1、第二AC/DC转换模块12-2、微波信号输入端口和微波信号输出端口；其中两个结构完全一样的第一LC可调带阻滤波器10和第二LC可调带阻滤波器11阻带的频域与LC可调带通滤波器通带的频域相同，形成互补，LC可调带通滤波器的通带频段外的微波信号在其两端形成驻波，第一LC可调带阻滤波器10和第二LC可调带阻滤波器11的通带频段与驻波信号频段相同，可以收集LC可调带通滤波器两端的驻波。
如图3所示，所述的LC可调带通滤波器由平面电感L1、平面电感L2和电容式悬臂梁K1、电容式悬臂梁K2构成。其中电容式悬臂梁K1的一端作为微波信号输入端口，另一端连接平面电感L1，电容式悬臂梁K1的金属pad连接地，平面电感L1的另一端与平面电感L2、电容式悬臂梁K2相连，平面电感L2的另一端接地，电容式悬臂梁K1的另一端悬空，电容式悬臂梁K1的金属pad引线作为滤波器的输出端，通过控制电容式悬臂梁K1和电容式悬臂梁K2的下拉驱动电压能够调节接入的电容C1、C2的大小从而调节滤波器的通带频域。
如图4所示，所述的第一LC可调带阻滤波器10和第二LC可调带阻滤波器11由平面电感L2、平面电感L1和电容式悬臂梁K2、电容式悬臂梁K1构成。其中电容式悬臂梁K2的一端作为微波信号输入端口，另一端连接平面电感L2，电容式悬臂梁K2的金属pad连接地，平面电感L2的另一端与平面电感L1、电容式悬臂梁K1相连，平面电感L1的另一端接地，电容式悬臂梁K1的另一端悬空，电容式悬臂梁K1的金属pad引线作为滤波器的输出端，通过控制电容式悬臂梁K1和电容式悬臂梁K1的下拉驱动电压能够调节接入的电容大小从而调节滤波器的通带频域。
如图5是LC可调带通滤波器和LC可调带阻滤波器中的电容式悬臂梁的俯视图，图6是LC可调带通滤波器和LC可调带阻滤波器中的电容式悬臂梁的BB＇面剖面图。如图5、图6所示，LC可调带通滤波器和LC可调带阻滤波器中的电容式悬臂梁在硅衬底20的两端有第一段传输线15和第二段传输线14，在第一段传输线15的内侧上部有第二氮化硅介质层16，在下拉电极13上设有第一氮化硅介质层17，在第二段传输线14上有锚区18，锚区18与悬臂梁19的一端相连，悬臂梁19悬空在第一氮化硅介质层17和第二氮化硅介质层16的上方。
图7、图8和图9是自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器的示意图，所述的自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器4是基于Si衬底30制作的，是由主信号线21、第一地线22-1、第二地线22-2、第三地线22-3、第四地线22-4、第一悬臂梁23、第一电容极板24-1、第二电容极板24-2、第二悬臂梁25、第一锚区26-1、第二锚区26-2、第一下拉极板27-1、第二下拉极板27-2所构成，具体结构的连接关系如下：信号从主信号线21的输入端21-1输入，主信号线21的输入端21-1和第一地线22-1、第二地线22-2构成CPW，第一悬臂梁23分别跨在CPW的第一地线22-1和第二地线22-2上，第一电容极板24-1位于主信号线21和第一地线22-1之间的第一悬臂梁23的正下方，第二电容极板24-2位于主信号线21和第二地线22-2之间的第一悬臂梁23的正下方，这一对极板关于主信号线21对称，在第一悬臂梁23正下方的信号线上和电容极板上还覆盖着一层Si3N4介质层28-1，第二悬臂梁25悬于主信号线21上方分别与第一锚区26-1和第二锚区26-2相连构成悬臂梁结构，第一下拉极板27-1位于主信号线21和第一锚区26-1之间的第二悬臂梁25的正下方，第二下拉极板27-2位于主信号线21和第二锚区26-2之间的第二悬臂梁25的正下方，两个下拉极板关于主信号线21对称，而在第一下拉极板27-1、第二下拉极板27-2以及第二悬臂梁25正下方的信号线上还覆盖着一层Si3N4介质层28-2，第一锚区26-1和第二锚区26-2与地线构成CPW，第一锚区26-1与地线构成的CPW作为耦合支路输出端并连接第三AC/DC转换模块31-1，第二锚区26-2与地线构成的CPW作为耦合支路输出端并连接第四AC/DC转换模块31-2，主信号线(21)的输出端21-2与第三地线22-3、第四地线22-4构成CPW作为输出端，信号从主信号线21的输出端21-2输出。
本发明的面向物联网自供电的悬臂梁微波接收机前端包含基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器。基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器使用LC可调带通滤波器对微波信号进行滤波，LC可调带通滤波器滤波频段外的微波信号会在其两端形成驻波信号，第一LC可调带阻滤波器和第二LC可调带阻滤波器的通带频段与驻波信号频段相同，可以收集LC可调带通滤波器两端的驻波，并利用AC/DC转换模块转换成直流电压，最终存储在充电电池中，而两个结构完全一样的LC可调带阻滤波器阻带的频域与LC带通滤波器通带的频域相同，形成互补，此设计在滤波的同时，也改善了电路的电磁兼容环境。
本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端包含自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器。自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器采用了CPW传输线和悬臂梁结构。自检测部分，利用第一悬臂梁与极板构成电容，由于输入信号对第一悬臂梁的静电力作用使得梁产生下拉位移，通过测梁与极板间电容大小实现输入信号功率的检测；根据在线的电容式功率传感器所测得的功率大小，在外加直流电压控制下，使第二悬臂梁产生下拉位移，从而改变第二悬臂梁与信号线间的耦合电容，不同功率的输入信号被悬臂梁以不同比例耦合出去，实现了信号的恒幅输出，同时，耦合出的能量被AC/DC转换电路收集起来，并储存在电池中；当微波天线接收到超大的信号时，恒幅器把输入的微波信号处理成固定幅度的信号输出，有效的保护了后级低噪声放大器电路，提高了微波接收机前端的抗烧毁水平，此外，无需改变后端低噪声放大器的直流偏置点，使得低噪声放大器中不再需要复杂的AGC模块，提高了低噪声放大器的线性度。
本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端包含充电电池3。充电电池3与直流电源32并联后，为低噪声放大器5，混频器6，本地振荡器7供电，实现有源电路的自供电。
满足以上条件的结构即可视为本发明的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端。

Claims (4)

1.面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端，其特征在于，由微波天线(1)、基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器(2)、充电电池(3)、自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)、低噪声放大器(5)、混频器(6)、本地振荡器(7)、中频滤波器(8)、中频输出(9)构成和直流电源(32)构成；具体结构的连接关系如下：微波天线(1)连接到基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器(2)的输入端，基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器(2)输出端与自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)的输入端相连接，自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)的输出与低噪声放大器(5)的输入相连接，低噪声放大器(5)的输出后级依次连接具有本地振荡器(7)的混频器(6)、中频滤波器(8)，最后得到微波接收机后端可处理的相对稳定的中频信号(9)；基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器(2)的AC/DC转换模块以及自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)的AC/DC转换模块分别连接充电电池(3)，充电电池(3)与直流电源(32)并联后，为低噪声放大器(5)，混频器(6)和本地振荡器(7)提供能量并实现自供电；所述的基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器(2)收集驻波的能量并储存于充电电池(3)中，改善了电磁兼容环境；自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)收集多余能量并储存于充电电池(3)中，有效的保护了后级的低噪声放大器(5)，使得低噪声放大器(5)中不再需要复杂的AGC模块，提高了低噪声放大器(5)的线性度。
2.根据权利要求1所述的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端，其特征在于，基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器是由LC可调带通滤波器、第一LC可调带阻滤波器(10)、第二LC可调带阻滤波器(11)、第一AC/DC转换模块(12-1)、第二AC/DC转换模块(12-2)、微波信号输入端口和微波信号输出端口构成；所述的LC可调带通滤波器、第一LC可调带阻滤波器(10)、第二LC可调带阻滤波器(11)、第一AC/DC转换模块(12-1)和第二AC/DC转换模块(12-2)都为二端口网络；LC可调带通滤波器的输入端连接第一LC可调带阻滤波器(10)输入端；LC可调带通滤波器的输出端连接第二LC可调带阻滤波器(11)输入端；第一LC可调带阻滤波器(10)的输出端连接第一AC/DC转换模块(12-1)的输入端，第一AC/DC转换模块(12-1)的输出端连接充电电池(3)；第二LC可调带阻滤波器(11)的输出端连接第二AC/DC转换模块(12-2)的输入端，第二AC/DC转换模块(12-2)的输出端也连接充电电池(3)；所述的基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器的微波信号从LC可调带通滤波器和第一LC可调带阻滤波器(10)之间的微波信号输入端口输入，从LC可调带通滤波器和第二LC可调带阻滤波器(11)之间的微波信号输出端口输出；所述的第一LC可调带阻滤波器(10)和第二LC可调带阻滤波器(11)结构完全一样，其阻带的频域与LC带通滤波器通带的频域相同，形成互补，以收集LC可调带通滤波器两端的驻波能量。
3.根据权利要求2所述的基于悬臂梁的驻波能量收集可调滤波器，其特征在于，所述的LC可调带通滤波器和LC可调带阻滤波器包括电容式悬臂梁；当传输线(14)作为电容的上极板并作为微波信号输出端口，传输线(15)作为下极板并连接地时，该电容式悬臂梁等效为并联电容；当传输线(14)作为电容的上极板，传输线(15)作为下极板并连接微波信号输出端口时，该电容式悬臂梁等效为串联电容；通过控制电容式悬臂梁的下拉驱动电极(13)上的下拉驱动电压能够调节接入的电容的大小从而调节滤波器的通带频域，使得第一LC可调带阻滤波器(10)和第二LC可调带阻滤波器(11)的通带频段与LC可调带通滤波器两端的驻波信号频段相同，而两个结构完全一样的LC可调带阻滤波器阻带的频域与LC带通滤波器通带的频域相同，形成互补。
4.根据权利要求1所述的面向物联网驻波能量和多余能量收集的悬臂梁接收机前端，其特征在于，所述的自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)是基于Si衬底(30)制作的，是由主信号线(21)、第一地线(22-1)、第二地线(22-2)、第三地线(22-3)、第四地线(22-4)、第一悬臂梁(23)、第一电容极板(24-1)、第二电容极板(24-2)、第二悬臂梁(25)、第一锚区(26-1)、第二锚区(26-2)、第一下拉极板(27-1)、第二下拉极板(27-2)所构成，具体结构的连接关系如下：信号从主信号线(21)的输入端(21-1)输入，主信号线(21)的输入端(21-1)和第一地线(22-1)、第二地线(22-2)构成CPW，第一悬臂梁(23)分别跨在CPW的第一地线(22-1)和第二地线(22-2)上，第一电容极板(24-1)位于主信号线(21)和第一地线(22-1)之间的第一悬臂梁(23)的正下方，第二电容极板(24-2)位于主信号线(21)和第二地线(22-2)之间的第一悬臂梁(23)的正下方，这一对极板关于主信号线(21)对称，在第一悬臂梁(23)正下方的信号线上和电容极板上还覆盖着一层Si3N4介质层(28-1)；第二悬臂梁(25)悬于主信号线(21)上方分别与第一锚区(26-1)和第二锚区(26-2)相连构成悬臂梁结构，第一下拉极板(27-1)位于主信号线(21)和第一锚区(26-1)之间的第二悬臂梁(25)的正下方，第二下拉极板(27-2)位于主信号线(21)和第二锚区(26-2)之间的第二悬臂梁(25)的正下方，两个下拉极板关于主信号线(21)对称，而在第一下拉极板(27-1)、第二下拉极板(27-2)以及第二悬臂梁(25)正下方的信号线上还覆盖着一层Si3N4介质层(28-2)，第一锚区(26-1)和第二锚区(26-2)与地线构成CPW，第一锚区(26-1)与地线构成的CPW作为耦合支路输出端并连接第三AC/DC转换模块(31-1)，第二锚区(26-2)与地线构成的CPW作为耦合支路输出端并连接第四AC/DC转换模块(31-2)，主信号线(21)的输出端(21-2)与第三地线(22-3)、第四地线(22-4)构成CPW作为输出端，信号从主信号线(21)的输出端(21-2)输出；当微波天线接收到超大的信号时，自检测的多余能量收集的悬臂梁恒幅器(4)把输入的微波信号处理成固定幅度的信号输出，有效的保护了后级低噪声放大器(5)，提高了微波接收机前端的抗烧毁水平，此外，无需改变后级低噪声放大器(5)的直流偏置点，使得低噪声放大器(5)中不再需要复杂的AGC模块，提高了低噪声放大器(5)的线性度，同时，耦合出的能量被第三AC/DC转换模块(31-1)和第四AC/DC转换模块(31-2)收集起来，并储存在电池中。
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