CN107395155B - 一种单片集成声表面波时延组件 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种单片集成声表面波时延组件，包括压电基片，压电基片上组成多个时延单元的输入叉指换能器和多个输出叉指换能器,用于选通时延单元的多个金属梁及其固定电极、控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入线、下拉信号输入电极以及输出信号总电极和输出接地总电极，所述多个输出叉指换能器位于输入叉指换能器的一侧且分别与输入叉指换能器保持不同的距离。本发明采用片上集成的时延单元选通互连结构，并采用动态特性与静态特性俱优的微机械式开关作为开关元件，具有结构紧凑、射频损耗小，抗干扰能力强等优点。

Description

一种单片集成声表面波时延组件

技术领域

本发明涉及一种集成声表面波器件，尤其涉及一种单片集成声表面波时延组件，属于微电子技术领域。

背景技术

声表面波器件利用制作在压电基片表面的叉指换能器激发和接收声表面波，完成电信号与声信号以及声信号与电信号的转换，实现对高频信号的处理。在一些应用场合，需要对所处理的信号进行一定量的时间延迟，或对信号因各种因素引起的不同程度的时间延迟进行时延校正，声表面波延迟线就是一种可以将输入电信号延迟一个特定时间再输出的声表面波器件。

声表面波延迟线对电信号进行时延的基本原理是在压电基片上沿声表面波传播方向设置两个叉指换能器，基片一端的输入叉指换能器将输入电信号转换为声信号，声信号沿两个叉指换能器间的基片表面传播，由另一端的输出叉指换能器将声信号还原成电信号输出，信号在此过程中产生一定量的时间延迟，其时延量决定于基片材料的声表面波速度和输入叉指换能器与输出叉指换能器之间的距离。

现行技术中的声表面波延迟线结构上大多只包含一对输入叉指换能器和输出叉指换能器，构成一个时延单元，实现单一时延功能，即对输入信号完成一个固定时延量的处理（专利CN200420048052.8，一种声表面波延迟线；专利CN200410003479.0，具有单相单向结构的声表面波延迟线）。声表面波抽头延迟线在压电基片上采用多个叉指换能器制成不同间隔多个延迟抽头，但其抽头相位和幅度加权采用外部开关电路控制（胡爱民，声表面波信号处理器件的进展与应用，压电与声光，2000,Vol.22，No.4，pp.218-221；廖代材,声表面波抽头延迟线及其应用，《压电与声光》,1984 (5) :85-97），独立封装的声表面波延迟线芯片与片外选通切换电路组装在时延组件基板上，由此带来的不足之处是：

声表面波延迟线各个时延单元与片外选通与切换电路之间的互连结构较为复杂，易产生附加的时延和损耗，抗干扰能力差，且组件整体具有较大体积和重量，不符合电子器件及系统微小型化、便携化的要求；

片外选通与切换电路中的开关元件一般采用半导体开关元件如高频PIN二极管，其固有的开态电阻、反向电流以及寄生参数影响时延单元选通电路的开关性能。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供了一种单片集成声表面波时延组件。

本发明的目的是这样实现的，一种单片集成声表面波时延组件，其特征在于：包括压电基片，制作于压电基片上的输入叉指换能器和若干个输出叉指换能器, 所述若干个输出叉指换能器位于输入叉指换能器的一侧且分别与输入叉指换能器保持不同的距离,所述输入叉指换能器与相距不同的各个输出叉指换能器分别构成不同的时延单元；

所述输入叉指换能器包括输入信号端汇流电极、输入接地端汇流电极、其一端汇集于输入信号端汇流电极的第一金属指电极组、其一端汇集于输入接地端汇流电极的第二金属指电极组，第一金属指电极组包括若干第一金属指电极，第二金属指电极组包括若干第二金属指电极，第一金属指电极组的各个第一金属指电极与第二金属指电极组的各个第二金属指电极相向交叉排列，所述输出叉指换能器包括输出信号端汇流电极、输出接地端汇流电极、其一端汇集于输出信号端汇流电极的第三金属指电极组、一端汇集于输出接地端汇流电极的第四金属指电极组，第三金属指电极组包括若干第三金属指电极，第四金属指电极组包括若干第四金属指电极，第三金属指电极组的各个第三金属指电极与第四金属指电极组的各个第四金属指电极相向交叉排列；

所述压电基片上各个输出叉指换能器的输出信号端汇流电极的外侧从内向外依次为金属梁内侧固定电极、输出信号总电极、金属梁外侧固定电极，所述金属梁内侧固定电极、金属梁外侧固定电极为各个输出叉指换能器的独立电极，所述输出信号总电极为若干个输出叉指换能器的共用电极；

所述各个输出叉指换能器的输出接地端汇流电极的外侧为输出接地总电极，所述输出接地总电极为各个输出叉指换能器的共用电极，各个输出叉指换能器的输出接地端汇流电极与输出接地总电极相连；

所述各组金属梁内侧固定电极和金属梁外侧固定电极上分别制作有金属梁，所述各个金属梁横跨作为其底电极的输出信号总电极，各个金属梁内侧固定电极分别与对应的输出叉指换能器的输出信号端汇流电极相连；

所述输出信号总电极与各个金属梁的交叠区的正下方分别制作有金属梁下拉电极，所述各个金属梁下拉电极的外侧分别制作有与其相连的金属梁下拉电平输入线；

所述各个金属梁下拉电极及对应的金属梁下拉电平输入线与输出信号总电极及对应的金属梁外侧固定电极之间分别制作有绝缘介质隔离层，即在金属梁与输出信号总电极的交叠处从上到下依次为金属梁、输出信号总电极、绝缘介质隔离层、金属梁下拉电极；

所述压电基片的一端制作有金属梁下拉电平输入端口，金属梁下拉电平输入端口包括若干个金属梁下拉电平输入电极，其中的各个金属梁下拉电平输入电极通过对应的金属梁下拉电平输入线与对应的金属梁下拉电极相连；

所述输入叉指换能器的输入信号端汇流电极和输入接地端汇流电极组成时延组件的高频信号输入端口，所述输出信号总电极和输出接地总电极组成时延组件的高频信号输出端口。

若从金属梁下拉电平输入端口的任一金属梁下拉电平输入电极输入金属梁下拉电平，则在对应的金属梁下拉电极和金属梁之间施加下拉电压，下拉金属梁，使其与正下方作为底电极的输出信号总电极相接触，连接对应的输出叉指换能器的输出信号端汇流电极与输出信号总电极，选通由输入叉指换能器和对应的输出叉指换能器组成的时延单元，此时若从时延组件高频信号输入端口输入高频信号，则从时延组件高频信号输出端口输出经所选通的时延单元作一定时间延迟的高频信号。

所述单片集成声表面波时延组件应用于外系统时，若与时延组件输出信号总电极相连的外系统高频信号线设置为直流接地，则由金属梁下拉电平输入端口输入的金属梁下拉电平信号为高电平有效，若与时延组件输出信号总电极相连的外系统高频信号线设置为直流高电平偏置，则由金属梁下拉电平输入端口输入的金属梁下拉电平信号为低电平有效。

本发明结构新颖、便于实现，通过本发明，一种单片集成声表面波时延组件，包括压电基片，压电基片上制作有1个输入叉指换能器和一组N个输出叉指换能器, 所述N个输出叉指换能器位于输入叉指换能器的一侧且分别与输入叉指换能器保持不同的距离；所述输入叉指换能器包括输入信号端汇流电极、输入接地端汇流电极、其一端汇集于输入信号端汇流电极的第一金属指电极组、其一端汇集于输入接地端汇流电极的第二金属指电极组，第一金属指电极组的各个金属指电极与第二金属指电极组的各个指电极相向交叉排列，所述输出叉指换能器包括输出信号端汇流电极、输出接地端汇流电极、其一端汇集于输出信号端汇流电极的第三金属指电极组、一端汇集于输出接地端汇流电极的第四金属指电极组，第三金属指电极组的各个指电极与第四金属指电极组的各个指电极相向交叉排列；所述压电基片上第n输出叉指换能器的输出信号端汇流电极的外侧从内向外依次制作有第n金属梁内侧固定电极、输出信号总电极，第n金属梁外侧固定电极，所述第n金属梁内侧固定电极、第n金属梁外侧固定电极为属于第n输出叉指换能器的独立电极，所述输出信号总电极为N个输出叉指换能器的共用电极，所述n分别取1，2，…，N；所述N个输出叉指换能器的输出接地端汇流电极的外侧制作有输出接地总电极，所述输出接地总电极为各个输出叉指换能器的共用电极，各个输出叉指换能器的输出接地端汇流电极与输出接地总电极相连；第n金属梁内侧固定电极和第n金属梁外侧固定电极上制作有第n金属梁，所述第n金属梁横跨作为其底电极的输出信号总电极，第n金属梁内侧固定电极与第n输出叉指换能器的输出信号端汇流电极相连，所述n分别取1，2，…，N；输出信号总电极与第n金属梁交叠区的正下方制作有第n金属梁下拉电极，所述第n金属梁下拉电极的外侧制作有与其相连的第n金属梁下拉电平输入线，所述n分别取1，2，…，N；所述第n金属梁下拉电极及第n金属梁下拉电平输入线与输出信号总电极及第n金属梁外侧固定电极之间制作有第n绝缘介质隔离层，即在第n金属梁与输出信号总电极的交叠处从上到下依次为第n金属梁、输出信号总电极、第n绝缘介质隔离层、第n金属梁下拉电极，所述n分别取1，2，…，N；所述压电基片的一端制作有金属梁下拉电平输入端口，金属梁下拉电平输入端口包含N个金属梁下拉电平输入电极，其中第n金属梁下拉输入电极通过第n金属梁下拉电平输入线与上述第n金属梁下拉电极相连，所述n分别取1，2，…，N。

所述输入叉指换能器的输入信号端汇流电极和输入接地端汇流电极组成时延组件的高频信号输入端口，所述输出信号总电极和输出接地总电极组成时延组件的高频信号输出端口；

若从金属梁下拉电平输入端口的第n金属梁下拉电平输入电极输入下拉电平，则在第n金属梁下拉电极和第n金属梁之间施加有下拉电压，下拉第n金属梁，使其与正下方作为底电极的输出信号总电极相接触，连接第n输出叉指换能器的输出信号端汇流电极与输出信号总电极，选通由输入叉指换能器和第n输出叉指换能器组成的第n时延单元，此时若从时延组件高频信号输入端口输入高频信号，则从时延组件高频信号输出端口输出经第n时延单元作一定时间延迟的高频信号，所述n分别取1，2，…，N。

所述单片集成声表面波时延组件应用于外系统时，若与时延组件输出信号总电极相连的外系统高频信号线设置为直流接地，则由金属梁下拉电平输入端口输入的下拉电平信号为高电平有效，若与时延组件输出信号总电极相连的外系统高频信号线设置为直流高电平偏置，则由金属梁下拉电平输入端口输入的下拉电平信号为低电平有效。

本发明的具体实施步骤为：

⑴制作各个金属梁下拉电极、金属梁下拉电平输入线、金属梁下拉电平输入电极，主要过程包括涂胶、光刻去除电极结构处的光刻胶胶膜、覆盖金属膜、去胶剥离无电极结构处的金属膜；

⑵制作各个绝缘介质隔离层，主要过程包括涂胶、光刻去除绝缘隔离结构处的光刻胶胶膜、覆盖介质层、去胶剥离无绝缘隔离结构处的介质层；

⑶制作各个输入叉指换能器指电极、输出叉指换能器指电极、信号端汇流电极、接地端汇流电极、输出信号总电极、输出接地总电极、金属梁内侧固定电极种子层、金属梁外侧固定电极种子层，主要过程包括涂胶、光刻去除电极结构处的光刻胶胶膜、覆盖金属膜、去胶剥离无电极结构处的金属膜；

⑷制作金属梁内侧固定电极、金属梁外侧固定电极，主要过程包括；涂胶、光刻去除金属梁固定电极种子层上方的光刻胶胶膜、电镀、去胶；

⑸制作各个金属梁牺牲层，主要过程包括涂胶、光刻去除金属梁牺牲层结构处的光刻胶胶膜、覆盖介质层、去胶剥离无金属梁牺牲层结构处的介质层；

⑹制作金属梁种子层，主要过程包括；涂胶、光刻去除金属梁结构处的光刻胶胶膜、覆盖金属膜、去胶剥离无金属梁结构处的金属膜；

⑺制作金属梁，主要过程包括：涂胶、光刻去除金属梁种子层上方的光刻胶胶膜、电镀、去胶；

⑻去除金属梁介质牺牲层，释放金属梁。

所述压电基片的材料为铌酸锂单晶、或者钽酸锂单晶、或者石英单晶。

所述各个叉指换能器金属指电极、信号端汇流电极、接地端汇流电极、输入信号总电极、输出信号总电极铝铜合金质或者铝质或者金质或者铜质薄膜结构。

所述各个双端固支金属梁以及相应的金属梁内侧固定电极和金属梁外侧固定电极为金质或者铜质厚膜结构。

所述绝缘介质层为薄膜介质层，所用的材料为氮化硅，或者二氧化硅。

3、有益效果

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明在单一基片上集成多个声表面波时延单元的声表面波输入叉指换能器和输出叉指换能器、时延组件的输出信号总电极和输出接地总电极、用于选通时延单元的个组金属梁及其固定电极、控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入线、下拉信号输入电极。本发明中采用片上集成的时延单元选通互连结构，代替常规制作在片外组件基板上的选通互连电路，构成一种单片集成声表面波时延组件，具有结构紧凑、射频损耗小，抗干扰能力强等优点。而在时延单元选通结构中采用动态特性与静态特性俱优的微机械式开关作为开关元件，替代常规使用的半导体开关元件，提高了组件选通结构的开关特性。

在一些应用场合，需要对所处理的信号进行一定量的时间延迟，或对因各种因素引起的不同程度的时间延迟进行时延校正，本发明可以将输入电信号进行不同的时间延迟后输出，各个时延单元的时延量独立设计，片上集成的的组件互连选通结构实现对各个时延单元的独立控制或编码控制，可广泛应用于频率合成、信号识别、扩频跳频通讯等军民用无线通信领域，具有良好的市场应用前景。

附图说明

图1是本发明的总体结构示意图；

图2是图1中A-A方向剖视图；

图3是本发明的时延单元及其叉指换能器结构示意图。

图中：1压电基片、2输入叉指换能器、3输出叉指换能器、4输出信号总电极、5输出接地总电极、6金属梁、7绝缘介质隔离层、8金属梁下拉电平输入端口、21输入信号端汇流电极、22输入接地端汇流电极、23第一金属指电极、24第二金属指电极、31输出信号端汇流电极、32输出接地端汇流电极、33第三金属指电极、34第四金属指电极、61金属梁内侧固定电极、62金属梁外侧固定电极、63金属梁下拉电极、64金属梁下拉电平输入线、65金属梁下拉电平输入电极。

具体实施方式

下面结合附图以及附图说明对本发明做进一步的说明。

如图1、图2和图3所示的一种单片集成4单元声表面波时延组件的结构，包括：

压电基片1，压电基片1为铌酸锂单晶基片；

铌酸锂单晶基片上由1个输入信号端汇流电极21、1个输入接地端汇流电极22、其一端汇集于输入信号端汇流电极21的第一金属指电极组23和其一端汇集于输入接地端汇流电极22且与第一金属指电极组23相向交叉的第二金属指电极组24组合而成的1个输入叉指换能器2；

铌酸锂单晶基片上分别由1个输出信号端汇流电极31、1个输出接地端汇流电极32、其一端汇集于输出信号端汇流电极31的第三金属指电极组33和其一端汇集于输出接地端汇流电极32且与第三金属指电极组33相向交叉的第四金属指电极组32组合而成的4个输出叉指换能器3， 4个输出叉指换能器3位于输入叉指换能器2一侧且与输入叉指换能器2保持不同距离；

4个输出叉指换能器3的输出信号端汇流电极31一侧由内向外分别为金属梁内侧固定电极61、输出信号总电极4、金属梁外侧固定电极62，各个输出叉指换能器3的输出接地端汇流电极32一侧为汇集各个输出接地端汇流电极32的输出接地总电极5；

输入叉指换能器2的输入信号端汇流电极21和输入接地端汇流电极22组成时延组件的高频信号输入端口，输出信号总电极4和输出接地总电极5组成时延组件的高频信号输出端口；

4组金属梁内侧固定电极61和金属梁外侧固定电极62上分别为横跨作为其底电极的输入信号总电极4的4个金属梁6，4个金属梁6的正下方由上向下依次为作为金属梁底电极的输出信号总电极4、绝缘介质隔离层7、金属梁下拉电极63；

铌酸锂单晶基片的一端为包含4个金属梁下拉电极65的金属梁下拉电平输入端口8，4个金属梁下拉电平输入电极65分别通过4根金属梁下拉电平输入线64与对应的金属梁下拉电极63相连。

如图1、图2和图3所示单片集成4单元声表面波时延组件的具体实施步骤，包括：

（1）铌酸锂单晶基片表面旋涂正性光刻胶，光刻去除待制4个金属梁下拉电极、4个金属梁下拉电平输入线、4个金属梁下拉电平输入电极所在处的光刻胶胶膜；

（2）磁控溅射，覆盖铝铜合金膜；

（3）去胶，连同去除覆盖其上的铝铜合金膜，得到4个金属梁下拉电极、4个金属梁下拉电平输入线、4个金属梁下拉电平输入电极；

（4）旋涂正性光刻胶，光刻去除4个绝缘介质隔离层所在处的光刻胶胶膜；

（5）磁控溅射，覆盖氮化硅膜；

（6）去胶，连同去除覆盖于光刻胶胶膜上的氮化硅层，得到4个氮化硅绝缘隔离层；

（7）旋涂正性光刻胶，光刻去除4组输入叉指换能器的金属指电极、信号端汇流电极、接地端汇流电极，4组输出叉指换能器的金属指电极、信号端汇流电极、接地端汇流电极，1个输入接地总电极，1个输出接地总电极所在处的光刻胶胶膜；

（8）磁控溅射，覆盖铝铜合金膜；

（9）去胶，连同去除覆盖其上的铝铜合金膜，得到4组输入叉指换能器的金属指电极、信号端汇流电极、接地端汇流电极，4组输出叉指换能器的金属指电极、信号端汇流电极、接地端汇流电极，1个输入接地总电极，1个输出接地总电极；

（10）旋涂正性光刻胶，光刻去除4组金属梁内侧固定电极、金属梁外侧固定电极所在处的光刻胶胶膜；

（11）磁控溅射，覆盖金膜；

（12）去胶，连同去除覆盖其上的金膜，得到4组金属梁内侧固定电极种子层、金属梁外侧固定电极种子层；

（13）旋涂正性光刻胶，光刻去除4组金属梁内侧固定电极种子层、金属梁外侧固定电极种子层上方的光刻胶胶膜；

（14）电镀厚金膜；

（15）去胶，得到厚金膜的金属梁内侧固定电极、金属梁外侧固定电极；

（16）旋涂正性光刻胶，光刻去除4个金属梁下的金属梁牺牲层所在处的光刻胶胶膜；

（17）淀积覆盖氮化硅厚膜；

（18）去除光刻胶胶膜，连同去除覆盖其上的氮化硅膜，得到4个金属梁的金属梁氮化硅牺牲层；

（19）旋涂正性光刻胶，光刻去除4个金属梁所在处的光刻胶胶膜；

（20）磁控溅射，覆盖金膜；

（21）去胶，连同去除覆盖其上的金膜，得到4个金属梁种子层；

（22）旋涂正性光刻胶，光刻去除4个金属梁种子层上方的光刻胶胶膜；

（23）电镀厚金膜；

（24）去胶；

（25）反应离子刻蚀去除金属梁氮化硅牺牲层，释放4个金梁。

熟知本领域的人士将理解，虽然这里为了便于解释已描述了具体实施例，但是可在不背离本发明精神和范围的情况下做出各种改变。因此，除了所附权利要求之外，不能用于限制本发明。

Claims (3)

1.一种单片集成声表面波时延组件，其特征在于：包括压电基片（1），制作于压电基片（1）上的输入叉指换能器（2）和若干个输出叉指换能器（3）, 所述若干个输出叉指换能器（3）位于输入叉指换能器（2）的一侧且分别与输入叉指换能器（2）保持不同的距离,所述输入叉指换能器（2）与相距不同的各个输出叉指换能器（3）分别构成不同的时延单元；

所述输入叉指换能器（2）包括输入信号端汇流电极（21）、输入接地端汇流电极（22）、其一端汇集于输入信号端汇流电极（21）的第一金属指电极组、其一端汇集于输入接地端汇流电极（22）的第二金属指电极组，第一金属指电极组包括若干第一金属指电极（23），第二金属指电极组包括若干第二金属指电极（24），第一金属指电极组的各个第一金属指电极（23）与第二金属指电极组的各个第二金属指电极（24）相向交叉排列，所述输出叉指换能器（3）包括输出信号端汇流电极（31）、输出接地端汇流电极（32）、其一端汇集于输出信号端汇流电极（31）的第三金属指电极组、一端汇集于输出接地端汇流电极（32）的第四金属指电极组，第三金属指电极组包括若干第三金属指电极（33），第四金属指电极组包括若干第四金属指电极（34），第三金属指电极组的各个第三金属指电极（33）与第四金属指电极组的各个第四金属指电极（34）相向交叉排列；

所述各个输出叉指换能器（3）的输出信号端汇流电极（31）的外侧从内向外依次为金属梁内侧固定电极（61）、输出信号总电极（4）、金属梁外侧固定电极（62），所述金属梁内侧固定电极（61）、金属梁外侧固定电极（62）为各个输出叉指换能器（3）的独立电极，所述输出信号总电极（4）为若干个输出叉指换能器（3）的共用电极；

所述各个输出叉指换能器（3）的输出接地端汇流电极（32）的外侧为输出接地总电极（5），所述输出接地总电极（5）为各个输出叉指换能器（3）的共用电极，各个输出叉指换能器（3）的输出接地端汇流电极（32）与输出接地总电极（5）相连；

所述各组金属梁内侧固定电极（61）和金属梁外侧固定电极（62）上分别制作有金属梁（6），所述金属梁（6）横跨作为其底电极的输出信号总电极（4），各个金属梁内侧固定电极（61）分别与对应的输出叉指换能器（3）的输出信号端汇流电极（31）相连；

所述输出信号总电极（4）与各个金属梁（6）的交叠区的正下方分别制作有金属梁下拉电极（63），所述各个金属梁下拉电极（63）的外侧分别制作有与其相连的金属梁下拉电平输入线（64）；

所述各个金属梁下拉电极（63）及对应的金属梁下拉电平输入线（64）与输出信号总电极（4）及对应的金属梁外侧固定电极（62）之间分别制作有绝缘介质隔离层（7），即在金属梁（6）与输出信号总电极（4）的交叠处从上到下依次为金属梁（6）、输出信号总电极（4）、绝缘介质隔离层（7）、金属梁下拉电极（63）；

所述压电基片（1）的一端制作有金属梁下拉电平输入端口（8），金属梁下拉电平输入端口（8）包括若干个金属梁下拉电平输入电极（65），各个金属梁下拉电平输入电极（65）通过对应的金属梁下拉电平输入线（64）与对应的金属梁下拉电极（63）相连；

所述输入叉指换能器（2）的输入信号端汇流电极（21）和输入接地端汇流电极（22）组成时延组件的高频信号输入端口，所述输出信号总电极（4）和输出接地总电极（5）组成时延组件的高频信号输出端口。

2.根据权利要求1所述的一种单片集成声表面波时延组件，其特征在于：若从金属梁下拉电平输入端口（8）的其中一个金属梁下拉电平输入电极（65）输入金属梁下拉电平，则在与之对应的金属梁下拉电极（63）和金属梁（6）之间施加下拉电压，下拉金属梁（6），使其与正下方作为底电极的输出信号总电极（4）相接触，连接对应的输出叉指换能器（3）的输出信号端汇流电极（31）与输出信号总电极（4），选通由输入叉指换能器（2 ）和对应的输出叉指换能器（3）组成的时延单元，此时若从时延组件高频信号输入端口输入高频信号，则从时延组件高频信号输出端口输出经所选通的时延单元作一定时间延迟的高频信号。

3.根据权利要求1所述的一种单片集成声表面波时延组件，其特征在于：所述单片集成声表面波时延组件应用于外系统时，若与时延组件输出信号总电极（4）相连的外系统高频信号线设置为直流接地，则由金属梁下拉电平输入端口（8）输入的金属梁下拉电平信号为高电平有效，若与时延组件输出信号总电极（4）相连的外系统高频信号线设置为直流高电平偏置，则由金属梁下拉电平输入端口（8）输入的金属梁下拉电平信号为低电平有效。

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