CN107275245A - 一种oled微型显示器快速检验装置及其快速检验方法 - Google Patents

一种oled微型显示器快速检验装置及其快速检验方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种OLED微型显示器快速检验装置及其快速检验方法,其包括用于固定和移动待检验晶圆探针台、位于该探针台上方图像感应器、与图像感应器电连接带有特征数据库的计算机。其检验方法为：先将待检验晶圆装载在探针台上；再通过图像感应器采集该晶圆的图像信息，并将图像信息传输到包含包括特征数据库的计算机；然后由计算机对所获取到的图像进行处理；接着获取缺陷特征数据，通过特征数据库识别记录缺陷特征数据，并输缺陷信息；最后根据缺陷信息分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。通过计算机基于特征数据库对图像感应器获取的图像进行处理，以分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量，实现了自动化缺陷识别和筛选，有效地缩短了检验时间。

Description

一种OLED微型显示器快速检验装置及其快速检验方法
技术领域
本发明涉及OLED微型显示器检验装置及检验方法，更具体地说，涉及一种OLED微型显示器快速检验装置及其快速检验方法。
背景技术
目前OLED微型显示器因能够主动发光、功率较低、且易实现柔性制造，因此广受欢迎；而OLED微型显示器因尺寸小，分辨率高，一般通过肉眼很难对其进行直接地检验，通常需要专业的检验人员将显示器分割为若干区域，手动切换显示图像，此种检验方法检验难度高，花费时间长，并且检验效率低，容易因检验人员的主观因素，导致人为误差的出现。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，提供一种能够解决OLED微型显示器检验时间长，检验易出现误差的快速检验装置及检验方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种OLED显示器的快速检验装置。其包括：用于固定和移动待检验晶圆的探针台；位于所述探针台上方且用于采集所述晶圆像信息的图像感应器；以及与所述图像感应器电连接的计算机，所述计算机包括特征数据库，所述计算机控制所述图像感应器获取图像信息，并基于所述特征数据库对所获取到的图像进行处理、以分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。
优选地，所述探针台包括载物台，所述待测晶圆装载在所述载物台上。
优选地，所述图像感应器为工业相机。
优选地，所述工业相机通过机械平台固定于所述探针台的上方。
本发明还提供了一种OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其包括以下步骤，
S1、将待检验晶圆装载在探针台上；
S2、通过图像感应器采集所述晶圆的图像信息，并将所述图像信息传输到包含包括特征数据库的计算机；
S3、由所述计算机对所获取到的图像进行处理；
S4、获取缺陷特征数据，通过特征数据库识别记录缺陷特征数据，并输出与所述缺陷特征数据相对应的缺陷信息；
S5、根据所述缺陷信息分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。
优选地，在S1步骤中，所述待测晶圆的尺寸为8英寸。
优选地，在S2步骤中，在操作计算机控制工业相机获取图像信息前，按照需要检验的显示器位置，操作所述探针台移动所述晶圆。
优选地，在S3步骤中，所述处理包括进行阈值和空间滤波图像处理。
优选地，在S4步骤中，包括以下步骤：
S4.1、获取缺陷特征数据；
S4.2、将获取到的缺陷特征数据与所述特征数据库中的特征数据进行比对；
S4.3、判断所述缺陷特征数据与所述特征数据库中的特征数据是否存在相同数据特征；
S4.4、当存在与所述特征数据库中的特征数据相同数据特征，进行识别及储存，并输出与所述缺陷特征数据相对应的缺陷信息。
优选地，在S4.4步骤中，还包括以下步骤，
当不存与所述特征数据库中的特征数据相同数据特征，，经人工鉴定后将新的数据特征分类及储存，并输入特征数据库，以完善特征数据库，便于实现自动化缺陷识别及筛选。
实施本发明的一种OLED微型显示器快速检验装置及其快速检验方法，具有以下有益效果：该OLED微型显示器快速检验装置，包括探针台、图像感应器、包括有特征数据库的计算机。该OLED显示器的快速检验装置的检验方法为：先将待检验晶圆装载在探针台上；再通过图像感应器采集所述晶圆的图像信息，并将所述图像信息传输到包含包括特征数据库的计算机；然后由所述计算机对所获取到的图像进行处理；接着获取缺陷特征数据，通过特征数据库识别记录缺陷特征数据，并输出与所述缺陷特征数据相对应的缺陷信息；最后，根据所述缺陷信息分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。该方法通过计算机基于特征数据库中的特征数据对图像感应器获取来的图像进行处理，以分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量，实现了自动化缺陷识别和筛选，有效地缩短了检验时间，提高了工作效率以及减少检验人员因主观因素造成的人为误差。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：
图1是本发明OLED微型显示器快速检验装置的结构示意图；
图2是本发明OLED微型显示器快速检验装置快速检验方法的逻辑框图；
图3是本发明OLED微型显示器快速检验装置快速检验方法中的步骤S4的逻辑框体。
具体实施方式
图1示出了本发明优选实施例中的OLED微型显示器快速检验装置，该OLED微型显示器检验装置包括探针台1、位于该探针台1上方的图像感应器2、以及与该图像感应器2电连接的计算机3。该探针台1可用于固定和移动OLED微型显示器中的晶圆，该图像感应器2通过机械平台固定于探针台1上方，可用于采集固定位置的图像信息，并将采集到的图像信息传输给计算机3；该计算机3可用于控制该图像感应器2进行图像采集。
该探针台1上设有载物台，待检验的晶圆可以装载在该载物台上，且该载物台上用于放置待测物台面尺寸与该待测晶圆的尺寸相适配。
该图像感应器2可以为工业相机，该工业相机通过探针台1上的机械平台固定在探针台上。
该计算机3可以接收该工业相机所采集的图像信息，其内安装有特征数据库，该特征数据库可用于储存和分析特征数据，该计算机3基于该特征数据库对所采集来的图像进行处理，并将缺陷信息输出。
图2示出了本发明优选实施例中，OLED微型显示器检验装置的快速检验方法。
S1、将待测晶圆装载在探针台1上。
具体地，将待测晶圆装载在探针台1的载物台上，并将该待测晶圆固定，接着移动探针台至工业相机镜头下。该待测晶圆为8英寸的硅晶圆，载物台上用于放置待测物台面尺寸与该待测晶圆的尺寸相适配。
S2、通过图像感应器采集所述晶圆的图像信息，并将所述图像信息传输到包含包括特征数据库的计算机。
具体地，根据需要检验的显示器的位置，操作该探针台1慢慢移动该待测晶圆，使得该晶圆上需要检验的地方与相机的镜头对准，操作与该工业相机电连接的计算机3控制工业相机进行获取图像，所获取到的图像信息通过工业相机与计算机3相连的数据端口传入该计算机3。
S3、由所述计算机对所获取到的图像进行处理。
具体地，操作计算机，对采集回的图像进行阈值和空间滤波处理，该阈值处理是将图像的每个像素点根据阈值分为黑白两种颜色，让图像的对比度更高，缺陷越明显。该空间滤波处理是采用滤波处理的图像增强方法，以改善图像质量，使得该图像更容易且更加清晰地显现出缺陷特征，以方便获取缺陷特征。
S4、获取缺陷特征数据，通过特征数据库识别记录缺陷特征数据，并输出与缺陷特征数据相对应的缺陷信息。
参见图3，进一步，在本发明的优选实施例中，在该步骤中还可以分为以下步骤：
S4.1、获取缺陷特征数据。
通过处理后的图像可以确定该晶圆缺陷部分的像素角点，然后进一步计算出该缺陷部分的像素宽度、高度、像素间的水平间距和垂直间距以及像素纹理特征，输出该缺陷特征数据。
S4.2、将获取到的缺陷特征数据与特征数据库中的特征数据进行比对。
在该步骤中，特征数据库中的特征数据为原收集的缺陷的特征数据，每次检验后将该缺陷特征数据记录和储存下来，可以不断地扩大该特征数据库，当缺陷特征数据库中特征数据达到一定数量以后，其自动化识别筛选缺陷的效率和准确率会大大提高。
S4.3、判断所述缺陷特征数据与特征数据库中的特征数据是否存在相同数据特征。
在该步骤中，通过将该缺陷特征数据与特征数据库中原有的缺陷特征数据进行比对，判断出，该缺陷特征数据是否与特征数据库中的特征数据存在相同。可以理解地，若该被检验晶圆的缺陷特征与以往所检验的晶圆的缺陷特征一样，则可以在该特征数据库中找到相同的特征数据；若该被检验晶圆的缺陷特征在该特征数据库中找不到相同的特征数据，则该被检验晶圆的缺陷是一种新的缺陷类型，之前未曾出现过。
S4.4、当存在与特征数据库中的特征数据相同数据特征，进行识别及储存，并输出与缺陷特征数据相对应的缺陷信息。
在该步骤中，当被检验晶圆的特征数据与特征数据库中原有的特征数据存在相同的数据，控制计算机对其进行识别，储存，并将与该缺陷特征数据相对应的缺陷信息输出。
在该步骤中，当不存在与所述特征数据库中的特征数据相同数据特征，需要进行人工鉴定，在专业检验人员鉴定后将新的数据特征分类及储存，并输入特征数据库，以完善特征数据库，便于进行自动化缺陷识别及筛选。
S5、根据缺陷信息分析该被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。
根据输出的缺陷信息，分析出该被检验晶圆的缺陷类型，统计出缺陷数量，进而对该OLED微型显示器的缺陷类型和缺陷数量做出判断，有利于技术人员对其进行修复。
可以理解的，以上实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围；因此，凡跟本发明权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本发明权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1.一种OLED微型显示器快速检验装置，其特征在于，包括：
用于固定和移动待检验晶圆的探针台；
位于所述探针台上方且用于采集所述晶圆像信息的图像感应器；
以及与所述图像感应器电连接的计算机；所述计算机包括特征数据库，所述计算机控制所述图像感应器获取图像信息，并基于所述特征数据库对所获取到的图像进行处理、以分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。
2.根据权利要求1所述的OLED微型显示器快速检验方法，其特征在于，所述探针台包括载物台，所述待测晶圆装载在所述载物台上。
3.根据权利要求1所述的OLED微型显示器快速检验装置，其特征在于，所述图像感应器为工业相机。
4.根据权利要求3所述的OLED微型显示器快速检验装置，其特征在于，所述工业相机通过机械平台固定于所述探针台的上方。
5.一种OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其特征在于，包括以下步骤，
S1、将待检验晶圆装载在探针台上；
S2、通过图像感应器采集所述晶圆的图像信息，并将所述图像信息传输到包含包括特征数据库的计算机；
S3、由所述计算机对所获取到的图像进行处理；
S4、获取缺陷特征数据，通过特征数据库识别记录缺陷特征数据，并输出与所述缺陷特征数据相对应的缺陷信息；
S5、根据所述缺陷信息分析被检验晶圆缺陷类型以及缺陷数量。
6.根据权利要求5所述的OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其特征在于，在S1步骤中，所述待测晶圆的尺寸为8英寸。
7.根据权利要求5所述的OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其特征在于，在S2步骤中，在操作计算机控制工业相机获取图像信息前，按照需要检验的显示器位置，操作所述探针台移动所述晶圆。
8.根据权利要求5所述的OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其特征在于，在S3步骤中，所述处理包括进行阈值和空间滤波图像处理。
9.根据权利要求5所述的OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其特征在于，在S4步骤中，包括以下步骤：
S4.1、获取缺陷特征数据；
S4.2、将获取到的缺陷特征数据与所述特征数据库中的特征数据进行比对；
S4.3、判断所述缺陷特征数据与所述特征数据库中的特征数据是否存在相同数据特征；
S4.4、当存在与所述特征数据库中的特征数据相同数据特征，进行识别及储存，并输出与所述缺陷特征数据相对应的缺陷信息。
10.根据权利要求9所述的OLED微型显示器快速检验装置的快速检验方法，其特征在于，在S4.4步骤中，还包括以下步骤，
当不存与所述特征数据库中的特征数据相同数据特征，，经人工鉴定后将新的数据特征分类及储存，并输入特征数据库，以完善特征数据库，便于实现自动化缺陷识别及筛选。
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