CN107272213B - 一种激光束匀化扩束整形装置 - Google Patents

一种激光束匀化扩束整形装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107272213B
CN107272213B CN201710611914.5A CN201710611914A CN107272213B CN 107272213 B CN107272213 B CN 107272213B CN 201710611914 A CN201710611914 A CN 201710611914A CN 107272213 B CN107272213 B CN 107272213B
Authority
CN
China
Prior art keywords
objective lens
absorption liquid
shaping
collimating
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710611914.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107272213A (zh
Inventor
李霞
陈永权
赵建科
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Original Assignee
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS filed Critical XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority to CN201710611914.5A priority Critical patent/CN107272213B/zh
Publication of CN107272213A publication Critical patent/CN107272213A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107272213B publication Critical patent/CN107272213B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0927Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/095Refractive optical elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

本发明提出一种激光束匀化扩束整形装置,提高了高斯光束的均匀性,保持了光束的相位信息,且不改变激光束的偏振度。该激光束匀化扩束整形装置主要由沿光轴依次设置的激光器、准直镜、整形镜和准直物镜组成;其中,整形镜包括平板玻璃、吸收液体和物镜,所述吸收液体被封闭充满在平板玻璃与物镜之间,物镜与吸收液体接触的面为球面,吸收液体的折射率与物镜的折射率系数相同,吸收液体的吸收系数成反高斯分布,激光束经过整形镜的平板玻璃和吸收液体后,再经整形镜的物镜以及所述准直物镜后,成扩束的均匀平顶高斯光束。

Description

一种激光束匀化扩束整形装置
技术领域:
本发明涉及一种激光扩束整形装置,尤其涉及一种高均匀激光束匀化扩束整形装置。
背景技术:
激光已被广泛应用在各个领域,如激光加工、高密度全息存储、惯性约束核聚变等,激光束的光强分布一般呈高斯分布而非均匀分布。在上述应用领域,光束的非均匀性直接影响着激光加工能力、存储效果和打靶效果等,如何将高斯光束整形成均匀光束是世界上多个国家科技工作者追求的目标,是按当今世界研究的热点之一。
传统整形方案主要有以下三类:
一,采用衍射光学元件整形,这种方法光能利用率高,但是破坏了光束的相位分布,不能完整反应激光的特性。
二,扩大激光束的发散角,采用激光高斯光束中心区域的光耦合利用,这种方法保持了光束的相位信息,缺陷是光能利用率很低。
三,采用光调制器件,这种方式一般通过改变光场的偏振度,实现对光场信息的调制,这种方法也改变了光的特性,且成本较高。
发明内容:
本发明提出一种激光束匀化扩束整形装置,提高了高斯光束的均匀性,保持了光束的相位信息,且不改变激光束的偏振度。
本发明采用的技术解决方案如下:
该激光束匀化扩束整形装置,主要由沿光轴依次设置的激光器、准直镜、整形镜和准直物镜组成;其中,整形镜包括平板玻璃、吸收液体和物镜,所述吸收液体被封闭充满在平板玻璃与物镜之间,物镜与吸收液体接触的面为球面,吸收液体的折射率与物镜的折射率系数相同,吸收液体的吸收系数成反高斯分布,激光束经过整形镜的平板玻璃和吸收液体后,再经整形镜的物镜以及所述准直物镜后,成扩束的均匀平顶高斯光束。
基于以上方案,本发明还做了以下重要优化设计:
所述整形镜与准直物镜的口径匹配;扩束倍率由整形镜的焦距和准直物镜的焦距决定,满足:系统的扩束倍率为f2:f1,其中f1为整形镜的焦距,f2为准直物镜的焦距。
所述整形镜按照以下计算式配置:
设准直的束宽为ω,物镜与吸收液体接触面的曲率半径为ρ,吸收液体的吸收系数为
Figure BDA0001359699370000021
吸收液体的半径为a,离物镜光轴为r处的液体厚度为L(r),则该处的透过率T(r)为:
T(r)=exp[-αL(r)] (1)
Figure BDA0001359699370000022
式中
Figure BDA0001359699370000023
为吸收液体中心厚度。
所述吸收液体采用有机溶液。
所述平板玻璃由熔石英制成。
本发明的优点在于:
利用激光器、准直镜、整形镜、准直物镜的特定组合,并结合吸收液体整形技术,实现了对高斯激光的匀化扩束整形,系统结构简明、性能稳定、成本低廉。
采用该装置,使均匀性相对较低的高斯光束转化为均匀性较好的平顶高斯光束,整形扩束后的激光相位信息未变,偏振信息未变,整形时光能的转换效率高。
附图说明:
图1为本发明的基本结构示意图;
图2为图1中整形镜的细部放大图。
附图标号说明:
1-激光器;2-准直镜;3-整形镜;301-平板玻璃;302-吸收液体;303-物镜;4-准直物镜。
具体实施方式:
如图1所示,本发明主要由激光器1、准直镜2、整形镜3和准直物镜4组成。
工作时,由激光器1发出的激光光束,准直镜2准直后,形成准直光束,经整形镜3后,再经准直物镜4准直后,成均匀的准直扩束激光束。整形镜3由平板玻璃301、吸收液体302和物镜303组成;吸收液体被封闭在整形镜3的平板玻璃和物镜之间,物镜303与吸收液体接触的面为球面,吸收液体的折射率与物镜的折射率系数相同,吸收液体的吸收系数成反高斯分布,激光束经过整形镜3的平板玻璃和吸收液体后,成均匀性较好的平顶高斯光束,经整形镜3中的物镜和准直物镜4后,成扩束的均匀平顶高斯光束。扩束倍率由整形镜3的焦距和准直物镜4的焦距决定,如整形镜3的焦距为f1,准直物镜4的焦距为f2,则系统的扩束倍率为f2:f1,同时保证整形镜3和准直物镜4的口径匹配,也满足扩束倍率的关系,激光束通过扩束系统后不受限。
激光器通过准直镜后,成准直的高斯光束,此高斯光束经过整形镜时,其强度分布如下:若吸收液体的吸收系数为α,离物镜光轴为r处的液体厚度为L(r),则该处的透过率T(r)为:
T(r)=exp[-αL(r)] (1)
若吸收液体的半径为a,物镜与吸收液体接触面的曲率半径为ρ,则
Figure BDA0001359699370000031
式中
Figure BDA0001359699370000032
为吸收液体中心厚度。
Figure BDA0001359699370000033
时,
Figure BDA0001359699370000034
式中,T0=exp[-αL0]为整形镜中心的透过率,由(3)式可知,整形镜径向透过率为反高斯分布。
当准直的束宽为ω,光束中心强度为I0,其径向强度为高斯分布:
Ir=I0exp(-2r22)
当高斯光束通过所设计的整形镜的吸收液体时,其强度分布可表述为:
I(r)≈Ir×Tr=I0T0exp[(ar2/2ρ)-(2r22)]
当吸收系数为
Figure BDA0001359699370000035
的液体充满整形镜空腔时,激光光强分布I可变为:
I≈I0T0
采用上述整形镜可实现对激光光束整形,使激光在通过整形镜平板玻璃和吸收液体后强度分布均匀化。
整个装置后端整体可视为扩束镜,仅对激光光束进行扩束,不改变激光的传输特性。

Claims (3)

1.一种激光束匀化扩束整形装置,其特征在于:由沿光轴依次设置的激光器、准直镜、整形镜和准直物镜组成;其中,整形镜包括平板玻璃、吸收液体和物镜,所述吸收液体被封闭充满在平板玻璃与物镜之间,物镜与吸收液体接触的面为球面,吸收液体的折射率与物镜的折射率系数相同,吸收液体的吸收系数成反高斯分布,激光束经过整形镜的平板玻璃和吸收液体后,再经整形镜的物镜以及所述准直物镜后,成扩束的均匀平顶高斯光束;所述吸收液体采用有机溶液;
所述整形镜按照以下计算式配置:
设准直的束宽为ω,物镜与吸收液体接触面的曲率半径为ρ,吸收液体的吸收系数为
Figure FDA0003729093800000011
吸收液体的半径为a,离物镜光轴为r处的液体厚度为L(r),则该处的透过率T(r)为:
T(r)=exp[-αL(r)] (1)
Figure FDA0003729093800000012
式中,吸收液体中心厚度
Figure FDA0003729093800000013
2.根据权利要求1所述的激光束匀化扩束整形装置,其特征在于:所述整形镜与准直物镜的口径匹配;扩束倍率由整形镜的焦距和准直物镜的焦距决定,满足:系统的扩束倍率为f2:f1,其中f1为整形镜的焦距,f2为准直物镜的焦距。
3.根据权利要求1所述的激光束匀化扩束整形装置,其特征在于:所述平板玻璃由熔石英制成。
CN201710611914.5A 2017-07-25 2017-07-25 一种激光束匀化扩束整形装置 Active CN107272213B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710611914.5A CN107272213B (zh) 2017-07-25 2017-07-25 一种激光束匀化扩束整形装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710611914.5A CN107272213B (zh) 2017-07-25 2017-07-25 一种激光束匀化扩束整形装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107272213A CN107272213A (zh) 2017-10-20
CN107272213B true CN107272213B (zh) 2022-09-09

Family

ID=60079451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710611914.5A Active CN107272213B (zh) 2017-07-25 2017-07-25 一种激光束匀化扩束整形装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107272213B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108845331B (zh) * 2018-06-28 2021-01-12 中国电子科技集团公司信息科学研究院 一种激光雷达探测系统
CN111258076A (zh) * 2018-11-30 2020-06-09 福州高意光学有限公司 一种可实现激光光束匀化功能的光学系统
CN109814267B (zh) * 2019-04-08 2021-06-18 长春理工大学 能够提高耦合效率的芯片式光谱仪前端耦合系统
CN114296245B (zh) * 2021-12-09 2024-03-01 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所) 一种拉曼光束整形装置
CN114791663B (zh) * 2022-04-25 2023-06-20 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 一种基于液体透镜的天文光谱仪相机的消热稳像镜头
CN115061283B (zh) * 2022-06-30 2024-01-30 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种基于全固态反高斯滤光镜的激光光场均匀性整形装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201305480D0 (en) * 2013-03-26 2013-05-08 Wellburn Daniel Laser beam intensity profile modulator for top hat beams
CN204154996U (zh) * 2014-10-30 2015-02-11 北京润和微光科技有限公司 一种将高斯光束整形为平顶光束的光学系统
CN104570363A (zh) * 2015-02-03 2015-04-29 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种高斯激光束整形方法和装置及精密激光微孔加工装置
CN106019608A (zh) * 2016-06-16 2016-10-12 维林光电(苏州)有限公司 一种类高斯平顶光束激光系统
CN207051589U (zh) * 2017-07-25 2018-02-27 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光束匀化扩束整形装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201305480D0 (en) * 2013-03-26 2013-05-08 Wellburn Daniel Laser beam intensity profile modulator for top hat beams
CN204154996U (zh) * 2014-10-30 2015-02-11 北京润和微光科技有限公司 一种将高斯光束整形为平顶光束的光学系统
CN104570363A (zh) * 2015-02-03 2015-04-29 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种高斯激光束整形方法和装置及精密激光微孔加工装置
CN106019608A (zh) * 2016-06-16 2016-10-12 维林光电(苏州)有限公司 一种类高斯平顶光束激光系统
CN207051589U (zh) * 2017-07-25 2018-02-27 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光束匀化扩束整形装置

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Non-tradition-employed lenses";Yude Li等;《Optics Communications》;20150915;第35卷;全文 *
"基于非球面柱透镜的高斯光束整形";史光远;《中国优秀硕士学位论文全文数据库电子期刊信息科技辑》;20150315;全文 *
"激光光束整形的设计和研究";赵为党等;《红外与激光工程》;19990228;第28卷(第1期);全文 *
"高功率固体激光系统中激光空间强度与波前控制技术研究";李森森;《中国博士学位论文全文数据库电子期刊 基础科学辑》;20170215;全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN107272213A (zh) 2017-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107272213B (zh) 一种激光束匀化扩束整形装置
CN103633557B (zh) 一种激光雷达半导体激光光源准直扩束装置
CN204154996U (zh) 一种将高斯光束整形为平顶光束的光学系统
CN101290398A (zh) 一种实现光束均匀化的方法及光学器件
CN106532435A (zh) 一种半导体激光阵列合束装置
CN111965832A (zh) 一种可变倍激光光束整形光学系统
CN114597762A (zh) 一种蓝光半导体激光器合束装置及高亮度蓝光输出方法
Shealy History of beam shaping
CN105189017A (zh) 用于产生具有线状强度分布的激光射线的设备
CN106291949A (zh) 一种激光束的整形装置
CN201247348Y (zh) 一种自聚焦扩束光学准直装置及其系统
CN109633916A (zh) 一种基于bar条的阵列局域空心光束系统
CN104865706A (zh) 一种提高相干合束激光光束质量的装置
CN208904395U (zh) 一种柱面棱镜全反射多冲程泵浦吸收碟片激光器
CN102645755B (zh) 近场多光学捕获装置及方法
CN102520524B (zh) 一种用于激光加工的高功率半导体激光光源系统
CN109613708B (zh) 一种基于双光束结构的局域空心四阱系统
CN101975992B (zh) 基于位相与偏振的焦深扩展的方法和装置
Li et al. Axisymmetric-fold combination laser resonator
CN203838413U (zh) 一种基于棱镜对和柱面镜的消像散光束整形系统
Hu et al. Design of off-axis double reflection freeform miniaturized antenna
CN207051589U (zh) 一种激光束匀化扩束整形装置
CN103887707A (zh) 一种具有大功率高光束质量激光的半导体激光器
CN103901509A (zh) 一种产生单个局域空心光束的led透镜
Brodsky et al. Analytical and practical implementation of anamorphic beam shaping in polar coordinates, spinner system

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant