CN107144383A - 薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种薄膜应力测试装置，包括激光发射模组、激光接收模组和测试平台。所述激光发射模组包括设置于所述测试平台的激光器、分束元件。所述激光接收模组包括设置于所述测试平台图像处理设备。所述测试平台上设置有待测样品。所述激光器发射的激光经所述分束元件后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备接收。所述薄膜应力测试装置能够快速测量大面积衬底的薄膜应力。本发明还进一步提供一种薄膜应力测试装置的薄膜应力测试方法。

Description

薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法

技术领域

本发明涉及应力测试领域，特别是涉及一种薄膜应力测试装置和薄膜应力测试方法。

背景技术

柔性显示设备是指具有可挠曲性的平板显示器件。柔性显示设备具有可弯曲、超低功耗、超轻薄、良好的耐用性以及便于携带等优点。柔性显示应用的推广与器件制作工艺技术、衬底材料等有关。成熟的封装技术也起着至关重要的作用。薄膜封装的效果与衬底上薄膜的应力有着密切的关系。如果薄膜中存在较大的应力，将对薄膜的结构和性质产生重要的影响，从而影响器件的寿命。传统的薄膜应力的测试装置都是针对小面积的衬底上的薄膜应力进行测量，对大面积的衬底测量的工序比较繁琐，无法做到快速对大面积的衬底的薄膜应力进行快速的测量。因此，能够快速对大面积的衬底的薄膜应力的进行测试的技术的研究变得十分重要。

发明内容

基于此，有必要针对传统测试技术无法快速测量大面积衬底的薄膜应力的问题，提供一种能够快速测量大面积衬底的薄膜应力的测试装置。

一种薄膜应力测试装置，包括激光发射模组、激光接收模组和测试平台；

所述激光发射模组包括设置于所述测试平台的激光器、分束元件；

所述激光接收模组包括设置于所述测试平台图像处理设备；

所述测试平台上设置有待测样品；

所述激光器发射的激光经所述分束元件后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备接收。

在其中一个实施例中，所述激光发射模组包括设置于所述测试平台的第一反光镜；

所述激光接收模组包括设置于所述测试平台的第二反光镜；

从所述分束元件射出的二维激光阵列经过所述第一反光镜反射后投射至所述待测样品，经过所述待测样品的反射后再经过所述第二反光镜反射至所述图像处理设备，所述图像处理设备接收激光信号后进行图像处理。

在其中一个实施例中，所述测试平台包括样品台，所述样品台用以承载待测样品并带动待测样品在水平方向运动。

在其中一个实施例中，所述激光接收模组还包括成像元件，所述二维激光阵列经过所述第二反光镜反射至所述成像元件并在所述成像元件表面显示激光斑点，所述图像处理设备拍摄所述激光斑点后进行图像处理。

在其中一个实施例中，所述测试平台包括用以使所述样品台在第一移动方向移动的第一电机和用以使所述样品台在第二移动方向移动的第二电机，所述第一移动方向和所述第二移动方向相互垂直且处于同一平面。

在其中一个实施例中，所述激光接收模组还包括设置于所述样品台一侧的位置调节模块，所述图像处理设备可拆卸设置于所述位置调节模块，所述位置调节模块用以调节所述图像处理设备在所述第二移动方向移动。

在其中一个实施例中，所述位置调节模块包括滑动杆、基座、支撑板，所述基座固定于所述测试台，所述滑动杆沿着所述第二移动方向设置于所述基座，所述支撑板套设于所述滑动杆，所述图像处理设备可拆卸安装于所述支撑板，所述滑动杆用以驱动所述支撑板在所述第二移动方向运动。

一种薄膜应力测试方法，采用所述的薄膜应力测试装置，包括：

S100，将衬底样品固定于所述样品台，移动所述样品台以采集所述衬底样品的多个区域的第一图像信息；

S200，在所述衬底样品表面形成薄膜以获得封装衬底样品，多次移动所述样品台以再次采集所述多个区域的第二图像信息；

S300，对所述第一图像信息和所述第二图像信息进行处理，以获得所述薄膜的应力。

在其中一个实施例中，进一步包括预先对所述薄膜应力测试装置进行调试的步骤，包括：

S010，调试光路，使得所述图像处理设备采集到的图像处于视场的中心位置；

S020，等待所述激光器的激光功率处于稳定状态。

在其中一个实施例中，所述S100包括：

S110，沿着第一移动方向多次移动所述样品台以多次采集衬底样品进入所述图像处理设备视场的区域的图像信息；

S120，保持衬底相对所述样品台的固定位置不变，使所述样品台在第二移动方向多次移动并多次采集衬底样品进入所述图像处理设备视场的区域的图像信息。

上述薄膜应力测试装置，在激光器和图像处理设备之间设置分束元件，使从激光器射出的激光形成二维激光阵列。二维激光阵列能够覆盖大面积的衬底样品，同时具有多个采样点采集衬底样品的信息。因此所述薄膜应力测试装置能够快速测量大面积衬底的薄膜应力。

附图说明

图1为本发明实施例提供的薄膜应力测试装置的结构及光路图；

图2为本发明实施例提供的薄膜应力测试方法的流程图；

图3为本发明实施例提供的薄膜应力测试方法中S100前预先对所述薄膜应力测试装置进行调试的流程图；

图4为本发明实施例提供的薄膜应力测试方法中采集所述衬底样品的多个区域的第一图像信息的流程图；

附图标记说明：

薄膜应力测试装置10、激光发射模组100、激光器110、第一反光镜120、分束元件130、激光接收模组200、第二反光镜210、成像元件220、图像处理设备230、镜头231、测试平台300、样品台310、第一电机320、第二电机330、固定架400、卡合结构410、插孔411、平板结构420、位置调节模块500、滑动杆510、基座520、支撑板530、支撑杆531。

具体实施方式

请参见图1，本发明实施例提供一种薄膜应力测试装置10。所述薄膜应力测试装置10包括激光发射模组100、激光接收模组200和测试平台300。

所述激光发射模组100包括设置于所述测试平台300的激光器110、分束元件130。所述激光接收模组200包括设置于所述测试平台300图像处理设备230。所述测试平台300上设置有待测样品。所述激光器110发射的激光经所述分束元件130后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备230接收。所述分束元件130将激光分成的二维激光阵列具有多个激光点，能够同时在待测样品表面采集多个样点进行结构分析。同时二维激光阵列能够覆盖待测样品较大的面积，减少了采集图像信息的次数。因此所述薄膜应力测试装置10能够快速测量大面积待测样品的薄膜应力。

所述激光器110发射的激光经所述分束元件130后被分成二维激光阵列。所述二维激光阵列经过所述第一反光镜120反射后投射至放置在所述测试平台300的待测样品。所述二维激光阵列经过待测样品的反射后再经过所述第二反光镜210反射至所述图像处理设备230。所述图像处理设备230接收激光信号后进行图像处理。

所述激光器110发射的激光经过所述分束元件、所述第一反光镜120、所述样品台310、所述第二反光镜210构成的光路后被所述图像处理设备230接收。通过图像处理设备230采集经过待测样品反射后的激光形成的图像分析待测样品结构的变化，可以得到待测样品曲率半径，通过待测样品封装前和待测样品薄膜封装后的曲率半径可以通过函数关系计算得到薄膜应力。

所述激光器110用于发射激光。在一个实施例中，所述激光器110可以选择型号为SPL-HN8.0R的激光器110：功率为8mW，光斑直径为0.7mm，发散角小于1.3mrad，功率不稳定性小于3％。

所述分束元件130用以将单束的激光分成多束激光，从而可以获得二维激光阵列。所述二维激光阵列的截面能够覆盖一定的面积。所述二维激光阵列能够同时形成多个采样点，进而能够反映待测样品表面多个点的结构状况。从而能够较少测试的时间，提高测试效率。优选地，所述分束元件130可以为二维Holoor激光分束器：光束数量为9x9，激光波长632.8，角度为，透镜尺寸为25.4mm。

所述图像处理设备230用以采集图像信息进行光电信息的转换。所述图像处理设备230抓取图像信息的视场具有一定的范围。优选地，所述图像处理设备230可以为CCD相机，CCD是电荷耦合器件charge coupled device的简称。它能够将光线变为电荷并将电荷存储及转移，也可将存储之电荷取出使电压发生变化。CCD相机具有体积小、重量轻、不受磁场影响、具有抗震动和撞击的优点。

在其中一个实施例中，所述激光发射模组100包括设置于所述测试平台300的第一反光镜120。所述激光接收模组200包括设置于所述测试平台300的第二反光镜210。从所述分束元件130射出的二维激光阵列经过所述第一反光镜120反射后投射至所述待测样品，经过所述待测样品的反射后再经过所述第二反光镜210反射至所述图像处理设备230，所述图像处理设备230接收激光信号后进行图像处理。待测待测

所述第一反光镜120和所述第二反光镜210可以用来反射所述二维激光阵列。通过所述第一反光镜120和所述第二反光镜210能够改变光路的路径。所述第一反光镜120和所述第二反光镜210能够根据测试设备的位置和实验空间灵活调整光路。优选地，所述第一反光镜120和所述第二反光镜210使用对所述激光器110发射的激光波段反射率较高的介质薄膜反射镜。激光的入射角可以为45度。

在其中一个实施例中，所述测试平台300包括样品台310，所述样品台310用以承载待测样品并带动待测样品在水平方向运动。所述样品台310可以在所述测试平台300的表面移动。在其中一个实施例中，所述样品台310用以将设置在样品台310上的待测样品移动至图像处理设备230的视场范围内。所述样品台310上可以设置上有用以固定待测样品的固定元件。所述样品台310在平面的移动方向可以根据待测样品的大小和形状进行控制。

放置在可以移动的所述样品台310的待测样品可以适时改变位置从而可以使待测样品的不同部分进入图像处理设备230的视场内。所述薄膜应力测试装置10能够在不改变待测样品与所述样品台310相对位置的情况下连续对待测样品的不同部位进行图像采集，因此所述薄膜应力测试装置10能够快速测量大面积待测样品的薄膜应力。

在其中一个实施例中，所述激光接收模组200还包括成像元件220。所述二维激光阵列经过所述第二反光镜210反射至所述成像元件220并在所述成像元件220表面显示激光斑点。所述图像处理设备230拍摄所述激光斑点后进行图像处理。

所述成像元件220用以显示经过待测样品和所述第二反光镜210反射的二维激光阵列的斑点。所述图像处理设备230可以抓取反射到所述成像元件220表面的所有二维激光阵列斑点。当激光的功率过高时，从所述第二反光镜210反射的二维激光阵列在所述图像处理设备230无法直接成像。因此通过在所述成像元件220表面成像。能够减弱激光的强度，同时使所述二维激光阵列斑点显示更为清晰。优选地，所述成像元件220可以为表面为白色的材质构成。

在其中一个实施例中，所述图像处理设备230设置有镜头231。所述成像元件220与所述镜头231间隔相对设置。

所述镜头231用以接收光线并在所述图像处理设备230中成像。所述镜头231具有一定的视场范围。所述成像元件220设置的位置应当以使所述二维激光阵列斑点恰好都在所述镜头231的范围内为准。优选地，所述成像元件220与所述镜头231间隔设置并相互平行。

在其中一个实施例中，所述测试平台300设置有多个固定架400。所述激光器110、所述分束元件130、所述第一反光镜120、所述第二反光镜210、所述成像元件220分别可拆卸安装于所述的多个固定架400。

所述固定架400用以固定所述激光器110、所述分束元件130、所述第一反光镜120、所述第二反光镜210、所述成像元件220。所述固定架400的一端固定于所述测试平台300。所述固定架400还设置有卡合结构410。所述卡合结构410可以用以固定元件。所述卡合结构410的高度可以调节。设置在卡合结构410上的各个元件的高度也可以调节。光路调节时，所述卡合结构410的高度调节也是重要的一个环节。所述卡合结构410可以设置有插孔411。各个元件可以插入所述插孔411。所述卡合结构410也可以设置于平板结构420。在一个实施例中，所述固定架400固定有平板420。所述卡合结构410安装于所述平板结构420。所述激光器110水平安装于所述卡合结构410。

在其中一个实施例中，所述薄膜应力测试装置10包括用以使所述样品台310在第一移动方向移动的第一电机320和用以使所述样品台310在第二移动方向移动的第二电机330。所述第一移动方向和所述第二移动方向相互垂直且处于同一平面。

将待测样品设置在所述样品台310以后，通过所述样品台310的移动可以改变待测样品的位置。所述第一电机320可以控制所述样品台310在所述第一移动方向运动。所述第二电机330可以控制所述样品台310在所述第二移动方向运动。由于所述第一移动方向和所述第二移动方向相互垂直且处于同一平面。所述第一移动方向和所述第二移动方向可以构成一个二维平面。所述样品台310上的某一点到达所述二维平面的任一位置。因此设置于所述样品台310的待测样品的任一部分都可以移动到所述图像处理设备230的视场内。在其中一个实施例中，所述第一电机320和所述第二电机330可以为步进电机。

在其中一个实施例中，所述激光接收模组200还包括设置于所述测试平台300靠近所述样品台310一侧的位置调节模块500。所述图像处理设备230可拆卸设置于所述位置调节模块500并朝向所述样品台310。所述位置调节模块500用以调节所述图像处理设备230在所述第二移动方向移动。所述图像处理设备230在所述第二移动方向移动可以覆盖设置在第二移动方向的部分待测样品。所述图像处理设备230的移动增加所述图像处理设备230抓取图像的灵活性。

在其中一个实施例中，所述位置调节模块500包括滑动杆510、基座520、支撑板530。所述基座520固定于所述测试台。所述滑动杆510沿着所述第二移动方向设置于所述基座520。所述支撑板530套设于所述滑动杆510。所述图像处理设备230可拆卸安装于所述支撑板530，所述滑动杆510用以驱动所述支撑板530在所述第二移动方向运动。

所述基座520可以为U形结构。所述滑动杆510架设在所述U形结构的中间。所述滑动杆510可以为螺纹杆。所述滑动杆510可以通过螺纹传递动力使所述支撑板530在所述第二移动方向运动。所述支撑板530可以设置有多个螺纹孔。所述螺纹孔设置在所述支撑板530不同的高度。所述螺纹孔可以插入支撑杆531。所述支撑杆531的端部可以安装所述图像处理设备230。将所述支撑杆531的插入不同的螺纹孔即可调整所述图像处理设备230的高度。

在其中一个实施例中，所述位置调节模块500设置有第三电机340。所述第三电机340用以驱动所述滑动杆510带动所述支撑板530在所述滑动杆510的长度方向位移。所述第三电机340的驱动轴可以与所述滑动杆510相连。所述滑动杆510表面可以设置有螺纹。所述第三电机340将动力传递给所述滑动杆510。所述滑动杆510可以通过螺纹将动力传递给支撑板530使所述支撑板530在所述滑动杆510的长度方向位移。优选地，所述第三电机340可以为伺服电机。伺服电机控制精度高，使得所述图像处理设备230的位置调整更灵活。

请参见图2，本发明实施例还提供了一种采用如前所述的薄膜应力测试装置10的薄膜应力测试方法。所述膜应力测试方法包括以下步骤：

S100，将衬底样品固定于所述样品台310，移动所述样品台310以采集所述衬底样品的多个区域的第一图像信息；

S200，在所述衬底样品表面形成薄膜以获得封装衬底样品，多次移动所述样品台310以再次采集所述多个区域的第二图像信息；

S300，对所述第一图像信息和所述第二图像信息进行处理，以获得所述薄膜的应力。

步骤S100中，将未封装衬底样品固定于所述样品台310并将所述未封装衬底样品分成多个区域进行图像信息采集，多次移动所述样品台310以采集所述未封装衬底样品的所述多个区域的第一图像信息。所述未封装衬底样品的面积较大而所述图像处理设备230可成像的视场无法覆盖所述未封装衬底样品的全部面积时，可以将所述未封装衬底样品分成所述多个区域。将所述多个区域依次移动至所述图像处理设备230的视场内多次采集图像信息。待将所述多个区域的第一图像信息全部采集完毕后。可以将未封装衬底样品从所述样品台310取出。

步骤S200中，通过在衬底样品上通过原子层沉积ALD、等离子体增强化学气相沉积法PECVD等对所述衬底样品进行薄膜封装。将所述封装衬底样品的所述多个区域再次进行所述第二图像信息的采集。

请参见图3，在其中一个实施例中，进一步包括预先对所述薄膜应力测试装置进行调试的步骤，包括：

S010，调试光路，使得所述图像处理设备230采集到的图像处于视场的中心位置；

S020，等待所述激光器110的激光功率处于稳定状态。

在步骤S010中，连接电源,打开激光器110，调试由所述激光器110、所述分束组件130、所述第一反光镜120、所述样品台310、所述第二反光镜210所述图像处理设备230组成的光路。使得所述图像处理设备230采集到的图像处于视场的中心位置。

在步骤S020中，所述激光器110开启后产生的激光的功率并不稳定。需要经过约30分钟左右的时间使所述激光器110产生的激光的功率达到稳定的状态。

请参见图4，在其中一个实施例中，所述S100还可以包括以下步骤：

S110，沿着第一移动方向多次移动所述样品台310以多次采集衬底样品进入所述图像处理设备230视场的区域的图像信息；

S120，保持衬底相对所述样品台310的固定位置不变，使所述样品台310在第二移动方向多次移动并多次采集衬底样品进入所述图像处理设备230视场的区域的图像信息。

步骤S110中，在其中一个实施例中，衬底样品可以为矩形。开始采集图像信息时，可以将衬底样品的一角放置在所述图像处理设备230的视场内。第一次图像信息采集完成后。所述第一电机320使衬底样品沿着第一移动方向运动。待下一个区域进入所述视场后，再次进行图像信息采集。然后再次使衬底样品沿着第一移动方向运动，以此类推，直至衬底样品在第一移动方向所在的长度的区域的图像信息采集完毕。可以理解，在整个行进过程中，被所述图像处理设备230采集过信息的衬底样品的区域为具有宽度的带状区域。

步骤S120中，衬底样品在第一移动方向的长度行进到尽头后。所述第二电机320开始工作。使衬底样品在第二运动方向多次运动并多次采集图像信息。可以理解。在本次采集信息完毕后，衬底样品被采集信息的区域构成了一个L形的带状区域。

当完成衬底样品第一个L形的带状区域的图像信息采集后。使衬底样品再沿着所述第一移动方向移动一定距离使已经采集图像的区域离开视场。然后使衬底样品再次沿着所述第二移动方向的反方向运动进行图像采集。待图像采集的区域与所述第一移动方向已经进行过图像采集的区域相接后，再次使衬底样品沿着所述第一移动方向运动。如此被采集图像信息的衬底样品的区域再次形成一个嵌套在第一个L形区域内部的小的L形区域。如此循环下去，直至采集到整个衬底样品的图像信息。

在其中一个实施例中，所述S300还包括以下步骤：

S310，通过对未封装衬底样品的所述第一图像信息和封装衬底样品的所述第二图像信息处理分析得到所述未封装衬底样品和所述封装衬底样品的曲率半径。封装后的衬底样品内部会产生应力。所述应力会对所述衬底样品的曲率半径造成影响。二维激光阵列在所述衬底样品封装前和封装后的斑点成像的间距会发生变化。通过对所述第一图像信息和所述第二图像信息分析计算可以得到所述衬底样品封装前和封装后的曲率半径。

S320,利用薄膜应力的大小与所述未封装衬底样品和所述封装衬底样品具有的函数关系进行资料分析得到薄膜应力。

假设在薄膜厚度远小于衬底样品厚度、基底和薄膜材料各向同性且杨氏模量相近等情况下，利用力平衡、力矩平衡等方法对薄膜曲率变化与应力关系的推导得到公式(1)。其基本原理是通过对比封装前后衬底样品曲率半径的变化来确定薄膜中应力的大小。因此，可以通过衬底样品曲率半径变化计算薄膜应力。

式中t代表厚度、E为弹性模量、v为泊松比，而下标s、f分别对应着衬底样品和薄膜，R₀、R₁分别为长膜前后的曲率半径。通过该公式计算可以得到所述薄膜应力。

当衬底样品为柔性材料时，柔性衬底样品结构的杨氏模量相差较大，无法满足(1)式的假设条件，可以利用薄膜与衬底样品受应力后的力矩平衡关系对公式(1)进行修正以提高计算的准确度。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种薄膜应力测试装置，其特征在于，包括激光发射模组(100)、激光接收模组(200)和测试平台(300)；

所述激光发射模组(100)包括设置于所述测试平台(300)的激光器(110)、分束元件(130)；

所述激光接收模组(200)包括设置于所述测试平台(300)图像处理设备(230)；

所述测试平台(300)上设置有待测样品；

所述激光器(110)发射的激光经所述分束元件(130)后被分成二维激光阵列，所述二维激光阵列投射至所述待测样品，经过所述待测样品反射被所述图像处理设备(230)接收。

2.如权利要求1所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述激光发射模组(100)包括设置于所述测试平台(300)的第一反光镜(120)；

所述激光接收模组(200)包括设置于所述测试平台(300)的第二反光镜(210)；

从所述分束元件(130)射出的二维激光阵列经过所述第一反光镜(120)反射后投射至所述待测样品，经过所述待测样品的反射后再经过所述第二反光镜(210)反射至所述图像处理设备(230)，所述图像处理设备(230)接收激光信号后进行图像处理。

3.如权利要求2所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述测试平台(300)包括样品台(310)，所述样品台(310)用以承载待测样品并带动待测样品在水平方向运动。

4.如权利要求2所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述激光接收模组(200)还包括成像元件(220)，所述二维激光阵列经过所述第二反光镜(210)反射至所述成像元件(220)并在所述成像元件(220)表面显示激光斑点，所述图像处理设备(230)拍摄所述激光斑点后进行图像处理。

5.如权利要求3所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述测试平台(300)包括用以使所述样品台(310)在第一移动方向移动的第一电机(320)和用以使所述样品台(310)在第二移动方向移动的第二电机(330)，所述第一移动方向和所述第二移动方向相互垂直且处于同一平面。

6.如权利要求5所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述激光接收模组(200)还包括设置于所述样品台(310)一侧的位置调节模块(500)，所述图像处理设备(230)可拆卸设置于所述位置调节模块(500)，所述位置调节模块(500)用以调节所述图像处理设备(230)在所述第二移动方向移动。

7.如权利要求6所述的薄膜应力测试装置，其特征在于，所述位置调节模块(500)包括滑动杆(510)、基座(520)、支撑板(530)，所述基座(520)固定于所述测试台(300)，所述滑动杆(510)沿着所述第二移动方向设置于所述基座(520)，所述支撑板(530)套设于所述滑动杆(510)，所述图像处理设备(230)可拆卸安装于所述支撑板(530)，所述滑动杆(510)用以驱动所述支撑板(530)在所述第二移动方向运动。

8.一种薄膜应力测试方法，采用如权利要求1-7中任一项所述的薄膜应力测试装置，包括：

S100，将衬底样品固定于所述样品台(310)，移动所述样品台(310)以采集所述衬底样品的多个区域的第一图像信息；

S200，在所述衬底样品表面形成薄膜以获得封装衬底样品，多次移动所述样品台(310)以再次采集所述多个区域的第二图像信息；

S300，对所述第一图像信息和所述第二图像信息进行处理，以获得所述薄膜的应力。

9.如权利要求8所述的薄膜应力测试方法，其特征在于，进一步包括预先对所述薄膜应力测试装置进行调试的步骤，包括：

S010，调试光路，使得所述图像处理设备(230)采集到的图像处于视场的中心位置；

S020，等待所述激光器(110)的激光功率处于稳定状态。

10.如权利要求8所述的薄膜应力测试方法，其特征在于，所述S100包括：

S110，沿着第一移动方向多次移动所述样品台(310)以多次采集衬底样品进入所述图像处理设备(230)视场的区域的图像信息；

S120，保持衬底相对所述样品台(310)的固定位置不变，使所述样品台(310)在第二移动方向多次移动并多次采集衬底样品进入所述图像处理设备(230)视场的区域的图像信息。