CN107092299A - 一种1mw高频感应电源功率的远程调节装置及方法 - Google Patents
一种1mw高频感应电源功率的远程调节装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107092299A CN107092299A CN201710119521.2A CN201710119521A CN107092299A CN 107092299 A CN107092299 A CN 107092299A CN 201710119521 A CN201710119521 A CN 201710119521A CN 107092299 A CN107092299 A CN 107092299A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- voltage
- high frequency
- frequency induction
- control
- induction power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05F—SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
- G05F1/00—Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
- G05F1/66—Regulating electric power
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M9/00—Aerodynamic testing; Arrangements in or on wind tunnels
- G01M9/02—Wind tunnels
- G01M9/04—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/02—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating changes of state or changes of phase; by investigating sintering
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
- G05B19/054—Input/output
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M7/00—Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
- H02M7/02—Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/10—Plc systems
- G05B2219/11—Plc I-O input output
- G05B2219/1101—Remote I-O
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Immunology (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Control Of Electrical Variables (AREA)
Abstract
本发明公开了一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置及方法,包括PLC数据运算控制器、PLC数据采集模块、PLC输出控制模块、电压转光纤模块、光纤转电压模块、电压转换模块、高频感应电源控制电路和栅极电压电流测量模块。本发明将感应电源对应的工作电压、电流与电源功率值比较,PLC数据运算控制器根据差值重新调整直流电压信号输出,能够快速有效的对高频感应电源的运行功率进行实时调节和控制,减少因为实验人员在手动操作过程中,通过肉眼观察电流电压变化产生的判断延时所导致的控制滞后,保证了试验过程中加热器工作状态的稳定和加热功率的准确。
Description
技术领域
本发明涉及一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置及方法,属于气动热地面模拟试验设备领域。
背景技术
高频感应加热风洞使用的是高频感应加热器,它是利用高频感应-耦合的方式将能量传输给工作气体,不用电极,不存在电极烧损问题,因此高频感应加热风洞是当前唯一能够提供高化学纯净、无污染、高温、高速气流环境的地面模拟设备。
高频感应加热器,它的特点是:电弧功率可以很大(达到50MW量级,或者更大),喷管尺度也较大,因此比较适宜做大部件防热材料的烧蚀试验和热结构试验,但由于电弧加热器使用的是水冷铜电极,铜电极在放电过程中产生烧损是不可避免的,从而污染了高温流场,所以铜电极污染是电弧加热风洞的固有弊端,当防热层表面温度不太高时,就会由于铜或铜化合物蒸汽冷凝于防热层表面而影响到试件表面的催化活性、材料辐射系数以及其他与传热-传质等有关的材料物理性能,气流污染导致了试件防热能力的试验结果偏离正确数值,由此所产生的实验偏差降低了实验的可靠性。
高频感应电源,又称高频发生器,是高频感应加热风洞的核心设备之一,属于特种技术设备,是高频感应加热器核心单元。
目前对于高频感应电源功率的调节还使用传统的手动旋钮电位计调节方式,该方式的缺点在于控制精度不高,响应速度慢,操作人员靠近试验现场,高频感应电源工作中所产生的电磁辐射会对人体造成比较大的人身伤害。
发明内容
本发明的技术解决问题:为克服现有技术的不足,提供一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置及方法,实现对高频感应电源的运行功率进行实时调节和控制。
本发明的技术解决方案:
一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,包括PLC数据运算控制器、PLC数据采集模块、PLC输出控制模块、电压转光纤模块、光纤转电压模块、电压转换模块、高频感应电源控制电路和栅极电压电流测量模块;
上位机将电源功率值赋给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电源功率值转换为直流电压信号,将直流电压信号传递给PLC输出控制模块,PLC输出控制模块将直流电压信号输出给电压转光纤模块,电压转光纤模块将电压信号转换为光信号,光信号经远距离传输至光纤转电压模块,光纤转电压模块将接收到的光信号转换为原电压信号,将原电压信号传输给电压转换模块,电压转换模块将原电压控制信号转换为高频感应电源控制电路所使用的0~-12V直流电压控制信号,将0~-12V直流电压控制信号传输给高频感应电源控制电路,作为高频感应电源控制电路的放大信号,调节1MW高频感应电源输入端电压、电流至对应的工作电压、电流,进而控制高频感应电源功率的升降;
栅极电压电流测量模块实时对高频感应电源对应的工作电压、电流进行测量,并将电压、电流测量值反馈给PLC数据采集模块,PLC数据采集模块将电压、电流测量值传输给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电压、电流测量值与电源功率值比较,如果误差高于0.1%,则PLC数据运算控制器根据差值重新调整直流电压信号输出,直至将电源输出功率误差控制在0.1%以内。
高频感应电源控制电路包括主振荡线圈、振荡回路和栅极反馈线圈,振荡回路将0~-12V直流电压控制信号通过主振荡线圈逐级放大至1MW高频感应电源对应的工作电压、电流,并通过栅极反馈线圈反馈至栅极电压电流测量模块。
高频感应电源工作电压、电流经高频感应电源控制电路调节后,工作电压通过整流和升频振荡,供高频感应加热器生成高温等离子体,进行热烧蚀试验。
直流电压信号为0~10V。
电压转换模块中的模块电源、信号输入和信号输出采用三点隔离方式,隔离电压≥2000V。
一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,具体步骤为:
(1)控制给定:将电源功率值赋给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电源功率值转换为直流电压信号,将直流电压信号传递给PLC输出控制模块;
(2)光纤传输及转换:PLC输出控制模块将直流电压信号输出给电压转光纤模块,电压转光纤模块将电压信号转换为光信号,光信号经远距离传输至光纤转电压模块,光纤转电压模块将接收到的光信号转换为原电压信号,将原电压信号传输给电压转换模块;
(3)高频感应电源功率控制:电压转换模块将原电压控制信号转换为高频感应电源控制电路所使用的0~-12V直流电压控制信号,将0~-12V直流电压控制信号传输给高频感应电源控制电路,作为高频感应电源控制电路的放大信号,调节1MW高频感应电源输入端电压、电流至对应的工作电压、电流,进而控制高频感应电源功率的升降;
(4)高频感应电源电压、电流反馈监测:栅极电压电流测量模块实时对高频感应电源对应的工作电压、电流进行测量,并将电压、电流测量值反馈给PLC数据采集模块;
(5)高频感应电源电压、电流运行再调节控制:PLC数据采集模块将电压、电流测量值传输给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电压、电流测量值与电源功率值比较,如果误差高于0.1%,则PLC数据运算控制器根据差值,调整直流电压信号输出,重复步骤1~4,直至将电源输出功率误差控制在0.1%以内。
本发明与现有技术相比具有如下有益效果:
(1)本发明将感应电源对应的工作电压、电流与电源功率值比较,PLC数据运算控制器根据差值重新调整直流电压信号输出,能够快速有效的对高频感应电源的运行功率进行实时调节和控制,减少因为实验人员在手动操作过程中,通过肉眼观察电流电压变化产生的判断延时所导致的控制滞后,保证了试验过程中加热器工作状态的稳定和加热功率的准确;
(2)本发明采用光纤信号传输的方式,通过电压~光纤转换模块将控制电压信号转换为光纤信号进行传输,能够大幅降低高频感应电源运行时,控制回路因高频振荡产生的电磁干扰,保护控制主体设备的安全和整个控制系统信号的正确与稳定。
附图说明
图1为本发明装置示意图;
图2为本发明高频感应电源结构示意图;
图3为本发明高频感应电源控制电路示意图;
图4为本发明流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细的描述。
本发明涉及一种1MW高频感应加热器感应电源功率的远程调节,用于在气动热地面模拟试验中,通过控制系统PLC输出0~5v直流电压控制信号,直流电压信号为0~10V,对高频感应电源的运行功率进行实时调节和控制,并将感应电源栅极电压和电流值进行反馈比较,防止在启动/停止过程中电流电压上升率太大,引起过压和过流,并与模拟调节的快速性非常接近,确保高频感应加热器的安全运行,具体实现方式如下。
一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,如图1所示,包括PLC数据运算控制器、PLC数据采集模块、PLC输出控制模块、电压转光纤模块、光纤转电压模块、电压转换模块、高频感应电源控制电路和栅极电压电流测量模块;
上位机将电源功率值赋给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电源功率值转换为直流电压信号,将直流电压信号传递给PLC输出控制模块,PLC输出控制模块将直流电压信号输出给电压转光纤模块,电压转光纤模块将电压信号转换为光信号,光信号经远距离传输至光纤转电压模块,光纤转电压模块将接收到的光信号转换为原电压信号,将原电压信号传输给电压转换模块,电压转换模块将原电压控制信号转换为高频感应电源控制电路所使用的0~-12V直流电压控制信号,将0~-12V直流电压控制信号传输给高频感应电源控制电路,作为高频感应电源控制电路的放大信号,调节1MW高频感应电源输入端电压、电流至对应的工作电压、电流,进而控制高频感应电源功率的升降;
栅极电压电流测量模块实时对高频感应电源对应的工作电压、电流进行测量,并将电压、电流测量值反馈给PLC数据采集模块,PLC数据采集模块将电压、电流测量值传输给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电压、电流测量值与电源功率值比较,如果误差高于0.1%,则PLC数据运算控制器根据差值重新调整直流电压信号输出,直至将电源输出功率误差控制在0.1%以内。
如图3所示,高频感应电源控制电路包括主振荡线圈、振荡回路和栅极反馈线圈,振荡回路将0~-12V直流电压控制信号通过主振荡线圈逐级放大至1MW高频感应电源对应的工作电压、电流,并通过栅极反馈线圈反馈至栅极电压电流测量模块。
如图2所示,高频感应电源工作电压、电流经高频感应电源控制电路调节后,工作电压通过整流和升频振荡,供高频感应加热器生成高温等离子体,进行热烧蚀试验。
一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,如图4所示,具体步骤为:
(1)控制给定:将电源功率值赋给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电源功率值转换为直流电压信号,将直流电压信号传递给PLC输出控制模块;
(2)光纤传输及转换:PLC输出控制模块将直流电压信号输出给电压转光纤模块,电压转光纤模块将电压信号转换为光信号,光信号经远距离传输至光纤转电压模块,光纤转电压模块将接收到的光信号转换为原电压信号,将原电压信号传输给电压转换模块;
(3)高频感应电源功率控制:电压转换模块将原电压控制信号转换为高频感应电源控制电路所使用的0~-12V直流电压控制信号,将0~-12V直流电压控制信号传输给高频感应电源控制电路,作为高频感应电源控制电路的放大信号,调节1MW高频感应电源输入端电压、电流至对应的工作电压、电流,进而控制高频感应电源功率的升降;
(4)高频感应电源电压、电流反馈监测:栅极电压电流测量模块实时对高频感应电源对应的工作电压、电流进行测量,并将电压、电流测量值反馈给PLC数据采集模块;
(5)高频感应电源电压、电流运行再调节控制:PLC数据采集模块将电压、电流测量值传输给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电压、电流测量值与电源功率值比较,如果误差高于0.1%,则PLC数据运算控制器根据差值,调整直流电压信号输出,重复步骤1~4,,直至将电源输出功率误差控制在0.1%以内。
电压转换模块中的模块电源、信号输入和信号输出采用三点隔离方式,隔离电压≥2000V,能够在高频电源控制电路出现意外击穿故障时,有效保护光纤转电压模块,确保光纤转电压模块在高频环境下的使用安全。
具体的,栅极电压电流测量模块采用标准0~20mA直流电流输出,电源控制系统采用大板结构,将控制电源和控制电路集中在一块板上,电压转光纤模块将0~5V直流电压控制信号转换为光纤信号进行传输,光纤转电压模块将光纤信号转换为0~5V直流电压控制信号对控制回路进行控制,0~5V转0~-12V电压转换模块将PLC输出的0~5V直流电压控制信号转换为电源控制回路所使用的0~-12V直流电压控制信号,PLC输出控制模块输出0~5V直流电压,PLC数据采集模块负责采集0~20mA直流电流信号并加入栅极电压和栅极电流反馈,确保高频感应加热器的安全运行。
本发明采用远程调节,可在实验控制间实现对高频感应电源的功率调节,取消实验操作人员在高频感应电源柜附近进行手动功率调节的工作方式,有效降低工作人员工作强度,减少高频设备在工作中对现场操作人员的身体伤害;撤销了手动控制台等硬件设备,节省了操作空间,降低运行成本。
本发明说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员的公知技术。
Claims (10)
1.一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,其特征在于:包括PLC数据运算控制器、PLC数据采集模块、PLC输出控制模块、电压转光纤模块、光纤转电压模块、电压转换模块、高频感应电源控制电路和栅极电压电流测量模块;
上位机将电源功率值赋给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电源功率值转换为直流电压信号,将直流电压信号传递给PLC输出控制模块,PLC输出控制模块将直流电压信号输出给电压转光纤模块,电压转光纤模块将电压信号转换为光信号,光信号经远距离传输至光纤转电压模块,光纤转电压模块将接收到的光信号转换为原电压信号,将原电压信号传输给电压转换模块,电压转换模块将原电压控制信号转换为高频感应电源控制电路所使用的0~-12V直流电压控制信号,将0~-12V直流电压控制信号传输给高频感应电源控制电路,作为高频感应电源控制电路的放大信号,调节1MW高频感应电源输入端电压、电流至对应的工作电压、电流,进而控制高频感应电源功率的升降;
栅极电压电流测量模块实时对高频感应电源对应的工作电压、电流进行测量,并将电压、电流测量值反馈给PLC数据采集模块,PLC数据采集模块将电压、电流测量值传输给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电压、电流测量值与电源功率值比较,如果误差高于0.1%,则PLC数据运算控制器根据差值重新调整直流电压信号输出,直至将电源输出功率误差控制在0.1%以内。
2.如权利要求1所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,其特征在于,高频感应电源控制电路包括主振荡线圈、振荡回路和栅极反馈线圈,振荡回路将0~-12V直流电压控制信号通过主振荡线圈逐级放大至1MW高频感应电源对应的工作电压、电流,并通过栅极反馈线圈反馈至栅极电压电流测量模块。
3.如权利要求1所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,其特征在于,高频感应电源工作电压、电流经高频感应电源控制电路调节后,工作电压通过整流和升频振荡,供高频感应加热器生成高温等离子体,进行热烧蚀试验。
4.如权利要求1所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,其特征在于,直流电压信号为0~10V。
5.如权利要求1所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节装置,其特征在于,电压转换模块中的模块电源、信号输入和信号输出采用三点隔离方式,隔离电压≥2000V。
6.一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,其特征在于:具体步骤为:
(1)控制给定:将电源功率值赋给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电源功率值转换为直流电压信号,将直流电压信号传递给PLC输出控制模块;
(2)光纤传输及转换:PLC输出控制模块将直流电压信号输出给电压转光纤模块,电压转光纤模块将电压信号转换为光信号,光信号经远距离传输至光纤转电压模块,光纤转电压模块将接收到的光信号转换为原电压信号,将原电压信号传输给电压转换模块;
(3)高频感应电源功率控制:电压转换模块将原电压控制信号转换为高频感应电源控制电路所使用的0~-12V直流电压控制信号,将0~-12V直流电压控制信号传输给高频感应电源控制电路,作为高频感应电源控制电路的放大信号,调节1MW高频感应电源输入端电压、电流至对应的工作电压、电流,进而控制高频感应电源功率的升降;
(4)高频感应电源电压、电流反馈监测:栅极电压电流测量模块实时对高频感应电源对应的工作电压、电流进行测量,并将电压、电流测量值反馈给PLC数据采集模块;
(5)高频感应电源电压、电流运行再调节控制:PLC数据采集模块将电压、电流测量值传输给PLC数据运算控制器,PLC数据运算控制器将电压、电流测量值与电源功率值比较,如果误差高于0.1%,则PLC数据运算控制器根据差值,调整直流电压信号输出,重复步骤1~4,直至将电源输出功率误差控制在0.1%以内。
7.如权利要求6所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,其特征在于,高频感应电源控制电路包括主振荡线圈、振荡回路、栅极反馈线圈,振荡回路将0~-12V直流电压控制信号通过主振荡线圈逐级放大至1MW高频感应电源对应的工作电压、电流,并通过栅极反馈线圈反馈至栅极电压电流测量模块。
8.如权利要求6所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,其特征在于,高频感应电源工作电压、电流经高频感应电源控制电路调节后,工作电压通过整流和升频振荡,供高频感应加热器生成高温等离子体,进行热烧蚀试验。
9.如权利要求6所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,其特征在于,直流电压信号为0~10V。
10.如权利要求6所述的一种1MW高频感应电源功率的远程调节方法,其特征在于,电压转换模块中的模块电源、信号输入和信号输出采用三点隔离方式,隔离电压≥2000V。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710119521.2A CN107092299B (zh) | 2017-03-02 | 2017-03-02 | 一种1mw高频感应电源功率的远程调节装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710119521.2A CN107092299B (zh) | 2017-03-02 | 2017-03-02 | 一种1mw高频感应电源功率的远程调节装置及方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107092299A true CN107092299A (zh) | 2017-08-25 |
CN107092299B CN107092299B (zh) | 2018-08-31 |
Family
ID=59646418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710119521.2A Active CN107092299B (zh) | 2017-03-02 | 2017-03-02 | 一种1mw高频感应电源功率的远程调节装置及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107092299B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109673098A (zh) * | 2018-12-31 | 2019-04-23 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 一种射频电源调整电路模块及其控制方法 |
CN112947153A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-06-11 | 苏州汉霄等离子体科技有限公司 | 一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1069430A1 (de) * | 1999-07-16 | 2001-01-17 | Mtu Motoren- Und Turbinen-Union MàNchen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis von Fehlern in metallischen Bauteilen |
US20030226397A1 (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Sherman Faiz Feisal | Directional coupler sensor |
CN103645766A (zh) * | 2013-12-23 | 2014-03-19 | 中以环能(北京)科技有限公司 | 节电装置及节电系统 |
CN104122071A (zh) * | 2014-08-07 | 2014-10-29 | 中国人民解放军陆军军官学院 | 一种聚变堆增殖包层球床吹氚氦气热工水力特性实验装置及方法 |
CN105118536A (zh) * | 2015-08-18 | 2015-12-02 | 中国人民解放军陆军军官学院 | 一种可调式充放型高温高压氦气实验系统及方法 |
-
2017
- 2017-03-02 CN CN201710119521.2A patent/CN107092299B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1069430A1 (de) * | 1999-07-16 | 2001-01-17 | Mtu Motoren- Und Turbinen-Union MàNchen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis von Fehlern in metallischen Bauteilen |
US20030226397A1 (en) * | 2002-06-10 | 2003-12-11 | Sherman Faiz Feisal | Directional coupler sensor |
CN103645766A (zh) * | 2013-12-23 | 2014-03-19 | 中以环能(北京)科技有限公司 | 节电装置及节电系统 |
CN104122071A (zh) * | 2014-08-07 | 2014-10-29 | 中国人民解放军陆军军官学院 | 一种聚变堆增殖包层球床吹氚氦气热工水力特性实验装置及方法 |
CN105118536A (zh) * | 2015-08-18 | 2015-12-02 | 中国人民解放军陆军军官学院 | 一种可调式充放型高温高压氦气实验系统及方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109673098A (zh) * | 2018-12-31 | 2019-04-23 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 一种射频电源调整电路模块及其控制方法 |
CN109673098B (zh) * | 2018-12-31 | 2021-04-09 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 一种射频电源调整电路模块及其控制方法 |
CN112947153A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-06-11 | 苏州汉霄等离子体科技有限公司 | 一种射频电源控制方法、装置、存储介质及电子设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107092299B (zh) | 2018-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101597062B (zh) | 多晶硅还原炉自动调功装置 | |
CN107092299B (zh) | 一种1mw高频感应电源功率的远程调节装置及方法 | |
CN103792088A (zh) | 发动机热环境试验大面积平板式高热流辐射环境装置 | |
CN105698959A (zh) | 基于tvoc和温度检验的干式空心电抗器过热故障预警系统 | |
CN104359752A (zh) | 电热消解仪 | |
CN204101642U (zh) | 一种介质损耗因数测量装置 | |
CN201525870U (zh) | 中频电源链条淬火、回火系统 | |
CN203773377U (zh) | 一种温度控制器 | |
CN107479016A (zh) | 一种柔性直流电网直流高速测量装置性能检测方法及系统 | |
CN117254583A (zh) | 一种新能源场站功率控制与在线监测装置及方法 | |
CN102676794A (zh) | 一种用于热处理的自动温度控制系统及其使用方法 | |
CN103487702B (zh) | 一种小功率移动式微网并网检测系统 | |
CN216434228U (zh) | 一种新型直流升压变换器开源测试平台 | |
CN108645531A (zh) | 一种阴极钢棒温度测量装置 | |
CN203719900U (zh) | 发动机热环境试验大面积平板式高热流辐射环境装置 | |
CN202720526U (zh) | 一种用于热处理的自动温度控制系统 | |
CN209028128U (zh) | 一种电动汽车非车载充电机环流检测装置 | |
CN207133387U (zh) | 一种采用固定占空比方波变频电源的串联谐振耐压局放试验装置 | |
Zhang et al. | Research on conducted and radiated electromagnetic interference of VSC-HVDC transmission system | |
CN209802533U (zh) | 一种补偿变流器可靠性在线监测系统 | |
CN215599801U (zh) | 发电机励磁变压器实时温度报警监控系统 | |
CN205982453U (zh) | 变电站智能组件电磁干扰监测装置 | |
CN217901011U (zh) | 一种特高压换流阀饱和电抗器振动测试系统 | |
CN102880212B (zh) | 电缆热循环试验调压电源测控装置 | |
CN104507190B (zh) | 一种用于金属工件加热的电磁感应装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |