CN106953539A - 纵‑弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法 - Google Patents

纵‑弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106953539A
CN106953539A CN201710245051.4A CN201710245051A CN106953539A CN 106953539 A CN106953539 A CN 106953539A CN 201710245051 A CN201710245051 A CN 201710245051A CN 106953539 A CN106953539 A CN 106953539A
Authority
CN
China
Prior art keywords
group
transducer
mover
ceramic
longitudinal vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710245051.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106953539B (zh
Inventor
刘英想
王良
石胜君
刘军考
冯培连
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201710245051.4A priority Critical patent/CN106953539B/zh
Publication of CN106953539A publication Critical patent/CN106953539A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106953539B publication Critical patent/CN106953539B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04—Constructional details
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/12—Constructional details

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

纵‑弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法，涉及压电驱动技术领域。本发明是为了解决现有的压电驱动器不能同时兼具快速运动、纳米级定位、强力输出和大范围运动行程的问题。弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成的陶瓷组设置在后夹持体上，n个后夹持体并行设置在固定座上或沿基体的圆周方向布置在基体上，前夹持体设置在陶瓷组的前表面，前夹持体通过驱动足与直线动子或旋转动子接触；纵振陶瓷组伸缩变形控制驱动足与动子接触/分离，弯振陶瓷组弯曲变形实现动子步进驱动，通过协调设置多个换能器的工作过程实现连续驱动。本发明具有行程大、定位精度高、输出速度与输出力可调等优势，在智能机器人、航空航天、高端装备制造业等领域具有较好应用前景。

Description

纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法
技术领域
本发明涉及纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法。属于压电驱动技术领域。
背景技术
压电驱动器主要是利用压电材料的逆压电效应将输入电能转化为输出机械能，具有结构简单紧凑、不受电磁干扰、响应速度快、断电可自锁等特点，已成功应用于光学精密仪器、航空航天、精密医疗器械等领域，是目前较为常用的精密驱动与微定位方式之一。
根据驱动原理的不同，当前压电驱动器主要分为谐振式压电驱动器和非谐振式压电驱动器。其中谐振式压电驱动器主要是通过施加超声频段的交流电信号于特定结构组合的压电-金属复合弹性体，激发使其产生微幅超声振动，通过振动模态的耦合使得弹性体表面质点产生椭圆轨迹，进而实现对动子的驱动。谐振式压电驱动器具有输出速度快、运动行程大等特点，但是由于交流谐振驱动下弹性体表面质点的振动幅值通常在微米级，使得谐振式压电驱动器的精度通常停留在微米级而较难进一步获得提高。非谐振式压电驱动器主要包括惯性驱动型和直驱型压电驱动器等类型。其中，惯性驱动型压电驱动器主要通过快速伸长或缩短和缓慢缩短或伸长两种变形交替运行实现驱动，该类驱动器动子的运动输出主要通过定子与动子间的最大静摩擦力实现，该类驱动器的输出力通常较小，在一些强载需求环境场合应用受限。而当前直驱型压电驱动器大多采用压电叠堆，并主要利用压电叠堆的轴向伸/缩变形进行驱动，压电叠堆的输出力较大，且精度可达到纳米级，但其运动行程一般仅为自身长度的千分之一，因此直驱型压电驱动器的输出行程一般较小。
由上述可知，当前应用和研究较为广泛的压电驱动器由于采用不同的驱动原理虽能实现快速运动、纳米级定位、强力输出和大范围运动行程，但是将这些优点集于一身的压电驱动器目前依然寥寥无几。而随着科技的进步，特别是智能机器人、航空航天以及高端装备制造业等领域的飞速发展，对精密驱动的输出性能提出了更为苛刻的需求。
发明内容
本发明是为了解决现有的压电驱动器不能同时兼具快速运动、纳米级定位、强力输出和大范围运动行程的问题。现提供纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法。
纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器包括两种：一种为直线输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器；另一种为旋转输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器；
直线输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，包括固定座、n个换能器和直线动子，其中，n为大于等于2的偶数；
n个换能器并行设置在固定座上，
每个换能器包括纵振陶瓷组、弯振陶瓷组、电极片、前夹持体、后夹持体和驱动足，
弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成陶瓷组，弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成的陶瓷组设置在后夹持体上，n个后夹持体并行设置在固定座上，前夹持体设置在弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成的陶瓷组的前表面，前夹持体通过驱动足与直线动子接触，
纵振陶瓷组包括m个纵振陶瓷片，其中，m为大于等于2的偶数，纵振陶瓷片沿轴线方向极化，相邻两个纵振陶瓷片的极化方向相反，相邻两个纵振陶瓷片之间设有电极片，
弯振陶瓷组包括p个弯振陶瓷片，其中，p为大于等于2的偶数，每个弯振陶瓷片沿轴线平均分成两个极化区域，两个极化区域的极化方向相反，且相邻两个弯振陶瓷片之间正对的极化区域的极化方向相反，相邻两个弯振陶瓷片之间设有电极片。
旋转输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，包括基体、n个换能器和旋转动子，其中，n为大于等于2的偶数；
n个换能器沿基体的圆周方向布置在基体上，旋转动子为圆盘结构，
每个换能器包括纵振陶瓷组、弯振陶瓷组、电极片、前夹持体、后夹持体和驱动足，
弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成陶瓷组，弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成的陶瓷组设置在后夹持体上，n个后夹持体沿基体的圆周方向等间距布置在基体上，前夹持体设置在弯振陶瓷组和纵振陶瓷组组成的陶瓷组的前表面，前夹持体通过驱动足与旋转动子接触，
纵振陶瓷组包括m个纵振陶瓷片，其中，m为大于等于2的偶数，纵振陶瓷片沿轴线方向极化，且相邻两个纵振陶瓷片的极化方向相反，相邻纵振陶瓷片之间设有电极片；
弯振陶瓷组包括p个弯振陶瓷片，其中，p为大于等于2的偶数，每个弯振陶瓷片沿轴线平均分成两个极化区域，两个极化区域的极化方向相反，且相邻两个弯振陶瓷片之间正对的极化区域的极化方向相反，相邻弯振陶瓷片之间设有电极片。
本发明的有益效果为：
本发明采用换能器的纵-弯复合交替变形实现直线动子或旋转动子的蠕动式驱动，其中换能器的纵振陶瓷组的纵向伸缩变形用于控制驱动足与动子的接触或分离状态，而换能器的弯振陶瓷组的弯曲变形用于实现动子的有效步进驱动，通过协调设置多个换能器的动作时序，可实现本发明纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器的连续运动输出。
在本发明中，通过控制施加于纵振陶瓷组上激励电信号的电压值，可以精确调整驱动足与动子之间的压力值，进而可以精确控制动子的输出力；同样，通过控制施加于弯振陶瓷组上激励电信号的电压值，可以精确控制动子单次步进的步距；通过调节施加纵振陶瓷组与弯振陶瓷组激励电信号的频率，可以实现动子输出速度的精确调节。本发明具有结构简单紧凑易于封装、运动行程不受限、定位精度高、输出速度与输出力可调等技术优势，在智能机器人、航空航天以及高端装备制造业等技术领域具有较好的应用前景。
附图说明
图1为直线输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器的结构示意图；
图2为图1中直线动子向右运动的驱动原理图；
图3为图1中直线动子向左运动的驱动原理图；
图4为旋转输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器的结构示意图；
图5为图3中旋转动子逆时针方向的驱动原理图；
图6为图3中旋转动子顺时针方向的驱动原理图；
图7为图1和图4中弯振陶瓷片的布置方式示意图；
图8为图1和图4中纵振陶瓷片的布置方式示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：参照图1、图7和图8具体说明本实施方式，本实施方式所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，该压电驱动器为一种直线输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，包括固定座1、n个并行设置的换能器2和直线动子3，其中，n为大于等于2的偶数(图1中n为2)；
其中，每个换能器2均包括纵振陶瓷组2-1、弯振陶瓷组2-2、电极片2-3和与直线动子3接触的前夹持体2-4；
纵振陶瓷组2-1包括m个纵振陶瓷片2-1-1，其中，m为大于等于2的偶数(图1中m为4)；纵振陶瓷片2-1-1沿其轴线方向极化，且相邻的两个纵振陶瓷片2-1-1的极化方向相反，相邻的两个纵振陶瓷片2-1-1之间设置有电极片2-3；
弯振陶瓷组2-2包括p个弯振陶瓷片2-2-1，其中，p为大于等于2的偶数(图1中p为4)；每个弯振陶瓷片2-2-1均设有两个相反方向的极化区域，且该两个极化区域均沿其轴线方向进行极化，相邻的两个弯振陶瓷片2-2-1之间正对的极化区域的极化方向相反，相邻的两个弯振陶瓷片2-2-1之间设有电极片2-3；
为将换能器2端部的振动幅值放大，上述前夹持体2-4采用横截面为自下至上逐渐变细的块体，且前夹持体2-4的横截面为对称结构，具体包括圆形、矩形或正k边形，其中k为大于4的偶数(图1中前夹持体2-4的横截面具体为圆形)；
前夹持体2-4与直线动子3的接触端设有驱动足2-6，且该驱动足2-6的端部为柱形或半球形；
纵振陶瓷组2-1或弯振陶瓷组2-2与固定座1之间设置有后夹持体2-5(图1中的纵振陶瓷组2-1与固定座1之间设置有后夹持体2-5)；弯振陶瓷组2-2或纵振陶瓷组2-1与前夹持体2-4之间设有电极片2-3(图1中弯振陶瓷组2-2与前夹持体2-4之间设有电极片2-3)，纵振陶瓷组2-1或弯振陶瓷组2-2与后夹持体2-5之间设有电极片2-3(图1中纵振陶瓷组2-1与后夹持体2-5之间设有电极片2-3)，该处设置的电极片2-3与激励电信号的公共端相连，纵振陶瓷组2-1、弯振陶瓷组2-2和电极片2-3通过螺纹夹紧连接于前夹持体2-4和后夹持体2-5之间，最后通过螺纹连接方式与固定座1固定连接。
下面详细说明本实施方式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器的工作原理。
本实施方式为直线输出式驱动方式，弯振陶瓷组2-2和纵振陶瓷组2-1组成陶瓷组，其中，换能器纵振陶瓷组的纵向伸缩变形用于控制驱动足与直线动子的接触或分离状态，而换能器弯振陶瓷组的弯曲变形用于实现直线动子的有效步进驱动，在本发明中，通过控制施加于纵振陶瓷组上激励电信号的电压值，可以精确调整驱动足与直线动子之间的压力值，进而可以精确控制直线动子的输出力；驱动直线动子向左和向右两个方向的运动。
具体实施方式二：参照图2和图3具体说明本实施方式，纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的激励方法，该方法是基于具体实施方式一所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的本实施方式中，直线动子3实现向左与向右两个方向运动，实现向右运动的激励方法，如图2所示：
步骤一一：将n个平行设置的换能器2平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足2-6和第二组换能器的驱动足2-6均与直线动子3接触；
步骤一二：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第一组换能器的驱动足2-6向上运动压紧直线动子3；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第二组换能器的驱动足2-6向下运动与直线动子3分离；
步骤一三：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向右弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子3向右移动一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向左弯曲；
步骤一四：第一组换能器2不通电，保持静止不动；同时第二组换能器2的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第二组换能器的驱动足2-6向上运动压紧直线动子3；
步骤一五：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第一组换能器的驱动足2-6向下运动与直线动子3分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤一六：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向左弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向右弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子3向右移动另一个步距；
步骤一七：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第一组换能器的驱动足2-6向上运动压紧直线动子3；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤一八：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第二组换能器的驱动足2-6向下运动与直线动子3分离；
步骤一九：重复上述步骤一三至步骤一八(如图2所示的一个时间周期T循环)，从而实现直线动子3向右连续驱动；
直线动子3实现向左与向右两个方向运动，实现向左运动的激励方法，如图3所示：
步骤二一：将n个平行设置的换能器2平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足2-6和第二组换能器的驱动足2-6均与直线动子3接触；
步骤二二：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第一组换能器的驱动足2-6向下运动与直线动子3分离；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第二组换能器的驱动足2-6向上运动压紧直线动子3；
步骤二三：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向右弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向左弯曲在静摩擦力的作用下驱动直线动子3向左移动一个步距；
步骤二四：第一组换能器2施加正电伸长，第一组换能器2的驱动足2-6向上运动压紧直线动子3；同时第二组换能器2的纵振陶瓷组2-1不通电，保持静止不动；
步骤二五：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1不通电，保持静止不动；同时第二组换能器施加负电缩短，第二组换能器向下运动与直线动子3分离；
步骤二六：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向左弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子3向左移动另一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向右弯曲；
步骤二七：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1不通电，保持静止不动；同时第二组换能器施加正电伸长，第二组换能器的驱动足2-6向上运动压紧直线动子3；
步骤二八：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第一组换能器的驱动足2-6向下运动与直线动子3分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤二九：重复上述步骤二三至步骤二八(如图3所示的一个时间周期T循环)，从而实现直线动子3向左连续驱动。
本实施方式中，上述实现直线动子3向右和向左驱动的激励方法中共需要2n相激励电信号，本实施方式中具体需要两相，其中，弯振陶瓷组2-2与前夹持体2-4之间的电极片2-3、纵振陶瓷组2-1与后夹持体2-5之间的电极片2-3、弯振陶瓷组2-2中从一侧数所有第偶数个电极片2-3、以及纵振陶瓷组2-2中从一侧数所有第偶数个电极片2-3共同与激励电信号的公共端相连，弯振陶瓷组2-2中从一侧数所有第奇数个电极片2-3共同与激励电信号的一相相连，纵振陶瓷组2-2中从一侧数所有第奇数个电极片2-3共同与激励电信号的另一相相连，且上述施加激励电信号的波形具体可为三角波、矩形波或梯形波。
在上述实现直线动子3向右和向左运动的驱动过程中，应至少保证有一个换能器的驱动足2-6与直线动子3时刻保持接触状态，以使驱动足2-6时刻压紧直线动子3进而保证直线动子3不松动。
具体实施方式三：结合说明书附图4、图7和图8对本实施方式作进一步详细的说明。本实施方式提供了纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，该压电驱动器为一种旋转输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，包括基体5、沿圆周布置的n个换能器2和旋转动子4，其中，n为大于等于2的偶数，图4中n为2，且该两个换能器2相对布置，其中，换能器3均包括纵振陶瓷组2-1、弯振陶瓷组2-2、电极片2-3和与旋转动子4接触的前夹持体2-4。纵振陶瓷组2-1包括m个纵振陶瓷片2-1-1，其中m为大于等于2的偶数(图4中m为4)，纵振陶瓷片2-1-1均沿轴线方向进行极化，相邻两个纵振陶瓷片2-1-1的极化方向相反，相邻两个纵振陶瓷片2-1-1之间设置有电极片2-3。
弯振陶瓷组2-2包括p个弯振陶瓷片2-2-1，其中p为大于等于2的偶数(图4中p为4)，每个弯振陶瓷片2-2-1均设有两个相反方向的极化区域，且该两个极化区域均沿其轴线方向进行极化，相邻的两个弯振陶瓷片2-2-1之间正对的极化区域的极化方向相反，相邻的两个弯振陶瓷片2-2-1之间设有电极片2-3。
为将换能器2端部的振动幅值进行放大，上述前夹持体2-4采用横截面为逐渐变细的块体，且其横截面为对称结构，具体包括圆形、矩形或正k边形，其中，k为大于4的偶数；前夹持体2-4与旋转动子5的接触端设有驱动足2-6，且该驱动足2-6的端部可为柱形或半球形。所述纵振陶瓷组2-1或弯振陶瓷组2-2与基体5之间设有后夹持体2-5(图4中纵振陶瓷组2-1与基体5之间设置有后夹持体2-5)。
弯振陶瓷组2-2或纵振陶瓷组2-1与前夹持体2-4之间设有电极片2-3(图4中弯振陶瓷组2-2与前夹持体2-4之间设有电极片2-3)，纵振陶瓷组2-1或弯振陶瓷组2-2与后夹持体2-5之间设有电极片2-3(图4中纵振陶瓷组2-1与后夹持体2-5之间设有电极片2-3)，该处设置的电极片2-3与激励电信号的公共端相连。
纵振陶瓷组2-1、弯振陶瓷组2-2和电极片2-3通过螺纹夹紧连接于前夹持体2-4和后夹持体2-5之间，最后通过螺栓连接方式与基体5固定连接。
下面详细说明本实施方式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器的工作原理。
本实施方式为旋转输出式驱动方式，弯振陶瓷组2-2和纵振陶瓷组2-1组成陶瓷组，其中，换能器纵振陶瓷组的纵向伸缩变形用于控制驱动足与旋转动子的接触或分离状态，而换能器弯振陶瓷组的弯曲变形用于实现旋转动子的有效步进驱动，在本发明中，通过控制施加于纵振陶瓷组上激励电信号的电压值，可以精确调整驱动足与旋转动子之间的压力值，进而可以精确控制旋转动子的输出力；驱动旋转动子顺时针和逆时针两个方向的运动。
具体实施方式四：参照图5和图6具体说明本实施方式，纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的激励方法，该方法是基于具体实施方式三所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的，本实施方式中，旋转动子4实现逆时针与顺时针两个方向运动，实现逆时针运动的激励方法：
步骤三一：将n个沿圆周设置的换能器2平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足2-6和第二组换能器的驱动足2-6均与旋转动子4接触；
步骤三二：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第一组换能器的驱动足2-6向上运动压紧旋转动子4；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第二组换能器的驱动足2-6向下运动与旋转动子4分离；
步骤三三：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向旋转动子4逆时针运动方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子4向逆时针旋转一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向旋转动子4顺时针运动方向弯曲；
步骤三四：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第二组换能器的驱动足2-6向上运动压紧旋转动子4；
步骤三五：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第一组换能器的驱动足2-6向下运动与旋转动子4分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤三六：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向旋转动子4顺时针方向弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向旋转动子4逆时针运动方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子4向逆时针方向旋转另一个步距；
步骤三七：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第一组换能器的驱动足2-6向上运动压紧旋转动子4；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤三八：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第二组换能器的驱动足2-6向下运动与旋转动子4分离；
步骤三九：重复上述步骤三三至步骤三八(如图5所示的一个时间周期T循环)，从而实现旋转动子4向逆时针方向的连续驱动；
旋转动子4实现逆时针与顺时针两个方向运动，实现顺时针运动的激励方法：
步骤四一：将n个沿圆周设置的换能器2平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足2-6和第二组换能器的驱动足2-6均与旋转动子4接触；
步骤四二：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第一组换能器的驱动足2-6向上运动压紧旋转动子4；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第二组换能器的驱动足2-6向下运动与旋转动子4分离；
步骤四三：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向旋转动子4顺时针运动方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子4向顺时针旋转一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向旋转动子4逆时针运动方向弯曲；
步骤四四：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第二组换能器的驱动足2-6向上运动压紧旋转动子4；
步骤四五：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第一组换能器的驱动足2-6向下运动与旋转动子4分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤四六：第一组换能器的弯振陶瓷组2-2施加正电向旋转动子4逆时针运动方向弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组2-2施加负电向旋转动子4顺时针方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子4向顺时针方向旋转另一个步距；
步骤四七：第一组换能器的纵振陶瓷组2-1施加正电伸长，第一组换能器的驱动足2-6向上运动压紧旋转动子4；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤四八：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组2-1施加负电缩短，第二组换能器的驱动足2-6向下运动与旋转动子4分离；
步骤四九：重复上述步骤四三至步骤四八(如图6所示的一个时间周期T循环，)从而实现旋转动子4向顺时针方向的连续驱动。
本实施方式中，实现旋转动子4向逆时针和顺时针方向驱动的激励方法中共需要2n相激励电信号本实施方式中需要两相，其中上述弯振陶瓷组2-2与前夹持体2-4之间的电极片2-3、纵振陶瓷组2-1与后夹持体2-5之间的电极片2-3、弯振陶瓷组2-2中从一侧数所有第偶数个电极片2-3以及纵振陶瓷组2-2中从一侧数所有第偶数个电极片2-3共同与激励电信号的公共端相连，弯振陶瓷组2-2中从一侧数所有第奇数个电极片2-3共同与一相激励电信号相连，纵振陶瓷组2-2中从一侧数所有第奇数个电极片2-3共同与另一相激励电信号相连，且上述施加激励电信号的波形具体可为三角波、矩形波或梯形波。
在上述旋转动子4向逆时针和顺时针方向运动的驱动过程中，作为优选的，沿圆周设置的换能器2的弯曲变形方向应与旋转动子4顺时针或逆时针转动的方向存在相切关系，以获得最佳的驱动效果。此外，在上述驱动过程中，应至少保证有一个换能器的驱动足2-6与旋转动子4时刻保持接触，以使驱动足2-6时刻压紧旋转动子4进而保证旋转动子4不松动。

Claims (9)

1.纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，其特征在于，该压电驱动器为一种直线输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，包括固定座(1)、n个换能器(2)和直线动子(3)，其中，n为大于等于2的偶数；
n个换能器(2)并行设置在固定座(1)上，
每个换能器(2)包括纵振陶瓷组(2-1)、弯振陶瓷组(2-2)、电极片(2-3)、前夹持体(2-4)、后夹持体(2-5)和驱动足(2-6)，
弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成陶瓷组，弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成的陶瓷组设置在后夹持体(2-5)上，n个后夹持体(2-5)并行设置在固定座(1)上，前夹持体(2-4)设置在弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成的陶瓷组的前表面，前夹持体(2-4)通过驱动足(2-6)与直线动子(3)接触，
纵振陶瓷组(2-1)包括m个纵振陶瓷片(2-1-1)，其中，m为大于等于2的偶数，纵振陶瓷片(2-1-1)沿轴线方向极化，相邻两个纵振陶瓷片(2-1-1)的极化方向相反，相邻两个纵振陶瓷片(2-1-1)之间设有电极片(2-3)，
弯振陶瓷组(2-2)包括p个弯振陶瓷片(2-2-1)，其中，p为大于等于2的偶数，每个弯振陶瓷片(2-2-1)沿轴线平均分成两个极化区域，两个极化区域的极化方向相反，且相邻两个弯振陶瓷片(2-2-1)之间正对的极化区域的极化方向相反，相邻两个弯振陶瓷片(2-2-1)之间设有电极片(2-3)。
2.纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的激励方法，该方法是基于权利要求1所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的，其特征在于，直线动子(3)实现向左与向右两个方向运动，实现向右运动的激励方法：
步骤一一：将n个平行设置的换能器(2)平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足(2-6)和第二组换能器的驱动足(2-6)均与直线动子(3)接触；
步骤一二：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第一组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧直线动子(3)；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第二组换能器的驱动足(2-6)向下运动与直线动子(3)分离；
步骤一三：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向右弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子(3)向右移动一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向左弯曲；
步骤一四：第一组换能器(2)不通电，保持静止不动；同时第二组换能器(2)的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第二组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧直线动子(3)；
步骤一五：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第一组换能器的驱动足(2-6)向下运动与直线动子(3)分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤一六：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向左弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向右弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子(3)向右移动另一个步距；
步骤一七：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第一组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧直线动子(3)；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤一八：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第二组换能器的驱动足(2-6)向下运动与直线动子(3)分离；
步骤一九：重复上述步骤一三至步骤一八，从而实现直线动子(3)向右连续驱动；
直线动子(3)实现向左与向右两个方向运动，实现向左运动的激励方法：
步骤二一：将n个平行设置的换能器(2)平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足(2-6)和第二组换能器的驱动足(2-6)均与直线动子(3)接触；
步骤二二：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第一组换能器的驱动足(2-6)向下运动与直线动子(3)分离；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第二组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧直线动子(3)；
步骤二三：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向右弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向左弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子(3)向左移动一个步距；步骤二四：第一组换能器(2)施加正电伸长，第一组换能器(2)的驱动足(2-6)向上运动压紧直线动子(3)；同时第二组换能器(2)的纵振陶瓷组(2-1)不通电，保持静止不动；
步骤二五：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)不通电，保持静止不动；同时第二组换能器施加负电缩短，第二组换能器向下运动与直线动子(3)分离；
步骤二六：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向左弯曲，在静摩擦力的作用下驱动直线动子(3)向左移动另一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向右弯曲；
步骤二七：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)不通电，保持静止不动；同时第二组换能器施加正电伸长，第二组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧直线动子(3)；
步骤二八：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第一组换能器的驱动足(2-6)向下运动与直线动子(3)分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤二九：重复上述步骤二三至步骤二八，从而实现直线动子(3)向左连续驱动。
3.纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，其特征在于，该压电驱动器为一种旋转输出式纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，包括基体(5)、n个换能器(2)和旋转动子(4)，其中，n为大于等于2的偶数；
n个换能器(2)沿基体(5)的圆周方向布置在基体(5)上，旋转动子(4)为圆盘结构，
每个换能器(2)包括纵振陶瓷组(2-1)、弯振陶瓷组(2-2)、电极片(2-3)、前夹持体(2-4)、后夹持体(2-5)和驱动足(2-6)，
弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成陶瓷组，弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成的陶瓷组设置在后夹持体(2-5)上，n个后夹持体(2-5)沿基体(5)的圆周方向布置在基体(5)上，前夹持体(2-4)设置在弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成的陶瓷组的前表面，前夹持体(2-4)通过驱动足(2-6)与旋转动子(4)接触，
纵振陶瓷组(2-1)包括m个纵振陶瓷片(2-1-1)，其中，m为大于等于2的偶数，纵振陶瓷片(2-1-1)沿轴线方向极化，且相邻两个纵振陶瓷片(2-1-1)的极化方向相反，相邻纵振陶瓷片(2-1-1)之间设有电极片(2-3)；
弯振陶瓷组(2-2)包括p个弯振陶瓷片(2-2-1)，其中，p为大于等于2的偶数，每个弯振陶瓷片(2-2-1)沿轴线平均分成两个极化区域，两个极化区域的极化方向相反，且相邻两个弯振陶瓷片(2-2-1)之间正对的极化区域的极化方向相反，相邻弯振陶瓷片(2-2-1)之间设有电极片(2-3)。
4.纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的激励方法，该方法是基于权利要求3所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的，其特征在于，旋转动子(4)实现逆时针与顺时针两个方向运动，实现逆时针运动的激励方法：
步骤三一：将n个沿圆周设置的换能器(2)平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足(2-6)和第二组换能器的驱动足(2-6)均与旋转动子(4)接触；
步骤三二：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第一组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧旋转动子(4)；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第二组换能器的驱动足(2-6)向下运动与旋转动子(4)分离；
步骤三三：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向旋转动子(4)逆时针运动方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子(4)向逆时针旋转一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向旋转动子(4)顺时针运动方向弯曲；
步骤三四：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第二组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧旋转动子(4)；
步骤三五：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第一组换能器的驱动足(2-6)向下运动与旋转动子(4)分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤三六：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向旋转动子(4)顺时针方向弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向旋转动子(4)逆时针运动方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子(4)向逆时针方向旋转另一个步距；
步骤三七：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第一组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧旋转动子(4)；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤三八：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第二组换能器的驱动足(2-6)向下运动与旋转动子(4)分离；
步骤三九：重复上述步骤三三至步骤三八，从而实现旋转动子(4)向逆时针方向的连续驱动；
旋转动子(4)实现逆时针与顺时针两个方向运动，实现顺时针运动的激励方法：
步骤四一：将n个沿圆周设置的换能器(2)平均分成两组，初始状态时，在预紧力作用下，第一组换能器的驱动足(2-6)和第二组换能器的驱动足(2-6)均与旋转动子(4)接触；
步骤四二：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第一组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧旋转动子(4)；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第二组换能器的驱动足(2-6)向下运动与旋转动子(4)分离；
步骤四三：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向旋转动子(4)顺时针运动方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子(4)向顺时针旋转一个步距；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向旋转动子(4)逆时针运动方向弯曲；
步骤四四：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第二组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧旋转动子(4)；
步骤四五：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第一组换能器的驱动足(2-6)向下运动与旋转动子(4)分离；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤四六：第一组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加正电向旋转动子(4)逆时针运动方向弯曲；同时第二组换能器的弯振陶瓷组(2-2)施加负电向旋转动子(4)顺时针方向弯曲，在静摩擦力的作用下驱动旋转动子(4)向顺时针方向旋转另一个步距；
步骤四七：第一组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加正电伸长，第一组换能器的驱动足(2-6)向上运动压紧旋转动子(4)；同时第二组换能器不通电，保持静止不动；
步骤四八：第一组换能器不通电，保持静止不动；同时第二组换能器的纵振陶瓷组(2-1)施加负电缩短，第二组换能器的驱动足(2-6)向下运动与旋转动子(4)分离；
步骤四九：重复上述步骤四三至步骤四八，从而实现旋转动子(4)向顺时针方向的连续驱动。
5.根据权利要求1或3所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，其特征在于，驱动足(2-6)与直线动子(3)或旋转动子(4)的连接端部为柱形或半球形。
6.根据权利要求1或3所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，其特征在于，前夹持体(2-4)为横截面对称且自下至上逐渐变细的块体，该前夹持体(2-4)的横截面为圆形、矩形或正k边形，其中，k为大于4的偶数。
7.根据权利要求1或3所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器，其特征在于，弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成的陶瓷组与前夹持体(2-4)之间设有电极片(2-3)，弯振陶瓷组(2-2)和纵振陶瓷组(2-1)组成的陶瓷组与后夹持体(2-5)之间设有电极片(2-3)。
8.采用权利要求2或4所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的激励方法，其特征在于，纵振陶瓷组(2-1)与弯振陶瓷组(2-2)施加激励电信号的波形为三角波、矩形波或梯形波。
9.采用权利要求2或4所述的纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器实现的激励方法，其特征在于，在驱动过程中，至少保证有一个换能器(2)的驱动足(2-6)与直线动子(3)或旋转动子(4)时刻保持接触。
CN201710245051.4A 2017-04-14 2017-04-14 纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法 Active CN106953539B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710245051.4A CN106953539B (zh) 2017-04-14 2017-04-14 纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710245051.4A CN106953539B (zh) 2017-04-14 2017-04-14 纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106953539A true CN106953539A (zh) 2017-07-14
CN106953539B CN106953539B (zh) 2019-04-12

Family

ID=59476081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710245051.4A Active CN106953539B (zh) 2017-04-14 2017-04-14 纵-弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106953539B (zh)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109842321A (zh) * 2019-04-09 2019-06-04 哈尔滨工业大学 一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法
CN109889085A (zh) * 2019-04-09 2019-06-14 哈尔滨工业大学 压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法
CN109951103A (zh) * 2019-04-09 2019-06-28 哈尔滨工业大学 一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法
CN109951102A (zh) * 2019-04-09 2019-06-28 哈尔滨工业大学 一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法
CN110224631A (zh) * 2019-07-05 2019-09-10 复旦大学 压电陶瓷电机动子装配装置
CN110224634A (zh) * 2019-07-05 2019-09-10 季华实验室 压电陶瓷位移驱动器
CN110635711A (zh) * 2019-07-05 2019-12-31 季华实验室 纳米位移直线步进电机
CN110635713A (zh) * 2019-07-05 2019-12-31 季华实验室 压电陶瓷旋转电机
CN112217417A (zh) * 2019-07-09 2021-01-12 重庆邮电大学 一种三足平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
CN112564542A (zh) * 2020-11-12 2021-03-26 东南大学 一种基于压电作动原理的低速高精度旋转驱动装置
CN113472237A (zh) * 2021-08-12 2021-10-01 吉林农业科技学院 纵弯组合致动尺蠖式直线压电驱动器及其激励方法
CN113938051A (zh) * 2021-09-29 2022-01-14 东北电力大学 两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器及其工作方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101022257A (zh) * 2007-03-20 2007-08-22 哈尔滨工业大学 双驱动足夹心换能器式纵弯直线超声电机
US20100141091A1 (en) * 2008-12-09 2010-06-10 Olympus Corporation Ultrasonic motor
CN103414372A (zh) * 2013-08-26 2013-11-27 苏州科技学院 双向驱动旋转超声电机
CN105450081A (zh) * 2016-01-26 2016-03-30 哈尔滨工业大学 基于多压电振子弯曲运动的步进蠕动型驱动激励方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101022257A (zh) * 2007-03-20 2007-08-22 哈尔滨工业大学 双驱动足夹心换能器式纵弯直线超声电机
US20100141091A1 (en) * 2008-12-09 2010-06-10 Olympus Corporation Ultrasonic motor
CN103414372A (zh) * 2013-08-26 2013-11-27 苏州科技学院 双向驱动旋转超声电机
CN105450081A (zh) * 2016-01-26 2016-03-30 哈尔滨工业大学 基于多压电振子弯曲运动的步进蠕动型驱动激励方法

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109951103B (zh) * 2019-04-09 2020-04-24 哈尔滨工业大学 一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法
CN109889085A (zh) * 2019-04-09 2019-06-14 哈尔滨工业大学 压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法
CN109951103A (zh) * 2019-04-09 2019-06-28 哈尔滨工业大学 一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法
CN109951102A (zh) * 2019-04-09 2019-06-28 哈尔滨工业大学 一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法
CN109842321A (zh) * 2019-04-09 2019-06-04 哈尔滨工业大学 一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法
CN109889085B (zh) * 2019-04-09 2020-08-07 哈尔滨工业大学 压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法
CN109951102B (zh) * 2019-04-09 2020-05-12 哈尔滨工业大学 一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法
CN109842321B (zh) * 2019-04-09 2020-05-12 哈尔滨工业大学 一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法
CN110224631A (zh) * 2019-07-05 2019-09-10 复旦大学 压电陶瓷电机动子装配装置
CN110635713A (zh) * 2019-07-05 2019-12-31 季华实验室 压电陶瓷旋转电机
CN110635711A (zh) * 2019-07-05 2019-12-31 季华实验室 纳米位移直线步进电机
CN110224634A (zh) * 2019-07-05 2019-09-10 季华实验室 压电陶瓷位移驱动器
CN110224631B (zh) * 2019-07-05 2024-05-03 复旦大学 压电陶瓷电机动子装配装置
CN110224634B (zh) * 2019-07-05 2024-09-27 季华实验室 压电陶瓷位移驱动器
CN112217417A (zh) * 2019-07-09 2021-01-12 重庆邮电大学 一种三足平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
CN112564542A (zh) * 2020-11-12 2021-03-26 东南大学 一种基于压电作动原理的低速高精度旋转驱动装置
CN113472237A (zh) * 2021-08-12 2021-10-01 吉林农业科技学院 纵弯组合致动尺蠖式直线压电驱动器及其激励方法
CN113938051A (zh) * 2021-09-29 2022-01-14 东北电力大学 两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器及其工作方法
CN113938051B (zh) * 2021-09-29 2023-09-29 东北电力大学 两平行弯曲振子复合致动步进式压电驱动器及其工作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106953539B (zh) 2019-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106953539A (zh) 纵‑弯复合蠕动式精密压电驱动器及其激励方法
CN107742993B (zh) 单相激励型面内振动超声电机及其单相激励方法
CN107147328B (zh) 弯曲压电振子的两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法
CN101626203B (zh) 弯振模态梁式直线超声电机振子
CN101090244A (zh) 单振子纵弯夹心换能器式平面多自由度超声电机
CN102983778B (zh) 基于超磁致伸缩材料的旋转电机
CN101227157B (zh) 采用兰杰文振子结构的压电螺纹驱动器
CN102355160B (zh) 带弹性支撑的纵弯复合模态夹心式双足直线超声电机振子
CN108429486B (zh) 组合式平面三自由度超声波电机振子及其驱动方法
CN101262187B (zh) 弯振夹心换能器式圆筒定子及使用该定子的超声电机
CN107834899B (zh) 一种调节超声电机两相模态频率差和转向的方法
JPH0661542A (ja) 異方性トランスデューサ
CN107040161B (zh) 压电型多自由度混合驱动式驱动器
CN107171589B (zh) 一种钹型两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法
CN101262188A (zh) 纵振夹心换能器式圆筒定子及使用该定子的超声电机
CN103036472A (zh) 螺纹式直线超声电机
CN106533253B (zh) 一种多定子轴向叠层的超声波电机
CN102118118B (zh) 直线型超声波微电机
CN104124891A (zh) 压电振子及包括该压电振子的精密位移平台
CN110661445A (zh) 一种并联式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
CN112217415A (zh) 一种框架式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法
CN210629372U (zh) 基于框架板结构定子驱动的压电平面电机
CN110601597B (zh) 一种双模态复合型尺蠖超声波电机
CN107070295B (zh) U型精密直线压电驱动器及其激励方法
CN102299663B (zh) 采用弹簧块预紧的圆筒型行波超声电机振子

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant