CN106841065B - 紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法 - Google Patents

紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106841065B
CN106841065B CN201710000703.8A CN201710000703A CN106841065B CN 106841065 B CN106841065 B CN 106841065B CN 201710000703 A CN201710000703 A CN 201710000703A CN 106841065 B CN106841065 B CN 106841065B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
speed detector
sample
detector
computer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710000703.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106841065A (zh
Inventor
刘世杰
王圣浩
王微微
徐天柱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority to CN201710000703.8A priority Critical patent/CN106841065B/zh
Publication of CN106841065A publication Critical patent/CN106841065A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106841065B publication Critical patent/CN106841065B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/255—Details, e.g. use of specially adapted sources, lighting or optical systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N2021/0106—General arrangement of respective parts
    • G01N2021/0112—Apparatus in one mechanical, optical or electronic block
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
    • G01N2021/3148—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths using three or more wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/066—Modifiable path; multiple paths in one sample
    • G01N2201/0668—Multiple paths; optimisable path length

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

一种紫外‑可见光‑近红外透反射光谱测量装置和测量方法。测量装置包括复色光源、光栅单色器、光阑、偏振片、分束器、参考光高速探测器、测试光高速探测器、示波器和计算机，本发明优点是：(1)显著提高了透反射光谱的采集速度，可以实现样品透反射光谱的快速测量；(2)测量系统具有较高的测量精度，样品透反射率的测量误差约为0.1％‑0.3％；(3)在测量过程中，光栅单色器内部的机械部件始终保持匀速的运动状态，测试系统因而具有较高的机械稳定性。

Description

紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法
技术领域
本发明涉及透反射光谱的测量，特别是一种紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法。
背景技术
紫外-可见光-近红外透反射光谱测量技术在物理学、化学、生物学、医学、材料学、环境科学等科学研究领域以及在化工、医药、环境检测、冶金等现代工业生产与管理部门都获得了广泛而重要的应用(参见[1]倪一,黄梅珍,袁波,赵海鹰,窦晓鸣.紫外可见分光光度计的发展与现状[J].现代科学仪器,2004,03:3-7+11.[2]朱英,和惠朋,武晓博,张学俊.紫外可见分光光度计及其应用[J].化工中间体,2012,11:34-37.)。目前紫外-可见光-近红外透反射光谱普遍采用双光路光度法的测量构架，如图1所示，主要包括复色光源1，单色器2，光阑3，偏振片4，分束器5，参考光探测器6，待测样品7和测试光探测器8，数据采集器9和计算机10。复色光源出射的复色光经过单色器后形成测量所需要的单色光，单色光经过光阑和偏振片后形成测量所需的线偏振光，线偏振光经过分束器后形成一束测量光和一束参考光，参考光被参考光探测器收集，测试光经过样品后被测试光探测器所接收，参考光探测器和测试光探测器输出的电压信号被数据采集器记录，计算机用来控制单色器和进行数据运算。基于目前的测量系统，样品透射光谱的主要测量过程如下：
(1)在复色光源关闭的情况下测量参考光探测器和测试光探测器的暗场强度值；
(2)打开复色光源，在光路中不放置样品，使测试光束照射在测试光探测器上；
(3)把单色器的工作波长设置为λ1，然后测量参考光探测器和测试光探测器的明场强度值；
(4)把单色器的工作波长依次设置为λ2,λ3……λn，分别重复步骤(3)，得到各个波长下参考光探测器和测试光探测器的明场强度值；
(5)在测试光束中安装待测样品，把单色器的工作波长设置为λ1，然后测量此时参考光探测器和测试光探测器的信号强度值；
(6)把单色器的工作波长依次设置为λ2,λ3……λn，分别重复步骤(5)，得到各个波长下参考光探测器和测试光探测器的信号强度值；
(7)根据参考光探测器和测试光探测器的暗场强度值，以及在各个波长下的明场强度值和信号强度值，分别计算波长为λ1,λ2,λ3……λn时待测样品的透射率，进而得到待测样品的透射光谱。
目前的测量装置和测量方法可以比较准确的完成样品透反射光谱的测量，测量精度约为0.1％～0.3％，但是主要存在下面几个缺点：
(1)在测量过程中，单色器内部的机械结构需要断断续续的完成不连续的间歇运动(如图2所示，单色器的出射波长在一定时间内是以阶梯式的方式从800nm增加到810nm，而单色器的出射波长是通过移动内部机械机构来实现的)，探测器需要进行间歇的数据采集(如图3所示，黑色圆点表示探测器的采集位置)，他们之间的动作是分时间先后顺序完成的，因而样品透反射光谱的测试速度比较缓慢，如为测得800nm～1100nm波段范围内的透射光谱曲线，往往需要3～5分钟左右的时间，而在实际的透射光谱的测试过程中，为了观察样品透射光谱特性在化学反应、温度、湿度等环境因素下的动态变化情况，需要样品的透射光谱能够在较短的时间内完成，目前普遍采用的测试装置和方法显然是无法胜任的；(2)在目前样品透反射光谱的测量过程中，仪器内部的机械构件需要保持断断续续的间歇运动状态，因此测试仪器的机械稳定性较差；(3)由于目前样品透反射光谱的测量耗时较长，测试仪器的工作效率因而较低，因而无法满足大批量光学元件的测试需求。
专利(CN100451611C，CN1752739，CN2837834Y)及研究论文([1]谭力,刘玉玲,余飞鸿.光学器件光谱透过率反射率实时测量系统的研制[J].光学仪器,2004,03:9-13，[2]刘征峰,王术军,张保洲.快速光谱测量分析系统[J].光电工程,2001,02:27-31.)提出了基于CCD的快速测量样品透反射光谱的方法，但是该方法的缺点是测量精度低，测量误差约为5％～8％。傅里叶变换光谱仪(E.V.Loewenstein,"HISTORY AND CURRENT STATUS OFFOURIER TRANSFORM SPECTROSCOPY,"Applied Optics,vol.5,pp.845-+,1966.[2]杨琨.傅里叶变换红外光谱仪若干核心技术研究及其应用[D].武汉大学,2010.)同样可以实现透反射光谱的快速测量，但是其主要缺点也是测量精度较低，测量误差约为2％～3％。因此尽管多通道光谱仪和傅里叶变换光谱仪在快速测量中得到了一定程度的应用，但是测量精度低的缺点使得他们无法在高精度、快速测量环境中获得应用。
发明内容
为了解决现有紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法中存在的问题，本发明提出一种紫外-可见光-近红外透反射光谱的测量装置和测量方法。
本发明的技术解决方案如下：
一种紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置，包括复色光源，在复色光源的光束输出方向依次是单色器、光阑、偏振片和分束器，其特点在于，在所述分束器的参考光出射方向是参考光高速探测器，在所述分束器的测试光出射方向依次是待测样品和测试光高速探测器，所述的参考光高速探测器的输出端与示波器的第一输入端相连，所述的测试光高速探测器的输出端与所述的示波器的第二输入端相连，所述的示波器的输出端与所述计算机的输入端相连，该计算机的输出端与所述的单色器控制端相连。
利用上述紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置测量待测样品的透射光谱的方法，主要包括以下步骤：
①在光路中不放置待测样品，利用计算机控制所述的单色器的出射波长从λ1匀速的增加到λn，持续时间为t，所述的参考光高速探测器(11)和测试光高速探测器采集连续的光强信号，所述的示波器记录参考光高速探测器和测试光高速探测器采集到的光强信号序列，分别记为
Figure BDA0001201527330000045
和
Figure BDA0001201527330000046
并输入所述的计算机；
②在所述的分束器和测试光高速探测器之间的光路中安装待测样品，所述的计算机控制所述的单色器的出射波长从λ1匀速的增加到λn，持续时间为t，所述的参考光高速探测器和测试光高速探测器保持连续的光强信号采集，所述的示波器记录参考光探测器和测试光探测器采集到的光强信号序列，分别记为
Figure BDA0001201527330000041
和
Figure BDA0001201527330000042
并输入所述的计算机；
③所述的计算机按如下公式计算待测样品的透射比序列T(t)：
Figure BDA0001201527330000043
④根据如下公式，分别计算k和b：
Figure BDA0001201527330000044
b＝λ1 (1.7)
⑤把透射比序列T(t)的横坐标t，按照如下公式转化为波长λ，
λ＝kt+b (1.8)
得到待测样品(7)的透射光谱T(λ)。
与现有紫外-可见光-近红外透反射光谱的测量方法相比，本发明测量装置和测量方法同时具有以下优点：
(1)测量速度快。由于本发明选用单色器出射波长连续变化、探测器高速采集光强的方案，因而可以解决普通光度测量法测量速度慢的缺点，能在2～5秒钟之内完成800～1100nm波段范围内透射光谱的测量；
(2)测量精度高。本发明测量方法是基于双光路光度测量法，能达到光度法同样的测量精度(约为0.1％～0.3％)；
(3)机械稳定性好。本发明的测量过程中，单色器内部的机械结构保持匀速运动状态，测试系统因而具有较高的机械稳定性。
附图说明
图1是现有紫外-可见光-近红外透射光谱测量构架的结构图；
图2是现有方法测量过程中单色器出射波长随时间的变化曲线；
图3是现有方法测量过程中光强的采集位置示意图；
图4是本发明紫外-可见光-近红外透射光谱测量装置的示意图；
图5是本发明单色器出射波长随时间的变化曲线；
图6是本发明光强采集位置示意图；
图7是本发明紫外-可见光-近红外反射光谱测量装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
本发明紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置，如图4所示，该装置主要包括复色光源1，单色器2，光阑3，偏振片4，分束器5，待测样品7，参考光高速探测器11，测试光高速探测器12，示波器13和计算机10。复色光源1用于为测量系统提供复色的光源，单色器2用于把复色光源转化成单色的入射光束，光阑3用于过滤杂散光和调节入射光束的孔径，偏振片4用于产生测量所需要的线偏振光，分束器5用于形成一束参考光和一束测试光，参考光高速探测器11用于高速测量参考光束的光强，测试光高速探测器12用来高速测量测试光束的强度，示波器13用来记录参考光高速探测器11和测试光高速探测器12采集到的电压信号，计算机12用于控制单色器2、控制示波器13以及进行数据处理。
工作原理：
在如图4所示的紫外-可见光-近红外透反射光谱的测量装置中，复色光源1发出的复色光依次传输通过单色器2、光阑3、偏振片4和分束器5，然后形成一束参考光和一束测试光，参考光束的光强被参考光高速探测器11采集，测试光束通过待测样品7后被测试光高速探测器12所收集。
在测量过程中，通过计算机控制单色器和示波器，使单色器的出射波长从λ1匀速的增加到λn(如图5所示，使单色器的出射波长在一定时间内从800nm连续增加到810nm)，同时使参考光高速探测器和测试光高速探测器保持持续的光强采集(如图6所示，黑色圆点表示高速探测器的采集位置)，示波器用来记录参考光高速探测器和测试光高速探测器采集到的模拟电压信号，计算机用来进行数据处理及运算。
基于如图4所示的紫外-可见光-近红外透反射光谱的测量装置，本发明紫外-可见光-近红外透反射光谱的快速测量方法，主要包括以下步骤：
①在光路中不放置样品，利用计算机使单色器的出射波长从λ1匀速的增加到λn，持续时间为t，同时使参考光高速探测器和测试光高速探测器采集连续的光强信号，用示波器记录参考光高速探测器和测试光高速探测器采集到的光强信号序列，分别记为
Figure BDA0001201527330000061
和
Figure BDA0001201527330000062
②在分束器和测试光高速探测器之间的光路中安装待测样品，利用计算机使单色器的出射波长从λ1匀速的增加到λn，持续时间为t，同时使参考光高速探测器和测试光高速探测器保持连续的光强信号采集，用示波器记录参考光探测器和测试光探测器采集到的光强信号序列，分别记为
Figure BDA0001201527330000063
和
Figure BDA0001201527330000064
③根据步骤①和②获取的光强序列
Figure BDA0001201527330000065
和
Figure BDA0001201527330000066
利用计算机根据如下公式计算待测样品的透射比序列T(t)：
Figure BDA0001201527330000067
④根据如下公式，分别计算k和b：
Figure BDA0001201527330000071
b＝λ1 (1.11)
⑤把透射比序列T(t)的横坐标t，按照如下公式转化为波长λ，得到待测样品的透射光谱T(λ)。
λ＝kt+b (1.12)
实施例1：
图4是本发明紫外-可见光-近红外透射光谱的测量装置结构图，光源1采用FemtoPower FP1060-20超连续光纤激光器，单色器2采用Photon系列光栅单色器，光阑3采用Thorlabs公司ID20接杆安装可变光阑，起偏器4采用Thorlabs公司的LPVIS050-MP2形线偏振片，分束器5采用Thorlabs公司的CM1-BP145B2笼式立方体安装的薄膜分束器，样品7为透射样品，参考光高速探测器11和测试光高速探测器12均采用Newport带宽为150MHZ的1811系列高速光电探测器，示波器13采用Tektronix的带宽为500MHZ，采样率为5GS/s的DPO7054C系列示波器。
实施例2：
图7是本发明紫外-可见光-近红外反射光谱测量装置结构图，光源1采用FemtoPower FP1060-20超连续光纤激光器，单色器2采用Photon系列光栅单色器，光阑3采用Thorlabs公司ID20接杆安装可变光阑，起偏器4采用Thorlabs公司的LPVIS050-MP2形线偏振片，分束器5采用Thorlabs公司的CM1-BP145B2笼式立方体安装的薄膜分束器，样品14为反射样品，参考光高速探测器11和测试光高速探测器12均采用Newport带宽为150MHZ的1811系列高速光电探测器，示波器13采用Tektronix的带宽为500MHZ，采样率为5GS/s的DPO7054C系列示波器。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置，包括复色光源(1)，在复色光源(1)的光束输出方向依次是单色器(2)、光阑(3)、偏振片(4)和分束器(5)，其特征在于，在所述分束器(5)的参考光出射方向是参考光高速探测器(11)，在所述分束器(5)的测试光出射方向依次是待测样品(7)和测试光高速探测器(12)，所述的参考光高速探测器(11)的输出端与示波器(13)的第一输入端相连，所述的测试光高速探测器(12)的输出端与所述的示波器(13)的第二输入端相连，所述的示波器(13)的输出端与计算机(10)的输入端相连，该计算机(10)的输出端与所述的单色器(2)控制端相连，所述的单色器(2)出射波长连续变化。
2.利用权利要求1所述的紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置测量待测样品(7)的透射光谱的方法，主要包括以下步骤：
①在光路中不放置待测样品(7)，利用计算机(10)控制所述的单色器(2)的出射波长从λ1匀速的增加到λn，持续时间为t，所述的参考光高速探测器(11)和测试光高速探测器(12)采集连续的光强信号，所述的示波器(13)记录参考光高速探测器(11)和测试光高速探测器(12)采集到的光强信号序列，分别记为
Figure FDA0002594677440000011
和
Figure FDA0002594677440000012
并输入所述的计算机(10)；
②在所述的分束器(5)和测试光高速探测器(12)之间的光路中安装待测样品(7)，所述的计算机(10)控制所述的单色器(2)的出射波长从λ1匀速的增加到λn，持续时间为t，所述的参考光高速探测器(11)和测试光高速探测器(12)保持连续的光强信号采集，所述的示波器(13)记录参考光探测器(11)和测试光探测器(12)采集到的光强信号序列，分别记为
Figure FDA0002594677440000013
和
Figure FDA0002594677440000014
并输入所述的计算机(10)；
③所述的计算机(10)按如下公式计算待测样品(7)的透射比序列T(t)：
Figure FDA0002594677440000021
④根据如下公式，分别计算k和b：
Figure FDA0002594677440000022
b＝λ1 (1.3)
⑤把透射比序列T(t)的横坐标t，按照如下公式转化为波长λ，
λ＝kt+b (1.4)
得到待测样品(7)的透射光谱T(λ)。
CN201710000703.8A 2017-01-03 2017-01-03 紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法 Active CN106841065B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710000703.8A CN106841065B (zh) 2017-01-03 2017-01-03 紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710000703.8A CN106841065B (zh) 2017-01-03 2017-01-03 紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106841065A CN106841065A (zh) 2017-06-13
CN106841065B true CN106841065B (zh) 2020-09-15

Family

ID=59117782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710000703.8A Active CN106841065B (zh) 2017-01-03 2017-01-03 紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106841065B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107402195B (zh) * 2017-07-10 2019-12-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 半球形光学元件透射率及其均匀性的测量装置和方法
CN107340059A (zh) * 2017-07-20 2017-11-10 集礼（上海）国际贸易有限公司 太阳光测试系统和方法
CN108957426A (zh) * 2018-07-17 2018-12-07 中科院合肥技术创新工程院 一种激光雷达光电探测系统探测性能测试方法及装置
CN109358374B (zh) * 2018-10-29 2020-01-10 中国科学院上海技术物理研究所 一种进境农林动植物危险因子检测方法
CN112432898A (zh) * 2020-11-03 2021-03-02 中国科学院上海光学精密机械研究所 Kdp类晶体锥柱生长区域的判别方法及测量装置
CN117990211A (zh) * 2022-11-02 2024-05-07 华为技术有限公司 光谱仪和电子设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2638044Y (zh) * 2003-06-18 2004-09-01 中国科学院上海光学精密机械研究所 宽角度宽光谱的偏振分束膜特性的测量装置
CN103499391A (zh) * 2013-09-06 2014-01-08 清华大学 光谱测量系统
CN104316629A (zh) * 2014-10-14 2015-01-28 安徽皖仪科技股份有限公司 一种液相多通道检测器装置
CN106124166A (zh) * 2016-06-16 2016-11-16 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法
CN106153575A (zh) * 2016-07-11 2016-11-23 中国科学院上海技术物理研究所 一种声光调制双光路双探测器型近红外光谱仪及测试方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2638044Y (zh) * 2003-06-18 2004-09-01 中国科学院上海光学精密机械研究所 宽角度宽光谱的偏振分束膜特性的测量装置
CN103499391A (zh) * 2013-09-06 2014-01-08 清华大学 光谱测量系统
CN104316629A (zh) * 2014-10-14 2015-01-28 安徽皖仪科技股份有限公司 一种液相多通道检测器装置
CN106124166A (zh) * 2016-06-16 2016-11-16 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法
CN106153575A (zh) * 2016-07-11 2016-11-23 中国科学院上海技术物理研究所 一种声光调制双光路双探测器型近红外光谱仪及测试方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
用于脉冲压缩光栅的宽带高分辨率光谱测量技术;何凯等;《光学学报》;20131031;第33卷(第10期);第1005002-1到1005002-5页 *
紫外可见分光光度计及其应用;朱英等;《化工中间体》;20121115;第34-37页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN106841065A (zh) 2017-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106841065B (zh) 紫外-可见光-近红外透反射光谱测量装置和测量方法
US7990538B2 (en) Signal processing for optical computing system
CN107063456B (zh) 原位时间分辨光栅衍射效率光谱测量装置和方法
CN103630523A (zh) 一种用于水质光学分析仪表的激光诱导光谱生成装置
CN101271025A (zh) 一种对种子光信号进行超快时间分辨测量的方法及装置
CN102207459A (zh) 基于集成光技术的傅里叶变换芯片光谱仪
CN102213682B (zh) 一种干涉不敏感太赫兹波透射测量方法
CN112525828B (zh) 一种基于光学时间拉伸的穆勒矩阵测量系统及方法
CN108957426A (zh) 一种激光雷达光电探测系统探测性能测试方法及装置
CN102410992B (zh) 简化的激光诱导等离子体光谱标准化的元素测量方法
CN104344890A (zh) 微弱光信号光谱的快速测试装置及方法
CN101813519B (zh) 光谱仪杂散光校正方法
CN104048758B (zh) 提高基于电光调制波导的傅立叶变换光谱测量精度的方法
CN105004707B (zh) Ccd阵列在线拉曼光谱仪谱图标准化方法
CN107462525A (zh) 一种线性渐变滤光片的光谱特征参数测试方法
CN107478604B (zh) 透明材料折射率的测量装置和测量方法
CN104316629A (zh) 一种液相多通道检测器装置
CN115290587A (zh) 一种基于空芯光纤的多通道溶液浓度检测方法及检测装置
CN114609091A (zh) 基于光谱技术的水体浊度及叶绿素a浓度联动校准测量方法
CN201772994U (zh) 具有对称性和自校准的垂直入射薄膜反射率计
Li A technique of Data Acquisition and Processing in Fiber Grating Sensing System
RU51742U1 (ru) Газоанализатор
CN113310574B (zh) 一种超导单光子探测器探测效率测试装置与方法
Ratzlaff Spectrophotometer based on a charge-coupled device photoarray detector
CN110567899A (zh) 一种cod检测低温补偿方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant