CN106772135A - 一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法 - Google Patents

一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106772135A
CN106772135A CN201710168171.9A CN201710168171A CN106772135A CN 106772135 A CN106772135 A CN 106772135A CN 201710168171 A CN201710168171 A CN 201710168171A CN 106772135 A CN106772135 A CN 106772135A
Authority
CN
China
Prior art keywords
coil
core
air core
magnetic sensor
winding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710168171.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106772135B (zh
Inventor
王言章
黄文雪
时洪宇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jilin University
Original Assignee
Jilin University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jilin University filed Critical Jilin University
Priority to CN201710168171.9A priority Critical patent/CN106772135B/zh
Publication of CN106772135A publication Critical patent/CN106772135A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106772135B publication Critical patent/CN106772135B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/0052—Manufacturing aspects; Manufacturing of single devices, i.e. of semiconductor magnetic sensor chips
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V3/00—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation
    • G01V3/40—Electric or magnetic prospecting or detecting; Measuring magnetic field characteristics of the earth, e.g. declination, deviation specially adapted for measuring magnetic field characteristics of the earth

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Geology (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法，是由底座开设有过螺栓孔，螺栓穿过过螺栓孔通过定位孔与支柱螺纹连接，支柱上端通过胶固定在三维支架的长方体框架上，套管内装有磁化感应线圈，套管穿过三维支架设有的三个相互正交的支架通孔构成。卷绕空心磁芯的磁通大于棒形实心的磁通，提高了磁传感器的灵敏度，由于磁芯是空心结构，质量较轻，适用于对质量要求较高的星载感应式磁传感器中。采用卷绕圆筒形空心磁芯取代棒形实心磁芯的感应式磁传感器，能够达到在减轻感应式磁传感器重量的前提下，并提高磁传感器的灵敏度，尤其能达到大于棒形实心磁芯磁传感器灵敏度，实现具有质量轻，低功耗的感应式磁传感器。

Description

一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法
技术领域：
本发明涉及一种感应式磁传感器，尤其是适用于对质量要求较高的空间科学研究的星载感应式磁传感器。
背景技术：
感应式磁传感器是根据法拉第电磁感应定律研制出来的，因其具有灵敏度高，频带宽，噪声低等优点被广泛应用于地磁场的测量中。随着科学的深入研究，感应式磁传感器作为星载磁力仪被广泛的应用于空间科学探索中，国外在空间低频电磁波探测领域已经有50多年的研究历史。21世纪以来，已有多个国家成功发射携带星载感应式磁传感器的卫星，其中有美国的THEMIS星座，俄罗斯航天局的Compass1/2以及中国科学院与应用研究中心自主研制的第一台搭载在TC-2卫星上的低频电磁波探测器LFEW。LFEW仪器实现了对变化磁场的探测，成功的获得了重要的磁暴信息。目前，高性能、小型化、低功耗、低成本发展潜力的磁传感器类型备受关注，同时越来越多的小型飞船也开始应用于空间科学探索中，减轻星载感应式磁传感器的体积和重量在今后的空间探索中非常重要。感应式磁传感器主要由磁芯，线圈，以及后级补偿电路组成，其中磁芯和线圈是组成磁传感器重量的主要部分，所以通过减小线圈和磁芯的重量来减轻磁传感器的总重量。线圈的重量主要来源于铜漆包线的质量，直径越小的漆包线质量越轻，但线圈的电阻值会增大，线圈直流电阻的热噪声会随电阻值增加而增加，最终影响磁传感器的信噪比。磁传感器磁芯的形状一般为棒形或长方体，质量较沉，占据磁传感器重量的主要部分。近些年国外在研制小型化三分量磁传感器上取得了成就。
CN1967280B公开的一种星载磁场波动分析仪用的三分量磁传感器，采用的是棒形坡莫合金作为磁芯，三分量支架的形状为正六面体，底座材料为铝合金，优点是整体结构强度高，但不足之处是整体质量较重。
2005年由法国研制(Seran H.C,Fergeau P.An optimized low-frequencythree-axis search coil magnetometer for space research[J].Review ofScientific Instruments,2005,76(4):044502-044502-10)应用于科学卫星DEMETER的三分量感应式磁力仪在质量上优于之前的磁传感器设计，其采用坡莫合金丝作为磁芯，质量要小于之前采用的棒形铁氧体磁芯。其总体体重为430g，噪声水平为4fT/Hz0.5在6KHz,频带1Hz-20kHz。
2011年由以色列研制(Grosz A,Paperno E,Amrusi S,et al.A Three-AxialSearch Coil Magnetometer Optimized for Small Size,Low Power,and LowFrequencies[J].IEEE Sensors Journal,2011,11(4):1088-1094)的低频，低功耗三分量感应式磁传感器在小大和功耗上实现了近似于磁通门传感器，它主要将之前应用的长而细的磁芯换成短而粗磁芯，并通过优化线圈参数的设计最终在总体积上实现了小于法国DEMETER的22倍，噪声水平为12pT/Hz0.5在1Hz，频带20mHz-2kHz,但总质量为600g,要高于法国研制的三分量磁传感器。
上述方法均有实现小型化，质量轻的优点，但法国研制的三分量磁传感器采用坡莫合金丝作为磁芯降低了磁传感器的灵敏度。以色列研制小型化磁传感器线圈匝数较大，增加了线圈直流电阻的热噪声。
发明内容：
本发明的目的在于针对上述技术的不足，提供一种在保证高灵敏度，低噪声，小型化，低功耗的情况下通过改变磁芯的结构来减轻感应式磁传感器的总重量的一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器。
本发明的另一目的是提供一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器的制备方法。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
将坡莫合金薄带裁成宽等于磁芯的长度，长等于棒形实心磁芯周长的五倍，用卷绕机滚动卷绕。将卷绕完的磁芯进行退火处理，提高导磁率，在卷绕磁芯过程中坡莫合金薄带表面涂有氧化镁绝缘薄膜，使磁芯的层与层之间绝缘，在高频时可减少涡流损耗对磁芯性能的影响。
一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器，是由底座16开设有过螺栓孔24，螺栓23穿过过螺栓孔24通过定位孔25与支柱17螺纹连接，支柱17上端通过胶固定在三维支架15的长方体框架22上，套管14内装有敏感器件26，套管14穿过三维支架15设有的三个相互正交的支架通孔21构成。
敏感器件26是由坡莫合金薄带18卷绕制成卷绕空心磁芯11，卷绕空心磁芯11外部装有线圈骨架12，线圈13圈绕在线圈骨架12上，其外部绕有铜皮胶带构成。
线圈13是由感应线圈与反馈线圈反方向绕制构成。
一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器的制备方法，包括以下步骤：
a、将厚度0.1mm的坡莫合金薄带18裁成宽等于磁芯长度，长等于棒形实心磁芯周长的五倍；
b、坡莫合金薄带18通过磁芯卷绕机冲压卷绕成圆筒19，在卷绕过程中坡莫合金薄带18表面涂有氧化镁绝缘薄膜，经退火处理制成卷绕空心磁芯11；
c、卷绕空心磁芯11上设有线圈骨架12，线圈骨架12分成十一部分，每部分上绕制相同匝数的感应线圈，每部分上的感应线圈外部绕制相同匝数的反馈线圈，感应线圈与反馈线圈反方向紧密绕制，外部绕有铜皮胶带；
d、将190匝感应线圈单层绕在棒形实心磁芯上；
e、在给定的激励场中测出棒形实心磁芯的磁通；
f、将相同匝数的感应线圈单层绕在卷绕空心磁芯11上，卷绕空心磁芯11与棒形磁芯有相同的长径比，在相同的激励磁场中测出卷绕空心磁芯线圈敏感器件26的磁通；
g、在相同的激励磁场下，调整卷绕空心磁芯11的厚度，使通过卷绕空心磁芯11线圈的磁通大于棒形实心磁芯线圈的磁通；
h、将得到最佳厚度的卷绕空心磁芯11用于星载感应式磁传感器中，不仅能减轻磁传感器重量，同时还能提高磁传感器的灵敏度。
有益效果：本发明的卷绕式空心磁芯，不同于现有的棒形实心磁芯，是由坡莫合金薄带卷绕而成，改变卷绕的层数可以使卷绕磁芯的磁通大于棒形实心的磁通，从而提高磁传感器的灵敏度，由于磁芯是空心结构，其质量较轻，所以适用于对质量要求较高的星载感应式磁传感器中。采用卷绕圆筒形空心磁芯取代棒形实心磁芯的感应式磁传感器，能够达到在减轻感应式磁传感器重量的前提下，并提高磁传感器的灵敏度，尤其能达到大于棒形实心磁芯磁传感器灵敏度，实现了具有质量轻，功耗低，灵敏度高的感应式磁传感器。
附图说明：
图1：卷绕空心磁芯星载感应式磁传感器的三维视图
图2：三维支架15的三维视图
图3：底座16与支柱17的三维视图
图4：套管14及内部结构剖面图
图5：敏感器件26三维结构图
图6：卷绕式空心磁芯11的主视图
图7：棒形磁芯与空心磁芯磁通差图
11卷绕空心磁芯，12线圈骨架，13线圈，14套管，15支架，16底座，17支柱，18坡莫合金薄带，19坡莫合金圆筒，20线圈骨架通孔，21支架通孔，22长方体框架，23螺栓，24过螺栓孔，25定位孔，26敏感器件。
具体实施方式：
下面结合附图和实施例子对本发明作进一步的详细说明：
将坡莫合金薄带裁成宽等于磁芯的长度，长等于卷绕磁芯展开的长度，用卷绕机滚动卷绕。将卷绕完的磁芯进行退火处理，提高导磁率，在卷绕磁芯过程中坡莫合金薄带表面涂有氧化镁绝缘薄膜，使磁芯的层与层之间绝缘，在高频时可减少涡流损耗对磁芯性能的影响。
一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器，是由底座16开设有过螺栓孔24，螺栓23穿过过螺栓孔24通过定位孔25与支柱17螺纹连接，支柱17上端通过胶固定在三维支架15的长方体框架22上，套管14内装有敏感器件26，套管14穿过三维支架15设有的三个相互正交的支架通孔21构成。
敏感器件26是由坡莫合金薄带18卷绕制成卷绕空心磁芯11，卷绕空心磁芯11外部装有线圈骨架12，线圈13圈绕在线圈骨架12上，其外部绕有铜皮胶带构成。
线圈13是由感应线圈与反馈线圈反方向绕制构成。
一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器的制备方法，包括以下步骤：
a、将厚度0.1mm的坡莫合金薄带18裁成宽等于磁芯长度，长等于棒形实心磁芯周长的五倍；
b、坡莫合金薄带18通过磁芯卷绕机冲压卷绕成圆筒19，在卷绕过程中坡莫合金薄带18表面涂有氧化镁绝缘薄膜，经退火处理制成卷绕空心磁芯11；
c、卷绕空心磁芯11上设有线圈骨架12，线圈骨架12分成十一部分，每部分上绕制相同匝数的感应线圈，每部分上的感应线圈外部绕制相同匝数的反馈线圈，感应线圈与反馈线圈反方向紧密绕制，外部绕有铜皮胶带；
d、将190匝感应线圈单层绕在棒形实心磁芯上；
e、在给定的激励场中测出棒形实心磁芯的磁通；
f、将相同匝数的感应线圈单层绕在卷绕空心磁芯11上，卷绕空心磁芯11与棒形磁芯有相同的长径比，在相同的激励磁场中测出卷绕空心磁芯线圈敏感器件26的磁通；
g、在相同的激励磁场下，调整卷绕空心磁芯11的厚度，使通过卷绕空心磁芯11线圈的磁通大于棒形实心磁芯线圈的磁通；
h、将得到最佳厚度的卷绕空心磁芯11用于星载感应式磁传感器中，不仅能减轻磁传感器重量，同时还能提高磁传感器的灵敏度。
感应式磁传感器的噪声不仅与感应线圈等效电路的直流电阻、电感、分布电容参数有关，还与磁芯的有效磁导率和横截面积有关。磁传感器的灵敏度为：
R为线圈的直流电阻，C为线圈的分布电容，L为线圈的电感，Rfb为反馈电阻ω为角频率，N为线圈的匝数，S为磁芯的面积,为磁芯的有效磁导率，G为放大电路的放大倍数。
感应线圈的电阻主要与漆包线的直径有关，直径越小的漆包线质量越轻但电阻值也越大，感应线圈直流电阻的热噪声随电阻值的增加而增大，所以在设计实验时要根据后级补偿放大电路的噪声水平来选择线圈的线径。感应线圈的分布电容很难估计，但主要是由线圈的参数决定，感应线圈的电感是由磁芯和线圈的参数共同决定的。所以要想保证磁传感器高灵敏度，低噪声的性能，又要实现小型化，低功耗的特点就要从改变磁芯的结构上下手。磁传感器磁芯的作用主要是通过增加磁导率来增加感应线圈的感应电压值，所以选择具有高导磁率的材料作为磁传感器的磁芯，磁芯的选择一般为棒形铁氧体磁芯，或者叠片式坡莫合金磁芯。采用叠片式坡莫合金材料作为磁芯的主要目的是减小涡流损耗对磁芯有效面积的影响。
卷绕空心磁芯星载感应式磁传感器，是由卷绕空心磁芯11，线圈骨架12，线圈13，套管14，三维支架15，底座16，支柱17七个部分组成。卷绕空心磁芯11是采用1J85的坡莫合金薄带绕制而成的，将厚度为0.1mm的坡莫合金薄带18裁成宽等于磁芯长度，长等于卷绕铁芯展开的长度的方片，然后用磁芯卷绕机采用冲压卷圆的方式卷成圆筒19，在圆筒的基础上进行滚动卷5层形成圆筒形空心磁芯11。卷绕空心磁芯11的长为200mm，内径为14mm，外径为15mm，壁厚为0.5mm，磁芯的层与层之间绝缘。线圈骨架12的材料为未来树脂材料，总长为67mm，内径为17m，壁厚为1mm，外径为29mm。将线圈骨架12分成十一部分来减少线圈间的分布电容，每部分长度为5mm，宽度为5mm。线圈13的线径为0.08mm的铜漆包线，线圈骨架12的每部分绕1000匝线圈，线圈匝数共为11000匝。反馈线圈紧贴在感应线圈进行绕制，每部分线圈骨架12绕3匝反馈线圈来消除谐振频率处的峰值。反馈线圈共33匝。在感应线圈和反馈线圈外面用宽7cm的铜皮胶带缠绕，达到静电屏蔽的目的。线圈骨架12与卷绕空心磁芯11采用硅胶粘接固定。即可以减轻采用套管固定骨架所带来的重量。将感应线圈与反馈线圈的四根线穿过线圈骨架的通孔20分别与漆包线外的四根导线连接。长210mm，直径30mm的环氧树脂套管14套在敏感元件26的外部，三个相互正交的长方体框架22组成三维支架15，圆筒通孔21用来固定套管14，三维支架15由下面的底座16和支柱17来固定。
如图1所示，套有卷绕空心磁芯11和骨架12的线圈13镶嵌在环氧树脂套管14里，环氧树脂套管14穿过通孔21镶嵌在三维支架15上，三维支架15由三个相互正交的长方体框架22组成，三维支架15通过底座16和支柱17来固定。
如图2所示，三个相互正交的长方体框架22通过环氧树脂胶固定成三维支架15，长方体框架22内侧为圆筒通孔21，套管14中心1/3处通过环氧树脂胶固定在圆筒通孔21的上。
如图3所示，支柱17和底座16通过螺丝23穿过过螺栓孔24以及定位孔25将支柱17固定在底座16上，支柱17采用环氧树脂胶固定在三维支架15上。
如图4所示，线圈骨架12采用硅胶固定在绕空心磁芯11的1/3处，套管14通过环氧树脂胶固定在线圈骨架12与空心磁芯11的外侧。
如图5所示，线圈由感应线圈和反馈线圈组成，感应线圈为11000匝，绕在线圈骨架12上，线圈骨架12共分为十一部分，每部分饶有1000匝。反馈线圈共33匝，紧绕在感应线圈外侧，每部分绕3匝。线圈骨架12固定在卷绕卷绕空心磁芯11中央的1/3处，骨架总长67mm。
如图6所示，材料为1J85的坡莫合金薄带18，宽度为卷绕空心磁芯11的长度，长度等于棒形实心磁芯周长的五倍。坡莫合金薄带18的厚度为0.1mm，坡莫合金薄带用冲压卷圆的方式卷成圆筒19，以此圆筒为基础卷绕5层。卷绕空心磁芯11长200mm，内径14mm，外径15mm，壁厚0.5mm。卷绕空心磁芯11的层与层之间涂氧化镁薄膜达到绝缘效果。
如图7所示，纵轴为棒形磁芯磁通与卷绕空心磁芯磁通差的百分比，横轴为卷绕空心磁芯的壁厚值，从图中可以看出，在卷绕空心磁芯壁厚为0.5mm时，通过空心磁芯的磁通接近等于通过棒形实心磁芯的磁通，大于0.5mm时通过卷绕空心磁芯11的磁通要大于实心磁芯的磁通，所以在实际应用中可根据对磁传感器的质量和灵敏度的要求来合理选择卷绕空心磁芯11的壁厚，这样在保证质量轻的前提下，提高了磁传感器的灵敏度。
实施例1
在棒形磁芯上绕制单匝感应线圈190匝，在给定的1nT，1KHz的激励磁场下，测出通过棒形实心磁芯感应线圈的磁通。然后，在相同的激励磁场中，在卷绕空心磁芯11上同样绕制单匝感应线圈190匝，改变卷绕空心磁芯的壁厚值，在给定的激励磁场中测出通过卷绕空心磁芯11感应线圈的磁通。通过对比找出最佳壁厚的卷绕空心磁芯，使通过卷绕空心磁芯线圈的磁通等于棒形实心磁芯的磁通。磁芯的材料为1J85坡莫合金薄带18，厚0.1mm。将坡莫合金薄带18裁成宽＝200mm，长＝15mm·5层的方片，用冲压卷圆的方式卷成圆筒19，以此圆筒为基础卷绕5层构成卷绕空心磁芯11，其内径14mm，外径15mm，壁厚0.5mm。线圈骨架12的材料为未来8000树脂，总长67mm，共分为十一个部分来减少线圈的分布电容，每部分长5mm，宽5mm，线圈骨架12内径17mm，外径29mm，壁厚1mm。感应线圈绕在线圈骨架12上，每部分1000匝，共11000匝，反馈线圈紧绕在感应线圈的外侧，线圈骨架12每部分绕3匝反馈线圈，共33匝。在感应线圈与反馈线圈外侧包有铜皮胶带来实现静电屏蔽。线圈骨架12固定在卷绕空心磁芯11的1/3处，线圈骨架12与卷绕空心磁芯11采用硅胶粘接，减轻了之前采用套管固定骨架所带来的重量。感应线圈与反馈线圈的4根线穿过骨架的通孔20与导线连接。长210mm，直径30mm的环氧树脂套管14套在感应线圈的外侧，环氧树脂套管14穿过三个相互正交的长方体框架22内侧的圆筒通孔21固定在三维支架15上，支架15由底座16和支柱17来固定。

Claims (5)

1.一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器，其特征在于，是由底座(16)开设有过螺栓孔(24)，螺栓(23)穿过过螺栓孔(24)通过定位孔(25)与支柱(17)螺纹连接，支柱(17)上端通过胶固定在三维支架(15)的长方体框架(22)上，套管(14)内装有敏感器件(26)，套管(14)穿过三维支架(15)设有的三个相互正交的支架通孔(21)构成。
2.按照权利要求1所述的一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器，其特征在于，敏感器件(26)是由坡莫合金薄带(18)卷绕制成卷绕空心磁芯(11)，卷绕空心磁芯(11)外部装有线圈骨架(12)，线圈(13)圈绕在线圈骨架(12)上，其外部绕有铜皮胶带构成。
3.按照权利要求2所述的一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器，其特征在于，线圈(13)是由感应线圈与反馈线圈反方向绕制构成。
4.按照权利要求1所述的一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
a、将厚度0.1mm的坡莫合金薄带(18)裁成宽等于磁芯长度，长等于棒形实心磁芯周长的五倍；
b、坡莫合金薄带(18)通过磁芯卷绕机冲压卷绕成圆筒(19)，在卷绕过程中坡莫合金薄带(18)表面涂有氧化镁绝缘薄膜，经退火处理制成卷绕空心磁芯(11)；
c、卷绕空心磁芯(11)上设有线圈骨架(12)，线圈骨架(12)分成十一部分，每部分长度5mm，宽度5mm，每部分上绕制相同匝数的感应线圈，每部分上的感应线圈外部绕制相同匝数的反馈线圈，感应线圈与反馈线圈反方向紧密绕制，外部绕有铜皮胶带；
d、将一定匝数的感应线圈单层绕在棒形实心磁芯上；
e、在给定的激励场中测出棒形实心磁芯的磁通；
f、将相同匝数的感应线圈单层绕在卷绕空心磁芯(11)上，卷绕空心磁芯(11)与棒形磁芯有相同的长径比，在相同的激励磁场中测出卷绕空心磁芯线圈敏感器件(26)的磁通；
g、在相同的激励磁场下，调整卷绕空心磁芯(11)的厚度，使通过卷绕空心磁芯(11)线圈的磁通大于棒形实心磁芯线圈的磁通；
h、将得到最佳厚度的卷绕空心磁芯(11)用于星载感应式磁传感器中，不仅能减轻磁传感器重量，同时还能提高磁传感器的灵敏度。
5.按照权利要求4所述的一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器的制备方法，其特征在于，所述的一定匝数为190匝。
CN201710168171.9A 2017-03-21 2017-03-21 一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法 Expired - Fee Related CN106772135B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710168171.9A CN106772135B (zh) 2017-03-21 2017-03-21 一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710168171.9A CN106772135B (zh) 2017-03-21 2017-03-21 一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106772135A true CN106772135A (zh) 2017-05-31
CN106772135B CN106772135B (zh) 2019-08-27

Family

ID=58967089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710168171.9A Expired - Fee Related CN106772135B (zh) 2017-03-21 2017-03-21 一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106772135B (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107356887A (zh) * 2017-06-15 2017-11-17 北京纳特斯拉科技有限公司 一种球面型三轴磁通门探头
CN107764994A (zh) * 2017-11-21 2018-03-06 南京罗岛纳米科技有限公司 利用磁珠控制dna在固态纳米孔测序实验中扩散的装置
CN108469593A (zh) * 2018-04-02 2018-08-31 南京麦科尼传感技术有限公司 一种基于非晶丝正交阵列的高分辨率正交磁通门全方位磁场梯度传感器
CN108872888A (zh) * 2018-09-14 2018-11-23 中国科学院地质与地球物理研究所 一种新型磁芯骨架结构的磁通门磁传感器
CN109407158A (zh) * 2018-11-02 2019-03-01 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局 一种用于海底电缆检测线圈的夹具
CN109521378A (zh) * 2018-11-27 2019-03-26 北京航空航天大学 一种线圈磁传感器
CN111896902A (zh) * 2020-08-06 2020-11-06 天津大学 用于电力设备磁场检测的传感器磁芯性能的研究
CN113703061A (zh) * 2021-08-19 2021-11-26 吉林大学 一种小型化感应式电磁波传感器及其制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2263796Y (zh) * 1996-06-27 1997-10-01 中国科学院空间科学与应用研究中心 一种磁通门磁强计传感器
EP0972208A1 (en) * 1997-04-01 2000-01-19 PNI Corporation Magnetometer with coil and high permeabiliy core
JP2001194438A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気センサ
CN1967280A (zh) * 2005-11-18 2007-05-23 中国科学院空间科学与应用研究中心 星载磁场波动分析仪用的三分量传感器
CN102147451A (zh) * 2011-01-14 2011-08-10 广东工业大学 一种基于铁基非晶合金磁芯的磁通门探头及其制造方法
CN103630853A (zh) * 2013-08-20 2014-03-12 中国科学院电子学研究所 感应式磁场传感器
CN103969690A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 中国科学院电子学研究所 一种磁场传感器
CN104035055A (zh) * 2014-04-23 2014-09-10 中国科学院电子学研究所 一种用于石油测井的高灵敏度磁场传感器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2263796Y (zh) * 1996-06-27 1997-10-01 中国科学院空间科学与应用研究中心 一种磁通门磁强计传感器
EP0972208A1 (en) * 1997-04-01 2000-01-19 PNI Corporation Magnetometer with coil and high permeabiliy core
JP2001194438A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気センサ
CN1967280A (zh) * 2005-11-18 2007-05-23 中国科学院空间科学与应用研究中心 星载磁场波动分析仪用的三分量传感器
CN102147451A (zh) * 2011-01-14 2011-08-10 广东工业大学 一种基于铁基非晶合金磁芯的磁通门探头及其制造方法
CN103630853A (zh) * 2013-08-20 2014-03-12 中国科学院电子学研究所 感应式磁场传感器
CN104035055A (zh) * 2014-04-23 2014-09-10 中国科学院电子学研究所 一种用于石油测井的高灵敏度磁场传感器
CN103969690A (zh) * 2014-05-27 2014-08-06 中国科学院电子学研究所 一种磁场传感器

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107356887A (zh) * 2017-06-15 2017-11-17 北京纳特斯拉科技有限公司 一种球面型三轴磁通门探头
CN107764994A (zh) * 2017-11-21 2018-03-06 南京罗岛纳米科技有限公司 利用磁珠控制dna在固态纳米孔测序实验中扩散的装置
CN108469593A (zh) * 2018-04-02 2018-08-31 南京麦科尼传感技术有限公司 一种基于非晶丝正交阵列的高分辨率正交磁通门全方位磁场梯度传感器
CN108872888A (zh) * 2018-09-14 2018-11-23 中国科学院地质与地球物理研究所 一种新型磁芯骨架结构的磁通门磁传感器
CN109407158A (zh) * 2018-11-02 2019-03-01 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局 一种用于海底电缆检测线圈的夹具
CN109521378A (zh) * 2018-11-27 2019-03-26 北京航空航天大学 一种线圈磁传感器
CN111896902A (zh) * 2020-08-06 2020-11-06 天津大学 用于电力设备磁场检测的传感器磁芯性能的研究
CN113703061A (zh) * 2021-08-19 2021-11-26 吉林大学 一种小型化感应式电磁波传感器及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106772135B (zh) 2019-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106772135B (zh) 一种卷绕空心磁芯的星载感应式磁传感器及制备方法
CN108226825B (zh) 一种软磁薄膜平面线圈复合磁传感器及其制备方法
CN203867568U (zh) 一种核磁共振测井仪探头
Prance et al. Compact room-temperature induction magnetometer with superconducting quantum interference device level field sensitivity
JP2003526420A (ja) Ｓｎ比を改善するためのｒｆ磁束誘導構造を備えた磁気共鳴装置
Wang et al. Preparation of meander thin-film microsensor and investigation the influence of structural parameters on the giant magnetoimpedance effect
CN103953337A (zh) 一种核磁共振测井仪探头
CN110133560A (zh) 一种磁力仪测量范围与梯度容限指标测量装置
CN100410680C (zh) 集成到半导体衬底中的磁通闸门敏感元件及其制造方法
CN106569153A (zh) 一种磁通门传感器芯片
CN109521378B (zh) 一种线圈磁传感器
CN205427169U (zh) 一种基于mems技术的磁通门探头
CN204269802U (zh) 一种应用于核四极矩共振检测系统的平面弱耦合天线
Lei et al. Improved performance of integrated solenoid fluxgate sensor chip using a bilayer Co-based ribbon core
CN205333835U (zh) 一种小型化单轴磁通门探头
Ma et al. Giant magneto-impedance effect adjusted by electrolytic polishing and thinning of Co-based amorphous ribbons
JP3020169B1 (ja) 磁気シ―ルド装置
Qin et al. Influence of varying metal-to-glass ratio on GMI effect in Co70. 3Fe3. 7B10Si13Cr3 amorphous glass-coated microwires
CN111428380B (zh) 一种空心线圈结构参数仿真设计方法、装置及电子设备
CN103415196A (zh) 一种小型原子磁屏蔽与磁操控装置
CN107085131B (zh) 一种非侵入式慢电流测量仪及其制备方法
Sun et al. A novel core structure of inner-ringed multi-pitch rods for lightweight induction coil sensor design
CN205193260U (zh) 一种用于复合绝缘子检测的紧贴式双层平面射频线圈
Song et al. Design and optimization of miniaturized single frequency point inductive magnetic sensor
CN204882679U (zh) 一种低温漂的柔性微分电流传感器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190827

Termination date: 20200321

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee