CN106712571A - 一种基于压电纤维的直线驱动器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种基于压电纤维的直线驱动器,属于微纳精密驱动领域。由基座(1)、预紧力加载平台(2)、定子(3)、动子(4)组成,其中预紧力加载平台(2)和动子(4)安装在基座(1)上,定子(3)安装在预紧力加载平台(2)上并与动子(4)弹性接触;所述的定子(3)包括柔顺机构(3‑1)、压电纤维(3‑2);通过给压电纤维(3‑2)施加锯齿波驱动电信号,压电纤维(3‑2)缓慢缩短,快速伸长,使定子(3)产生摩擦驱动力,通过半圆柱驱动头(3‑1‑4)传递到动子(4)上,基于粘滑运动原理,驱动动子(4)运动。本发明优点是:结构简单、精度高、行程大,可用于微纳加工、精密光学、航空航天等领域。

Description

一种基于压电纤维的直线驱动器
技术领域
本发明涉及一种基于压电纤维的直线驱动器,属于微纳精密驱动技术领域。
背景技术
伴随着精密超精密加工、电子学、生物技术、精密测量等领域的快速发展,对微纳米精密驱动技术的要求越来越高,各研究机构也在积极对大行程、高精度的压电驱动器进行研究。大行程与高精度相互矛盾,如何较好地解决这个矛盾,实现大行程、高精度的压电驱动器已成为一个亟待解决的问题。压电纤维是一种新型的压电材料,具有柔性大、质量小,适合贴附于表面,较高的机电耦合系数,抗破坏能力强等优点,可用于实现大行程、高精度的压电驱动器的设计。
发明内容
为实现大行程、高精度的结合,本发明公开一种基于压电纤维的直线驱动器。
本发明通过以下技术方案实现:
一种基于压电纤维的直线驱动器,由基座、预紧力加载平台、定子、动子组成,其中预紧力加载平台和动子安装在基座上,定子固定安装在预紧力加载平台上,定子与动子预紧接触。定子包括柔顺机构、压电纤维。通过给压电纤维施加锯齿波电信号,在缓慢变形阶段,压电纤维缓慢缩短,倒C形薄片柔顺机构伸展,曲率变小,使半圆柱驱动头产生-y向位移,通过柔顺机构连接梁II增大了半圆柱驱动头对动子的正压力,从而增加了摩擦力,同时产生-x向位移,产生-x向驱动力,驱动动子运动;在快速变形阶段,压电纤维快速伸长,倒C形薄片柔顺机构快速回缩,曲率变大,降低了摩擦阻力,抑制动子回退。
柔顺机构包括倒C形薄片柔顺机构、柔顺机构连接梁I、C形薄片柔顺机构、柔顺机构连接梁II、半圆柱驱动头、刚性基座。倒C形薄片柔顺机构、柔顺机构连接梁I、C形薄片柔顺机构、柔顺机构连接梁II逆时针围成环,倒C形薄片柔顺机构的凹侧中部连接刚性基座,凸侧用于粘贴压电纤维。半圆柱驱动头设置于柔顺机构连接梁II中部,与动子接触,用于驱动动子运动。
本发明的有益效果是:结构简单,精度高,行程大。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
图1所示为本发明的结构示意图;
图2所示为本发明的定子结构示意图;
图3所示为本发明的柔顺机构结构示意图;
图4所示为本发明的驱动原理示意图;
图5所示为本发明的锯齿波驱动电信号波形示意图。
其中:1、基座;2、预紧力加载平台;3、定子;3-1、柔顺机构;3-1-1、倒C形薄片柔顺机构;3-1-2、柔顺机构连接梁I;3-1-3、C形薄片柔顺机构;3-1-4、柔顺机构连接梁II;3-1-5、半圆柱驱动头;3-1-6、刚性基座;3-2、压电纤维;4、转子。
具体实施方式
下面结合附图进一步说明本发明的详细内容及其具体实施方式。
参见图1至图5所示,本实施方式提供一种基于压电纤维的直线驱动器的具体实施方案。所述的一种基于压电纤维的直线驱动器,由基座(1)、预紧力加载平台(2)、定子(3)、动子(4)组成,其中预紧力加载平台(2)和动子(4)安装在基座(1)上,定子(3)固定安装在预紧力加载平台(2)上,定子(3)与动子(4)预紧接触。所述的定子(3)包括柔顺机构(3-1)、压电纤维(3-2)。
所述的柔顺机构(3-1)包括倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)、柔顺机构连接梁I(3-1-2)、C形薄片柔顺机构(3-1-3)、柔顺机构连接梁II(3-1-4)、半圆柱驱动头(3-1-5)、刚性基座(3-1-6)。所述的倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)、柔顺机构连接梁I(3-1-2)、C形薄片柔顺机构(3-1-3)、柔顺机构连接梁II(3-1-4)逆时针围成环,所述的倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)的凹侧中部连接刚性基座(3-1-6),凸侧用于粘贴压电纤维(3-2)。所述的半圆柱驱动头(3-1-5)设置于柔顺机构连接梁II(3-1-4)中部,与动子(4)弹性接触,用于驱动动子(4)运动。
通过给压电纤维(3-2)施加锯齿波电信号,在0-t1缓慢变形阶段,压电纤维(3-2)缓慢缩短,倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)伸展,曲率变小,使半圆柱驱动头(3-1-5)产生-y向位移,通过柔顺机构连接梁II(3-1-4)增大了半圆柱驱动头(3-1-5)对动子(4)的正压力,从而增加了摩擦力,同时产生-x向位移,产生-x向驱动力,驱动动子(4)运动;在t1-t2快速变形阶段,压电纤维(3-2)快速伸长,倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)快速回缩,曲率变大,降低了摩擦阻力,抑制动子(4)回退。

Claims (2)

1.一种基于压电纤维的直线驱动器,其特征在于:由基座(1)、预紧力加载平台(2)、定子(3)、动子(4)组成,其中预紧力加载平台(2)和动子(4)安装在基座(1)上,定子(3)固定安装在预紧力加载平台(2)上,定子(3)与动子(4)弹性线接触;所述的定子(3)包括柔顺机构(3-1)、压电纤维(3-2);通过给压电纤维(3-2)施加锯齿波电信号,缓慢变形阶段,压电纤维(3-2)缓慢缩短,倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)伸展,曲率变小,使半圆柱驱动头(3-1-5)产生-y向位移,通过柔顺机构连接梁II(3-1-4)增大了半圆柱驱动头(3-1-5)对动子(4)的正压力,从而增加了摩擦力,同时产生-x向位移,产生-x向驱动力,驱动动子(4)运动;快速变形阶段,压电纤维(3-2)快速伸长,倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)快速回缩,曲率变大,降低了摩擦阻力,抑制动子(4)回退。
2.根据权利要求1所述的一种基于压电纤维的直线驱动器,其特征在于:所述的柔顺机构(3-1)包括倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)、柔顺机构连接梁I(3-1-2)、C形薄片柔顺机构(3-1-3)、柔顺机构连接梁II(3-1-4)、半圆柱驱动头(3-1-5)、刚性基座(3-1-6);所述的倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)、柔顺机构连接梁I(3-1-2)、C形薄片柔顺机构(3-1-3)、柔顺机构连接梁II(3-1-4)逆时针围成环;所述的倒C形薄片柔顺机构(3-1-1)的凹侧中部连接刚性基座(3-1-6),凸侧用于粘贴压电纤维(3-2);所述的半圆柱驱动头(3-1-5)设置于柔顺机构连接梁II(3-1-4)中部,与动子(4)接触,用于驱动动子(4)运动。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107134945A (zh) * 2017-06-16 2017-09-05 吉林大学 一种单ω形压电直线驱动器
CN107276453A (zh) * 2017-06-16 2017-10-20 吉林大学 一种双ω形压电直线驱动器
DE102021116325B3 (de) 2021-06-24 2022-09-29 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Elektromechanischer Antrieb mit ebenem Versteifungskörper

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130108407A1 (en) * 2011-11-02 2013-05-02 Sergiy Pryadkin Two-axis inertial positioner
CN105406757A (zh) * 2015-12-12 2016-03-16 西安交通大学 基于压电粗纤维和曲柄滑块机构的旋转作动器及作动方法
WO2016055164A1 (de) * 2014-10-09 2016-04-14 Attocube Systems Ag Haft-gleit-antrieb, insbesondere piezo-aktuierter trägheitsantrieb
CN105897042A (zh) * 2016-06-06 2016-08-24 长春工业大学 非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法
CN206628994U (zh) * 2017-04-01 2017-11-10 吉林大学 一种基于压电纤维的直线驱动器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130108407A1 (en) * 2011-11-02 2013-05-02 Sergiy Pryadkin Two-axis inertial positioner
WO2016055164A1 (de) * 2014-10-09 2016-04-14 Attocube Systems Ag Haft-gleit-antrieb, insbesondere piezo-aktuierter trägheitsantrieb
CN105406757A (zh) * 2015-12-12 2016-03-16 西安交通大学 基于压电粗纤维和曲柄滑块机构的旋转作动器及作动方法
CN105897042A (zh) * 2016-06-06 2016-08-24 长春工业大学 非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法
CN206628994U (zh) * 2017-04-01 2017-11-10 吉林大学 一种基于压电纤维的直线驱动器

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
潘鹏 等: "基于粘滑原理纳米定位平台的设计和分析", 《微纳电子技术》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107134945A (zh) * 2017-06-16 2017-09-05 吉林大学 一种单ω形压电直线驱动器
CN107276453A (zh) * 2017-06-16 2017-10-20 吉林大学 一种双ω形压电直线驱动器
CN107134945B (zh) * 2017-06-16 2023-09-12 吉林大学 一种单ω形压电直线驱动器
CN107276453B (zh) * 2017-06-16 2023-09-12 吉林大学 一种双ω形压电直线驱动器
DE102021116325B3 (de) 2021-06-24 2022-09-29 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Elektromechanischer Antrieb mit ebenem Versteifungskörper
WO2022269059A1 (de) * 2021-06-24 2022-12-29 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Elektromechanischer antrieb mit ebenem versteifungskörper

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