CN106641813B - 真空紫外光管照明装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种真空紫外光管照明装置，包括：真空紫外光源，用于提供紫外光；设置在所述紫外光出射光路上的平面反射镜，用于将所述紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；设置在所述反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出；采用全反射的方式实现光管照明，结构简单，有效降低光管照明系统成本，保证装调精度。

Description

真空紫外光管照明装置
技术领域
本发明涉及真空紫外光学系统设计技术领域，尤其涉及一种真空紫外光管照明装置。
背景技术
在对光学载荷进行校准测试过程中，通常需要为被校光学载荷提供准直照明光束，常见的照明方式为光管照明方式，光管照明系统能够实现对入射光的准直功能，供被校光学载荷进行不同参数的校准测试。光管照明系统可以采用透射式、透反式等方式来设计实现，在可见光及红外波段多采用透射式方法来实现光管照明功能，由于真空紫外波段的特殊性，透射式及透反式较难实现光管照明功能，并且在真空紫外波段可用的透射光学材料较少，并且对能量具有较大吸收，降低了光学载荷校准测试的灵敏度和准确度，进而影响整机性能指标，另外针对110nm～400nm的宽波段范围，需采用组合设计方式，分成了四段来进行设计，分别为110nm～130nm、130nm～150nm、150nm～200nm、200nm～400nm，这样会造成光管照明系统的复杂化，增加了成本负担，装调精度难以保证。
发明内容
在下文中给出关于本发明的简要概述，以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分，也不是意图限定本发明的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。
为解决上述问题，本发明提出一种真空紫外光管照明装置，结构简单，有效降低光管照明系统成本，保证装调精度。
一种真空紫外光管照明装置，包括：
真空紫外光源，用于提供紫外光；
设置在所述紫外光出射光路上的平面反射镜，用于将所述紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；
设置在所述反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出。
本发明提供的真空紫外光管照明装置，采用全反射的方式实现光管照明，结构简单，有效降低光管照明系统成本，保证装调精度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明提供的真空光管照明装置一种实施例的结构示意图。
图2为本发明提供的真空光管照明装置中平面反射镜一种实施例的结构示意图。
图3为本发明提供的真空光管照明装置中离轴抛物面反射镜一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图来说明本发明的实施例。在本发明的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或者更多个其他附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚目的，附图和说明中省略了与本发明无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。
参考图1、图2和图3，本实施例提供一种真空紫外光管照明装置，包括：
真空紫外光源101，用于提供紫外光；
设置在紫外光出射光路上的平面反射镜102，用于将紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；
设置在反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜103，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出。
本实施例提供的真空紫外光管照明装置，采用全反射的方式实现光管照明，结构简单，有效降低光管照明系统成本，保证装调精度。
进一步地，平面反射镜102与水平夹角为45°，离轴抛物面反射镜103与水平夹角为90°，经平面反射镜102输出的反射紫外光再经离轴抛物面反射镜103反射，形成平行光输出。
进一步地，平面反射镜102和离轴抛物面反射镜103均采用微晶材料制成。作为一种可选的实施方式，离轴抛物面反射镜103的反射面conic系数为-1，曲率半径为-4000mm，中心厚度为39±0.1mm，近光轴端面厚度为25±0.1mm，远光轴端面厚度为55±0.1mm，有效通光口径为φ220mm；平面反射镜102反射表面半径为∞mm，厚度为15±0.1mm，有效通光口径为φ135mm；平面反射镜中心与所述离轴抛物面反射镜中心的水平方向距离为1490±5mm，平面反射镜中心与所述离轴抛物面反射镜中心的垂直方向距离为162±2mm。
进一步地，平面反射镜102和离轴抛物面反射镜103表面设有反射膜，作为一种可选的实施方式，该反射膜的工作波段为110nm～400nm，满足真空紫外波段的使用要求。
本发明提供的真空紫外光管照明装置，通过采用全反射式设计方法，合理选择反射镜的材料及面型参数，使光管照明装置在110nm～400nm波段范围内实现功能要求，简化了光学系统结构，提高了系统反射率及可靠性。使真空紫外光管照明系统的波段范围、温度范围和性能参数得到合理匹配，降低了成本，简化了系统结构，满足系统使用要求。
虽然已经详细说明了本发明及其优点，但是应当理解在不超出由所附的权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下可以进行各种改变、替代和变换。而且，本申请的范围不仅限于说明书所描述的过程、设备、手段、方法和步骤的具体实施例。本领域内的普通技术人员从本发明的公开内容将容易理解，根据本发明可以使用执行与在此所述的相应实施例基本相同的功能或者获得与其基本相同的结果的、现有和将来要被开发的过程、设备、手段、方法或者步骤。因此，所附的权利要求旨在它们的范围内包括这样的过程、设备、手段、方法或者步骤。

Claims (3)

1.一种真空紫外光管照明装置，其特征在于，包括：
真空紫外光源，用于提供紫外光；
设置在所述紫外光出射光路上的平面反射镜，用于将所述紫外光进行反射处理，形成反射紫外光；
设置在所述反射紫外光出射光路上的离轴抛物面反射镜，用于将所述反射紫外光进行准直处理后输出；
其中，
所述平面反射镜和所述离轴抛物面反射镜采用微晶材料制成；
所述离轴抛物面反射镜的反射面conic系数为-1，曲率半径为-4000mm，中心厚度为39±0.1mm，近光轴端面厚度为25±0.1mm，远光轴端面厚度为55±0.1mm，有效通光口径为φ220mm；
所述平面反射镜反射表面半径为∞mm，厚度为15±0.1mm，有效通光口径为φ135mm；平面反射镜中心与所述离轴抛物面反射镜中心的水平方向距离为1490±5mm，平面反射镜中心与所述离轴抛物面反射镜中心的垂直方向距离为162±2mm。
2.根据权利要求1所述的真空紫外光管照明装置，其特征在于，所述平面反射镜与水平夹角为45°。
3.根据权利要求1所述的真空紫外光管照明装置，其特征在于，所述平面反射镜和离轴抛物面反射镜表面设有反射膜。
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