CN106526256B - 一种气敏测试复合探针及其应用 - Google Patents

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卢静
金彩虹
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    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams

Abstract

本发明涉及一种气敏测试复合探针及其应用，包含探针架、探针底座以及调节螺杆。其探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4。结构简单，可用板材简单加工而成；探针悬臂梁有一定弹性，可便于调节探针力度；探针高度可通过改变螺杆在调节孔中不同位置以及螺母和支撑弹簧，而方便的获得；多根探针的设置，可一次性实现多个传感器器件性能的测量。

Description

一种气敏测试复合探针及其应用
发明领域
本发明属于半导体敏感元件测试领域，尤其涉及一种气敏测试复合探针及其应用，一种半导体气敏元件测试系统的测试电极。
背景技术
半导体金属氧化物气体传感器由于具有成本低、响应时间和恢复时间快、小型化、低能耗等特点，近年来在大气和室内环境监测、企业安全生产、医疗等领域的应用越来越广泛。半导体气体传感器有旁热式、薄膜式等多种形式。薄膜式由于可用丝网印刷等方式大面积加工，因此具有广泛的应用。对于薄膜气体传感器的性能测试，一般在传感器基片底部镀有导电电极，而外部测试仪通过探针与电极相连，来测量气氛的变化过程中，传感器电阻的变化。
目前相关的测试仪，探针多采用光学的探针台结构，可多维度调节探针位置，但是结构复杂，体积较大，价格较为昂贵。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明提供一种气敏测试复合探针，一种用于气体传感器性能测试的复合探针。该探针结构简单，位置可调，价格便宜，且带多个探针，可同时测量多个传感器性能。
一种气敏测试复合探针，其特征在于包含探针架、探针底座以及调节螺杆。
其探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4。
其探针底座包括探针底座板6、与探针底座板垂直折弯的带孔的一对下支架7以及在探针底座板中部与探针底座板垂直的带孔的一对螺杆支架8。
其调节螺杆包括螺杆9、与螺杆末端连接的开孔的转动环10、套在螺杆外面的弹簧11以及调节高度的螺母12。
一种气敏测试复合探针用于气体传感器性能测试的应用。
本发明具有如下优点：
1、结构简单，可用板材简单加工而成；
2、探针悬臂梁有一定弹性，可便于调节探针力度；
3、探针高度可通过改变螺杆在调节孔中不同位置以及螺母和支撑弹簧，而方便的获得；
4、多根探针的设置，可一次性实现多个传感器器件性能的测量。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作出详细的说明，其中：
图1为本发明较佳实施例的探针架结构示意图；
图2为本发明较佳实施例的探针底座结构示意图；
图3为本发明较佳实施例的调节螺杆结构示意图；
图4为本发明较佳实施例的复合探针整体示意图。
具体实施方式
如图1-4所示，为本发明较佳实施例的结构示意图，所述的一种气敏测试复合探针，包含探针架、探针底座以及调节螺杆等。所述的探针架包括探针架板1、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔2、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架5、探针架板末端的多根探针悬臂梁3以及安装在悬臂梁上的多根金属探针4；所述的探针底座包括探针底座板6、与探针底座板垂直折弯的带孔的一对下支架7以及在探针底座板中部与探针底座板垂直的带孔的一对螺杆支架8；所述调节螺杆包括螺杆9、与螺杆末端连接的开孔的转动环10、套在螺杆外面的弹簧11以及调节高度的螺母12。复合探针，通过插销将探针架与探针底座连接在一起，调节螺杆连接在探针底座，通过改变螺杆在调节孔中不同位置，同时通过螺母的调节以及弹簧的压力，可调节探针架的高度，进而调节探针高度，实现探针与传感器基片的接触，便于传感器性能的测试。

Claims (2)

1.一种气敏测试复合探针，其特征在于包含探针架、探针底座以及调节螺杆；
其探针架包括探针架板（ 1） 、在探针架板中心部位开凿的长条形高度调节孔（ 2） 、与探针架板垂直折弯的带孔的一对上支架（ 5） 、探针架板末端的多根探针悬臂梁（ 3） 以及安装在悬臂梁上的多根金属探针（ 4） ；
其探针底座包括探针底座板（ 6） 、与探针底座板垂直折弯的带孔的一对下支架（ 7）以及在探针底座板中部与探针底座板垂直的带孔的一对螺杆支架（ 8） ；
其调节螺杆包括螺杆（ 9） 、与螺杆末端连接的开孔的转动环（ 10） 、套在螺杆外面的弹簧（ 11） 以及调节高度的螺母（ 12） 。
2.如权利要求1所述的一种气敏测试复合探针用于气体传感器性能测试的应用。
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