CN106290431A - 扫描电子显微镜测试用样品盒及利用其进行测试的方法 - Google Patents

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高云智
曹毅
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material

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Abstract

一种扫描电子显微镜测试用样品盒及利用其进行测试的方法，属于材料化学研究工具领域，解决了现有描电子显微镜所配备的样品盒存在的问题，一种扫描电子显微镜测试用样品盒，它包含盒体、盒盖、密封圈、连接轴、开盖扭簧和单向抽气阀，盒体是导电金属材质的，如不锈钢，铝合金等，在盒体的开口处设置有盒盖，在盒体与盒盖之间设置有密封圈，盒体与盒盖通过连接轴沿开合方向转动连接，在连接轴上设置有开盖扭簧，使盒盖在自然条件下处于打开状态，在盒体上设置有单向抽气阀，可以抽掉盒内气体；本发明用于测试对空气和水分敏感的样品。

Description

扫描电子显微镜测试用样品盒及利用其进行测试的方法
技术领域
本发明属于材料化学研究工具领域，具体涉及一种扫描电子显微镜测试用样品盒及利用其进行测试的方法。
背景技术
扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope），简称SEM，是1965年发明的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射，二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。
发展至今，描电子显微镜已广泛应用于材料化学研究等多个领域，对很多常规样品表面形貌的测试分析非常有效，但是，随着科学研究的不断深入，出现了一些对空气和水敏感的研究样品，使用现有描电子显微镜所配备的样品盒无法实现对这些样品的测试，因此，需要设计一种新的样品盒，保证样品在转移和测试的过程中避免与水分和空气接触。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有描电子显微镜所配备的样品盒存在的上述问题，提供了一种扫描电子显微镜测试用样品盒及利用其进行测试的方法，其技术方案如下：
一种扫描电子显微镜测试用样品盒，它包含盒体、盒盖、密封圈、连接轴、开盖扭簧和单向抽气阀，盒体是导电金属材质的，如不锈钢，铝合金等，在盒体的开口处设置有盒盖，在盒体与盒盖之间设置有密封圈，盒体与盒盖通过连接轴沿开合方向转动连接，在连接轴上设置有开盖扭簧，使盒盖在自然条件下处于打开状态，在盒体上设置有单向抽气阀，可以抽掉盒内气体。
利用上述扫描电子显微镜测试用样品盒进行测试的方法，它包含如下步骤：
第一步，在盒体内部底面上粘导电胶，并在导电胶上粘测试样品，粘测试样品要在存储样品的空间内进行，由于测试样品对空气和水敏感，所以要存储在充满氩气等惰性气体的空间内，粘测试样品后合上盒盖，用夹子将盒体与盒盖夹紧；
第二步，利用抽真空装置与单向抽气阀连接进行抽真空，抽真空完成后，将夹子取下，在气压作用下开盖扭簧不会驱动盒盖打开；
第三步，将样品盒转移至扫描电子显微镜的腔体中，对扫描电子显微镜的腔体进行抽真空至盒盖自动打开，当扫描电子显微镜腔体中的真空度与样品盒中的真空度接近时，开盖扭簧便会驱动盒盖打开；
第四步，操作扫描电子显微镜将样品盒升至合适的高度进行测试。
本发明的有益效果为：可以用于测试对空气和水分敏感的样品，整个过程中样品处于真空或氩气环境中，有效的防止该类样品发生变质，能准确测试样品表面形貌和表面元素分布等特征。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1的分解示意图；
图3是本发明合上盒盖的状态示意图。
具体实施方式
参照图1至图3，一种扫描电子显微镜测试用样品盒，它包含盒体1、盒盖2、密封圈3、连接轴4、开盖扭簧5和单向抽气阀6，盒体1是导电金属材质的，如不锈钢，铝合金等，在盒体1的开口处设置有盒盖2，在盒体1与盒盖2之间设置有密封圈3，盒体1与盒盖2通过连接轴4沿开合方向转动连接，在连接轴4上设置有开盖扭簧5，使盒盖2在自然条件下处于打开状态，在盒体1上设置有单向抽气阀6，可以抽掉盒内气体。
利用上述扫描电子显微镜测试用样品盒进行测试的方法，它包含如下步骤：
第一步，在盒体1内部底面上粘导电胶，并在导电胶上粘测试样品，粘测试样品要在存储样品的空间内进行，由于测试样品对空气和水敏感，所以要存储在充满氩气等惰性气体的空间内，粘测试样品后合上盒盖2，用夹子将盒体1与盒盖2夹紧；
第二步，利用抽真空装置与单向抽气阀6连接进行抽真空，抽真空完成后，将夹子取下，在气压作用下开盖扭簧5不会驱动盒盖2打开；
第三步，将样品盒转移至扫描电子显微镜的腔体中，对扫描电子显微镜的腔体进行抽真空至盒盖2自动打开，当扫描电子显微镜腔体中的真空度与样品盒中的真空度接近时，开盖扭簧5便会驱动盒盖2打开；
第四步，操作扫描电子显微镜将样品盒升至合适的高度进行测试。
优选的是，在盒体1的与密封圈3对应的位置设置有深度小于密封圈3高度的凹槽1-1，用于放置密封圈3。
优选的是，本样品盒包含夹子，便于将盒体1与盒盖2夹紧。
优选的是，盒盖2采用透明材质或在盒盖2上设置有观察窗，便于观察样品在样品盒中的位置分布情况。

Claims (5)

1.一种扫描电子显微镜测试用样品盒，其特征在于它包含盒体(1)、盒盖(2)、密封圈(3)、连接轴(4)、开盖扭簧(5)和单向抽气阀(6)，盒体(1)是导电金属材质的，在盒体(1)的开口处设置有盒盖(2)，在盒体(1)与盒盖(2)之间设置有密封圈(3)，盒体(1)与盒盖(2)通过连接轴(4)沿开合方向转动连接，在连接轴(4)上设置有开盖扭簧(5)，在盒体(1)上设置有单向抽气阀(6)。
2.利用权利要求1所述扫描电子显微镜测试用样品盒进行测试的方法，其特征在于它包含如下步骤：
第一步，在盒体(1)内部底面上粘导电胶，并在导电胶上粘测试样品，粘测试样品要在存储样品的空间内进行，粘测试样品后合上盒盖(2)，用夹子将盒体(1)与盒盖(2)夹紧；
第二步，利用抽真空装置与单向抽气阀(6)连接进行抽真空，抽真空完成后，将夹子取下；
第三步，将样品盒转移至扫描电子显微镜的腔体中，对扫描电子显微镜的腔体进行抽真空至盒盖(2)自动打开；
第四步，操作扫描电子显微镜将样品盒升至合适的高度进行测试。
3.如权利要求1所述一种扫描电子显微镜测试用样品盒，其特征在于在盒体(1)的与密封圈(3)对应的位置设置有深度小于密封圈(3)高度的凹槽(1-1)。
4.如权利要求1所述一种扫描电子显微镜测试用样品盒，其特征在于本样品盒包含夹子。
5.如权利要求1所述一种扫描电子显微镜测试用样品盒，其特征在于盒盖(2)采用透明材质或在盒盖(2)上设置有观察窗。
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