CN106253747B - 一种集成式柔性发电薄膜 - Google Patents
一种集成式柔性发电薄膜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106253747B CN106253747B CN201610748588.8A CN201610748588A CN106253747B CN 106253747 B CN106253747 B CN 106253747B CN 201610748588 A CN201610748588 A CN 201610748588A CN 106253747 B CN106253747 B CN 106253747B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thin film
- exterior layer
- flexible
- film exterior
- sandwich
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010248 power generation Methods 0.000 title abstract description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 85
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 45
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 13
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011133 lead Substances 0.000 claims description 4
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 claims description 4
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 241000245665 Taraxacum Species 0.000 description 1
- 235000005187 Taraxacum officinale ssp. officinale Nutrition 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
- H02N2/186—Vibration harvesters
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明公开了一种集成式柔性发电薄膜，包括有上薄膜外层、下薄膜外层以及之间设有夹心层，夹心层由沉积于所述下薄膜外层上的下电极，沉积于所述下电极上的中夹心层，以及沉积于所述中夹心层上的上电极组成，夹心层的一侧设有一层柔性电路板和一层片状柔性电容，柔性电路板和柔性电容与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接并夹在上薄膜外层与下薄膜外层中间位置，夹心层上下表面的上电极与下电极通过导线与柔性电路板的输入端相连，柔性电路板的输出端通过导线与柔性电容相接。本发明改善了硬性压电能量收集装置的缺陷，利用柔性电路板和柔性电容改进了现有柔性压电能量收集装置的不足，提高了柔性压电能量收集装置集成度和能量收集的效率。
Description
技术领域：
本发明涉及发电电源以及能量回收领域，尤其涉及振动能量回收以及柔性发电电源，主要涉及一种集成式柔性发电薄膜。
背景技术：
随着无线技术及微机电技术的日益发展，小尺寸、低能耗的微电子设备的研发取得了巨大进展，以半导体为主要材料的芯片实现了微型化和低功耗，而以化学电池为主的供能方式由于化学电池尺寸大、寿命有限和需要更换等缺点的弊端日渐显露。化学电池为主的供能方式在一些微电子产品中的应用受到了限制，这些产品跟换电池会产生很大的成本，在一些应用情况下甚至无法跟换电池，这种缺陷将表现得更加明显。尽管可以运用微机电系统工艺研制了相应的微能源器件，比如微太阳能电池、微锂电池及燃料电池等，但受天气、应用场合以及自身的能量密度较低等情况所限，并不能解决能量自供给的难题。
另一方面，振动作为自然界常见的现象，由于其几乎无处不在且具有较高的能量密度，通过收集振动产生的能量并转换为可用电能可以实现小尺寸、低能耗的微电子设备和以半导体为主要材料的微型芯片的自供电。通过具有压电效应的材料可以将振动产生的能量转换为电能，压电振动能量收集装置以其结构简单、清洁环保及易于微型化等诸多优点而得到了极大重视。
传统的压电能量收集装置都是硬性压电能量收集装置，其收集振动能量的压电材料采用压电陶瓷材料，压电陶瓷材料脆性大，在使用过程中不能承受较大的应变且易碎，限制了压电能量收集装置的工作效率，降低了压电能量收集装置输出的电能密度，如专利一种自发电手电筒（申请号：2014203225939）利用压电能量收集装置收集手的揉捏激励压电材料振动和变形产生的电能。这种压电能量收集装置结构简单，但压电能量收集装置中的压电材料采用压电陶瓷材料，属于硬性压电能量收集装置，能量收集的效率较低，产生的电能有限。传统的硬性压电能量收集装置只适合收集单方向、频率稳定的外界激励产生的振动能量。当外界激励的频率发生较大范围的变化或外界激励的方向发生变化时，传统的硬性压电能量收集装置的工作效率下降明显，甚至无法输出可用电能。近年来，我国己有人员改进硬性压电能量收集装置结构，出现了如专利蒲公英状多方向、宽频带压电振动能量收集装置（申请号：201010601354.3）为代表的宽频带压电能量收集结构以及多方向压电能量收集装置。但目前硬性压电能量收集装置普遍缺陷是压电材料不能承受较大的应变，能量收集效率和输出电能密度较低。
现有的柔性压电能量收集装置的专利中，能量处理电路采用硬性PCB板材料制作，这种硬性PCB板材料由于自身脆性较大不能集成于柔性压电能量收集装置中，使能量收集装置的集成性下降，造成能量收集装置难以微型化与实用化，如专利一种柔性发电电源及其柔性显示屏（申请号 201410234428.2），该专利中能量收集装置使用的材料都是柔性材料，属于柔性压电能量收集装置。该柔性能量收集装置没有集成能量处理电路，而是通过在柔性基板上外置充电电池，存储工作过程中压电材料产生的电能，降低了能量收集的效率，外置充电电池无法集成在柔性压电能量收集装置内部，降低了该柔性压电能量收集装置的集成度，不利于该柔性压电能量收集装置的微型化。
发明内容：
本发明目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种集成式柔性发电薄膜，该柔性压电能量收集装置具有可卷曲、轻薄、可贴合运动物体等优点从而更有效地收集能源。改进现有柔性压电能量收集装置的不足，将能量处理电路板由传统硬质PCB板更换为柔性电路板，并增加柔性电容作为储能元件，使压电能量收集装置更易集成化与微型化，适合与新型的柔性电子器件相集成，并为其提供能源。
本发明是通过以下技术方案实现的：
一种集成式柔性发电薄膜，其特征在于：包括有上薄膜外层、下薄膜外层，所述上薄膜外层、下薄膜外层之间设有夹心层，所述夹心层为三层结构，由沉积于所述下薄膜外层上的下电极，沉积于所述下电极上的中夹心层，以及沉积于所述中夹心层上的上电极组成，所述夹心层的一侧设有一层柔性电路板和一层片状柔性电容，所述柔性电路板和柔性电容与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接并夹在上薄膜外层与下薄膜外层中间位置，所述夹心层上下表面的上电极与下电极通过导线与柔性电路板的输入端相连，所述柔性电路板的输出端通过导线与柔性电容相接。
所述的上薄膜外层和下薄膜外层采用柔性材料，所述柔性材料为高分子有机塑料或高分子有机硅化物。
所述的中夹心层采用柔性压电材料为聚偏氟乙烯。
所述夹心层中的上电极由镁、铝和银中的一种材料组成；所述夹心层中的下电极由铅、银、铝和铜中的一种材料组成。
所述柔性电路板采用柔性高分子材料。
所述柔性电容采用柔性材料。
所述夹心层与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接；所述夹心层处于上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述薄膜外层完全包含夹心层或夹心层伸出薄膜外层。
所述柔性电路板与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接；所述柔性电路板处上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述薄膜外层完全包含柔性电路板或柔性电路板伸出薄膜外层。
所述柔性电容与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接；所述柔性电容处于上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述薄膜外层完全包含柔性电或柔性电容伸出薄膜外层。
所述夹心层、柔性电路板和柔性电容夹在上薄膜外层与下薄膜外层中间位置，所述夹心层、柔性电路板和柔性电容处于上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述夹心层上表面、柔性电路板上表面和柔性电容上表面处于同一平面或处于不同平面。
本发明的优点是：
1.本发明属于柔性压电能量收集装置，易与新型的柔性电子器件相集成，并为其提供能源。
2.本发明通过采用柔性压电能量收集装置设计改善了硬性压电能量收集装置的缺陷，利用柔性电路板和柔性电容改进了现有柔性压电能量收集装置的不足，提高了柔性压电能量收集装置集成度和能量收集的效率。
3.该发明全部采用柔性材料制作，压电能量收集装置具有可卷曲、轻薄、便于贴合运动物体。
4.该发明采用柔性电路板并将其埋入柔性压电能量收集装置中，提高了柔性压电能量收集系统的可靠性和集成性。
5.该发明设计结构紧凑，节省空间，同时结构简单，可以广泛应用于机械结构，建筑结构等的振动能量收集。
附图说明：
图 1 为本发明集成式柔性发电薄膜其中一种结构的主剖视图。
图2为本发明集成式柔性发电薄膜其中一种结构的俯视图。
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中 ：
1为上薄膜外层，2为上电极，3为柔性电路板，4为中夹心层，5为下电极，6位柔性电容，7为下薄膜外层
具体实施方式：
参见附图。
为了使本发明的目的、 技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。 应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
图 1 是按照本发明集成式柔性发电薄膜的其中一种结构的主剖视图。如图 1 中所示，按照本发明集成式柔性发电薄膜主要包括上薄膜外层1；上电极2；柔性电路板3；中夹心层4；下电极5；柔性电容6和下薄膜外层7。所述上薄膜外层1和下薄膜外层7为柔性薄膜（其材质可直接取PDMS即聚二甲基硅氧烷）；所述上电极2由镁、铝和银中的一种材料组成，所述下电极5由铅、银、铝和铜中的一种材料组成；所述中夹心层4采用柔性压电材料，柔性压电材料可取聚偏氟乙烯；所述柔性电路板3材料采用铜箔；粘接剂和柔性绝缘基材；所述柔性电容6材料选用柔性材料。
所述夹心层、柔性电路板3和柔性电容6夹在上薄膜外层1与下薄膜外层2的中间位置，呈三明治结构。所述夹心层与上薄膜外1和下薄膜外层2之间弹性粘接，所述上薄膜外层1与下薄膜外层2完全包含夹心层。所述柔性电路板3与上薄膜外层1和下薄膜外层2之间弹性粘接，所述上薄膜外层1与下薄膜外层2完全包含柔性电路板3。所述柔性电容6与上薄膜外层1和下薄膜外层2之间弹性粘接，所述上薄膜外层1与下薄膜外层2完全包含柔性电容6。所述夹心层上表面；柔性电路板3上表面和柔性电容6上表面处于同一平面内。当使用该集成式柔性发电薄膜时，所述上薄膜外层1与下薄膜外层2直接感受外界振动，将振动中包含的能量传递到所述夹心层。所述夹心层中的柔性压电材料，用于将收集的振动能量转换为电能，产生表面电荷。所述夹心层表面上电极2与下电极5通过导线将压电材料表面电荷输入到柔性电路板中处理并转换成可用电能。所述柔性电路板的输出端通过导线与柔性电容相接，将转换的电能存储在柔性电容中。
下面将具体描述按照本发明用于制造集成式柔性发电薄膜装置的工艺流程。
首先，将选自柔性高分子材料的薄膜块切割成所需尺寸以及形状结构，形成上下柔性薄膜。接着，将柔性压电材料PVDF切割成所需尺寸的片状结构并通过磁控溅射、热蒸镀或者其他方法沉积形成上下电极，然后通过粘接银胶等方法将适长的柔性导线粘贴在上下电极处并做引线处理。高温烘干后根据所设计的能量处理电路制作柔性电路板和柔性电容，将引出的导线接入柔性电路板输入端，柔性电路板的输出端通过导线与柔性电容相接。最后，上下薄膜外层；夹心层；柔性电路板和柔性电容组装处理。将夹心层；柔性电路板和柔性电容外侧边缘相接，由此完成了集成式柔性发电薄膜装置的制造过程。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、 等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种集成式柔性发电薄膜，其特征在于：包括有上薄膜外层、下薄膜外层，所述上薄膜外层、下薄膜外层之间设有夹心层，所述夹心层为三层结构，由沉积于所述下薄膜外层上的下电极，沉积于所述下电极上的中夹心层，以及沉积于所述中夹心层上的上电极组成，所述夹心层的一侧设有一层柔性电路板和一层片状柔性电容，所述柔性电路板和柔性电容与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接并夹在上薄膜外层与下薄膜外层中间位置，所述夹心层上下表面的上电极与下电极通过导线与柔性电路板的输入端相连，所述柔性电路板的输出端通过导线与柔性电容相接。
2.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述的上薄膜外层和下薄膜外层采用柔性材料，所述柔性材料为高分子有机塑料或高分子有机硅化物。
3.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述的中夹心层采用柔性压电材料为聚偏氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述夹心层中的上电极由镁、铝和银中的一种材料组成；所述夹心层中的下电极由铅、银、铝和铜中的一种材料组成。
5.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述柔性电路板采用柔性高分子材料。
6.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述柔性电容采用柔性材料。
7.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述夹心层与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接；所述夹心层处于上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述薄膜外层完全包含夹心层或夹心层伸出薄膜外层。
8.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述柔性电路板与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接；所述柔性电路板处上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述薄膜外层完全包含柔性电路板或柔性电路板伸出薄膜外层。
9.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述柔性电容与上薄膜外层和下薄膜外层弹性粘接；所述柔性电容处于上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述薄膜外层完全包含柔性电或柔性电容伸出薄膜外层。
10.根据权利要求1所述的集成式柔性发电薄膜，其特征在于：所述夹心层、柔性电路板和柔性电容夹在上薄膜外层与下薄膜外层中间位置，所述夹心层、柔性电路板和柔性电容处于上薄膜外层和下薄膜外层中间，所述夹心层上表面、柔性电路板上表面和柔性电容上表面处于同一平面或处于不同平面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610748588.8A CN106253747B (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 一种集成式柔性发电薄膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610748588.8A CN106253747B (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 一种集成式柔性发电薄膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106253747A CN106253747A (zh) | 2016-12-21 |
| CN106253747B true CN106253747B (zh) | 2019-01-01 |
Family
ID=57596734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610748588.8A Expired - Fee Related CN106253747B (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 一种集成式柔性发电薄膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106253747B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111564988B (zh) * | 2020-05-16 | 2021-07-20 | 西安工业大学 | 集成微纳能量回收与存储芯片及其制备方法 |
| CN111869612A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-11-03 | 温州大学平阳智能制造研究院 | 一种自发电储能和持续增氧照明的水族箱 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201689405U (zh) * | 2010-06-08 | 2010-12-29 | 天马微电子股份有限公司 | 自发电触摸显示装置 |
| CN103051244A (zh) * | 2012-12-15 | 2013-04-17 | 华中科技大学 | 一种纸基柔性发电装置及其制造方法 |
| CN103580535A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-02-12 | 清华大学 | 鞋垫式压电发电机 |
| CN104052329A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-17 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种柔性发电电源及其柔性显示屏 |
-
2016
- 2016-08-26 CN CN201610748588.8A patent/CN106253747B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201689405U (zh) * | 2010-06-08 | 2010-12-29 | 天马微电子股份有限公司 | 自发电触摸显示装置 |
| CN103051244A (zh) * | 2012-12-15 | 2013-04-17 | 华中科技大学 | 一种纸基柔性发电装置及其制造方法 |
| CN103580535A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-02-12 | 清华大学 | 鞋垫式压电发电机 |
| CN104052329A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-09-17 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种柔性发电电源及其柔性显示屏 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106253747A (zh) | 2016-12-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhang et al. | Conjunction of triboelectric nanogenerator with induction coils as wireless power sources and self-powered wireless sensors | |
| Salauddin et al. | A novel MXene/Ecoflex nanocomposite‐coated fabric as a highly negative and stable friction layer for high‐output triboelectric nanogenerators | |
| Mi et al. | Triboelectric nanogenerators made of porous polyamide nanofiber mats and polyimide aerogel film: output optimization and performance in circuits | |
| Li et al. | Triboelectric nanogenerators enabled internet of things: A survey | |
| Karan et al. | An approach to design highly durable piezoelectric nanogenerator based on self‐poled PVDF/AlO‐rGO flexible nanocomposite with high power density and energy conversion efficiency | |
| Lin et al. | Recent progress in triboelectric nanogenerators as a renewable and sustainable power source | |
| Kuo et al. | Fabrication and performance evaluation of a metal-based bimorph piezoelectric MEMS generator for vibration energy harvesting | |
| CN103107737B (zh) | 压电摩擦复合式微纳发电机及其制备方法 | |
| Zhou et al. | Multilayered electret films based triboelectric nanogenerator | |
| Xu et al. | Embedded Ag grid electrodes as current collector for ultraflexible transparent solid-state supercapacitor | |
| Tao et al. | Miura-origami-inspired electret/triboelectric power generator for wearable energy harvesting with water-proof capability | |
| Li et al. | A nanowire based triboelectric nanogenerator for harvesting water wave energy and its applications | |
| Hu et al. | Self-powered system with wireless data transmission | |
| Lin et al. | Enhanced triboelectric nanogenerators and triboelectric nanosensor using chemically modified TiO2 nanomaterials | |
| Bae et al. | Graphene-P (VDF-TrFE) multilayer film for flexible applications | |
| CN101764532B (zh) | 压电超磁致伸缩复合式宽频振动能量采集器 | |
| CN103532430B (zh) | 基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法 | |
| CN107977602A (zh) | 超声波指纹识别模块、模组、器件及电子设备 | |
| Leng et al. | Flexible interdigital-electrodes-based triboelectric generators for harvesting sliding and rotating mechanical energy | |
| CN111682796B (zh) | 基于负泊松比宏观石墨烯膜的柔性压电能量收集器 | |
| WO2014090099A1 (zh) | 一种纸基柔性发电装置及其制造方法 | |
| CN107798300A (zh) | 超声波指纹识别模组、器件及电子设备 | |
| CN106252501A (zh) | 一种基于柔性衬底上的压电厚膜及其制备方法 | |
| CN104578892A (zh) | 一体式摩擦发电机及振动传感器 | |
| Patnam et al. | Y-ZnO microflowers embedded polymeric composite films to enhance the electrical performance of piezo/tribo hybrid nanogenerators for biomechanical energy harvesting and sensing applications |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190101 Termination date: 20210826 |