CN106199836B - 一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器 - Google Patents
一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106199836B CN106199836B CN201610575608.6A CN201610575608A CN106199836B CN 106199836 B CN106199836 B CN 106199836B CN 201610575608 A CN201610575608 A CN 201610575608A CN 106199836 B CN106199836 B CN 106199836B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- waveguide
- grating
- gradual change
- filter
- directional coupler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 230000005619 thermoelectricity Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000276 deep-ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- VDGJOQCBCPGFFD-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-) silicon(4+) titanium(4+) Chemical compound [Si+4].[O-2].[O-2].[Ti+4] VDGJOQCBCPGFFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29304—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
- G02B6/29316—Light guides comprising a diffractive element, e.g. grating in or on the light guide such that diffracted light is confined in the light guide
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29304—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
- G02B6/29316—Light guides comprising a diffractive element, e.g. grating in or on the light guide such that diffracted light is confined in the light guide
- G02B6/29317—Light guides of the optical fibre type
- G02B6/29319—With a cascade of diffractive elements or of diffraction operations
- G02B6/2932—With a cascade of diffractive elements or of diffraction operations comprising a directional router, e.g. directional coupler, circulator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器。包括两级光栅滤波器；第一级光栅滤波器的左边下载端通过弯曲波导与第二级光栅滤波器输入单模波导相连接，第二级光栅滤波器的右边直通端通过弯曲波导与第一级光栅滤波器的右边非对称渐变定向耦合器的下端口连接，实现信号的回收；利用两级光栅滤波器的级联，并通过热电极调节两级光栅谱线叠加区域范围进而构成带宽可调滤波器。采用非对称渐变定向耦合器，容差大，插损小；基于光栅滤波器，带宽调节范围不受FSR限制；通过非对称渐变定向耦合器将第二级光栅直通端信号无损上载合波，实现了无带宽的浪费；本发明用平面集成光波导工艺制作，一次刻蚀完成，成本低，性能高，损耗小。
Description
技术领域
本发明涉及硅基波导光栅滤波器，特别是涉及一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器。
背景技术
21世纪以来，硅基集成光电子器件的发展成为集成光学器件发展很重要的研究方向，各种基于硅基波导的新型光学器件不断被报道出来。由于硅基光学器件能够与现有非常成熟的CMOS工艺相结合，有丰富的工艺技术积累，生产成本低，可靠性高，便于大规模生产，并且能够与电路系统相结合，形成多功能的光电混合模块和系统，因此在通信、传感、军事、生物等众多领域得到很广泛的应用，而这些就对光通讯提出了更高的要求，比如多业务匹配，波长的资源的灵活分配等等，因此波分复用在光通信领域的作用越来越重要，基于点对点的方式，把不同的波长在发送端经合波后同时进行组合和传输，在接收端，再经过解复用器将不同的波长分开，在整个过程中，具体到每个波长的通道选择是通过可调滤波器来实现的，随着通信技术的发展，要求速率不同的信号可以同时传输，因此带宽可调的滤波器成为了光通讯不可缺少的模块。
学者们结合硅材料本身大折射率差、低损耗、与 CMOS 兼容等的优点，对硅基带宽可调滤波器进行了一系列的探索，基于微环以及马赫泽德干涉仪的带宽可调滤波器受本身FSR的限制，很难实现大范围的带宽可调，不能够覆盖全部的C波段，并且多级微环调节比较麻烦，而光栅带宽可调滤波器可以由于本身带宽范围大，并且不受FSR的影响，可以实现大范围的带宽可调。但目前基于硅基光栅的滤波器实现反射信号的下载结构例如MMI、Y分叉等等比较复杂，容差小，而且有一定的插损，所以实现基于无损的，容差大的下载型光栅滤波器的带宽可调滤波器具有很大的意义。
发明内容
如何实现结构简单、无损的下载型光栅滤波器，以及不受FSR限制的大范围的带宽可调是带宽可调光栅滤波器研究的重要问题。本发明的目的在于提供一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器。
为了达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是：
本发明包括第一级光栅滤波器和第二级光栅滤波器；第一级光栅滤波器的左边下载端通过弯曲波导与第二级光栅滤波器输入单模波导相连接，第二级光栅滤波器的右边直通端通过弯曲波导与第一级光栅滤波器的右边非对称渐变定向耦合器的下端口连接，实现信号的回收；利用两级光栅滤波器的级联，并通过热电极调节两级光栅谱线叠加区域范围进而构成带宽可调滤波器。
所述第一级光栅滤波器，包括第一单模波导，第二单模波导，第一渐变波导，第二渐变波导，第一非对称渐变定向耦合器，第二非对称渐变定向耦合器，第一多模波导，第二多模波导，第一反对称多模波导光栅，第一弯曲波导，第二弯曲波导和第一热电极；第一单模波导依次经第一渐变波导、第一非对称渐变定向耦合器、第一多模波导、第一反对称多模波导光栅、第二多模波导、第二非对称渐变定向耦合器、第二渐变波导与第二单模波导连接，第一弯曲波导的一端与第一非对称渐变定向耦合器的下端口连接，第二弯曲波导的一端与第二非对称渐变定向耦合器的下端口连接，第一反对称多模波导光栅外，设有第一热电极，第一热电极通过二氧化硅保护层覆盖于波导上。
所述第二级光栅滤波器，包括第三单模波导，第四单模波导，第三渐变波导，第四渐变波导，第三非对称渐变定向耦合器，第三多模波导，第四多模波导，第二反对称多模波导光栅，第三弯曲波导和第二热电极；第三单模波导依次经第三渐变波导、第三非对称渐变定向耦合器、第三多模波导、第二反对称多模波导光栅、第四多模波导、第四渐变波导与第一级光栅滤波器中的第二弯曲波导的另一端连接，第三弯曲波导的一端与第三非对称渐变定向耦合器的下端口连接，第三弯曲波导的另一端与第四单模波导的一端连接，第四单模波导的另一端为下载端，第二反对称多模波导光栅外，设有第二热电极，第二热电极通过二氧化硅保护层覆盖于波导上。
所述第一非对称渐变定向耦合器、第二非对称渐变定向耦合器和第三非对称渐变定向耦合器均为插损低于0.2dB的非对称渐变定向耦合器。
所述第一反对称多模波导光栅和第二反对称多模波导光栅，其光栅齿均为反对称分布，第一反对称多模波导光栅和第二反对称多模波导光栅谐振波长不相同；实现满足相位匹配条件的TE0零阶模式反向耦合为TE1一阶模式，其中TE0零阶模式和TE1一阶模式的相位匹配条件为；式中n0为TE0零阶模式有效折射率，n1为TE1一阶模式有效折射率，λ为谐振波长，Λ为光栅齿周期。
所述第一非对称渐变定向耦合器和第三非对称渐变定向耦合器，左端为两个宽度不同的单模波导，间距保持不变，上部单模波导逐渐变宽成为多模波导，下部单模波导逐渐变窄；第二非对称渐变定向耦合器，右端为两个宽度不同的单模波导，间距保持不变，上部单模波导逐渐变宽成为多模波导，下部单模波导逐渐变窄。
本发明具有的有益效果是：
1)本发明光栅反射信号的分离采用非对称渐变定向耦合器，容差大，插损小；
2)本发明基于光栅滤波器，带宽调节范围不受FSR限制，可以实现大范围的带宽可调；
3)本发明通过非对称渐变定向耦合器将第二级光栅直通端信号无损上载合波，实现了无带宽的浪费；
4)本发明器件可以用平面集成光波导工艺制作，一次刻蚀完成，成本低，性能高，损耗小，与传统的CMOS工艺兼容，结构简单，制作容易，具有大规模生产的潜力。
附图说明
图1是带宽可调滤波器整体结构示意图。
图2是第一级光栅滤波器示意图。
图3是第二级光栅滤波器示意图。
图4是本发明在SOI上的截面结构示意图。
图5是带宽可调滤波器工作原理示意图。
图中：1、8、15、20、四个个单模波导，2、9、16、19、四个渐变波导，4、6、11、13、四个多模波导，7、14、17、三个弯曲波导，3、10、18、三个非对称渐变定向耦合器，5、12、二个反对称多模波导光栅，21、二个热电极，22、二氧化硅保护层，23、顶层硅，24、衬底SiO2，25、衬底Si。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步说明。
如图1所示，本发明包括第一级光栅滤波器和第二级光栅滤波器；第一级光栅滤波器的左边下载端通过弯曲波导7与第二级光栅滤波器输入单模波导8相连接，第二级光栅滤波器的右边直通端通过弯曲波导17与第一级光栅滤波器的右边非对称渐变定向耦合器18的下端口连接，实现信号的回收；利用两级光栅滤波器的级联，并通过热电极调节两级光栅谱线叠加区域范围进而构成带宽可调滤波器。
如图2、图4所示，所述第一级光栅滤波器，包括第一单模波导1，第二单模波导20，第一渐变波导2，第二渐变波导19，第一非对称渐变定向耦合器3，第二非对称渐变定向耦合器18，第一多模波导4，第二多模波导6，第一反对称多模波导光栅5，第一弯曲波导7，第二弯曲波导17和第一热电极21；第一单模波导1依次经第一渐变波导2、第一非对称渐变定向耦合器3、第一多模波导4、第一反对称多模波导光栅5、第二多模波导6、第二非对称渐变定向耦合器18、第二渐变波导19与第二单模波导20连接，第一弯曲波导7的一端与第一非对称渐变定向耦合器3的下端口连接，第二弯曲波导17的一端与第二非对称渐变定向耦合器18的下端口连接，第一反对称多模波导光栅5外，设有第一热电极21，第一热电极21通过二氧化硅保护层22覆盖于波导上。
如图3、图4所示，所述第二级光栅滤波器，包括第三单模波导8，第四单模波导15，第三渐变波导9，第四渐变波导16，第三非对称渐变定向耦合器10，第三多模波导11，第四多模波导13，第二反对称多模波导光栅12，第三弯曲波导14和第二热电极21；第三单模波导8依次经第三渐变波导9、第三非对称渐变定向耦合器10、第三多模波导11、第二反对称多模波导光栅12、第四多模波导13、第四渐变波导16与第一级光栅滤波器中的第二弯曲波导17的另一端连接，第三弯曲波导14的一端与第三非对称渐变定向耦合器10的下端口连接，第三弯曲波导14的另一端与第四单模波导15的一端连接，第四单模波导15的另一端为下载端，第二反对称多模波导光栅12外，设有第二热电极21，第二热电极21通过二氧化硅保护层22覆盖于波导上。
所述第一非对称渐变定向耦合器3、第二非对称渐变定向耦合器18和第三非对称渐变定向耦合器10均为插入损耗低于0.2dB的非对称渐变定向耦合器，用来实现TE0、TE1两种模式的转换，并且通过对非对称渐变定向耦合器参数的优化，模式转换效率还可以提高。
所述第一反对称多模波导光栅5和第二反对称多模波导光栅12，其光栅齿均为反对称分布，第一反对称多模波导光栅5和第二反对称多模波导光栅12谐振波长不相同；实现满足相位匹配条件的TE0零阶模式反向耦合为TE1一阶模式，其中TE0零阶模式和TE1一阶模式的相位匹配条件为；式中n0为TE0零阶模式有效折射率，n1为TE1一阶模式有效折射率，λ为谐振波长，Λ为光栅齿周期。
如图2、图3所示，所述第一非对称渐变定向耦合器3和第三非对称渐变定向耦合器10，左端为两个宽度不同的单模波导，间距保持不变，上部单模波导逐渐变宽成为多模波导，下部单模波导逐渐变窄；第二非对称渐变定向耦合器18，右端为两个宽度不同的单模波导，间距保持不变，上部单模波导逐渐变宽成为多模波导，下部单模波导逐渐变窄。
本发明的工作原理：
本发明通过第一级光栅滤波器(如图2所示)下载端与第二级光栅滤波器(图3所示)输入端相连接，并通过将第二级光栅滤波器直通端信号通过非对称渐变定向耦合器与第一级光栅滤波器的右边第二非对称渐变定向耦合器18下端口相连接，实现信号的回收；并通过热电极调节两级光栅谱线叠加区域范围进而实现带宽可调滤波器，其工作原理如图5所示，通过各自热电极21分别调节第一级光栅滤波器与第二级光栅滤波器的谐振波长，可以实现带宽B的调节。
所述第一级光栅滤波器输入信号在第一反对称多模波导光栅5中，满足相位匹配条件的TE0零阶模式的信号，被反向耦合为TE1一阶模式，反向传输，经过第一非对称渐变定向耦合器3，反射TE1信号转变为TE0信号，通过下载端输入第二级光栅滤波器。其中TE0零阶模式和TE1一阶模式的相位匹配条件为；式中n0为TE0零阶模式有效折射率，n1为TE1一阶模式有效折射率，λ为谐振波长，Λ为光栅齿周期。
所述第二级光栅滤波器满足谐振波长的TE0零阶模式的信号，被反向耦合为TE1一阶模式，反向传输，经过第三非对称渐变定向耦合器10，反射TE1信号转变为TE0信号，通过下载端输出；不满足谐振波长的TE0信号在直通端通过第一级光栅滤波器的非对称渐变定向耦合器，耦合为TE1一阶模式，反向传输，在经过第一反对称多模波导光栅5时，因该信号在第一级光栅滤波器谐振波长范围内，所以在光栅区域被反向耦合为TE0信号，从第一级光栅滤波器直通端输出，从而实现真正无带宽浪费的下载型带宽可调滤波器。
本发明实施例器件结构制作可以通过但不限于以下方式实施：
如图4所示，工艺制作流程是采用标准的绝缘层上硅（SOI）材料，其中SOI材料是指由衬底Si 25、衬底SiO2 24和顶层硅23组成，顶层硅23厚度为220nm，衬底SiO2 24为2μm。在完成晶圆表面的清洗后，其中光刻部分的工艺采用等离子增强化学气相沉积法PECVD沉积氧化硅作为掩膜，利用深紫外曝光形成所需要的220nm波导图形。顶层硅23的刻蚀采用离子束辅助自由基刻蚀ICP干法刻蚀。然后在波导层上沉积2μm左右的二氧化硅保护层22，在该氧化层上溅射金属作为热电极21，通过光刻形成热电极图案。单模波导宽度可以为450nm左右，非对称渐变定向耦合器上波导左右端宽度不同，如可以分别为600nm、1100nm, 非对称渐变定向耦合器下波导左右端宽度不同，可以分别为450nm、100nm，多模波导宽度可以采用1100nm，光栅齿的大小决定中心波长位置，例如可以采用光栅齿大小为150nm，光栅周期分别为308nm、312nm，占空比为0.5。
Claims (5)
1.一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器，其特征在于：包括第一级光栅滤波器和第二级光栅滤波器；第一级光栅滤波器的左边下载端通过弯曲波导与第二级光栅滤波器输入单模波导相连接，第二级光栅滤波器的右边直通端通过弯曲波导与第一级光栅滤波器的右边非对称渐变定向耦合器的下端口连接，实现信号的回收；利用两级光栅滤波器的级联，并通过热电极调节两级光栅谱线叠加区域范围进而构成带宽可调滤波器。
2.根据权利要求1所述的一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器，其特征在于：所述第一级光栅滤波器，包括第一单模波导(1)，第二单模波导(20)，第一渐变波导(2)，第二渐变波导(19)，第一非对称渐变定向耦合器(3)，第二非对称渐变定向耦合器(18)，第一多模波导(4)，第二多模波导(6)，第一反对称多模波导光栅(5)，第一弯曲波导(7)，第二弯曲波导(17)和第一热电极(21)；第一单模波导(1)依次经第一渐变波导(2)、第一非对称渐变定向耦合器(3)、第一多模波导(4)、第一反对称多模波导光栅(5)、第二多模波导(6)、第二非对称渐变定向耦合器(18)、第二渐变波导(19)与第二单模波导(20)连接，第一弯曲波导(7)的一端与第一非对称渐变定向耦合器(3)的下端口连接，第二弯曲波导(17)的一端与第二非对称渐变定向耦合器(18)的下端口连接，第一反对称多模波导光栅(5)外，设有第一热电极(21)，第一热电极通过二氧化硅保护层覆盖于波导上；
所述第二级光栅滤波器，包括第三单模波导(8)，第四单模波导(15)，第三渐变波导(9)，第四渐变波导(16)，第三非对称渐变定向耦合器(10)，第三多模波导(11)，第四多模波导(13)，第二反对称多模波导光栅(12)，第三弯曲波导(14)和第二热电极(21)；第三单模波导(8)依次经第三渐变波导(9)、第三非对称渐变定向耦合器(10)、第三多模波导(11)、第二反对称多模波导光栅(12)、第四多模波导(13)、第四渐变波导(16)与第一级光栅滤波器中的第二弯曲波导(17)的另一端连接，第三弯曲波导(14)的一端与第三非对称渐变定向耦合器(10)的下端口连接，第三弯曲波导(14)的另一端与第四单模波导(15)的一端连接，第四单模波导(15)的另一端为下载端，第二反对称多模波导光栅(12)外，设有第二热电极，第二热电极通过二氧化硅保护层覆盖于波导上。
3.根据权利要求2所述的一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器，其特征在于：所述第一非对称渐变定向耦合器(3)、第二非对称渐变定向耦合器(18)和第三非对称渐变定向耦合器(10)均为插损低于0.2dB的非对称渐变定向耦合器。
4.根据权利要求2所述的一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器，其特征在于：所述第一反对称多模波导光栅(5)和第二反对称多模波导光栅(12)，其光栅齿均为反对称分布，第一反对称多模波导光栅(5)和第二反对称多模波导光栅(12)谐振波长不相同；
所述第一级光栅滤波器输入信号在第一反对称多模波导光栅(5)中，满足相位匹配条件的TE0零阶模式的信号，被反向耦合为TE1一阶模式，反向传输，经过第一非对称渐变定向耦合器(3)，反射TE1信号转变为TE0信号，通过下载端输入第二级光栅滤波器；其中TE0零阶模式和TE1一阶模式的相位匹配条件为；式中n0为TE0零阶模式有效折射率，n1为TE1一阶模式有效折射率，λ为谐振波长，Λ为光栅齿周期；
所述第二级光栅滤波器满足谐振波长的TE0零阶模式的信号，被反向耦合为TE1一阶模式，反向传输，经过第三非对称渐变定向耦合器(10)，反射TE1信号转变为TE0信号，通过下载端输出；不满足谐振波长的TE0信号在直通端通过第一级光栅滤波器的非对称渐变定向耦合器，耦合为TE1一阶模式，反向传输，在经过第一反对称多模波导光栅(5)时，因该信号在第一级光栅滤波器谐振波长范围内，所以在光栅区域被反向耦合为TE0信号，从第一级光栅滤波器直通端输出，从而实现真正无带宽浪费的下载型带宽可调滤波器。
5.根据权利要求2所述的一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器，其特征在于：所述第一非对称渐变定向耦合器(3)和第三非对称渐变定向耦合器(10)，左端为两个宽度不同的单模波导，间距保持不变，上部单模波导逐渐变宽成为多模波导，下部单模波导逐渐变窄；第二非对称渐变定向耦合器(18)，右端为两个宽度不同的单模波导，间距保持不变，上部单模波导逐渐变宽成为多模波导，下部单模波导逐渐变窄。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610575608.6A CN106199836B (zh) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610575608.6A CN106199836B (zh) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106199836A CN106199836A (zh) | 2016-12-07 |
| CN106199836B true CN106199836B (zh) | 2019-01-25 |
Family
ID=57491970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610575608.6A Active CN106199836B (zh) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106199836B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108646346A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-10-12 | 龙岩学院 | 一种基于相位调制切趾光栅的窄带滤波器 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106896446B (zh) * | 2017-04-19 | 2019-05-31 | 浙江大学 | 一种基于轴向切趾光栅的滤波器 |
| CN108732685A (zh) * | 2017-04-25 | 2018-11-02 | 中兴光电子技术有限公司 | 一种基于亚波长光栅的定向耦合器 |
| CN110346873B (zh) * | 2018-04-02 | 2022-05-10 | 华为技术有限公司 | 光分插复用器、定向耦合器、光滤波器和光设备 |
| CN108445586B (zh) * | 2018-04-17 | 2020-01-14 | 龙岩学院 | 一种基于硅基波导光栅的偏振不相关的带通滤波器 |
| CN109254351B (zh) * | 2018-12-03 | 2020-12-29 | 浙江大学宁波理工学院 | 一种基于单个反对称多模周期波导微腔的上下路滤波器 |
| CN111323941A (zh) * | 2018-12-14 | 2020-06-23 | 上海新微技术研发中心有限公司 | 一种硅基电光调制器及其制作方法 |
| CN109407209B (zh) * | 2018-12-25 | 2020-06-12 | 龙岩学院 | 一种基于模式转换器和布拉格波导光栅的光波分模分混合复用解复用器 |
| CN109870767B (zh) * | 2019-02-22 | 2020-08-14 | 浙江大学 | 一种光栅型单纤三向复用器 |
| CN110017890A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-16 | 广西师范大学 | 一种提高边沿滤波法线性解调区域的方法 |
| CN110737050B (zh) * | 2019-10-09 | 2021-03-23 | 浙江大学 | 一种基于硅基波导光栅可调谐波分复用系统的无中断调控方法 |
| CN112327517B (zh) * | 2020-11-20 | 2021-09-24 | 南京航空航天大学 | 窄带宽马赫曾德尔干涉仪及光谱整形装置、方法 |
| CN112904478B (zh) * | 2021-03-31 | 2021-12-03 | 西南交通大学 | U形波导连接两级非对称定向耦合器型光偏振分束旋转器 |
| CN114063216B (zh) * | 2022-01-11 | 2022-05-17 | 之江实验室 | 一种基于非对称布拉格光栅结构的宽带宽波分解复用器 |
| CN116699757A (zh) * | 2022-02-28 | 2023-09-05 | 华为技术有限公司 | 一种波导光栅滤波器，相关设备以及系统 |
| CN115308846A (zh) * | 2022-08-23 | 2022-11-08 | 中国地质大学（武汉） | 一种基于亚波长光栅的双模硅基微环谐振器 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19651236A1 (de) * | 1996-12-10 | 1998-06-18 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum Ein- und Auskoppeln optischer Signale zweier Übertragungskanäle |
| CN103217738B (zh) * | 2013-03-27 | 2015-05-13 | 浙江大学 | 一种基于光栅辅助型耦合器的模式上下路复用与解复用器 |
| US9977187B2 (en) * | 2014-05-22 | 2018-05-22 | Sifotonics Technologies Co., Ltd. | Polarization rotator-splitter/combiner based on silicon rib-type waveguides |
| CN105572796B (zh) * | 2016-03-07 | 2018-08-21 | 龙岩学院 | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的上下路滤波器 |
| CN105759362A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-07-13 | 龙岩学院 | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的带通带阻滤波器 |
-
2016
- 2016-07-21 CN CN201610575608.6A patent/CN106199836B/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108646346A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-10-12 | 龙岩学院 | 一种基于相位调制切趾光栅的窄带滤波器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106199836A (zh) | 2016-12-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106199836B (zh) | 一种基于硅基波导光栅的带宽可调滤波器 | |
| CN106896446B (zh) | 一种基于轴向切趾光栅的滤波器 | |
| CN108445586B (zh) | 一种基于硅基波导光栅的偏振不相关的带通滤波器 | |
| CN108646346B (zh) | 一种基于相位调制切趾光栅的窄带滤波器 | |
| CN105866893B (zh) | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的光分插复用器 | |
| CN110737050B (zh) | 一种基于硅基波导光栅可调谐波分复用系统的无中断调控方法 | |
| US10241273B2 (en) | Polarization rotator and optical signal processing method | |
| CN105759362A (zh) | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的带通带阻滤波器 | |
| JP6346177B2 (ja) | スポットサイズ変換光導波路 | |
| CN106959485B (zh) | 基于亚波长光栅的定向耦合型tm起偏器及分束器 | |
| WO2015096070A1 (zh) | 波导偏振分离和偏振转换器 | |
| CN102213794B (zh) | 光波导线路及光波导线路的制造方法 | |
| CN105572796A (zh) | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的上下路滤波器 | |
| CN104459879B (zh) | 一种硅基微环偏振解复用器 | |
| CN106950646A (zh) | 一种内外双微环谐振器结构 | |
| CN107765366A (zh) | 一种非对称形状的氮化硅偏振分束器及其制备方法 | |
| CN107976738A (zh) | 基于光子晶体和纳米线波导的波分模分混合复用器 | |
| CN109597161A (zh) | 一种无啁啾的切趾型带通带阻滤波器 | |
| CN105651400A (zh) | 一种基于Fano谐振的超高精度波长解析器 | |
| WO2020166459A1 (ja) | リング共振器フィルタ素子 | |
| CN210072135U (zh) | 基于狭缝波导的锥形偏振分束器 | |
| TWI415411B (zh) | Single stage 1 × 5 grating auxiliary wavelength multiplex structure | |
| CN103941336A (zh) | 一种基于平面光波导技术的三端口路由器及其制备方法 | |
| CN109991700A (zh) | 一种微环集成的阵列波导光栅波分复用器 | |
| CN200997432Y (zh) | 一种直线闭环谐振腔结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |