CN105868220A - 数据处理方法和装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种数据处理方法和装置。其中，该数据处理方法包括：获取包括工艺步骤的编码、工艺步骤所属的类别名称以及编码和类别名称之间的映射关系的数据库；获取待编码工艺步骤的类别信息；从数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称；根据映射关系查找与匹配的类别名称具有映射关系的编码；以及将查找到的编码作为待编码工艺步骤的编码。通过本申请，解决了现有技术中对工艺流程中的工艺步骤进行工艺步骤的编码的匹配效率比较低的问题。

Description

数据处理方法和装置

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种数据处理方法和装置。

背景技术

在半导体制造的过程中，每个工艺流程都可能包括几百个工艺步骤，而每个工艺步骤都可能重复出现在一个或者多个工艺流程中。在新建工艺流程的过程中，或者在已有的工艺流程中增加一道工序时，需要在工艺流程中添加每个工艺步骤的工艺步骤编码，通过顺序执行每个工艺流程中的工艺步骤编码所对应的工艺步骤实现工艺流程。

现有技术在工艺流程中添加每个工艺步骤的工艺步骤编码时，只能功过手动添加，对每个工艺步骤进行工艺步骤编码的匹配，当一个工艺流程包含很多个工艺步骤时，需要大量的工作人员花费大量的时间进行人工匹配，导致进行工艺步骤的编码的匹配的过程花费时间长、出错几率高，降低了匹配效率。

针对现有技术中对工艺流程中的工艺步骤进行工艺步骤的编码的匹配效率比较低的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种数据处理方法和装置，以解决对工艺流程中的工艺步骤进行工艺步骤的编码的匹配效率比较低的问题。

为了实现上述目的，根据本申请实施例的一个方面，提供了一种数据处理方法。根据本申请的数据处理方法包括：获取包括工艺步骤的编码、所述工艺步骤所属的类别名称以及所述编码和所述类别名称之间的映射关系的数据库；获取待编码工艺步骤的类别信息；从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称；根据所述映射关系查找与匹配的类别名称具有所述映射关系的编码；以及将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码。

进一步地，所述类别信息包括多个子类别信息，从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称包括：重复执行以下步骤，直至所述多个子类别信息全部被遍历：从所述多个子类别信息中选择一个没有被匹配过的子类别信息作为当前子类别信息；判断是否存在第一筛选结果；如果不存在所述第一筛选结果，则从所述数据库中查找与所述当前子类别信息匹配的类别名称，并将得到的结果作为所述第一筛选结果；如果存在所述第一筛选结果，则从所述第一筛选结果中筛选出于所述当前子类别信息匹配的类别名称，得到第二筛选结果，并将所述当前子类别信息标记为已筛选；判断所述多个子类别信息是否均被遍历；如果所述多个子类别信息已经被遍历，则查找结束，并将所述第二筛选结果作为所述匹配的类别名称；如果所述多个子类别信息没有被全部遍历，则将所述第二筛选结果作为所述第一筛选结果。

进一步地，所述类别信息包括多个子类别信息，从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称包括：获取所述工艺步骤所属的类别名称；将所述多个子类别信息的连续序列作为所述待编码工艺步骤的类别名称；从所述数据库中筛选出于所述待编码工艺步骤的类别名称相匹配的所述工艺步骤所属的类别名称，得到所述匹配的类别名称。

进一步地，在将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码之后，所述方法还包括：获取预先设置的工艺步骤编码；判断所述待编码工艺步骤的编码与所述预先设置的工艺步骤编码是否相同；如果相同，则确定所述待编码工艺步骤的编码正确；以及如果不同，则发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息。

进一步地，在发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息之后，所述方法还包括：接收响应所述提示信息的响应信息；判断所述响应信息是否指示所述待编码工艺步骤编码所对应的工艺步骤为新增步骤；如果所述响应信息所指示的工艺步骤为新增步骤，则将所述待编码工艺步骤编码记录到所述预先设置的工艺步骤编码中；如果所述响应信息所指示的工艺步骤为非新增步骤，则修改所述待编码工艺步骤编码以使所述待编码工艺步骤编码为正确的编码。

为了实现上述目的，根据本申请实施例的另一方面，提供了一种数据处理装置。根据本申请的数据处理装置包括：第一获取单元，用于获取包括工艺步骤的编码、所述工艺步骤所属的类别名称以及所述编码和所述类别名称之间的映射关系的数据库；第二获取单元，用于获取待编码工艺步骤的类别信息；第一查找单元，用于从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称；第二查找单元，用于根据所述映射关系查找与匹配的类别名称具有所述映射关系的编码；以及第一确定单元，用于将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码。

进一步地，所述类别信息包括多个子类别信息，所述第一查找单元包括：重复调用以下模块，直至所述多个子类别信息全部被遍历：选择模块，用于从所述多个子类别信息中选择一个没有被匹配过的子类别信息作为当前子类别信息；第一判断模块，用于判断是否存在第一筛选结果；查找模块，用于在不存在所述第一筛选结果时，从所述数据库中查找与所述当前子类别信息匹配的类别名称，并将得到的结果作为所述第一筛选结果；第一筛选模块，用于在存在所述第一筛选结果时，从所述第一筛选结果中筛选出于所述当前子类别信息匹配的类别名称，得到第二筛选结果，并将所述当前子类别信息标记为已筛选；第二判断模块，用于判断所述多个子类别信息是否均被遍历；第一确定模块，用于在所述多个子类别信息已经被遍历时，查找结束，并将所述第二筛选结果作为所述匹配的类别名称；在所述多个子类别信息没有被全部遍历时，将所述第二筛选结果作为所述第一筛选结果。

进一步地，所述类别信息包括多个子类别信息，所述第一查找单元包括：获取模块，用于获取所述工艺步骤所属的类别名称；第二确定模块，用于将所述多个子类别信息的连续序列作为所述待编码工艺步骤的类别名称；第二筛选模块，用于从所述数据库中筛选出于所述待编码工艺步骤的类别名称相匹配的所述工艺步骤所属的类别名称，得到所述匹配的类别名称。

进一步地，所述装置还包括：第三获取单元，用于在将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码之后，获取预先设置的工艺步骤编码；第一判断单元，用于判断所述待编码工艺步骤的编码与所述预先设置的工艺步骤编码是否相同；第二确定单元，用于在相同时，确定所述待编码工艺步骤的编码正确；以及发送单元，用于在不同时，发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息。

进一步地，所述装置还包括：接收单元，用于在发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息之后，接收响应所述提示信息的响应信息；第二判断单元，用于判断所述响应信息是否指示所述待编码工艺步骤编码所对应的工艺步骤为新增步骤；记录单元，用于在所述响应信息所指示的工艺步骤为新增步骤时，将所述待编码工艺步骤编码记录到所述预先设置的工艺步骤编码中；修改单元，用于在所述响应信息所指示的工艺步骤为非新增步骤时，修改所述待编码工艺步骤编码以使所述待编码工艺步骤编码为正确的编码。

根据发明实施例，通过上述实施例，在数据库中存储有工艺步骤的类别名称、工艺步骤的编码以及类别名称和编码之间的对应关系，从数据库中查找到与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称后，将查找到的类别名称对应的工艺步骤的编码作为待编码工艺步骤的编码，即在确定待编码工艺步骤的过程中，通过类别信息的匹配和利用映射关系查找编码的步骤就能确定待编码工艺步骤的编码，避免了手动逐个添加，解决了现有技术中对工艺流程中的工艺步骤进行工艺步骤的编码的匹配效率比较低的问题，达到了提高为待编码工艺步骤匹配编码的效率的效果。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是根据本申请实施例的数据处理方法的流程图；

图2是根据本发明实施例的为工艺步骤分类的示意图；

图3是根据本发明一实施例的类别名称匹配的示意图；

图4是根据本发明又一实施例的类别名称匹配的示意图；以及

图5是根据本申请实施例的数据处理的装置的示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

本申请实施例提供了一种数据处理方法。可选地，该数据处理方法可以应用在半导体制造的过程中。半导体制造的过程中，每个工艺流程都可能包括几百个工艺步骤，而每个工艺步骤都可能重复出现在一个或者多个工艺流程中。在新建工艺流程的过程中，或者在已有的工艺流程中增加一道工序时，需要在建立工艺流程的过程中添加每个工艺步骤的工艺步骤编码，通过顺序执行每个工艺流程中的工艺步骤的编码所对应的工艺步骤实现工艺流程。本实施例所提供的数据处理方法能够为处于工艺流程中的工艺步骤获取工艺步骤的编码，以便于形成工艺流程并按照工艺流程中的编码所对应的工艺步骤实现工艺流程。

图1是根据本申请实施例的数据处理方法的流程图。如图1所示，该数据处理方法包括步骤如下：

步骤S102，获取包括工艺步骤的编码、工艺步骤所属的类别名称以及编码和类别名称之间的映射关系的数据库。

步骤S104，获取待编码工艺步骤的类别信息。

步骤S106，从数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称。

步骤S108，根据映射关系查找与匹配的类别名称具有映射关系的编码。

步骤S110，将查找到的编码作为待编码工艺步骤的编码。

工艺步骤的编码可以是按照一定规则设置的编码，该编码能够标识唯一一个工艺步骤，例如AAPAD1；工艺步骤所属的类别名称可以是工艺步骤所处的某类工序的名称，工艺步骤所属的类别名称可以表征该工艺步骤的工作场景，例如刻蚀_EDC控制规则_机台1，即该工艺步骤可以应用于刻蚀过程中，具有EDC控制规则的情况下的机台1；每个编码都对应一个类别名称，从而能够根据编码与类别名称的对应关系查找到已知类别名称所对应的编码，以便于对待编码工艺步骤进行编码，例如，编码AAPAD1与类别名称刻蚀_EDC控制规则_机台1具有对应关系，则根据类别名称刻蚀_EDC控制规则_机台1能映射到编码AAPAD1。

待编码工艺步骤的类别信息能够表征该待编码工艺步骤的类别，该类别信息与数据库中的类名名称遵循相同的分类规则，以便于进行类别名称与类别信息之间的匹配来从数据库中查找类别名称。该分类规则可以根据工艺流程中每个步骤所述的工作场景来确定，则待编码工艺步骤的类别信息可以根据该工艺步骤的工作场景自动生成。

在数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称，再从查找到的类别名称映射到该类别名称对应的编码，从而确定待编码工艺步骤的编码。

例如，待编码工艺步骤的类别信息为刻蚀_EDC控制规则_机台1，数据库中存储由类别名称刻蚀_EDC控制规则_机台1、编码AAPAD1以及这二者为一一对应的关系，则从数据库中查找到类别信息匹配的类别名称为刻蚀_EDC控制规则_机台1，该类别名称对应的编码为AAPAD1，则确定待编码工艺步骤的编码为AAPAD1。

为了清楚说明待编码工艺步骤的类别信息与数据库中的类名名称共同遵循的分类规则，以下结合图2对该分类规则进行说明。

在该分类规则中包括四类内容，分别为刻蚀、D、F和P，在每类内容下都有多个分支，该实施例以刻蚀为例进行说明。如图2所示，在刻蚀下又分为有控制和无控制规则两类，从图2可以看出，有控制规则和无控制规则者两类内容下，都重复用到了步骤AE、步骤FE和步骤ME。但是，相同步骤所属的上一级分类可能不同，这就导致属于不同分类中的相同步骤具有不同的编码。例如，在有控制规则的分类中步骤AE分别属于分类AMT、分类AMP和分类AMS中，属于不同分类中的步骤AE所对应的编码分别为step11、step14和step17。即step11唯一指代在刻蚀中，有控制规则情况下分类AMT中的步骤AE，step14唯一指代在刻蚀中，有控制规则情况下分类AMP中的步骤AE，step17唯一指代在刻蚀中，有控制规则情况下分类AMS中的步骤AE。按照这样的分类规则，每个工艺步骤都拥有与其分类相对应的编码。按照该规则建立的数据库如表1所示。

表1 数据库

类别名称	编码
		刻蚀_Y_AMT_AE	step11
刻蚀_Y_AMT_FE	step12
		刻蚀_Y_AMT_ME	step13
刻蚀_Y_AMP_AE	step14
		.……	……
刻蚀_Y_AMS_ME	step16
		刻蚀_N_AMA_AE	step21
刻蚀_N_AMA_FE	step22
		……	……

通过上述实施例，在数据库中存储有工艺步骤的类别名称、工艺步骤的编码以及类别名称和编码之间的对应关系，从数据库中查找到与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称后，将查找到的类别名称对应的工艺步骤的编码作为待编码工艺步骤的编码，即在确定待编码工艺步骤的过程中，通过类别信息的匹配和利用映射关系查找编码的步骤就能确定待编码工艺步骤的编码，避免了手动逐个添加，提高了为待编码工艺步骤匹配编码的效率，并且提高了匹配编码的准确性。

在从数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称可以采用下述两种方式，以下分别结合图3和图4对上述两种方式进行说明。

方式一：

重复执行以下步骤，直至多个子类别信息全部被遍历：从多个子类别信息中选择一个没有被匹配过的子类别信息作为当前子类别信息；判断是否存在第一筛选结果；如果不存在第一筛选结果，则从数据库中查找与当前子类别信息匹配的类别名称，并将得到的结果作为第一筛选结果；如果存在第一筛选结果，则从第一筛选结果中筛选出于当前子类别信息匹配的类别名称，得到第二筛选结果，并将当前子类别信息标记为已筛选。判断多个子类别信息是否均被遍历；如果多个子类别信息已经被遍历，则查找结束，并将第二筛选结果作为匹配的类别名称；如果多个子类别信息没有被全部遍历，则将第二筛选结果作为第一筛选结果。

待编码工艺步骤的类别信息为：刻蚀、A2、B1、C1、D，其中，“刻蚀”、“A2”、“B1”、“C1”和“D”为子类别信息。利用该待编码工艺步骤的类别信息进行匹配时，先从刻蚀的分类中查找类别名称，如图3所示，查找到的类别名称有A1_B1_C1_D、A2_B1_C1_D、A2_B1_D和B1_C1_D。该查找到的结果可以作为第一筛选结果，在该第一筛选结果中筛选与D匹配的类别信息，得到第二筛选结果，第二筛选结果包括的类别名称有A1_B1_C1、A2_B1_C1_D和A2_B1_D。如果此时待编码工艺步骤的类别信息中的子类别信息已经被遍历完，则将第二筛选结果作为匹配结果，但是在本例中，待编码工艺步骤的类别信息中的子类别信息没有被遍历完，则选择下一个未被筛选的子类别信息，并从第二筛选结果中筛选出与选择的子类别信息匹配的类别名称。如图3所示，在第二筛选结果中筛选与C1匹配的类别名称为A1_B1_C1_D和A2_B1_C1_D，最后从上一步的筛选结果中筛选与A2匹配的类别名称为A2_B1_C1_D。即将每个子类别信息作为筛选条件，从数据库中逐级筛选满足筛选条件的类别名称，将类别信息中的全部子类别信息遍历后得到筛选结果，也就是与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称，需要说明的是，多个子类别信息的筛选顺序并不影响最终的筛选结果。

该实施例中，将每个子类别信息都作为筛选条件从数据库中进行筛选，对于需要对多个待编码工艺步骤的类别信息进行匹配时，如新建一个工艺流程，需要配置较多的工艺步骤时，可以利用多个线程同时进行多个类别信息的匹配，从而提高了匹配的效率。

方式二：

从数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称包括：获取工艺步骤所属的类别名称。将多个子类别信息的连续序列作为待编码工艺步骤的类别名称。从数据库中筛选出于待编码工艺步骤的类别名称相匹配的工艺步骤所属的类别名称，得到匹配的类别名称。

待编码工艺步骤的类别信息为：刻蚀、A2、B1、C1，其中，“刻蚀”、“A2”、“B1”、“C1”为子类别信息，多个子类别信息的连续序列为“刻蚀_A2_B1_C1”，则该连续序列可以作为待编码工艺步骤的类别名称，在进行类别名称匹配时，就不需要按照逐个子类别信息进行匹配的方法，而是将多个子类别信息作为一个整体进行匹配，也就是从数据库保存的类别名称中查找与刻蚀_A2_B1_C1匹配的类别名称。

该实施例中，将多个子类别信息形成的整体作为筛选条件，从数据库中筛选出与该待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称，在待编码工艺步骤较少时，如在一个工艺流程中增加几个工艺步骤的情况下，可以提高为每个待编码工艺步骤的类别信息匹配类别名称的效率。

进一步地，为了验证为待编码工艺步骤查找的编码是否正确，在将查找到的编码作为待编码工艺步骤的编码之后，该方法还包括：获取预先设置的工艺步骤编码。判断待编码工艺步骤的编码与预先设置的工艺步骤编码是否相同。如果相同，则确定待编码工艺步骤的编码正确。以及如果不同，则发出待编码工艺步骤的编码错误的提示信息。

预先设置的工艺步骤编码可以是工艺流程中已经采用的，没有错误的工艺步骤编码，对于同一个待编码工艺步骤来说，如果查找到的待编码工艺步骤的编码与预先设置的工艺步骤编码相同，则确定查找到的编码正确，如果不同，则发出查找到的编码错误的提示信息。

进一步地，在发出待编码工艺步骤的编码错误的提示信息之后，该方法还包括：接收响应提示信息的响应信息。判断响应信息是否指示待编码工艺步骤编码所对应的工艺步骤为新增步骤。如果响应信息所指示的工艺步骤为新增步骤，则将待编码工艺步骤编码记录到预先设置的工艺步骤编码中。如果响应信息所指示的工艺步骤为非新增步骤，则修改待编码工艺步骤编码以使待编码工艺步骤编码为正确的编码。

在查找的编码不存在于预先设置的工艺步骤编码中时，可能是该查找到的编码为新增编码，尚未记录在预先设置的工艺步骤编码中，为了避免将正确的编码误报为错误的，在发出提示信息之后，通过人工判断该编码是否为错误编码，并接收响应信息，该响应信息用于指示该报错的编码是否为新增编码，如果是新增，则将该查找到的编码记录在预先设置的工艺步骤编码中，如果不是新增，则确定该查找到的编码为错误编码。

通过对待编码的工艺步骤的编码进行检查，能够保证为待编码的工艺步骤进行编码的准确性，即在通过自动匹配提高效率的同时，提高匹配的准确性。

本申请实施例还提供了一种数据处理装置。本申请实施例的数据处理装置可以用于执行本申请实施例所提供的数据处理方法，本申请实施例的数据处理方法也可以通过本申请实施例所提供的数据处理装置来执行。

图5是根据本申请实施例的数据处理装置的示意图。如图5所示，该数据处理装置包括：第一获取单元10、第二获取单元20、第一查找单元30、第二查找单元40和第一确定单元50。

第一获取单元10用于获取包括工艺步骤的编码、工艺步骤所属的类别名称以及编码和类别名称之间的映射关系的数据库；

第二获取单元20用于获取待编码工艺步骤的类别信息；

第一查找单元30用于从数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称；

第二查找单元40用于根据映射关系查找与匹配的类别名称具有映射关系的编码；以及

第一确定单元50用于将查找到的编码作为待编码工艺步骤的编码。

工艺步骤的编码可以是按照一定规则设置的编码，该编码能够标识唯一一个工艺步骤，例如AAPAD1；工艺步骤所属的类别名称可以是工艺步骤所处的某类工序的名称，工艺步骤所属的类别名称可以表征该工艺步骤的工作场景，例如刻蚀_EDC控制规则_机台1，即该工艺步骤可以应用于刻蚀过程中，具有EDC控制规则的情况下的机台1；每个编码都对应一个类别名称，从而能够根据编码与类别名称的对应关系查找到已知类别名称所对应的编码，以便于对待编码工艺步骤进行编码，例如，编码AAPAD1与类别名称刻蚀_EDC控制规则_机台1具有对应关系，则根据类别名称刻蚀_EDC控制规则_机台1能映射到编码AAPAD1。

待编码工艺步骤的类别信息能够表征该待编码工艺步骤的类别，该类别信息与数据库中的类名名称遵循相同的分类规则，以便于进行类别名称与类别信息之间的匹配来从数据库中查找类别名称。该分类规则可以根据工艺流程中每个步骤所述的工作场景来确定，则待编码工艺步骤的类别信息可以根据该工艺步骤的工作场景自动生成。

在数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称，再从查找到的类别名称映射到该类别名称对应的编码，从而确定待编码工艺步骤的编码。

例如，待编码工艺步骤的类别信息为刻蚀_EDC控制规则_机台1，数据库中存储由类别名称刻蚀_EDC控制规则_机台1、编码AAPAD1以及这二者为一一对应的关系，则从数据库中查找到类别信息匹配的类别名称为刻蚀_EDC控制规则_机台1，该类别名称对应的编码为AAPAD1，则确定待编码工艺步骤的编码为AAPAD1。

为了清楚说明待编码工艺步骤的类别信息与数据库中的类名名称共同遵循的分类规则，以下结合图2对该分类规则进行说明。

在该分类规则中包括四类内容，分别为刻蚀、D、F和P，在每类内容下都有多个分支，该实施例以刻蚀为例进行说明。如图2所示，在刻蚀下又分为有控制和无控制规则两类，从图2可以看出，有控制规则和无控制规则者两类内容下，都重复用到了步骤AE、步骤FE和步骤ME。但是，相同步骤所属的上一级分类可能不同，这就导致属于不同分类中的相同步骤具有不同的编码。例如，在有控制规则的分类中步骤AE分别属于分类AMT、分类AMP和分类AMS中，属于不同分类中的步骤AE所对应的编码分别为step11、step14和step17。即step11唯一指代在刻蚀中，有控制规则情况下分类AMT中的步骤AE，step14唯一指代在刻蚀中，有控制规则情况下分类AMP中的步骤AE，step17唯一指代在刻蚀中，有控制规则情况下分类AMS中的步骤AE。按照这样的分类规则，每个工艺步骤都拥有与其分类相对应的编码。按照该规则建立的数据库如表1所示。

通过上述实施例，在数据库中存储有工艺步骤的类别名称、工艺步骤的编码以及类别名称和编码之间的对应关系，从数据库中查找到与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称后，将查找到的类别名称对应的工艺步骤的编码作为待编码工艺步骤的编码，即在确定待编码工艺步骤的过程中，通过类别信息的匹配和利用映射关系查找编码的步骤就能确定待编码工艺步骤的编码，避免了手动逐个添加，提高了为待编码工艺步骤匹配编码的效率，并且提高了匹配编码的准确性。

在从数据库中查找与待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称可以采用下述两种方式，以下分别结合图3和图4对上述两种方式进行说明。

方式一：

重复调用以下模块，直至多个子类别信息全部被遍历：选择模块，用于从多个子类别信息中选择一个没有被匹配过的子类别信息作为当前子类别信息；

第一判断模块，用于判断是否存在第一筛选结果；查找模块，用于在不存在第一筛选结果时，从数据库中查找与当前子类别信息匹配的类别名称，并将得到的结果作为第一筛选结果；第一筛选模块，用于在存在第一筛选结果时，从第一筛选结果中筛选出于当前子类别信息匹配的类别名称，得到第二筛选结果，并将当前子类别信息标记为已筛选；第二判断模块，用于判断多个子类别信息是否均被遍历；第一确定模块，用于在多个子类别信息已经被遍历时，查找结束，并将第二筛选结果作为匹配的类别名称；在多个子类别信息没有被全部遍历时，将第二筛选结果作为第一筛选结果。

待编码工艺步骤的类别信息为：刻蚀、A2、B1、C1、D，其中，“刻蚀”、“A2”、“B1”、“C1”和“D”为子类别信息。利用该待测编码工艺步骤的类别信息进行匹配时，先从刻蚀的分类中查找类别名称，如图3所示，查找到的类别名称有A1_B1_C1_D、A2_B1_C1_D、A2_B1_D和B1_C1_D。该查找到的结果可以作为第一筛选结果，在该第一筛选结果中筛选与D匹配的类别信息，得到第二筛选结果，第二筛选结果包括的类别名称有A1_B1_C1、A2_B1_C1_D和A2_B1_D。如果此时待编码工艺步骤的类别信息中的子类别信息已经被遍历完，则将第二筛选结果作为匹配结果，但是在本例中，待编码工艺步骤的类别信息中的子类别信息没有被遍历完，则选择下一个未被筛选的子类别信息，并从第二筛选结果中筛选出与选择的子类别信息匹配的类别名称。如图3所示，在第二筛选结果中筛选与C1匹配的类别名称为A1_B1_C1_D和A2_B1_C1_D，最后从上一步的筛选结果中筛选与A2匹配的类别名称为A2_B1_C1_D。即将每个子类别信息作为筛选条件，从数据库中逐级筛选满足筛选条件的类别名称，将类别信息中的全部子类别信息遍历后得到筛选结果，也就是与待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称，需要说明的是，多个子类别信息的筛选顺序并不影响最终的筛选结果。

该实施例中，将每个子类别信息都作为筛选条件从数据库中进行筛选，对于需要对多个待编码工艺步骤的类别信息进行匹配时，如新建一个工艺流程，需要配置较多的工艺步骤时，可以利用多个线程同时进行多个类别信息的匹配，从而提高了匹配的效率。

方式二：

获取模块，用于获取工艺步骤所属的类别名称；第二确定模块，用于将多个子类别信息的连续序列作为待编码工艺步骤的类别名称；第二筛选模块，用于从数据库中筛选出于待编码工艺步骤的类别名称相匹配的工艺步骤所属的类别名称，得到匹配的类别名称。

待编码工艺步骤的类别信息为：刻蚀、A2、B1、C1，其中，“刻蚀”、“A2”、“B1”、“C1”为子类别信息，多个子类别信息的连续序列为“刻蚀_A2_B1_C1”，则该连续序列可以作为待编码工艺步骤的类别名称，在进行类别名称匹配时，就不需要按照逐个子类别信息进行匹配的方法，而是将多个子类别信息作为一个整体进行匹配，也就是从数据库保存的类别名称中查找与刻蚀_A2_B1_C1匹配的类别名称。

该实施例中，将多个子类别信息形成的整体作为筛选条件，从数据库中筛选出与该待编码工艺步骤的类别信息匹配的类别名称，在待编码工艺步骤较少时，如在一个工艺流程中增加几个工艺步骤的情况下，可以提高为每个待编码工艺步骤的类别信息匹配类别名称的效率。

进一步地，为了验证为待编码工艺步骤查找的编码是否正确，装置还包括：第三获取单元，用于在将查找到的编码作为待编码工艺步骤的编码之后，获取预先设置的工艺步骤编码；第一判断单元，用于判断待编码工艺步骤的编码与预先设置的工艺步骤编码是否相同；第二确定单元，用于在相同时，确定待编码工艺步骤的编码正确；以及发送单元，用于在不同时，发出待编码工艺步骤的编码错误的提示信息。

预先设置的工艺步骤编码可以是工艺流程中已经采用的，没有错误的工艺步骤编码，对于同一个待编码工艺步骤来说，如果查找到的待编码工艺步骤的编码与预先设置的工艺步骤编码相同，则确定查找到的编码正确，如果不同，则发出查找到的编码错误的提示信息。

进一步地，该装置还包括：接收单元，用于在发出待编码工艺步骤的编码错误的提示信息之后，接收响应提示信息的响应信息；第二判断单元，用于判断响应信息是否指示待编码工艺步骤编码所对应的工艺步骤为新增步骤；记录单元，用于在响应信息所指示的工艺步骤为新增步骤时，将待编码工艺步骤编码记录到预先设置的工艺步骤编码中；修改单元，用于在响应信息所指示的工艺步骤为非新增步骤时，修改待编码工艺步骤编码以使待编码工艺步骤编码为正确的编码。

在查找的编码不存在于预先设置的工艺步骤编码中时，可能是该查找到的编码为新增编码，尚未记录在预先设置的工艺步骤编码中，为了避免将正确的编码误报为错误的，在发出提示信息之后，通过人工判断该编码是否为错误编码，并接收响应信息，该响应信息用于指示该报错的编码是否为新增编码，如果是新增，则将该查找到的编码记录在预先设置的工艺步骤编码中，如果不是新增，则确定该查找到的编码为错误编码。

通过对待编码的工艺步骤的编码进行检查，能够保证为待编码的工艺步骤进行编码的准确性，即在通过自动匹配提高效率的同时，提高匹配的准确性。

需要说明的是，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本申请所必须的。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置，可通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可为个人计算机、移动终端、服务器或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种数据处理方法，其特征在于，包括：

获取包括工艺步骤的编码、所述工艺步骤所属的类别名称以及所述编码和所述类别名称之间的映射关系的数据库；

获取待编码工艺步骤的类别信息；

从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称；

根据所述映射关系查找与匹配的类别名称具有所述映射关系的编码；以及

将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述类别信息包括多个子类别信息，从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称包括：

重复执行以下步骤，直至所述多个子类别信息全部被遍历：

从所述多个子类别信息中选择一个没有被匹配过的子类别信息作为当前子类别信息；

判断是否存在第一筛选结果；

如果不存在所述第一筛选结果，则从所述数据库中查找与所述当前子类别信息匹配的类别名称，并将得到的结果作为所述第一筛选结果；

如果存在所述第一筛选结果，则从所述第一筛选结果中筛选出于所述当前子类别信息匹配的类别名称，得到第二筛选结果，并将所述当前子类别信息标记为已筛选；

判断所述多个子类别信息是否均被遍历；

如果所述多个子类别信息已经被遍历，则查找结束，并将所述第二筛选结果作为所述匹配的类别名称；

如果所述多个子类别信息没有被全部遍历，则将所述第二筛选结果作为所述第一筛选结果。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述类别信息包括多个子类别信息，从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称包括：

获取所述工艺步骤所属的类别名称；

将所述多个子类别信息的连续序列作为所述待编码工艺步骤的类别名称；

从所述数据库中筛选出于所述待编码工艺步骤的类别名称相匹配的所述工艺步骤所属的类别名称，得到所述匹配的类别名称。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码之后，所述方法还包括：

获取预先设置的工艺步骤编码；

判断所述待编码工艺步骤的编码与所述预先设置的工艺步骤编码是否相同；

如果相同，则确定所述待编码工艺步骤的编码正确；以及

如果不同，则发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息之后，所述方法还包括：

接收响应所述提示信息的响应信息；

判断所述响应信息是否指示所述待编码工艺步骤编码所对应的工艺步骤为新增步骤；

如果所述响应信息所指示的工艺步骤为新增步骤，则将所述待编码工艺步骤编码记录到所述预先设置的工艺步骤编码中；

如果所述响应信息所指示的工艺步骤为非新增步骤，则修改所述待编码工艺步骤编码以使所述待编码工艺步骤编码为正确的编码。

6.一种数据处理的装置，其特征在于，包括：

第一获取单元，用于获取包括工艺步骤的编码、所述工艺步骤所属的类别名称以及所述编码和所述类别名称之间的映射关系的数据库；

第二获取单元，用于获取待编码工艺步骤的类别信息；

第一查找单元，用于从所述数据库中查找与所述待编码工艺步骤的类别信息相匹配的类别名称；

第二查找单元，用于根据所述映射关系查找与匹配的类别名称具有所述映射关系的编码；以及

第一确定单元，用于将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述类别信息包括多个子类别信息，所述第一查找单元包括：

重复调用以下模块，直至所述多个子类别信息全部被遍历：

选择模块，用于从所述多个子类别信息中选择一个没有被匹配过的子类别信息作为当前子类别信息；

第一判断模块，用于判断是否存在第一筛选结果；

查找模块，用于在不存在所述第一筛选结果时，从所述数据库中查找与所述当前子类别信息匹配的类别名称，并将得到的结果作为所述第一筛选结果；

第一筛选模块，用于在存在所述第一筛选结果时，从所述第一筛选结果中筛选出于所述当前子类别信息匹配的类别名称，得到第二筛选结果，并将所述当前子类别信息标记为已筛选；

第二判断模块，用于判断所述多个子类别信息是否均被遍历；

第一确定模块，用于在所述多个子类别信息已经被遍历时，查找结束，并将所述第二筛选结果作为所述匹配的类别名称；在所述多个子类别信息没有被全部遍历时，将所述第二筛选结果作为所述第一筛选结果。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述类别信息包括多个子类别信息，所述第一查找单元包括：

获取模块，用于获取所述工艺步骤所属的类别名称；

第二确定模块，用于将所述多个子类别信息的连续序列作为所述待编码工艺步骤的类别名称；

第二筛选模块，用于从所述数据库中筛选出于所述待编码工艺步骤的类别名称相匹配的所述工艺步骤所属的类别名称，得到所述匹配的类别名称。

9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

第三获取单元，用于在将查找到的编码作为所述待编码工艺步骤的编码之后，获取预先设置的工艺步骤编码；

第一判断单元，用于判断所述待编码工艺步骤的编码与所述预先设置的工艺步骤编码是否相同；

第二确定单元，用于在相同时，确定所述待编码工艺步骤的编码正确；以及

发送单元，用于在不同时，发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

接收单元，用于在发出所述待编码工艺步骤的编码错误的提示信息之后，接收响应所述提示信息的响应信息；

第二判断单元，用于判断所述响应信息是否指示所述待编码工艺步骤编码所对应的工艺步骤为新增步骤；

记录单元，用于在所述响应信息所指示的工艺步骤为新增步骤时，将所述待编码工艺步骤编码记录到所述预先设置的工艺步骤编码中；

修改单元，用于在所述响应信息所指示的工艺步骤为非新增步骤时，修改所述待编码工艺步骤编码以使所述待编码工艺步骤编码为正确的编码。