CN105841875A - 具有高压能力的压差传感器 - Google Patents

Abstract

一种用于测量过程变量的基于电容的压力传感器，其包括金属传感器主体，设置在金属传感器的腔内以形成可偏转的电容器极板的膜片，以及从端壁至所述腔延伸通过所述金属传感器主体的绝缘器。所述压力传感器还包括与所述腔流体连接的隔离管，该隔离管经过所述端壁延伸到所述绝缘器中，在所述腔中的所述绝缘器的表面上的固定的电容器极板，该固定的电容器极板与所述膜片间隔开，以及连接至所述固定的电容器极板并且平行于所述隔离管延伸穿过所述绝缘器且在所述端壁处离开所述绝缘器的电导线。填充流体在所述隔离管和所述腔内，以将压力施加到所述膜片上。

Description

具有高压能力的压差传感器

技术领域

本发明涉及一种用在工业过程变送器中的压力传感器，并且特别涉及一种基于电容的压力传感器。

背景技术

通过产生响应于物理变化的电输出，基于电容的压力传感器用来测量工业过程系统中过程流体的压力。这样的示例性的基于电容的压力传感器描述在No.6,295,875美国专利中。

油和气工业经常在极端恶劣环境中使用压力传感器，该环境使压力传感器承受高管线压力和高温。对于可以运行在这些极端恶劣环境中的压力传感器，存在持续的需求。

发明内容

一种用于测量过程变量的基于电容的压差传感器，所述压差传感器包括：第一半单元和第二半单元。该第一半单元和第二半单元分别包括具有外端壁和内壁的金属主体、延伸穿过所述金属主体至所述内壁的表面的绝缘体、以及定位在所述表面处的所述绝缘体上的电容器极板。所述压差传感器包括连接在所述第一半单元和第二半单元的所述内表面之间的接合部处的膜片。每一个半单元都包括隔离管，所述隔离管具有与内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述绝缘体以在所述外端壁处离开所述半单元。该压差传感器还包括电导线，所述电导线具有与所述电容器极板接触的第一端并且平行于所述隔离管延伸穿过所述绝缘体以在所述外端壁处离开所述半单元。具有第一端的第三电导线与所述第一半单元或第二半单元接触；所述半单元的每一个隔离管和内腔都包含填充流体。

一种压力传感器，该压力传感器包括：单元主体，该单元主体具有第一外端壁、第二外端壁、圆柱形侧壁、第一内壁以及第二内壁，所述第一内壁和第二内壁彼此相对并且限定内腔，其中所述单元主体包括围绕第一绝缘体区域的第一半金属单元和围绕第二绝缘体区域的第二半金属单元，该第一绝缘体区域从所述第一外端壁延伸至所述内腔并且形成所述第一内壁的第一曲面，该第二绝缘体区域从所述第二外端壁延伸至所述内腔并且形成所述第二内壁的第二曲面。该压力传感器包括可偏转膜片，该可偏转膜片的外周缘连接在所述第一内壁和所述第二内壁之间，所述膜片将所述内腔分隔成第一腔和第二腔，所述第一表面上的第一电极，以及所述第二表面上的第二电极。第一电导线从所述第一电极延伸穿过所述第一绝缘体区域并且从所述第一外端壁离开，并且第二电导线从所述第二电极延伸穿过所述第二绝缘体区域并且从所述第二外端壁离开。

一种用于测量过程变量的基于电容的压力传感器，其包括金属传感器主体，设置在金属传感器的腔内以形成可偏转的电容器极板的膜片，以及从端壁通过所述金属传感器主体的绝缘体延伸至所述腔。所述压力传感器还包括与所述腔流体连接的隔离管，该隔离管经过所述端壁延伸到所述绝缘体中，在所述腔中的所述绝缘体的表面上的固定的电容器极板，该固定的电容器极板与所述膜片间隔开，以及连接至所述固定的电容器极板并且平行于所述隔离管延伸穿过所述绝缘体且在所述端壁处离开所述绝缘体的电导线。填充流体在所述隔离管和所述腔内，以将压力施加到所述膜片上。

附图说明

图1是用于测量过程流体压力的系统的一个实施例的示意图。

图2是在图1所见的系统中的基于电容的压差传感器的一个实施例的剖视分解图。

图3A图示了隔离管和电导线的出口点的图2的基于电容的压差传感器的端视图。

图3B图示了隔离管和电导线的出口点的另一实施例的图2的基于电容的压差传感器的端视图。

具体实施方式

一般地，本发明是使用固定的电容器极板和柔性的传导膜片以产生用于过程流体压差测量的电容的基于电容的压力传感器。压力传感器设计具有特定的特征部，该特定的特征部允许该压力传感器在使压力传感器承受高管线压力和高温的极端恶劣环境中幸存下来。第一，可以减小响应于施加到压力传感器上的压力的传感区域的尺寸。因为压力传感器上的负载力随着区域的增大而增大，所以这减小了压力传感器上的负载力。第二，绝缘体被构型为使得它仅在第一半单元的第一端壁和第二半单元的第二端壁处离开压力传感器。这减小了作用在该绝缘体上的压力，从而该绝缘体在高压下不会破裂。绝缘体在高压下的破裂需要避免，因为它导致在压力传感器内的泄露路径。第三，设计压力传感器，以使得电导线平行于隔离管离开单元主体。这允许压力传感器承受高管线压力并且使压力传感器的组装简单。

图1是系统10的一个实施例的示意图，所述系统10包括基于电容的压差传感器12、第一隔离膜片14H、第二隔离膜片14L、第一隔离管16H、第二隔离管16L、变送器电路18、第一极板导线20H、第二极板导线20L和膜片导线22。图1中还示出分别与隔离膜片14H和14L接触的过程流体的压力P_H和P_L。

在该实施例中，基于电容的压差传感器12用第一隔离管16H连接至第一隔离膜片14H。第一隔离管16H具有与基于电容的压差传感器12流体连通的第一端和与第一隔离膜片14H连通的第二端。第一隔离膜片14H可以通过过程流体响应于施加到第一隔离膜片14H上的压力P_H而偏转。由于第一隔离膜片14H的偏转，所以压力PH从过程流体被传送到第一隔离管16H中的第一填充流体。通过经过第一隔离管16H的第一填充流体，压力PH连通至基于电容的压差传感器12。

基于电容的压差传感器12用第二隔离管16L连接至第二隔离膜片14L。第二隔离管16L具有与基于电容的压差传感器12流体连通的第一端和与第二隔离膜片14L连通的第二端。第二隔离膜片14L还与过程流体接触。第二隔离膜片14L可以通过过程流体响应于施加到第二隔离膜片14L上的压力P_L而偏转。由于第二隔离膜片14L的偏转，所以压力P_L从过程流体被传送到第二隔离管16L中的第二填充流体。通过经过第二隔离管16L的第二填充流体，压力P_L连通至基于电容的压差传感器12。

基于电容的压差传感器12通过第一极板导线20H、第二极板导线20L和膜片导线22连接至变送器电路18。第一极板导线20H具有连接至基于电容的压力传感器12的第一端和连接至变送器电路18的第二端。第一极板导线20L具有连接至基于电容的压力传感器12的第一端和连接至变送器电路18的第二端。膜片导线22具有连接至基于电容的压差传感器12的第一端和连接至变送器电路18的第二端。

基于电容的压力传感器12响应于来自于过程流体的压力P_H与来自于过程流体的压力P_L之间的压力差而产生电信号。第一极板导线20H、第二极板导线20L和膜片导线22将电信号从基于电容的压力传感器12通信至变送器电路18。变送器电路18使用该电信号以产生压差测量值。

图2是系统10中的基于电容的压差传感器12的一个实施例的剖视分解图。系统10包括基于电容的压差传感器12、第一隔离管16H、第二隔离管16L、第一极板导线20H、第二极板导线20L和膜片导线22。基于电容的压差传感器12包括第一半单元30H、第二半单元30L、膜片32、接合部34、第一端壁36H、第二端壁36L、侧壁38H和侧壁38L。第一半单元30H包括第一半金属主体40H、第一绝缘体42H、第一内腔44H和第一电容器极板46H。第二半单元30L包括第二半金属主体40L、第二绝缘体42L、第二内腔44L和第二电容器极板46L。第一隔离管16H还包括第一部分50H和第二部分52H。第二隔离管16L还包括第一部分50L和第二部分52L。

第一隔离管16H和第二隔离管16L与基于电容的压力传感器12流体连通。第一极板导线20H，第二极板导线20L和膜片导线22与基于电容的压差传感器12电接触。在图2、3A和3B所示的实施例中，系统10包括五根电导线，其中包括两根第一极板导线20H、两根第二极板导线20L和一根膜片导线22。在其它实施例中，如图1中所示，系统10包括三根电导线，其中包括一根第一极板导线20H、一根第二极板导线20L和一根膜片导线22。还可以选择其它的导线设置方式。

基于电容的压差传感器12包括焊接在一起以形成基于电容的压力传感器12的主体部分的第一半单元30H和第二半单元30L。第一半单元30H和第二半单元30L为圆柱形。膜片32定位在第一半单元30H和第二半单元30L之间，并且焊接在接合部34。接合部34处的焊接密封第一半单元30H和第二半单元30L在一起并且将膜片32保持在张力之下，该张力使膜片32在遭受压力P_H和P_L之间的压力差时能够弯曲。膜片32还可以称作柔性电容器极板、柔性电极极板、传感膜片、中心膜片或隔膜。第一端壁36H形成第一半单元30H的一端。第二端壁36L形成第二半单元30L的一端。侧壁38H和侧壁38L分别形成第一半单元30H和第二半单元30L的圆柱形主体部分的外壁。

基于电容的压差传感器12的第一半单元30H和第二半单元30L分别包括第一半金属主体40H和第二半金属主体40L、第一绝缘体42H和第二绝缘体42L、第一内腔44H和第二内腔44L以及第一电容器极板46H和第二电容器极板46L。第一半金属主体40H和第二半金属主体40L为环形且围绕第一绝缘体42H和第二绝缘体42L，第一绝缘体42H和第二绝缘体42L分别与第一半金属主体40H和第二半金属主体40L融合在一起。第一绝缘体42H和第二绝缘体42L由玻璃基或陶瓷基材料制成。第一半单元30H和第二半单元30L分别在一侧具有凹部，该凹部分别形成第一内腔44H和第二内腔44L。第一内腔44H和第二内腔44L至少延伸跨越第一绝缘体42H和第二绝缘体42L，以分别在第一绝缘体42H和第二绝缘体42L与第一内腔44H和第二内腔44L之间形成内壁。第一电容器极板46H和第二电容器极板46L优选为O形，并且分别连接到第一绝缘体42H和第二绝缘体42L与第一内腔44H和第二内腔44L之间的内壁上。第一半金属主体40H和第二半金属主体40L是电导通的。金属主体的两半组成可以比较弱的非金属单元主体经受更高温度和更高压力的环境的单元主体。

第一隔离管16H和第二隔离管16L以及第一极板导线20H和第二极板导线20L分别穿过第一半单元30H和第二半单元30L。第一隔离管16H和第二隔离管16L分别具有与第一内腔44H和第二内腔44L流体连通的第一端，并且延伸穿过第一绝缘体42H和第二绝缘体42L，以在第一端壁36H和第二端壁36L处离开第一半单元30H和第二半单元30L。第一填充流体和第二填充流体分别包含在第一隔离管16H和第二隔离管16L以及第一内腔44H和第二内腔44L中。第一隔离管16H和第二隔离管16L的第一端分别包括第一部分50H和第一部分50L。第一部分50H和第一部分50L由例如玻璃基或陶瓷基材料的绝缘材料制成。第一隔离管16H和第二隔离管16L的第一部分50H和第一部分50L防止第一隔离管16H和第二隔离管16L接触金属的第一电容器极板36H和第二电容器极板36L并且防止扰乱电容测量。第一隔离管16H和第二隔离管16L还包括由金属材料制成的第二部分51H和52L。第一极板导线20H和第二极板导线20L分别具有与第一电容器极板46H和第二电容器极板46L接触的第一端，并且在平行于第一隔离管16H和第二隔离管16L的位置延伸穿过第一绝缘体42H和第二绝缘体42L，以分别在第一端壁36H和第二端壁36L处离开第一半单元30H和第二半单元30L。第一绝缘体42H和第二绝缘体42L防止第一隔离管16H和第二隔离管16L以及第一极板导线20H和第二极板导线20L接触金属的第一半金属主体40H和第二半金属主体40L并且防止扰乱电容测量。

基于电容的压差传感器12产生可以用来产生压差测量值的两个电容CH和CL。第一过程流体压力被流经第一隔离管16H的第一填充流体传递，以到达第一内腔44H，从而影响膜片32的位置。第二过程流体压力被流经第二隔离管16L的第二填充流体传递，以到达第二内腔44L，从而影响膜片32的位置。膜片32在接合部34处与第一半金属主体40H和第二半金属主体40L接触。膜片32将会随腔44H中的第一填充流体的压力P_H与腔44L中的第二填充流体的压力P_L之间的压力差而偏转。电容CH是膜片32与第一内腔44H中固定的第一电容器极板46H之间的距离的函数。电容CH出现在线20H与线22之间。电容CL是膜片32与固定的第二电容器极板46L之间的距离的函数。电容CL出现在线20L与线22之间。线20H、20L和22连接至变送器电路18(图1)，该变送器电路18包括产生基于电容CH和CL的数字信号的例如西格玛-德尔塔(sigmadelta)电容数字(C/D)转换器(capacitance-to-digital converter)的电路。

第一绝缘体42H允许第一隔离管16H和第一极板导线20H穿过第一半单元30H的导电的第一半金属主体40H而不干涉电容CH。同样地，第二绝缘体42L允许第二隔离管16L和第二极板导线20L穿过第二半单元30L的导电的第二半金属主体40L而不干涉电容CL。第一隔离管16H和第一极板导线20H平行地穿过第一绝缘体42H并且离开第一半单元30H。第二隔离管16L和第二极板导线20L平行地穿过第二绝缘体42L并且离开第二半单元30L。

半单元30H和30L内的隔离管16H和16L以及极板导线20H和20L的平行设置使得半个金属主体40H和40L可以具有围绕绝缘体42H和42L的环形形状。由于绝缘体42H和42L不延伸至半单元30H和30L的侧壁38H或38L，所以这样就允许绝缘体42H和42L仅在第一端壁36H和第二端壁36L处离开半单元30H和30L。结果，极板导线20H和20L位于绝缘体42H和42L的大压力区域，并且半金属主体40H和40L延伸侧壁42H和42L的整个长度。这样就允许基于电容的压差传感器12经受增大的管线压力和更高的运行温度。或者，在相同的管线压力下，与现有的基于电容的压差传感器相比，基于电容的压差传感器12的直径可以减小。平行设置方式还增加了极板导线20H和20L与焊接接合部34之间的距离，其减少了焊接过程中热冲击的可能性。此外，该设置方式增大了极板导线20H与20L之间的距离，从而减小了寄生电容。

图3A是图示了第一隔离管16H和第一极板导线20H从第一半单元30H离开的出口点的图2的基于电容的压差传感器12的一个实施例的端视图。图3A包括基于电容的压差传感器12、第一隔离管16H和第一极板导线20H。基于电容的压差传感器12包括第一半单元30H，该第一半单元30H包括第一半金属主体40H和第一绝缘体42H。在该实施例中，基于电容的压差传感器12具有第二半单元，在该第二半单元中，第二隔离管和第二极板导线分别以相同的构造穿过第二绝缘体而离开第二半单元。

第一半单元30H的第一半金属主体40H是环形的且围绕与第一半金属主体40H融合在一起的第一绝缘体42H。第一隔离管16H和第一极板导线20H以平行的构造方式穿过第一绝缘体42H离开第一半单元30H。第一绝缘体42H允许第一隔离管16H和第一极板导线20H穿过第一半单元30H的导电的第一半金属主体40H而不干涉电容CH。在该实施例中，第一隔离管16H穿过且从第一绝缘体42H的中心离开。第一极板导线20H在与第一隔离管16H和第一半金属主体40H等距的位置穿过且离开第一绝缘体42H。此外，第一隔离管16H和第一极板导线20H以相对于彼此成三角形图案的方式设置。

图3B是图示了第一隔离管16H’和第一极板导线20H’从第一半单元30H’离开的出口点的另一实施例的图2的基于电容的压差传感器12’的端视图。图3B包括基于电容的压差传感器12’、第一隔离管16H’和第一极板导线20H’。基于电容的压差传感器包括第一半单元30H’，该第一半单元30H’包括第一半金属主体40H’和第一绝缘体42H’。在该实施例中，基于电容的压差传感器12’具有第二半单元，在该第二半单元中，第二隔离管和第二极板导线分别以相同的构造穿过第二绝缘体而离开第二半单元。

第一半单元30H’的第一半金属主体40H’是环形的且围绕与第一半金属主体40H’融合在一起的第一绝缘体42H’。第一隔离管16H’和第一极板导线20H’以平行的构造方式穿过第一绝缘体42H’而离开第一半单元30H’。第一绝缘体42H’为第一隔离管16H’和第一极板导线20H’提供一种穿过第一半单元30H’的导电的第一半金属主体40H’而不干涉电容的方式。在该实施例中，第一隔离管16H’在邻近第一绝缘体42H’的外表面处穿过且离开第一绝缘体42H’。第一极板导线20H’以三角形图案且离第一隔离管16H’等距的方式在邻近第一绝缘体42H’的外表面处穿过且离开第一绝缘体42H’。

在可选实施例中，如No.6,295,875美国专利所述，第一半单元30H和第二半单元30L可以包括第二环形电容器极板，该第二环形电容器极板分别定位在第一内腔44H和第二内腔44L中并且连接至从第一电容器极板46H和第二电容器极板46L径向向外且不与第一电容器极板46H和第二电容器极板46L接触的第一绝缘体42H和第二绝缘体42L的凹入表面。附加的极板导线具有第一端，该第一端与环形电容器极板接触，并且在平行于第一隔离管16H和第二隔离管16L以及第一极板导线20H和第二极板导线20L的位置分别延伸穿过第一绝缘体42H和第二绝缘体42L，以离开第一半单元30H和第二半单元30L。附加的电导线的第二端连接至变送器电路18，以提供附加的补偿电容，该补偿电容用于配合CH和CL以用于膜片变形的辅助补偿，特别是在高压下，由此导致更精确的压力测量。

虽然已经参照示例性的实施例描述了本发明，但本领域技术人员将会理解，在不背离本发明的范围的前提下，可以作出各种变化并且代替部件的等效实施例。此外，在不背离本发明的基本范围的前提下，可以作出本发明教导下的多种变型以适应具体的情况或材料。因此，本发明不会局限于公开的特定实施例，而是本发明将包括落入附属的权利要求的范围中的所有实施方式。

Claims (20)

1.一种用于测量过程变量的基于电容的压差传感器，所述压差传感器包括：

第一半单元，所述第一半单元包括：

第一金属主体，所述第一金属主体具有第一外端壁和第一内壁；

第一绝缘体，所述第一绝缘体延伸穿过所述第一金属主体至所述第一内壁处的第一表面；以及

第一电容器极板，所述第一电容器极板在所述第一表面处定位在所述第一绝缘体上；

第二半单元，所述第二半单元包括：

第二金属主体，所述第二金属主体具有第二外端壁和第二内壁；

第二绝缘体，所述第二绝缘体延伸穿过所述第二金属主体至所述第二内壁处的第二表面；以及

第二电容器极板，所述第二电容器极板在所述第二表面处定位在所述第二绝缘体上；

膜片，所述膜片连接在所述第一半单元的第一内表面与所述第二半单元的第二内表面之间的接合部处；

第一隔离管，所述第一隔离管具有与第一内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述第一绝缘体以在所述第一外端壁处离开所述第一半单元；

第二隔离管，所述第二隔离管具有与第二内腔流体连通的第一端并且延伸穿过所述第二绝缘体以在所述第二外端壁处离开所述第二半单元；

第一电导线，所述第一电导线具有与所述第一电容器极板接触的第一端并且平行于所述第一隔离管延伸穿过所述第一绝缘体以在所述第一外端壁处离开所述第一半单元；

第二电导线，所述第二电导线具有与所述第二电容器极板接触的第一端并且平行于所述第二隔离管延伸穿过所述第二绝缘体以在所述第二外端壁处离开所述第二半单元；

第三电导线，所述第三电导线具有与所述第一半单元或第二半单元接触的第一端；

第一填充流体，所述第一填充流体位于所述第一隔离管和所述第一内腔内；以及

第二填充流体，所述第二填充流体位于所述第二隔离管和所述第二内腔内。

2.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述膜片通过所述第一金属主体和所述第二金属主体中的一个电连接至所述第三电导线。

3.根据权利要求1所述的压差传感器，包括多根第一电导线和多根第二电导线。

4.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一隔离管包括邻近第一隔离膜片终止的第二端，而且其中所述第二隔离管包括邻近第二隔离膜片终止的第二端。

5.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一电导线、第二电导线和第三电导线分别具有连接至电路以产生压差信号输出的第二端。

6.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一金属主体为环形的并且围绕所述第一绝缘体，而且其中所述第二金属主体为环形的并且围绕所述第二绝缘体。

7.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述绝缘体是玻璃基或陶瓷基材料。

8.根据权利要求1所述的压差传感器，其中所述第一内壁的所述第一表面和所述第二内壁的所述第二表面分别为曲面。

9.一种压力传感器，该压力传感器包括：

单元主体，所述单元主体具有第一外端壁、第二外端壁、圆柱形侧壁、第一内壁以及第二内壁，所述第一内壁和第二内壁彼此相对并且限定内腔，其中所述单元主体包括围绕第一绝缘体区域的第一半金属单元和围绕第二绝缘体区域的第二半金属单元，所述第一绝缘体区域从所述第一外端壁延伸至所述内腔并且形成所述第一内壁的第一表面，所述第二绝缘体区域从所述第二外端壁延伸至所述内腔并且形成所述第二内壁的第二表面；

可偏转膜片，所述可偏转膜片的外周缘连接在所述第一内壁和所述第二内壁之间，所述膜片将所述内腔分隔成第一腔和第二腔；

所述第一表面上的第一电极；

所述第二表面上的第二电极；

第一电导线，所述第一电导线从所述第一电极延伸穿过所述第一绝缘体区域并且延伸到所述第一外端壁外部；以及

第二电导线，所述第二电导线从所述第二电极延伸穿过所述第二绝缘体区域并且延伸到所述第二外端壁外部。

10.根据权利要求9所述的压力传感器，其还包括：

第一流体通道，所述第一流体通道从所述第一腔至所述第一外端壁延伸通过所述第一绝缘体区域；以及

第二流体通道，所述第二流体通道从所述第二腔至所述第二外端壁延伸通过所述第二绝缘体区域。

11.根据权利要求9所述的压力传感器，其包括多根第一电导线和多根第二电导线。

12.根据权利要求9所述的压力传感器，其中所述第一内壁的所述第一表面和所述第二内壁的所述第二表面是曲面

13.根据权利要求9所述的压力传感器，其还包括：

第三电导线，该第三电导线具有与所述第一半金属单元或所述第二半金属单元接触的第一端，其中所述可偏转膜片通过所述第一半金属单元和所述第二半金属单元中的一个电连接至所述第三电导线。

14.根据权利要求13所述的压力传感器，其中所述第一电导线、所述第二电导线和所述第三电导线分别具有连接至电路以产生压力信号输出的第二端。

15.根据权利要求9所述的压力传感器，其中所述绝缘体是玻璃基或陶瓷基材料。

16.一种用于测量过程变量的基于电容的压力传感器，该压力传感器包括：

金属传感器主体；

膜片，所述膜片设置在金属传感器的腔内以形成可偏转的电容器极板；

绝缘体，所述绝缘体从端壁通过所述金属传感器主体延伸至所述腔；

隔离管，所述隔离管与所述腔流体连接，所述隔离管穿过所述端壁延伸到所述绝缘体中；

固定的电容器极板，所述固定的电容器极板在所述腔中位于所述绝缘体的表面上，而且该固定的电容器极板与所述膜片间隔开；

电导线，所述电导线连接至所述固定的电容器极板，并且平行于所述隔离管延伸穿过所述绝缘体且在所述端壁处离开所述绝缘体；以及

填充流体，所述填充流体位于所述隔离管和所述腔内，以将压力施加到所述膜片上。

17.根据权利要求16所述的压力传感器，其还包括多根电导线。

18.根据权利要求16所述的压力传感器，其中所述金属传感器主体为环形的。

19.根据权利要求16所述的压力传感器，其中所述隔离管的第一端与所述腔流体连通，并且所述隔离管的第二端邻近隔离膜片终止。

20.根据权利要求16所述的压力传感器，其中所述绝缘体是玻璃基或陶瓷基材料。