CN105581857A - 跨蜗轴电极阵列及制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种跨蜗轴电极阵列及制造方法，其中所述电极阵列包括：衬底(201)；位于所述衬底上的多个分离的部分处的传导金属(203)；及所述传导金属(203)和所述衬底(201)上的单层绝缘材料(205)；其中所述单层绝缘材料(205)包括暴露所述传导金属(203)的多个孔(206)，暴露的传导金属形成多个电极，所述电极阵列具有至少100GPa的杨氏模量。

Description

跨蜗轴电极阵列及制造方法

技术领域

本发明涉及在跨蜗轴(transmodiolar)植入型助听器中使用的、具有高数量和密度的电极的电极阵列(跨蜗轴电极阵列)的制造方法。本发明还涉及包括电极阵列的跨蜗轴植入物及将电极阵列植入在耳蜗中的方法。本发明还涉及耳蜗植入物，其中跨蜗轴电极阵列当与蜗内刺激电极阵列一起使用时作为返回电极。

背景技术

人耳可按图1A中所示的三个部分进行描述。第一部分为外耳101，其包括用于接收声压波并将其集中到耳道103的耳廓102。第二部分为中耳104，其从耳道103接收声压波。该声压波通过耳鼓105并变换为传给听骨链的机械振动。振动通过锤骨106、然后通过砧骨107、最后通过镫骨108。人耳的第三部分称为内耳或耳蜗109。耳蜗109的截面如图1B中所示。听骨链的振动从镫骨108经耳蜗109的卵圆窗传到前庭阶136的外淋巴液体。一旦在耳蜗109中，液体中的振动启动哥蒂氏器官110以在声神经138中产生刺激。

一种类型的现有助听器装置称为耳蜗植入物。如图1C中所示，耳蜗植入物142包括两个主要部分，即外部装置111(也称为语音处理器)和可植入装置113。语音处理器111由发射线圈112、传声器、电子电路和电池(未示出)组成。可植入装置113包括壳体114、电子及单独的接收线圈115、和通常柔软的将壳体114连接到电极阵列117的引线116。柔软的引线116通过中耳118以到达耳蜗119。如图1D中所示，在大多数情形下，电极阵列121由用柔软材料如硅酮制成的电极载体122组成以有助于将阵列121插入到耳蜗119的鼓阶120内。鼓阶120具有螺旋形状123，载体122的柔软材料使能折叠效果。电极载体122包含连接导线(未示出)，其连接到由铂、铂-铱、或具有生物适合表面处理的其它材料制成的刺激电极124。

图1E示出了电极阵列144的一个例子，其由铂-铱制成的圆柱形电极125组成。每一电极125通过小的硅酮环126彼此分开。每一硅酮环126的直径朝向近端127有规律地减小以形成渐进更细或渐缩表面。另外的环128位于电极阵列144的底面直径上以帮助将该阵列插入到耳蜗内。通常，现有耳蜗植入物的电极阵列沿阵列具有每一毫米一个电极的平均数。

现有耳蜗植入系统的问题在于实现空间上高分辨率地电刺激以恢复接近正常听力的声音感知。如果电极阵列位于远离目标细胞的地方，刺激电流通常分散及以低特异性刺激大量螺旋神经节。因而，将电极阵列定位到耳蜗中的螺旋神经节(电刺激的目标)很重要。如上所述及如图1D中所示，耳蜗植入物的电极阵列通常插入到鼓阶内，因为其具有最大的截面积并为容易手术操作的位置。流自电极位置的刺激电流刺激位于耳蜗轴方向的螺旋神经节细胞。因此，希望将耳蜗植入系统的电极阵列定位成靠近耳蜗轴以减小电极和螺旋神经节之间的距离并增大电刺激的空间特异性。

在耳蜗植入系统中已开发和采用几种策略来将电极定位成靠近耳蜗轴。例如，开发紧抱耳蜗轴的电极，这些电极使用在插入到鼓阶中的过程之前和期间通过内部探针保持直的载体。在电极和探针部分插入之后，电极被推到其完全插入的深度，同时保持探针在同一位置。电极在推向耳蜗轴的同时恢复其初始螺旋形状。因而，探针的插入深度在紧抱耳蜗轴的电极阵列手术中至关重要。如果探针在耳蜗开窗内插入得太深，电极尖将接触耳蜗外壁，这可能损伤螺旋韧带或刺入前庭阶。另一方面，如果探针的插入深度太短，电极的顶端曲线将在鼓阶的第一转前面弯曲。因而，先前有助于电流流过耳蜗轴的努力包括设计成“紧抱”耳蜗轴的预弯电极和设计成将电极放置成更靠近耳蜗轴的硅酮橡胶定位器的制造和使用。

关于听觉系统的电刺激的另一方面包括电路环路的完成，藉此，沿蜗内电极阵列的一电极用作有效电极，第二电极用作返回电极。单极刺激模式是最常用的策略，其中第二蜗外返回电极位于接收器-刺激器单元的包装上。另一方面，双极刺激模式使用所植入的蜗内电极阵列内的相邻电极作为返回电极。多种不同的变化如双极+1或双极+2也是可能的。其它模式可包括三极刺激模式，其中电流传给一蜗内电极及其两个相邻的电极用作返回电极。使用不同的刺激模式，可实现一些优点或面临挑战如功耗和刺激特异性领域的挑战。

目前尚没有可用的解决方案克服了上面提及的缺陷。因此，需要提供一种在阵列中允许极高数量的接触电极的解决方案和/或提供当前刺激模式的备选刺激模式。

发明内容

本发明涉及适合跨蜗轴植入的跨蜗轴电极阵列。该电极阵列放置在蜗轴内而不是鼓阶内，鼓阶是耳蜗植入电极阵列的传统位置。蜗轴是耳蜗中的锥形中心轴。其由海绵骨及周围的耳蜗转组成。螺旋神经节位于蜗轴内。根据一实施例的原理是在耳蜗起点直接刺激内听觉神经。为实现此目标，需要跨蜗轴电极，跨蜗轴电极位于蜗轴内。

利用跨蜗轴电极及其在蜗轴内的置放使能实现空间上高分辨率地电刺激，即减小电极和螺旋神经节之间的距离并增大电刺激的空间特异性。如用传统植入的耳蜗植入系统的电极阵列所遇到的刺激电流分散到外淋巴液内的问题将被对抗。此外，利用适于直接刺激内听觉神经的跨蜗轴电极使能减小电流源和目标之间的物理距离，因而减小刺激神经纤维所需要的电流。同样，更低的电流使相邻刺激电极之间的交互作用最小化，并降低因电流施加引起损伤的风险。因而，在实施例中，跨蜗轴电极阵列适于定位在用户耳蜗轴内、从刺激器接收电脉冲、及使用这些电极直接刺激用户的听觉神经纤维。

植入可通过包括外耳道型方法的程序实现。根据用作说明的实施例，公开了将电极阵列植入在患者耳蜗中的方法。该方法包括提供跨蜗轴电极阵列或包括跨蜗轴阵列的跨蜗轴植入物，钻过耳蜗的骨沟以接近耳蜗轴，及将电极阵列插入到耳蜗轴内。

上面的方法可在钻孔之前实现，至少部分去除鼓膜以接近中耳，从而接近靠近锤骨和镫骨的骨沟。其后，通过钻过骨沟而钻到顶点产生到耳蜗轴的通路。在将包括跨蜗轴电极的引线沿钻得的用于接近耳蜗轴的耳道通路放置后，用骨粉和接合剂覆盖耳道。

如图现有耳蜗植入一样，刺激器可闩在颞骨上。

在实施例中，跨蜗轴电极阵列小于约8mm，如小于7mm，如小于6mm，并具有小于约0.6mm如0.5mm或0.4mm的宽度/直径。作为例子，对于6mm长的跨蜗轴电极阵列，约1mm通过耳蜗骨，其余的约5mm长度为包含电极阵列的有效区域。对本领域技术人员显而易见的是，所述尺寸的变化是可能的。因此，前述变化在本发明范围内。

传统耳蜗植入系统中使用的电极阵列因其类型、形状和/或几何结构不适合跨蜗轴植入。例如，传统用于插入到耳蜗内的耳蜗植入物的电极阵列足够柔软以允许折叠效果，该性质通常不符合跨蜗轴电极的需要。实际上，传统蜗内电极阵列的标准之一是具有足够低的刚性以有助于折叠，该要求对防损伤电极阵列更为关键。通常，硅酮用作前述蜗内电极阵列的载体，具有约0.01GPa的杨氏模量。此外，耳蜗植入物中的传统电极阵列在可用于跨蜗轴植入的小长度中缺乏足够数量的电极，因为每一传统电极由相对大的铂芯制成，其用现有方法不能制成更小的尺寸。

在此描述的实施例涉及用于跨蜗轴植入的电极阵列的制造方法。该方法包括提供衬底并在该衬底上的多个分离的部分施加传导金属。之后，一层绝缘材料施加在传导金属和衬底上。最后，有选择地去除绝缘材料的多个部分以暴露传导金属从而形成多个电极。该电极阵列包括至少100GPa的杨氏模量。

在实施例中，所施加的绝缘材料层包括单层，多个部分从其有选择地去除。

在一些实施例中，将传导金属施加到衬底上的多个分离的部分的步骤包括向衬底施加一层传导金属，其后从所施加的层有选择地去除传导金属的多个部分以暴露衬底。

根据一实施例，传导金属的多个部分通过激光消融有选择地去除。

在备选实施例中，向衬底上的多个分离的部分施加传导金属的步骤包括向衬底施加具有多个孔的罩；向罩施加传导金属；及移除罩以暴露传导金属和衬底。

利用罩使本领域技术人员能避免不得不从所施加的层例如通过激光消融有选择地去除传导金属的多个部分。

在实施例中，罩包括UV固化树脂。

在一些实施例中，衬底不导电，即电不传导。

根据一些实施例，衬底从下组选择：氧化铝、氧化锆、氧化锆氧化铝合成物、PEEK(聚醚醚酮)、PI、和PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)。氧化铝可以是高纯度氧化铝。其它可长期植入塑料也可用作衬底。

在一些实施例中，传导金属选自下组：钛、金、铂、铱、及其混合物。传导金属可以是两种以上金属的合金。

在一些实施例中，传导金属通过绢印施加。

在备选实施例中，传导金属通过在炉内加热之前传导涂料的涂膜(deeping)进行施加。

在一些实施例中，传导涂料为钛水合溶液。

在备选方法中，传导金属通过溅射施加。这使能非常好地控制衬底上的传导金属的厚度。

根据一些实施例，绝缘材料的多个部分通过激光消融有选择地去除。

根据一实施例，公开了用于跨蜗轴植入物的电极阵列。该电极阵列包括衬底、位于衬底上的多个分离的部分处的传导金属、及传导金属和衬底上的单层绝缘材料。单层绝缘材料包括暴露传导金属的多个孔。暴露的传导金属形成多个电极。

在一些实施例中，所述各方面的电极阵列还包括位于电极阵列一端处的参考电极；及与参考电极接触从而将电极阵列连接到来自耳蜗刺激器的引线的连接件。

在一些实施例中，电极阵列还包括连接件中的连接导线。

在一些实施例中，电极阵列硬。这有助于插入到患者/CI用户的耳蜗轴内。当插入时，电极阵列可实质上笔直。与蜗内电极阵列相反，硬度和/或笔直至关重要，因为跨蜗轴阵列需要适于插入在耳蜗轴中。跨蜗轴电极阵列的按杨氏模量表示的硬度明显高于用于生产蜗内电极阵列的硅酮的杨氏模量。例如，跨蜗轴电极阵列的杨氏模量至少为硅酮的杨氏模量的350倍，如500倍或750倍或1000倍。优选地，跨蜗轴电极阵列的杨氏模量通常至少为100GPa，如至少125GPa，如至少150GPa，如至少175GPa或至少200GPa。前述电极阵列的一个例子包括基于氧化锆衬底的具有210GPa杨氏模量的跨蜗轴电极阵列。在实施例中，跨蜗轴电极阵列的硬度沿电极阵列的长度变化使得远端部分的硬度低于另一端的硬度。

在一实施例中，电极阵列的至少两个电极具有实质上相同的大小和形状。另外或作为备选，电极阵列的至少两个电极的大小和形状实质上不同。

在另一实施例中，电极阵列的至少两个电极彼此均匀间隔开。另外或作为备选，电极阵列的至少两个电极彼此非均匀地间隔开。

在一实施例中，电极沿电极阵列的长度间隔开。在实施例中，电极沿电极阵列的宽度或圆周间隔开。

在特定实施例中，电极沿跨蜗轴电极阵列的长度间隔开使得一对相邻电极处于距电极阵列的远端不同距离处并绕跨蜗轴电极阵列的圆周间隔开。远端定义为电极阵列的尖端。与同样长度的仅具有沿长度间隔开的电极的传统蜗内电极阵列相比，包括圆周间隔开的电极的跨蜗轴电极阵列使能在相邻电极之间产生足够的间隔，从而控制通道交互作用。同样，组合沿跨蜗轴电极阵列的长度和圆周间隔开的电极使预定长度的电极阵列能相较于传统蜗内电极阵列容纳更多的电极。

在实施例中，电极沿跨蜗轴电极阵列的长度间隔开并绕跨蜗轴电极阵列的圆周间隔开，使得电极形成特定图案，如至少一绕跨蜗轴电极阵列的圆周的螺旋图案。这使能具有适于直接面向听觉神经纤维的图案。作为备选，该图案可包括圆形图案。

在一实施例中，电极包括沿阵列长度的暴露的金属轨道。

对本领域技术人员显而易见的是，上述变化的组合是可能的，以提供使电信号和/或电极布置在耳蜗轴内具有更高特异性的设计。

在一些实施例中，电极阵列形成在衬底的平面、凸面或凹面上。

在实施例中，衬底为圆柱形。

根据又一方面，公开了跨蜗轴植入物。该植入物包括跨蜗轴电极阵列、耳蜗刺激器和柔软的引线。电极阵列包括通过上面描述的任一方面或实施例或者其组合描述的阵列。耳蜗刺激器配置成在电极阵列位于耳蜗轴内时向其提供电信号。柔软的引线将电极阵列连接到耳蜗刺激器。

在此公开的另一方面是将电极阵列植入在患者耳蜗中的方法。该方法包括提供根据上面描述的任一方面或实施例或者其组合的电极阵列或跨蜗轴植入物。其后，钻过耳蜗的骨沟以接近耳蜗轴；最后，将电极阵列插入到耳蜗轴内。

根据一些实施例，电极阵列中的电极数量可变化。例如，该数量可包括至少16个电极，如至少18个电极，优选至少20个电极如22个电极或更多。

在此公开的另一方面涉及用于跨蜗轴植入物的、通过上面描述的任一方面或实施例的方法制造的电极阵列。

在一实施例中，代替如早先公开的使用跨蜗轴电极阵列用于刺激听觉神经纤维，跨蜗轴电极阵列用作与适于位于耳蜗内的蜗内电极阵列结合的返回/参考电极。在该实施例中，蜗内电极阵列的电极适于产生刺激，该刺激产生听觉感知。电路包括：i)提供电刺激脉冲的刺激器的信号发生器；ii)蜗内刺激电极阵列的有效电极；及iii)作为返回电极的跨蜗轴电极阵列。蜗内电极阵列的有效电极通常位于鼓阶中，而跨蜗轴返回电极位于患者/用户的耳蜗轴内。跨蜗轴返回电极接近耳蜗电极阵列使能更好的刺激，因为耳蜗电极阵列和跨蜗轴返回电极之间的电流通路相较于如传统单极刺激模式更短。具体地，耳蜗轴电流(负责神经兴奋)振幅大大受返回电极的位置影响，当放入耳蜗轴内时更大。将耳蜗植入物的返回电极放在耳蜗轴中大大降低其功耗。减少功率需求因而导致效率提高、长期使用更安全、及装置寿命更长。

因而，根据一实施例，公开了将耳蜗植入物定位在用户身体中的方法。该方法包括：将接收器-刺激器邻近用户的耳朵植入在用户内，将蜗内电极阵列定位在用户的耳蜗内，及将跨蜗轴电极阵列定位在用户的耳蜗轴内，跨蜗轴电极阵列适于用作返回电极。

将接收器-刺激器和蜗内电极阵列定位在耳蜗内根据已知技术进行。跨蜗轴电极阵列适于用作返回电极。在跨蜗轴电极阵列用作返回电极的不同实施例中，跨蜗轴电极阵列可包括本发明中描述的跨蜗轴电极特征或者位于耳蜗轴内的单一电极。对于相同大小的返回电极，优选后者，因为其提供更大的返回电极表面积。跨蜗轴返回电极的定位可通过钻过耳蜗的骨沟以接近耳蜗轴及将跨蜗轴电极阵列插入到耳蜗轴内实现。

根据另一实施例，公开了耳蜗植入物的植入部分。植入部分包括接收器-刺激器、蜗内电极阵列和跨蜗轴电极阵列。接收器-刺激器包括调谐线圈和信号发生器。调谐线圈适于感应链路从患者可佩戴的语音处理器接收数据信息和功率。信号发生器适于根据所接收的数据信息产生通道特有电脉冲。蜗内电极阵列的每一电极形成特定频道并频率-位置映射到耳蜗内。在例子中，蜗内电极阵列通常可由经柔软聚二甲基硅氧烷(硅酮橡胶)绝缘材料分开的、传导、耐腐蚀、贵金属铂-铱合金电极组成。蜗内电极阵列的电极适于传输信号发生器产生的通道特有电脉冲。跨蜗轴电极阵列用作返回电极并包括本发明中描述的一个或多个特征或者单一电极。

附图说明

本发明的各个方面将从下面结合附图进行的详细描述得以最佳地理解。为清晰起见，这些附图均为示意性及简化的图，它们只给出了对于理解本发明所必要的细节，而省略其他细节。在整个说明书中，同样的附图标记用于同样或对应的部分。每一方面的各个特征可与其他方面的任何或所有特征组合。这些及其他方面、特征和/或技术效果将从下面的图示明显看出并结合其阐明，其中：

图1A示出了人耳的三个部分。

图1B示出了耳蜗的截面图。

图1C示出了根据现有技术的耳蜗植入系统。

图1D示出了根据现有技术的、电极阵列插入到耳蜗的鼓阶内的截面图。

图1E示出了根据现有技术的电极阵列的立体图。

图2A示出了根据本发明实施例的电极阵列的制造方法。

图2B示出了可根据本发明实施例制造的电极阵列的不同图案。

图2C示出了根据本发明实施例的具有适合跨蜗轴植入的电极阵列的跨蜗轴植入物的立体图。

图2D示出了根据本发明实施例的植入在患者耳蜗中的电极阵列的细节图。

具体实施方式

下面结合附图提出的具体描述用作多种不同配置的描述。具体描述包括用于提供多个不同概念的彻底理解的具体细节。然而，对本领域技术人员显而易见的是，这些概念可在没有这些具体细节的情形下实施。

图2A示出了根据本发明实施例的电极阵列的制造方法。在该方法中，一层传导金属202例如通过绢印沉积在衬底201上。之后，传导金属的一部分如通过消融技术从传导金属层202有选择地去除以暴露衬底201并产生由绝缘区204分隔的传导区域203。传导区域203用作电轨道或电极。

在备选实施例中(未示出)，具有多个孔或狭缝或轨道的套或罩首先施加到衬底上。传导金属例如通过溅射施加到罩上，移除罩以暴露传导区域203和绝缘区204。该备选实施例使能避免使用消融技术从传导金属层202有选择地去除一部分传导金属。

尽管图2A示出了两个传导区域203和一个绝缘区204，应当理解，该方法可在衬底201上创建许多传导区域203和绝缘区204。之后，薄绝缘层205的沉积完全覆盖衬底201、传导区域203和绝缘区204。之后，绝缘材料205的多个部分通过激光消融有选择地去除以形成窗口206，其暴露包含传导金属从而形成电极阵列的传导区域203。

在例子中，由高电阻氧化锆制成的衬底用作衬底201，及电轨道和表面电极202通过金和铂的金属化实现。其后，进行激光消融，施加一层绝缘材料205如聚对二甲苯涂层。表面电极206通过使用激光消融局部去除绝缘材料205而形成。

图2B示出了根据本发明实施例可制造的电极阵列的不同图案。电极阵列240具有平面表面，其具有几个不同大小和形状的表面接触电极246。衬底242和绝缘层244也在电极阵列240中示出。平面表面可采取任何适当的形状如正方形、长方形或椭圆形。电极阵列250形成在具有圆柱形形状的衬底上，其具有绝缘层254和多个实质上均匀大小和形状的彼此均匀间隔开的电极256。在电极阵列260中，电极266形成在具有凹面的衬底上。在电极阵列260中还示出了绝缘层264。其它形状和表面(未示出)也可使用，例如锥形或凸面。图2B中的不同电极图案表明电极阵列的制造方法可按需调整以获得多个接触区域和任何数量的所需风格或形状的电轨道/电极。

在特定实施例中，电极沿跨蜗轴电极阵列的长度间隔开使得一对相邻电极处于距电极阵列远端不同距离处并绕跨蜗轴电极阵列的圆周间隔开。远端252(参见图2D)定义为电极阵列的尖端。这在图2B的第一实施例的电极256和第二实施例的电极266中图示，也在图2A中示为206。

在实施例中，电极沿跨蜗轴电极阵列的长度间隔开并绕跨蜗轴电极阵列的圆周间隔开，使得电极形成特定图案如绕跨蜗轴电极阵列的圆周的至少一螺旋图案(图2B，256、266)。

图2C示出了由通过柔软引线222连接到耳蜗刺激器221的电极阵列组成的跨蜗轴植入物223。电极阵列220被涂覆硅酮以确保表面光滑。电极阵列220可通过根据在此所述的本发明的方法制造。

图2D示出了植入在患者耳蜗中的电极阵列。连接件231位于中耳235和耳蜗236之间的过渡区处。连接件231用于使用位于其中的连接导线234使电极阵列的有效区域232与来自刺激器(未示出)的引线连接。连接件231必须能够经得住外科医生使用微型镊子或其它特定手术工具的处理及经受植入后的骨生长。电极阵列的有效区域232在耳蜗的耳蜗轴由外科医生打开之后插入到耳蜗轴内。有效区域232由高数量的刺激电极和/或记录电极237组成。例如，在区域232存在至少二十个有效电极。有效电极由可植入医学装置中使用的、稳定、生物适合的铂-铱材料制成。有效区域232中的适当电极237的非限制性例子为如上所述及如图2B中所示的形成电极阵列240、250或260的一部分的电极。有效区域232还包括放在有效区域232的一端处的环形参考电极238。

当由对应的过程适当代替时，上面描述的、“具体实施方式”中详细描述的及权利要求中限定的装置的结构特征可与本发明方法的步骤结合。

除非明确指出，在此所用的单数形式“一”、“该”的含义均包括复数形式(即具有“至少一”的意思)。应当进一步理解，说明书中使用的术语“具有”、“包括”和/或“包含”表明存在所述的特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件，但不排除存在或增加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或其组合。应当理解，除非明确指出，当元件被称为“连接”或“耦合”到另一元件时，可以是直接连接或耦合到其他元件，也可以存在中间插入元件。如在此所用的术语“和/或”包括一个或多个列举的相关项目的任何及所有组合。除非明确指出，在此公开的任何方法的步骤不必须精确按所公开的顺序执行。

应意识到，本说明书中提及“一实施例”或“实施例”或“方面”或者“可”包括的特征意为结合该实施例描述的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一实施方式中。此外，特定特征、结构或特性可在本发明的一个或多个实施方式中适当组合。提供前面的描述是为了使本领域技术人员能够实施在此描述的各个方面。各种修改对本领域技术人员将显而易见，及在此定义的一般原理可应用于其他方面。

权利要求不限于在此所示的各个方面，而是包含与权利要求语言一致的全部范围，其中除非明确指出，以单数形式提及的元件不意指“一个及只有一个”，而是指“一个或多个”。除非明确指出，术语“一些”指一个或多个。

因而，本发明的范围应依据权利要求进行判断。

Claims (15)

1.一种电极阵列，包括：

衬底(201)；

位于所述衬底上的多个分离的部分处的传导金属(203)；及

所述传导金属(203)和所述衬底(201)上的单层绝缘材料(205)；

其中所述单层绝缘材料(205)包括暴露所述传导金属(203)的多个孔(206)，暴露的传导金属形成多个电极，所述电极阵列具有至少100GPa的杨氏模量。

2.根据权利要求1所述的电极阵列，还包括：

位于所述电极阵列的一端处的参考电极(238)；及

与所述参考电极(238)接触从而将所述电极阵列连接到来自耳蜗刺激器的引线(233)的连接件(231)。

3.根据前面任一权利要求所述的电极阵列，还包括所述连接件(231)中的连接导线(234)。

4.根据前面任一权利要求所述的电极阵列，其中所述电极沿所述电极阵列的长度间隔开使得一对相邻电极处于距所述电极阵列的远端不同距离处及绕所述电极阵列的圆周间隔开。

5.根据前面任一权利要求所述的电极阵列，其中所述电极沿所述电极阵列的长度间隔开并绕所述电极阵列的圆周间隔开，使得所述电极形成至少一绕所述电极阵列的圆周的螺旋图案。

6.根据前面任一权利要求所述的电极阵列，其中所述电极阵列适于定位在用户耳蜗轴内、从所述刺激器接收电脉冲、及使用所述电极直接刺激用户的听觉神经纤维。

7.根据权利要求1或3-5任一所述的电极阵列，其中：

包括多个电极的蜗内电极阵列适于位于用户的耳蜗内，所述多个电极适于传输从刺激器接收的通道特有电脉冲；及

所述电极阵列适于位于用户的耳蜗轴内并用作返回电极。

8.电极阵列的制造方法，包括：

提供衬底(201)；

在所述衬底(201)上的多个分离的部分施加传导金属(203)；

在所述传导金属(203)和所述衬底(201)上施加一层绝缘材料(205)；及

有选择地去除所述绝缘材料的多个部分以暴露所述传导金属(203)从而形成多个电极，所述电极阵列具有至少100GPa的杨氏模量。

9.根据权利要求8所述的方法，其中将传导金属(203)施加到所述衬底(201)上的多个分离的部分的步骤包括：

向所述衬底(201)施加一层传导金属(202)；及

从所施加的层(202)有选择地去除所述传导金属的多个部分以暴露所述衬底(201)。

10.根据权利要求8所述的方法，其中向所述衬底(201)上的多个分离的部分施加传导金属(203)的步骤包括：

向所述衬底施加具有多个孔的罩；

向所述罩施加传导金属；及

移除所述罩以暴露所述传导金属(203)和所述衬底(201)。

11.根据权利要求8-10任一所述的方法，其中：

所述传导金属的多个部分通过激光消融有选择地去除；和/或

所述罩包括UV固化树脂；和/或

所述绝缘材料的所述多个部分通过激光消融有选择地去除。

12.根据权利要求8-11任一所述的方法，其中：

所述衬底(201)不导电；和/或

所述衬底(201)选自下组：氧化铝、氧化锆、氧化锆氧化铝合成物、PEEK、PI、和PMMA；和/或

所述传导金属(203)选自下组：钛、金、铂、铱、及其混合物。

13.根据权利要求8-12任一所述的方法，其中：

所述传导金属(203)通过绢印或者通过炉内加热之前传导涂料的涂膜或者通过溅射施加；和/或

所述传导涂料为钛水合溶液。

14.根据权利要求8-13任一所述的方法，其中：

所述电极阵列形成在所述衬底的平面(240)、凸面或凹面(260)上；和/或

所述衬底为圆柱形(250)。

15.一种跨蜗轴植入物，包括：

根据权利要求1-6任一所述的、构造成放在耳蜗轴内的电极阵列(220)；

耳蜗刺激器(221)，配置成在所述电极阵列(220)位于耳蜗轴内时向其提供电信号；及

将所述电极阵列(220)连接到所述耳蜗刺激器(221)的柔软引线(222)。