CN105554995B - 高密度等离子体发生装置 - Google Patents
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- 239000003708 ampul Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 26
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims description 7
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims description 6
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 6
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims description 5
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 claims description 5
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 229940038742 helium 80 % Drugs 0.000 claims description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- FAYUQEZUGGXARF-UHFFFAOYSA-N lanthanum tungsten Chemical compound [La].[W] FAYUQEZUGGXARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
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- Plasma & Fusion (AREA)
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Abstract
本发明涉及高密度等离子体发生装置,包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源,所述石英管内填充工作气体及工质,所述电源分别与两个电极电连接。为了解决现有的等离子体发生装置设备重量大,频率较高的技术问题,本发明采用闭式等离子体层,等离子体灌充于管状等离子体装置内,该新型高密度等离子体发生装置开关可控、耗能低、工作可靠、维护便利,等离子体的产生和维持相对简单,便于等离子体技术的广泛应用。
Description
技术领域
本发明涉及一种可用于吸收电磁波和等离子体薄膜技术等领域的新型高密度等离子体发生装置。
背景技术
目前出现的等离子体发生装置设备重量大,频率较高,不适于飞行器隐身、零部件镀膜等领域的广泛应用。
发明内容
为了解决现有的等离子体发生装置设备重量大,频率较高的技术问题,本发明提供一种高密度等离子体发生装置,本发明采用闭式等离子体层,等离子体灌充于管状等离子体装置内,该新型高密度等离子体发生装置开关可控、耗能低、工作可靠、维护便利,等离子体的产生和维持相对简单,便于等离子体技术的广泛应用。
本发明的技术解决方案:
高密度等离子体发生装置,其特殊之处在于:包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源,所述石英管内填充工作气体及工质,所述电源分别与两个电极电连接。
两个电极的材料为耐高温、易于辐射电子的稀土材料。
电极材料为钼电极、镧钨电极或三元稀土钨电极。
上述工作气体及工质按照体积百分比由以下物质组成:
氩气80%;
氙气、氪气或氖气10%;
汞蒸气1%;
钠或铯9%;工作气体及工质的气压为100到2000Pa。
上述工作气体按照体积百分比由以下物质组成:
氖气或氦气80%;
氩气8%;
氙气2%;
汞蒸气1%;
钠或铯9%;工作气体及工质的气压为100到2000Pa。
本发明所具有的优点:
1、等离子体密度高:采用高压电源电离密闭容器内的特殊气体(氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、汞蒸气、碱金属蒸汽按比例填充),高效电离获得高密度等离子体。
2、工作可靠:高密度等离子体装置采用特殊电极材料(稀土钨电极、稀土钼电极),降低电子的逸出功,便于起弧和重复起弧,耐高温、抗腐蚀、不易使石英着色,工作过程中电极不易损耗,有利于长期使用的稳定性。
3、维护便利:等离子体装置采用的是闭式等离子体层,便于各种环境、设备的应用,降低了维修成本。
4、开关可控:根据使用需要,可通过开关电源实现正常工作、的目的。
5、本发明结构简单,安装方便,总尺寸可根据使用环境调节,接通市电便可工作,开关方便,可控性强。
附图说明
图1为本发明石英管与电极的装配关系示意图;
图2为本发明高密度等离子体发生装置的结构示意图;
其中附图标记为:1-电源开关,2-电源,3-电极,4-石英管。
具体实施方式
如图1、图2所示,一种新型高密度等离子体发生装置,具有一个密闭式的石英管(或其它密封结构),在石英管4两端封装两个电极3,石英管内填充有工作气体及工质,配备高压电源2组合成高密度等离子体发生装置。电极材料选择耐高温、易于辐射电子的稀土钼电极、镧钨电极或三元稀土钨电极(或其它稀土钨电极),石英管内填充氩气、氖气、氪气、氙气、汞蒸气、碱金属蒸汽(按比例填充)。市电(或其它电源)通过变压器产生数千伏的高压,并配备频率调制器通过电源开关1调制电源频率,电源输出接石英管两端电极,激发石英管内的混合气体,产生高密度等离子体。
石英管内填充按比例填充气体成分由以下两种:氩气80%、氙气(或氪气、氖气)10%、汞蒸气1%、钠(或铯)9%,气压为100到2000Pa;
氖气(或氦气)80%、氩气8%、氙气2%、汞蒸气1%、钠(或铯)9%,气压为100到2000Pa。
其中所说的工作气体及工质的组份可以偏差组份±2%。
本发明结构简单,安装方便,总尺寸可根据使用环境调节,接通市电便可工作,开关方便,可控性强。
Claims (4)
1.高密度等离子体发生装置,其特征在于:包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源,所述石英管内填充工作气体及工质,所述电源分别与两个电极电连接;
所述工作气体及工质按照体积百分比由以下物质组成:
氩气80%;
氙气、氪气或氖气10%;
汞蒸气1%;
钠或铯9%;工作气体及工质的气压为100到2000Pa;两个电极的材料为耐高温、易于辐射电子的稀土材料。
2.根据权利要求1所述的高密度等离子体发生装置,其特征在于:电极材料为钼电极。
3.高密度等离子体发生装置,其特征在于:包括密闭式的石英管、封装在石英管两端的两个电极以及电源,所述石英管内填充工作气体及工质,所述电源分别与两个电极电连接;
所述工作气体按照体积百分比由以下物质组成:
氖气或氦气80%;
氩气8%;
氙气2%;
汞蒸气1%;
钠或铯9%;工作气体及工质的气压为100到2000Pa;两个电极的材料为耐高温、易于辐射电子的稀土材料。
4.根据权利要求 3所述的高密度等离子体发生装置,其特征在于:电极材料为钼电极。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510956652.7A CN105554995B (zh) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 高密度等离子体发生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510956652.7A CN105554995B (zh) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 高密度等离子体发生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105554995A CN105554995A (zh) | 2016-05-04 |
CN105554995B true CN105554995B (zh) | 2018-12-14 |
Family
ID=55833856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510956652.7A Expired - Fee Related CN105554995B (zh) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 高密度等离子体发生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105554995B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111952146A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-11-17 | 合肥东森电光源有限公司 | 人造北极光发生器 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE335928T1 (de) * | 2003-03-20 | 2006-09-15 | Elwing Llc | Antriebssystem für raumfahrzeuge |
CN1549300A (zh) * | 2003-05-19 | 2004-11-24 | 电子科技大学 | 一种微波紫外光源 |
CN101567297A (zh) * | 2008-04-25 | 2009-10-28 | 中国科学院生态环境研究中心 | 高通量无极真空紫外光源 |
WO2010033809A1 (en) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | Luxim Corporation | Low frequency electrodeless plasma lamp |
CN102215626B (zh) * | 2011-05-23 | 2012-12-12 | 中国科学院物理研究所 | 一种可在较低电压条件下产生放电等离子体的装置 |
CN102361528B (zh) * | 2011-09-29 | 2012-11-28 | 西安交通大学 | 一种高密闭性的毛细管放电等离子体发生器 |
CN103769581B (zh) * | 2014-02-21 | 2016-03-30 | 北京矿冶研究总院 | 多元复合稀土电子发射材料及其制备方法 |
CN104144553B (zh) * | 2014-08-11 | 2017-10-17 | 厦门大学 | 一种光致电离等离子体发生器 |
-
2015
- 2015-12-18 CN CN201510956652.7A patent/CN105554995B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105554995A (zh) | 2016-05-04 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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