CN105526663A - 排气系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种排气系统，用于对一工艺操作空间进行排气，所述工艺操作空间包括一出入口，所述排气系统包括：排气设备，用于对所述工艺操作空间进行排气；控制设备，用于检测所述出入口为打开或者关闭状态；所述控制设备还用于在检测到所述出入口为打开时控制所述排气设备打开，在检测到所述出入口为关闭时，控制所述排气设备关闭。本发明的有益效果在于，有效地预防工作人员进入工艺操作空间时忘记打开排气设备而导致原本应当被排出的气体滞留在所述工艺操作空间内，进而导致操作人员身体不适甚至缺氧窒息等情况。

Description

排气系统

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种排气系统。

背景技术

现有的半导体生产加工过程中可能会产生一些废气，废气长期驻留可能影响在场工作人员的身体健康，因此需要用到排气设备对一些场所进行排气。但是现有的排气系统仍然难以做到有效排气，这会导致工作人员受到影响，严重的还会影响工作人员的人身安全。

因此，如何提高排气系统的排气效果，进而保证工作人员的人身安全，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种排气系统，可根据出入口是否有物体经过进而自动打开或者关闭，以保证工作人员的人身安全。

为解决上述问题，本发明提供一种排气系统，用于对一工艺操作空间进行排气，所述工艺操作空间包括一出入口，所述排气系统包括：

排气设备，用于对所述工艺操作空间进行排气；

控制设备，用于检测所述出入口为打开或者关闭状态；所述控制设备还用于在检测到所述出入口为打开时控制所述排气设备打开，在检测到所述出入口为关闭时，控制所述排气设备关闭。

可选的，所述控制设备包括：

感应开关，位于所述出入口的位置处，在感应出入口为打开状态时输出第一信号，在感应出入口为关闭状态时输出第二信号；

控制器，用于在接收到所述第一信号时控制所述排气设备打开，在接收到所述第二信号时控制所述排气设备关闭。

可选的，所述出入口包括一门体，所述感应开关用于检测所述门体为打开或关闭状态，还用于在所述门体打开时输出所述第一信号以触发所述控制器打开所述排气设备，在所述门体关闭时输出所述第二信号以触发所述控制器关闭所述排气设备。

可选的，所述门体上固定有一挡板，所述挡板能够随着所述门体移动；

所述感应开关为压感式感应开关，所述压感式感应开关在检测到所述挡板施加的压力时发出所述第二信号，在没有检测到所述挡板施加的压力时，发出所述第一信号。

可选的，所述挡板为截面呈L形的弯折结构，L形的弯折结构包括一固定部，所述挡板通过所述固定部与所述门体固定；所述L形的弯折结构还包括一遮挡部，所述遮挡部用于对所述压感式感应开关施加压力。

可选的，所述挡板通过焊接或者螺钉与所述门体固定连接。

可选的，所述感应开关为红外线感应开关。

可选的，所述感应开关包括沿出入口的出入方向依次设置的两个红外线感应开关。

可选的，所述工艺操作空间内设有一凹陷的地坑，所述地坑用于放置热等静压装置；

所述排气设备包括一排气管，所述排气管包括一进气端口以及一排气端口，进气端口处的气体经由排气管引导至所述排气端口并排出；

所述进气端口设于所述地坑中，所述排气端口设于工艺操作空间外。

可选的，所述排气系统还包括一氧气浓度检测仪，放置于所述工艺操作空间中，用于检测所述工艺操作空间内的氧气浓度。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

通过控制设备的感应开关检测工艺操作空间的出入口是否有物体经过，进而控制所述排气设备的开关，进而可以在有工作人员进入所述工艺操作空间时开启排气设备，这样可以有效地预防工作人员进入工艺操作空间时忘记打开排气设备，进而导致原本应当被排出的气体滞留在所述工艺操作空间内，进而导致操作人员身体不适甚至缺氧窒息等情况。

进一步，通过感应开关检测所述工艺操作空间出入口的门体上是否打开，当操作人员进入所述工艺操作空间将所述门体打开时，所述控制设备控制所述排气设备打开，以开始排气作业，保证工艺操作空间内操作人员的人身安全；当操作人员离开操作场所将门体关闭时，所述控制设备控制所述排气设备关闭，这样不会造成能源浪费。

附图说明

图1至图4是本发明排气系统一实施例的结构示意图；

图5为本发明排气系统第二实施例的结构示意图；

图6为本发明排气系统第三实施例的结构示意图。

具体实施方式

以热等静压烧结工艺为例，热等静压烧结设备需要大量惰性气体以对置于以设备中的待加工的材料实行热压工艺，而工艺结束后，需要打开设备取出压制好的材料，在这个过程当中会有一定量的惰性气体溢出，由于惰性气体密度一般大于空气密度，这些溢出的惰性气体容易集中在靠近地面的位置处，此时需要排气设备将这些靠近底面的惰性气体抽离。

现有的一些排气设备因不需要长期开启，一般处于关闭状态，并在需要时由工作人员手动开启。但是在一些情况下操作人员可能忘记开启排气设备，进而导致原本应当排出的气体没有及时被排出。在严重情况下会导致工作人员在不知不觉间缺氧甚至窒息，严重影响工作人员的人身安全。

因此，本发明提供一种排气系统，用于对一工艺操作空间进行排气，所述工艺操作空间包括一出入口，所述排气系统包括：用于对所述工艺操作空间进行排气的排气设备；控制设备，用于检测所述出入口为打开或者关闭，以控制所述排气设备的打开或关闭。

本发明通过控制设备的感应开关检测工艺操作空间的出入口是否有物体经过，进而控制所述排气设备的开关，进而可以在有工作人员进入所述工艺操作空间时开启排气设备，这样可以有效地预防工作人员进入工艺操作空间时忘记打开排气设备而导致原本应当被排出的气体滞留在所述工艺操作空间内，进而导致工作人员身体不适甚至缺氧窒息等情况。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图1至图4是本发明排气系统一实施例的结构示意图。

在本实施例中，所述排气系统用于热等静压烧结工艺，也就是说，所述工艺操作空间为放置有热压烧结设备、实行热压烧结工艺的场所。

具体的，所述实行热压烧结工艺的场所可以参考图1，所述实行热压烧结工艺的场所设有一出入口，所述出入口处设有一门体100。所述场所中设有一凹陷的地坑71，所述热压烧结设备设于所述地坑71中。

由于在所述热压烧结设备工作时需要大量的惰性气体进行热等静压(例如氩气)，而这些惰性气体很在工艺过程中容易溢出。由于惰性气体的密度大于空气密度，惰性气体很容易在所述地坑71中聚集，参考图1中虚线部分60所示。

本发明的排气系统包括排气设备，所述排气设备包括一排气管50，所述排气管50包括一进气端口以及一排气端口，进气端口处的气体经由排气管引导至所述排气端口并排出，所述进气端口设于所述地坑71中，所述排气端口设于工艺操作空间外。

所述排气管50的进气端口设于所述地坑71中。所述排气设备通过所述排气管50将沉积于所述地坑71中的惰性气体抽出。

本发明的排气系统还包括控制设备，所述控制设备用于检测所述出入口为打开或者关闭的状态，以控制所述排气设备的打开或关闭。在本实施例中，设置所述控制设备为：当所述门体100打开时，所述控制器控制所述排气设备打开；当所述门体关闭时，所述控制器控制所述排气设备关闭。

并且，在本实施例中，在操作人员进入门体100之后，门体100将一直处于打开状态；当操作人员离开工艺操作空间后，将门体100关闭。

具体来说，所述控制设备还包括一感应开关以及一控制器，所述感应开关在感应出入口为打开状态时输出第一信号，在感应出入口为关闭状态时输出第二信号，所述控制器用于在接收到所述第一信号时控制所述排气设备打开，在接收到所述第二信号时控制所述排气设备关闭。

也就是说，当操作人员打开所述门体100进入场所时，所述感应开关检测到所述门体100被打开，向控制器发出第一信号，所述控制器根据所述感应开关发出的第一信号控制所述排气设备打开，所述排气管50将沉积于所述地坑71中的惰性气体抽出，进而保证了进入场所的工作人员的人身安全；

当工作人员离开场所时走出所述门体100并将门体100关闭，此时感应开关检测到所述门体100被关闭，向控制器发出第二信号，所述控制器根据所述感应开关发出的第二信号控制所述排气设备关闭，进而节省能源。

参考图2至图4，为本实施例中感应开关与门体100的结构示意图。其中图2为所述门体100的主视图，此时的门体100处于关闭状态；图3为图2的俯视图，图4为图3中门体100处于打开状态时的俯视图。

在本实施例中，所述门体100包括体部120以及边框110。所述门体100通过所述边框110与门框130(参考图3以及图4)活动连接(例如铰链连接)，进而实现所述门体100的打开或者关闭。

门体100的打开/关闭结构为现有技术，本发明对此不作限定。

在本实施例中，所述感应开关200为压感式感应开关，所述门体100上固定有一挡板111，所述挡板111能够随着所述门体100的打开/关闭而移动(参考图3以及图4)。

在本实施例中，所述感应开关200包括开关210以及连接部220，所述开关210通过所述连接部220与所述控制设备的控制器电连接。

在本实施例中，为了较好的固定所述感应开关200以便于与所述挡板111对准，可以通过一固定条231将所述感应开关200的连接部220固定于所述门框130上。所述固定条231与所述门框130之间具体通过螺栓232固定连接。

但是本发明对所述感应开关200如何固定不作限定。

门体100为打开状态时，所述压感式感应开关没有检测到所述挡板111施加的压力，压感式感应开关发出第一信号以触发所述控制器控制所述排气设备打开；

门体100为关闭状态时，所述压感式感应开关检测到所述挡板111施加的压力，压感式感应开关发出第二信号以触发所述控制器控制所述排气设备关闭；

具体的，本实施例中的挡板111的截面呈L形的弯折结构(参考图3以及图4)，所述弯折结构包括一固定部112，所述挡板111通过所述固定部112与所述门体100固定；所述L形的弯折结构还包括一遮挡部113，所述遮挡部113用于对所述压感式感应开关施加压力。

由于固定部112的面积较大，便于与所述边框110固定连接，例如便于安装螺钉115以与所述边框110固定。

同时，本发明对边框110与边框110之间的固定方式不作限定，在本发明的其他实施例中，还可以采用焊接或者胶粘的方式，本发明对此不作限定。

由于所述遮挡部113具有一定面积，因而能够容忍一定的安装误差，也就是在所述挡板111的位置稍有偏离时，所述遮挡部113仍然能够接触所述感应开关200，这样可以简化俺安装。

具体的，在本实施例中，当没有工作人员未进入所述地坑71时，所述门体100处于关闭状态，或者工作人员走出地坑71走出门体100也会将所述门体关闭，此时所述遮挡部113接触所述压感式感应开关，也就是对所述压感式感应开关产生一个压力，所述感应式开关感应到遮挡部113的压力而触发控制器控制所述排气设备关闭，进而节省能源。

相反的，当工作人员进入所述地坑71时，所述门体100处于打开状态，所述遮挡部113离开所述压感式感应开关，也就是撤销了对所述压感式感应开关产生的压力，所述感应式开关触发所述控制器控制所述排气设备打开，进而位于地坑71中的排气管50将集中于所述地坑71中的惰性气体抽出，也就是排气管50在工作人员进入地坑71时自动开始排气，有效保护了工作人员的人身安全。

此外，为了进一步保护了工作人员的人身安全，在本实施例中，所述排气系统还包括一氧气浓度检测仪(图中未示出)，所述氧气浓度检测仪用于检测所述工艺操作空间内(在本实施例中为所述地坑71内)的氧气浓度，一旦氧气浓度低于一设定的阈值，所述氧气浓度检测仪报警，以达到随时检测地坑71中的氧气浓度的目的，工作人员可以根据所述氧气浓度检测仪所显示的数值对排气设备进行一些调整，例如，如果工作人员发现氧气浓度检测仪所反映的氧气浓度偏低，可以相应的加大所述排气设备的排气功率。

具体的，由于本实施例中需要被抽出的气体为密度大于空气的惰性气体，所述氧气浓度检测仪设于靠近所述地坑71底部的位置，例如，可以安置在进入地坑71的工作人员的腿部，或者放置在地坑71的地面上。

此外，本实施例还提供另一实施例，参考图5，本实施例与上一实施例的区别在于，所述感应开关250为红外线感应开关，也就是说，通过所述红外线感应开关发出的红外线251感应是否有工作人员进入地坑71。

相应的，所述门体100上不需要安装上一实施例中的挡板111，只需要使红外线感应开关发出的红外线251对应于门体170的位置即可。

当工作人员经过所述门体170处时，红外线感应开关感应到有物体经过，进而对所述控制器发出电信号，控制器接收红外线感应开关的电信号进而控制所述排气设备启动排气，进而保证工作人员的人身安全；

当工作人员从地坑71内走出，再次经过所述门体170处时，红外线感应开关再次感应到有物体经过，进而对所述控制器发出另一种电信号，控制器接收红外线感应开关的电信号进而控制所述排气设备关闭，进而节约能源。

此外，本发明对采用何种感应开关不作限定，在本发明的其他实施例中，也可以采用其他感应开关来感应工艺操作空间的出入口是否有物体经过，进而打开或者关闭排气设备。

同时，本发明也不限定是否必须用于放置热等静压烧结设备的场所，在其他需要排气作业的场所同样适用本发明。

此外，参考图6，本发明还提供另一实施例，本实施例与之前的实施例的区别在于，所述感应开关包括沿出入口的出入方向依次设置的两个红外线感应开关，本实施例中包括第一红外线感应开关310以及第二红外线感应开关320，也就是说，通过所述第一红外线感应开关310以及第二红外线感应开关320各自发出的红外线311以及312感应是否有工作人员进入地坑71。

所述第一红外线感应开关310以及第二红外线感应开关320之间具有间距。

当工作人员进入所述门体300时，先触发第二红外线感应开关320，然后触发第一红外线感应开关310，也就是说第二红外线感应开关320先形成第二触发信号，之后是第一红外线感应开关310形成第一触发信号，控制器可以基于第二触发信号和第一触发信号的先后顺序判断有物体进入工艺操作空间，然后控制所述排气设备进行排气，保证工作人员的人身安全；

当工作人员离开所述门体300时，先触发第一红外线感应开关310，然后触发第二红外线感应开关320，也就是说第一红外线感应开关310先形成第一触发信号，然后是第二红外线感应开关320形成第二触发信号，控制器可以基于第一触发信号和第二触发信号的先后顺序判断有物体离开工艺操作空间，然后控制所述排气设备停止排气，进而节约能源。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种排气系统，用于对一工艺操作空间进行排气，所述工艺操作空间包括一出入口，其特征在于，所述排气系统包括：

排气设备，用于对所述工艺操作空间进行排气；

控制设备，用于检测所述出入口为打开或者关闭状态；所述控制设备还用于在检测到所述出入口为打开时控制所述排气设备打开，在检测到所述出入口为关闭时，控制所述排气设备关闭。

2.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述控制设备包括：

感应开关，位于所述出入口的位置处，在感应出入口为打开状态时输出第一信号，在感应出入口为关闭状态时输出第二信号；

控制器，用于在接收到所述第一信号时控制所述排气设备打开，在接收到所述第二信号时控制所述排气设备关闭。

3.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述出入口包括一门体，所述感应开关用于检测所述门体为打开或关闭状态，还用于在所述门体打开时输出所述第一信号以触发所述控制器打开所述排气设备，在所述门体关闭时输出所述第二信号以触发所述控制器关闭所述排气设备。

4.如权利要求3所述的排气系统，其特征在于，所述门体上固定有一挡板，所述挡板能够随着所述门体移动；

所述感应开关为压感式感应开关，所述压感式感应开关在检测到所述挡板施加的压力时发出所述第二信号，在没有检测到所述挡板施加的压力时，发出所述第一信号。

5.如权利要求4所述的排气系统，其特征在于，所述挡板为截面呈L形的弯折结构，L形的弯折结构包括一固定部，所述挡板通过所述固定部与所述门体固定；所述L形的弯折结构还包括一遮挡部，所述遮挡部用于对所述压感式感应开关施加压力。

6.如权利要求4所述的排气系统，其特征在于，所述挡板通过焊接或者螺钉与所述门体固定连接。

7.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述感应开关为红外线感应开关。

8.如权利要求7所述的排气系统，其特征在于，所述感应开关包括沿出入口的出入方向依次设置的两个红外线感应开关。

9.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述工艺操作空间内设有一凹陷的地坑，所述地坑用于放置热等静压装置；

所述排气设备包括一排气管，所述排气管包括一进气端口以及一排气端口，进气端口处的气体经由排气管引导至所述排气端口并排出；

所述进气端口设于所述地坑中，所述排气端口设于工艺操作空间外。

10.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述排气系统还包括一氧气浓度检测仪，放置于所述工艺操作空间中，用于检测所述工艺操作空间内的氧气浓度。