CN105425400B - 一种基于切割重排的高斯光束整形系统 - Google Patents
一种基于切割重排的高斯光束整形系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105425400B CN105425400B CN201510962056.XA CN201510962056A CN105425400B CN 105425400 B CN105425400 B CN 105425400B CN 201510962056 A CN201510962056 A CN 201510962056A CN 105425400 B CN105425400 B CN 105425400B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mrow
- plate glass
- cutting
- beamlet
- ellipse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0927—Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/095—Refractive optical elements
- G02B27/0955—Lenses
- G02B27/0966—Cylindrical lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明涉及一种高斯光束整形系统，将具有高斯状分布的圆光斑整形成均匀分布的线条形光斑，用于激光扫描加工，提高加工效率和提高表面温度均匀性。本系统由扩束系统、空间切割重排系统和聚焦系统组成。扩束采用具有一定焦距比的负柱面镜和正柱面镜，实现在其中一个方向的扩束。光束空间切割采用一组具有一定旋转角度的平行平板玻璃，切割产生多分子光束并产生一定的偏移。经另外一组具有一定旋转角度的平行平板玻璃重排，将重排后的光斑经柱面镜聚焦，实现均匀分布的线条形光斑。在实际应用中，可通过调节扩束倍率、平行平板玻璃的厚度和聚焦柱面镜的焦距，在目标面上实现具有不同长度的均匀线条型光斑。
Description
技术领域
本发明涉及一种高斯光束整形系统用于激光加工，特适用于需要均匀线条形光斑的激光加工系统。
背景技术
在激光加工领域中，由于高斯光束特有的形状分布导致在与材料相互作用过程中局部温度过高破坏材料的特性。因此我们希望激光光斑均匀，呈现平顶型分布。为提高加工效率，减少激光扫描时间，兼顾目标面功率密度的需求，将高斯分布的圆光斑整形成均匀的线条光斑。传统的非球面透镜组或者单片非球面无法改变光斑形状；衍射光学元件难以承受工业激光中的高功率密度；复眼透镜整形系统在目标面上呈现均匀矩形光斑。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种基于切割重排的高斯光束整形系统。该系统针对现有高斯光束整形技术的不足，提供一种经济，提高加工效率，能够承受高功率密度，在目标面成均匀线条形光斑的光束整形系统。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种基于切割重排的高斯光束整形系统，包括按顺序共光轴设置的扩束系统、空间切割重排系统和聚焦系统，其特征在于：
所述扩束系统用于将入射的高斯基模光束，在X或Y轴方向扩束，使沿Z轴传输的光束扩束后的光斑呈椭圆形状，椭圆的长轴方向即为扩束方向，若在Y方向扩束，则长轴方向为Y轴，短轴方向为X轴；若在X方向扩束，则长轴方向为X轴，短轴方向为Y轴；椭圆光斑长轴的尺寸为和短轴的尺寸均为长轴方向和短轴方向横截面上光强曲线包含能量95％所对应两点之间的距离；所述X、Y轴为垂直于光传输方向Z轴平面上的正交坐标轴；
所述空间切割重排系统用于将入射的椭圆光斑切割重排为与椭圆长轴方向垂直的N份子光束，其包括两套平板玻璃组，每套平板玻璃组由若干结构和尺寸相同的平板玻璃叠放而成，玻璃片数为N；玻璃片长和宽均大于椭圆长轴；第一平板玻璃组每片玻璃的厚度由扩束后椭圆光斑长轴方向尺寸和所需的切割份数决定，第二平板玻璃组每片玻璃厚度和椭圆短轴方向尺寸相同；第一平板玻璃组的平面法向矢量与长轴方向平行，第二平板玻璃组的平面法向矢量与短轴方向平行；各平板玻璃组光轴均与扩束系统的光轴重合，所述平板玻璃组光轴，是指平行于各平板玻璃且通过平板玻璃组侧面几何中心的轴，在本发明中与Z轴重合；
所述平板玻璃组中，各平板玻璃错位叠放而成，第一平板玻璃组叠放方向与椭圆长轴一致，第二平板玻璃组叠放方向与椭圆短轴一致；第一平板玻璃组的各平板玻璃向椭圆长轴正负两个方向逐次对称错位，第二平板玻璃组的各平板玻璃向椭圆短轴正负两个方向逐次对称错位，所述错位以各光学元件的平面几何中心为轴转动一定角度实现的；所述第一平板玻璃组各玻璃片的旋转角度I1(i)以保证分解后的各子光束在椭圆短轴方向的错位位移|D1(i)|大于椭圆短轴方向尺寸，目的为防止子光束的干扰造成能量利用率下降；所述第二平板玻璃组各玻璃片旋转角度I2(i)以保证分解后的各子光束在长轴方向重排所需错位位移|D2(i)|能够使各子光束中心在同一条直线上；
所述聚焦系统包括一片柱面镜，其母线垂直于各子光束中心的连线，其平面一端与空间切割重排系统平行，其屈光力子午线方向和椭圆短轴方向平行，用于将空间切割重排系统输出的在椭圆短轴方向重排的子光束，转换成均匀线条形光斑；
工作时，激光器输出基模光束，经扩束系统后，形成椭圆型光斑；经空间切割重排系统进行高斯高束的切割和重排，形成在椭圆短轴方向重排的多个子光束；多个子光束经聚焦系统会聚成均匀的线条型光班。
优选地，所述高斯光束整形系统中的空间切割重排系统中，所述的错位位移D1(i)、D2(i)和旋转角度I1(i)、I2(i)优选确定方法为：
若N为奇数，则光束空间切割所得子光束沿短轴方向的位移为 并依次赋值给 若N为偶数，则光束空间切割所得子光束沿短轴方向的位移为 并依次赋值给 根据D1(i),由下式计算出I1(i)：
D2(i)的确定方法为：
若N为奇数，重排时各子光束沿长轴方向的位移为 并依次赋值给 若N为偶数，重排时各子光束沿长轴方向的位移为 并依次赋值给并依次赋值给 所述k为扩束倍率，ω为扩束前光斑直径；根据D2(i)，由下式计算出I2(i)；
两套平板玻璃组的规格尺寸的最终确定，在确保完成光束切割重排的前提下，以经济、小巧为原则。
优选地，所述高斯光束整形系统中，聚焦系统由两片或者多片柱面镜组成，各柱面镜屈光力子午线方向均与椭圆短轴方向平行，在聚焦方向上的组合聚焦为正，组合焦距的大小由所需的后工作距离调整。
优选地，所述高斯光束整形系统中，扩束系统为共轴光学系统，由一片负柱面镜和一片正柱面镜或者均为两片正柱面组成，两柱面母线相互平行。
优选地，所述高斯光束整形系统中，扩束系统、空间切割重排系统和聚焦系统，在保证能够保证机械安装的情况下，距离越小越好。
优选地，所述高斯光束整形系统中，空间切割重排系统两套平板玻璃组的规格尺寸，在确保完成光束切割重排的前提下，以经济、机械结构小型化为原则。
优选地，所述高斯光束整形系统中，子光束份数N根据系统要求确定，子光束份数越多，每套平板玻璃组所需的平板玻璃份数越多，可能平板玻璃的厚度也越小，平板玻璃的加工越困难，机械结构越复杂，聚集光斑越细。
工作中，扩束系统将入射高斯基模光束只在其中一个方向(Y)扩束相应的倍率，由于在X和Y方向具有不用的扩束比，光斑形状发生改变。空间切割和重排系统由两组平行平板组组成，第一组平行平板玻璃对扩束后的光束空间切割产生多分子光束并产生一定的偏移，第二组平行平板玻璃对切割后所产生的子光束进行重排。聚焦系统将重排后的光束方向聚焦，从而在目标面上形成均匀线条型光斑分布。
总体而言：通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，由于结构简单，镜片易于加工，价格低廉，通过选择不同的扩束倍率的柱面镜扩束系统、不同份数的平行平板玻璃达到不同的切割份数和不同的焦距的柱面镜实现不同的聚焦效果，从而实现在目标面上实现不同长度的均匀线条形光斑，满足工业加工的需要。
附图说明
图1柱面镜扩束系统；
图2光束经过倾斜平板造成横向位移；
图3是光束空间切割系统(Y-Z平面视图)；
图4是光束空间重排系统(X-Z平面视图)；
图5是柱面镜聚焦系统；
图6是柱面镜光学特性，光线通过轴向子午线(图6a)中垂直方向不会出现聚散度的改变，光线通过屈光力子午线(图6b)中水平方向，会出现聚散度的改变。
图7是整个光束整形系统在Y-Z平面上的视图；
图8是光束整形过程中光斑变化图；(a)激光器出射光斑(b)经过柱面镜扩束系统后光斑(c)经过第一组平行平板玻璃后的光斑(d)经过第二组平行平板玻璃后的光斑(e)经过聚焦系统后的光斑；
图中：1-1是负柱面镜、1-2是正柱面镜、2-1(2-2)～(2-8)2-9是平行平板玻璃(具有不同的旋转角度)、3-1(3-2)～(3-8)3-9是平行的平板玻璃(具有不同的旋转角度)，由于扩束后椭圆光斑边缘部分的光强很弱，在光斑直径定义时并在包含在内，为充分利用能量，将边缘部分的能量转移到子光束中，在平板玻璃组两侧各加一片玻璃，即2-1、2-2具有相同的旋转角度，2-8、2-9具有相同的旋转角度，3-1、3-2具有相同的旋转角度，3-8、3-9具有相同的旋转角度；4-1正柱面镜。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
本实施例，入射激光λ＝532nm，光斑半径0.6mm，扩束系统包括一片平凹柱面镜，焦距为-25mm，和一片平凸柱面镜，焦距为250mm，扩束倍率为10，扩束后光斑呈椭圆状，椭圆光斑长轴尺寸7.5mm，短轴尺寸1mm；第一平板玻璃组共9片平板玻璃，尺寸规格a×b×厚度＝20mm×21mm×1mm，材料光学玻璃K9；第二平板玻璃组共9片平板玻璃，尺寸规格a×b×厚度＝26mm×21mm×1mm，材料为光学玻璃K9；聚焦系统为一片平凸柱面镜，焦距为50mm，用于在聚焦面上形成均匀线条形光斑，光斑尺度为1mm×0.06mm。
下面结合附图对本发明做进一步详细的说明：
如图1所示，从激光器出射的基模高斯光束发散角很小，可看作准平行光。高斯光束经过由负柱面镜与正柱面镜组成的扩束系统光斑由圆形变成椭圆形(图1所示是在Y方向扩束)。扩束后光斑呈椭圆形状，分长轴方向和短轴方向。当平行光通过有一定旋转角度的平行平板时，光束将在横向产生一定的偏移，第一组平行平板在长轴方向堆叠，绕长轴方向旋转一定的角度。根据公式计算出，图2中2-1、2-2、2-3、2-4、2-5、2-6、2-7、2-8、2-9绕Y轴方向旋转的角度为23°、23°、16°、8°、0、-8°、-16°、-23°、-23°，将光束在长轴方向切割为7份，并在X方向产生偏移，沿X方向的偏移为3mm、2mm、1mm、0mm、-1mm、-2mm、-3mm。为提高能量的利用率，将边缘微弱的能量转移到顶部和底部的子光束，所以2-1和2-2具有相同的旋转角度，2-8和2-9具有相同的旋转角度。第二组平行平板在X方向堆叠，绕短轴方向旋转一定的角度。根据公式计算出，图3中3-1、3-2、3-3、3-4、3-5、3-6、3-7、3-8、3-3绕X方向旋转角度为23°、23°、16°、8°、0、-8°、-16°、-23°、-23°,在Y方向的偏移为3.3mm、2.2mm、1.1mm、0mm、-1.1mm、-2.2mm、-3.3mm，3-1和3-9的作用均为提高能量利用率，切割后产生的各子光束经过第二组平行平板玻璃,实现在Y方向重排。本实施中聚焦系统是一个柱面镜，如图5，将重排后的子光束在重排方向进行聚焦，子光束叠加(子波叠加的过程就是对光源能量进行重新分配和光束均匀化的过程)在聚焦透镜的后焦平面上，呈现均匀的线条形光斑。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种基于切割重排的高斯光束整形系统，包括按顺序共光轴设置的扩束系统、空间切割重排系统和聚焦系统；其特征在于：
所述扩束系统用于将入射的高斯基模光束，在X或Y轴方向扩束，使沿Z轴传输的光束扩束后的光斑呈椭圆形状，椭圆的长轴方向即为扩束方向，若在Y方向扩束，则长轴方向为Y轴，短轴方向为X轴；若在X方向扩束，则长轴方向为X轴，短轴方向为Y轴；椭圆光斑长轴的尺寸为和短轴的尺寸均为长轴方向和短轴方向横截面上光强曲线包含能量95％所对应两点之间的距离；所述X、Y轴为垂直于光传输方向Z轴平面上的正交坐标轴；
所述空间切割重排系统用于将入射的椭圆光斑切割重排为与椭圆长轴方向垂直的N份子光束，其包括两套平板玻璃组，每套平板玻璃组由若干结构和尺寸相同的平板玻璃叠放而成，玻璃片数为N；玻璃片长和宽均大于椭圆长轴；第一平板玻璃组每片玻璃的厚度由扩束后椭圆光斑长轴方向尺寸和所需的切割份数决定，第二平板玻璃组每片玻璃厚度和椭圆短轴方向尺寸相同；第一平板玻璃组的平面法向矢量与长轴方向平行，第二平板玻璃组的平面法向矢量与短轴方向平行；各平板玻璃组光轴均与扩束系统的光轴重合，所述平板玻璃组光轴，是指平行于各平板玻璃且通过平板玻璃组侧面几何中心的轴，在本发明中与Z轴重合；
所述平板玻璃组中，各平板玻璃错位叠放而成，第一平板玻璃组叠放方向与椭圆长轴一致，第二平板玻璃组叠放方向与椭圆短轴一致；第一平板玻璃组的各平板玻璃向椭圆长轴正负两个方向逐次对称错位，第二平板玻璃组的各平板玻璃向椭圆短轴正负两个方向逐次对称错位，所述错位以各光学元件的平面几何中心为轴转动一定角度实现的；所述第一平板玻璃组各玻璃片的旋转角度I1(i)以保证分解后的各子光束在椭圆短轴方向的错位位移|D1(i)|大于椭圆短轴方向尺寸，目的为防止子光束的干扰造成能量利用率下降；所述第二平板玻璃组各玻璃片旋转角度I2(i)以保证分解后的各子光束在长轴方向重排所需错位位移|D2(i)|能够使各子光束中心在同一条直线上；
所述的错位位移D1(i)、D2(i)和旋转角度I1(i)、I2(i)确定方法为：
若N为奇数，则光束空间切割所得子光束沿短轴方向的位移为 并依次赋值给 若N为偶数，则光束空间切割所得子光束沿短轴方向的位移为 并依次赋值给
根据D1(i),由下式计算出I1(i)：
<mrow>
<mi>D</mi>
<mn>1</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
<mo>=</mo>
<mi>a</mi>
<mi>sin</mi>
<mi>I</mi>
<mn>1</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mn>1</mn>
<mo>-</mo>
<msqrt>
<mfrac>
<mrow>
<mn>1</mn>
<mo>-</mo>
<msup>
<mi>sin</mi>
<mn>2</mn>
</msup>
<mi>I</mi>
<mn>1</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
</mrow>
<mrow>
<msup>
<mi>n</mi>
<mn>2</mn>
</msup>
<mo>-</mo>
<msup>
<mi>sin</mi>
<mn>2</mn>
</msup>
<mi>I</mi>
<mn>1</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
</mrow>
</mfrac>
</msqrt>
<mo>)</mo>
</mrow>
<mo>;</mo>
</mrow>
D2(i)的确定方法为：
若N为奇数，重排时各子光束沿长轴方向的位移为 并依次赋值给 若N为偶数，重排时各子光束沿长轴方向的位移为 并依次赋值给并依次赋值给 所述k为扩束倍率，ω为扩束前光斑直径；
根据D2(i)，由下式计算出I2(i)；
<mrow>
<mi>D</mi>
<mn>2</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
<mo>=</mo>
<mi>a</mi>
<mi>sin</mi>
<mi>I</mi>
<mn>2</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mn>1</mn>
<mo>-</mo>
<msqrt>
<mfrac>
<mrow>
<mn>1</mn>
<mo>-</mo>
<msup>
<mi>sin</mi>
<mn>2</mn>
</msup>
<mi>I</mi>
<mn>2</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
</mrow>
<mrow>
<msup>
<mi>n</mi>
<mn>2</mn>
</msup>
<mo>-</mo>
<msup>
<mi>sin</mi>
<mn>2</mn>
</msup>
<mi>I</mi>
<mn>2</mn>
<mrow>
<mo>(</mo>
<mi>i</mi>
<mo>)</mo>
</mrow>
</mrow>
</mfrac>
</msqrt>
<mo>)</mo>
</mrow>
<mo>;</mo>
</mrow>
所述聚焦系统包括一片柱面镜，其母线垂直于各子光束中心的连线，其平面一端与空间切割重排系统平行，其屈光力子午线方向和椭圆短轴方向平行，用于将空间切割重排系统输出的在椭圆短轴方向重排的子光束，转换成均匀线条形光斑；
工作时，激光器输出基模光束，经扩束系统后，形成椭圆型光斑；经空间切割重排系统进行高斯高束的切割和重排，形成在椭圆短轴方向重排的多个子光束；多个子光束经聚焦系统会聚成均匀的线条型光班。
2.根据权利要求1所述高斯光束整形系统，其特征在于：所述的聚焦系统由两片或者多片柱面镜组成，各柱面镜屈光力子午方向均与椭圆短轴方向平行，在聚焦方向上的组合聚焦为正，组合焦距的大小由所需的后工作距离调整。
3.根据权利要求1所述基于切割重排的高斯光束整形系统，其特征在于：扩束系统为共轴光学系统，由一片负柱面镜和一片正柱面镜或者均为两片正柱面组成，两柱面镜母线相互平行。
4.根据权利要求1所述高斯光束整形系统，其特征在于：所述扩束系统、空间切割重排系统和聚焦系统，在保证能够保证机械安装的情况下，使相互间的距离尽量小。
5.根据权利要求1所述基于切割重排的高斯光束整形系统，其特征在于：所述的子光束份数N根据系统要求确定，子光束份数越多，每套平板玻璃组所需的平板玻璃份数越多，平板玻璃的厚度也越小，平板玻璃的加工越困难，机械结构越复杂，聚集光斑越细。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510962056.XA CN105425400B (zh) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 一种基于切割重排的高斯光束整形系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510962056.XA CN105425400B (zh) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 一种基于切割重排的高斯光束整形系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105425400A CN105425400A (zh) | 2016-03-23 |
| CN105425400B true CN105425400B (zh) | 2017-08-25 |
Family
ID=55503713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510962056.XA Active CN105425400B (zh) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 一种基于切割重排的高斯光束整形系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105425400B (zh) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3412400A1 (en) * | 2017-06-09 | 2018-12-12 | Bystronic Laser AG | Beam shaper and use thereof, device for laser beam treatment of a workpiece and use thereof, method for laser beam treatment of a workpiece |
| CN109623171A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-04-16 | 江苏先河激光技术有限公司 | 切割玻璃用的非对称激光聚焦切割头、切割装置及方法 |
| CN110535029A (zh) * | 2019-09-12 | 2019-12-03 | 中国科学院半导体研究所 | 基于多叠阵的光束整形结构 |
| CN113276409A (zh) * | 2020-02-18 | 2021-08-20 | 空客(北京)工程技术中心有限公司 | 增材制造方法、增材制造设备和计算机可读介质 |
| CN111347172A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-06-30 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种液晶显示器件端子短路环激光切割方法及系统 |
| CN111399238B (zh) * | 2020-04-27 | 2021-12-03 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于行星转的高能激光束近场强度匀化装置 |
| CN115430661A (zh) * | 2021-06-02 | 2022-12-06 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种用于清洗带钢表面的激光清洗系统 |
| CN113601007A (zh) * | 2021-09-01 | 2021-11-05 | 苏州沃特维自动化系统有限公司 | 一种太阳能电池片无损切割结构及其工艺 |
| CN115166986B (zh) * | 2022-06-28 | 2023-09-08 | 福建光旭科技有限公司 | 一种边界清晰的光斑整形光学系统 |
| CN115407518B (zh) * | 2022-10-31 | 2023-04-25 | 成都莱普科技股份有限公司 | 矩形平顶光斑的发生系统、方法及设备 |
| CN116184681B (zh) * | 2023-04-27 | 2023-08-04 | 成都莱普科技股份有限公司 | 二氧化碳激光的光束整形设备以及光束整形方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100356637C (zh) * | 2006-01-17 | 2007-12-19 | 北京礴德恒激光科技有限公司 | 一种板条波导激光器输出激光束的变换整形方法 |
| CN101995664B (zh) * | 2010-09-17 | 2013-03-27 | 北京工业大学 | 输出为均匀线光斑的激光光束变换整形器 |
| CN102914872B (zh) * | 2012-11-20 | 2015-06-03 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半导体激光器椭圆光斑的整形和准直装置 |
-
2015
- 2015-12-18 CN CN201510962056.XA patent/CN105425400B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105425400A (zh) | 2016-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105425400B (zh) | 一种基于切割重排的高斯光束整形系统 | |
| CN103579905B (zh) | 空间叠加耦合高功率半导体激光叠阵系统 | |
| TW528879B (en) | Illumination optical system and laser processor having the same | |
| US7842565B2 (en) | Beam homogenizer and laser irradiation apparatus | |
| CN202142770U (zh) | 一种可输出任意形状均匀光斑的大功率半导体激光器装置 | |
| KR101322346B1 (ko) | 파이버 전송 레이저 광학계 | |
| US20110103409A1 (en) | System and Method for Generating Intense Laser Light from Laser Diode Arrays | |
| KR101346296B1 (ko) | 레이저 가공 장치 및 방법 | |
| CN205393783U (zh) | 激光加工装置 | |
| CN203149208U (zh) | 准分子激光整形均束装置 | |
| CN105759411A (zh) | 光纤耦合激光器、光纤耦合激光器系统及其优化方法 | |
| CN112782799A (zh) | 衍射光学元件和生成聚焦平顶光斑光束的系统 | |
| CN101788716B (zh) | 一种激光扩束系统 | |
| JP2005257735A (ja) | レーザビーム光学系およびレーザ加工装置 | |
| CN107643596B (zh) | 一种二元波带片形式的衍射轴锥镜系统及其长焦深成像方法 | |
| KR20160002739A (ko) | 선형 세기 분포를 갖는 레이저 방사선의 생성 장치 | |
| CN106291949A (zh) | 一种激光束的整形装置 | |
| US7891821B2 (en) | Laser beam transformer and projector having stacked plates | |
| CN102738705A (zh) | 二极管激光器 | |
| CN103559927B (zh) | 一种消球差硬x射线聚焦光学元件及其设计方法 | |
| KR102219614B1 (ko) | 레이저 시스템 또는 레이저 노광 시스템 | |
| CN100417972C (zh) | 双棱角反射微棱镜列阵实现面阵半导体激光器整形的方法 | |
| US20240036338A1 (en) | Systems, devices, and methods for laser beam generation | |
| JP2005311340A5 (zh) | ||
| CN107623251A (zh) | 用于激光熔覆的空间叠加高功率半导体激光叠阵系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |