CN105406758A - 采用压电驱动的两自由度直线运动平台 - Google Patents

采用压电驱动的两自由度直线运动平台 Download PDF

Info

Publication number
CN105406758A
CN105406758A CN201610013001.9A CN201610013001A CN105406758A CN 105406758 A CN105406758 A CN 105406758A CN 201610013001 A CN201610013001 A CN 201610013001A CN 105406758 A CN105406758 A CN 105406758A
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
ceramic piece
piezoelectric
drive singal
phase drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610013001.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105406758B (zh
Inventor
刘英想
刘军考
冯培连
陈维山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201610013001.9A priority Critical patent/CN105406758B/zh
Publication of CN105406758A publication Critical patent/CN105406758A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105406758B publication Critical patent/CN105406758B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04—Constructional details

Landscapes

  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

采用压电驱动的两自由度直线运动平台，属于多自由度运动平台技术领域。解决现有电磁电机驱动型两自由度直线运动平台存在的结构复杂、重量大、运动精度低等问题。压电振子位于静平台与动平台之间，静平台上表面平行固定有两个导轨，静平台的每个导轨上设置有两个滑块；动平台的下表面平行固定有两个导轨，动平台的每个导轨上设置有两个滑块；静平台上设置的四个滑块的上表面与动平台上设置的两个导轨的下表面分别固定连接，且静平台上设置的两个导轨与动平台上设置的两个导轨轴线相互垂直；压电振子处于静平台上的两个导轨之间，压电振子上的驱动足的上侧面与动平台下表面紧密接触。用到两自由度直线平台制作领域。

Description

采用压电驱动的两自由度直线运动平台
技术领域
本发明涉及到一种采用压电驱动的两自由度直线运动平台，属于多自由度运动平台技术领域。
背景技术
两自由度直线运动平台属于机械加工、精密制造等领域常用设备，它用于实现平面内XY两个方向的精确运动与定位，具有运动范围大的突出优势。但是，目前常用的两自由度直线运动平台一般采用电磁电机加滚珠丝杠实现驱动，而且XY两个方向的运动需要分别采用一套独立的驱动系统来实现，存在结构复杂、重量大、运动精度低等问题。
发明内容
本发明是为了解决现有电磁电机驱动型两自由度直线运动平台存在的结构复杂、重量大、运动精度低的问题，本发明提供了一种采用压电驱动的两自由度直线运动平台。
采用压电驱动的两自由度直线运动平台，它包括压电振子、静平台、动平台、四个导轨和八个滑块；压电振子位于静平台与动平台之间，
所述压电振子包括中间梁、八片压电陶瓷片和两个后端盖，所述中间梁包含两个变幅杆和一个驱动足，驱动足的两个侧面分别与两个变幅杆的末端面固定连接；
后端盖的一侧中心位置设置有螺柱，所述每个螺柱均套装有四片压电陶瓷片，所述后端盖通过螺柱旋合在变幅杆的首端，并实现压电陶瓷片的压紧；
静平台上表面平行固定有两个导轨，静平台的每个导轨上设置有两个滑块；动平台的下表面平行固定有两个导轨，动平台的每个导轨上设置有两个滑块；
静平台上设置的四个滑块的上表面与动平台上设置的两个导轨的下表面分别固定连接，且静平台上设置的两个导轨与动平台上设置的两个导轨轴线相互垂直；
所述压电振子通过后端盖的下表面与静平台上表面固定连接，压电振子处于静平台上的两个导轨之间，且压电振子轴线与静平台上设置的两个导轨的轴线平行，压电振子上的驱动足的上侧面与动平台下表面紧密接触。
压电振子中的八片压电陶瓷片均沿厚度方向极化，在一个后端盖至另一个后端盖的方向上，八片压电陶瓷片分别为第一个至第八个压电陶瓷片，
第一个和第二个压电陶瓷片均分为上下两个半区进行极化，在第一个和第二个压电陶瓷片中，同一压电陶瓷片上下两个半区的极化方向相反，且第一个和第二个压电陶瓷片的两个下半区极化方向相反，
第七个和第八个压电陶瓷片分为上下两个半区进行极化，第一个和第七个压电陶瓷片极化方向相同，第二个和第八个压电陶瓷片极化方向相同；
第三个、第四个、第五个和第六个压电陶瓷片均分为左右两个半区进行极化，在第三至第六个压电陶瓷片中，同一压电陶瓷片上左右两个半区的极化方向相同，第三个和第四个压电陶瓷片极化方向相反，第四个和第五个压电陶瓷片极化方向相同，第五个和第六个压电陶瓷片极化方向相反；
第二个和第三个压电陶瓷片之间、第四个压电陶瓷片和变幅杆之间、变幅杆和第五个压电陶瓷片之间、第六个和第七个压电陶瓷片之间均设置有接地电极片，
第一个和第二个压电陶瓷片之间、第七个和第八个压电陶瓷片之间均设置有弯振电极片，
第三个和第四个压电陶瓷片之间、第五个和第六个压电陶瓷片之间均分别设置有两个纵弯复用电极片，且上述的两个纵弯复用电极片分别设置在所在的平面内的左右两侧，且设置在同一平面内的两个纵弯复用电极片之间留有间隙。
采用压电驱动的两自由度直线运动平台，所述压电振子中的所有接地电极片与激励信号公共端连接，所有弯振电极片与第一相驱动信号连接，所有纵弯复用电极片与第二相驱动信号连接，第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差。
所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台，所述压电振子中的所有接地电极片与激励信号公共端连接，所有弯振电极片与第一相驱动信号连接，
第三个和第四个压电陶瓷片之间左侧的纵弯复用电极片与第二相驱动信号连接，第五个和第六个压电陶瓷片之间右侧的纵弯复用电极片与第二相驱动信号连接；
第三个和第四个压电陶瓷片之间右侧的纵弯复用电极片与第三相驱动信号连接，第五个和第六个压电陶瓷片之间左侧的纵弯复用电极片与第三相驱动信号连接；
第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差，第二相驱动信号与第三相驱动信号在时间上具有180度的相位差。
所述的静平台上表面开设有凹槽，该凹槽位于静平台上的两个导轨之间，且压电振子位于该凹槽内。
本发明所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台利用单个压电振子实现动平台相对静平台的两自由度直接驱动。其中，压电振子通过自身的偶数阶纵向振动和两个奇数阶弯曲振动的复合实现单足的两自由度驱动(一个是沿振子轴线方向的直线运动，另外一个是垂直于振子轴线方向的直线运动)。
具体工作原理如下：
(一)通过给两个弯振电极片施加第一相交流激励信号，压电陶瓷上下两个半区产生反相的伸缩，进而激励出振子竖直方向的弯曲振动，具体参见图8；通过给四个纵弯复用电极片施加第二相交流激励信号，压电陶瓷左右两个半区产生同步的伸缩，进而激励出振子的纵向振动，具体参见图7；当超声电机振子的偶数阶纵向振动和奇数阶弯曲振动的谐振频率十分接近时，且纵向振动和弯曲振动在时间上具有90度或者-90度相位差，则可以通过纵振和弯振的复合在驱动足处激发椭圆轨迹的振动，从而保证可以实现动平台沿压电振子轴线方向的直线致动。
(二)通过给两个弯振电极片施加第一相交流激励信号，压电陶瓷上下两个半区产生反相的伸缩，进而激励出振子竖直方向的弯曲振动，具体参见图8；第三个和第四个压电陶瓷片之间左侧的纵弯复用电极片、第五个和第六个压电陶瓷片之间右侧的纵弯复用电极片与第二相驱动信号连接，第三个和第四个压电陶瓷片之间右侧的纵弯复用电极片、第五个和第六个压电陶瓷片之间左侧的纵弯复用电极片与第三相驱动信号连接，且第二相和第三相驱动信号之间具有180度相位差，则压电陶瓷左右两个半区产生反相的伸缩，进而激励出振子水平方向的弯曲振动，具体参见图9；当两个弯曲振动在时间上具有90度或者-90度相位差，则他们的复合在驱动足处激发椭圆轨迹的振动，从而保证可以实现动平台沿垂直于压电振子轴线方向的直线致动。
本发明的压电振子中，第三个、第四个、第五个和第六个压电陶瓷片可以用于激励振子的纵向振动，也可以用于激励振子水平方向的弯曲振动，通过控制施加到四个纵弯复用电极片上的激励信号，可以方便的实现两种振动模态之间的切换，从而实现两个输出驱动方向的切换；所有的压电陶瓷片在轴向(沿振子轴线方向)和横向(垂直于振子轴线方向)两种工作模式下都处于工作状态，压电元件利用率高，机电耦合效率高；驱动足设置在振子中间部位，该处为偶数阶纵向振动的波腹位置，同时也是奇数阶弯曲振动的波腹位置，从而保证驱动足可以获得最大的振幅和振速。
本发明带来的有益效果是：本发明采用单个压电振子实现了动平台两个方向的直线驱动，且驱动形式为直接驱动，没有中间传动环节，结构简单、重量小，且压电振子定位精度高；因此，本发明的采用压电驱动的两自由度直线运动平台结构简单、重量小、运动精度高，运动精度提高了5％以上，且加工装配十分简便，便于实现系列化和商品化。
附图说明
图1是本发明所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台的立体结构示意图，
图2是图1所示采用压电驱动的两自由度直线运动平台拆除动平台后的立体结构示意图，
图3是图1所示采用压电驱动的两自由度直线运动平台中压电振子1的立体结构示意图，
图4是图3所示压电振子1的剖视图，
图5是图3所示压电振子1中压电陶瓷1-2的极化方向示意图，
图6是图3所示压电振子1拆除左侧端盖1-3、三片压电陶瓷1-2之后的立体图，
图7是图3所示压电振子1的纵向振动模态振型图，
图8是图3所示压电振子1的竖直方向弯曲振动模态振型图，
图9是图3所示压电振子1的水平方向弯曲振动模态振型图。
具体实施方式
具体实施方式一：参见图1、2、3、4和6说明本实施方式，本实施方式所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台，它包括压电振子1、静平台2、动平台3、四个导轨4和八个滑块5；压电振子1位于静平台2与动平台3之间，
所述压电振子1包括中间梁1-1、八片压电陶瓷片1-2和两个后端盖1-3，所述中间梁1-1包含两个变幅杆1-1-1和一个驱动足1-1-2，驱动足1-1-2的两个侧面分别与两个变幅杆1-1-1的末端面固定连接；
后端盖1-3的一侧中心位置设置有螺柱1-3-1，所述每个螺柱1-3-1均套装有四片压电陶瓷片1-2，所述后端盖1-3通过螺柱1-3-1旋合在变幅杆1-1-1的首端，并实现压电陶瓷片1-2的压紧；
静平台2上表面平行固定有两个导轨4，静平台2的每个导轨4上设置有两个滑块5；动平台3的下表面平行固定有两个导轨4，动平台3的每个导轨4上设置有两个滑块5；
静平台2上设置的四个滑块5的上表面与动平台3上设置的两个导轨4的下表面分别固定连接，且静平台2上设置的两个导轨4与动平台3上设置的两个导轨4轴线相互垂直；
所述压电振子1通过后端盖1-3的下表面与静平台2上表面固定连接，压电振子1处于静平台2上的两个导轨4之间，且压电振子1轴线与静平台2上设置的两个导轨4的轴线平行，压电振子1上的驱动足1-1-2的上侧面与动平台3下表面紧密接触。
具体工作过程中，所有接地电极片1-4与激励信号公共端连接，两个弯振电极片1-5与第一相驱动信号连接，四个纵弯复用电极片1-6有两种信号连接方式：
连接方式一：四个纵弯复用电极片1-6与第二相驱动信号连接，第一相驱动信号与第二相驱动信号之间在时间上具有90度或者-90度的相位差，此时压电振子将通过纵向振动(参见图7)和竖直方向的弯曲振动(参见图8)的复合实现动平台3沿压电振子1轴线方向的直线致动。
连接方式二：第三个和第四个压电陶瓷片1-2之间左侧的纵弯复用电极片1-6、第五个和第六个压电陶瓷片1-2之间右侧的纵弯复用电极片1-6与第二相驱动信号连接，第三个和第四个压电陶瓷片1-2之间右侧的纵弯复用电极片1-6、第五个和第六个压电陶瓷片1-2之间左侧的纵弯复用电极片1-6与第三相驱动信号连接；第一相驱动信号与第二相驱动信号之间在时间上具有90度或者-90度的相位差，第二相驱动信号与第三相驱动信号之间在时间上具有180度的相位差；此时压电振子1将通过水平方向的弯曲振动(参见图9)和竖直方向的弯曲振动(参见图8)的复合实现动平台3沿垂直于压电振子1轴线方向的直线致动。
具体实施方式二：参见图5说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式一所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台的区别在于，压电振子1中的八片压电陶瓷片1-2均沿厚度方向极化，在一个后端盖1-3至另一个后端盖1-3的方向上，八片压电陶瓷片1-2分别为第一个至第八个压电陶瓷片2，
第一个和第二个压电陶瓷片1-2均分为上下两个半区进行极化，在第一个和第二个压电陶瓷片1-2中，同一压电陶瓷片1-2上下两个半区的极化方向相反，且第一个和第二个压电陶瓷片1-2的两个下半区极化方向相反，
第七个和第八个压电陶瓷片1-2分为上下两个半区进行极化，第一个和第七个压电陶瓷片1-2极化方向相同，第二个和第八个压电陶瓷片1-2极化方向相同；
第三个、第四个、第五个和第六个压电陶瓷片1-2均分为左右两个半区进行极化，在第三至第六个压电陶瓷片1-2中，同一压电陶瓷片1-2上左右两个半区的极化方向相同，第三个和第四个压电陶瓷片1-2极化方向相反，第四个和第五个压电陶瓷片1-2极化方向相同，第五个和第六个压电陶瓷片1-2极化方向相反；
第二个和第三个压电陶瓷片1-2之间、第四个压电陶瓷片1-2和变幅杆1-1-1之间、变幅杆1-1-1和第五个压电陶瓷片1-2之间、第六个和第七个压电陶瓷片1-2之间均设置有接地电极片1-4，
第一个和第二个压电陶瓷片1-2之间、第七个和第八个压电陶瓷片1-2之间均设置有弯振电极片1-5，
第三个和第四个压电陶瓷片1-2之间、第五个和第六个压电陶瓷片1-2之间均分别设置有两个纵弯复用电极片1-6，且上述的两个纵弯复用电极片1-6分别设置在所在的平面内的左右两侧，且设置在同一平面内的两个纵弯复用电极片1-6之间留有间隙。
具体实施方式三：本实施方式与具体实施方式二所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台的区别在于，所述压电振子1中的所有接地电极片1-4与激励信号公共端连接，所有弯振电极片1-5与第一相驱动信号连接，所有纵弯复用电极片1-6与第二相驱动信号连接，第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差。
本实施方式，第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度的相位差，种种驱动方式下，此时振子将通过纵向振动和竖直方向的弯曲振动的复合实现动平台3沿振子轴线方向的直线致动，具体参见图7和图8。
具体实施方式四：本实施方式与具体实施方式二所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台的区别在于，所述压电振子1中的所有接地电极片1-4与激励信号公共端连接，所有弯振电极片1-5与第一相驱动信号连接，
第三个和第四个压电陶瓷片1-2之间左侧的纵弯复用电极片1-6与第二相驱动信号连接，第五个和第六个压电陶瓷片1-2之间右侧的纵弯复用电极片1-6与第二相驱动信号连接；
第三个和第四个压电陶瓷片1-2之间右侧的纵弯复用电极片1-6与第三相驱动信号连接，第五个和第六个压电陶瓷片1-2之间左侧的纵弯复用电极片1-6与第三相驱动信号连接；
第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差，第二相驱动信号与第三相驱动信号在时间上具有180度的相位差。
本实施方式，第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差，第二相驱动信号与第三相驱动信号在时间上具有180度的相位差，此时振子将通过水平方向的弯曲振动和竖直方向的弯曲振动的复合实现动平台3沿垂直于振子轴线方向的直线致动，具体参见图8和图9。
具体实施方式五：本实施方式与具体实施方式一所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台的区别在于，所述的静平台2上表面开设有凹槽，该凹槽位于静平台2上的两个导轨4之间，且压电振子1位于该凹槽内。
本实施方式中，凹槽用于固定压电振子。

Claims (5)

1.采用压电驱动的两自由度直线运动平台，它包括压电振子(1)、静平台(2)、动平台(3)、四个导轨(4)和八个滑块(5)；压电振子(1)位于静平台(2)与动平台(3)之间，
其特征在于，所述压电振子(1)包括中间梁(1-1)、八片压电陶瓷片(1-2)和两个后端盖(1-3)，所述中间梁(1-1)包含两个变幅杆(1-1-1)和一个驱动足(1-1-2)，驱动足(1-1-2)的两个侧面分别与两个变幅杆(1-1-1)的末端面固定连接；
后端盖(1-3)的一侧中心位置设置有螺柱(1-3-1)，所述每个螺柱(1-3-1)均套装有四片压电陶瓷片(1-2)，所述后端盖(1-3)通过螺柱(1-3-1)旋合在变幅杆(1-1-1)的首端，并实现压电陶瓷片(1-2)的压紧；
静平台(2)上表面平行固定有两个导轨(4)，静平台(2)的每个导轨(4)上设置有两个滑块(5)；动平台(3)的下表面平行固定有两个导轨(4)，动平台(3)的每个导轨(4)上设置有两个滑块(5)；
静平台(2)上设置的四个滑块(5)的上表面与动平台(3)上设置的两个导轨(4)的下表面分别固定连接，且静平台(2)上设置的两个导轨(4)与动平台(3)上设置的两个导轨(4)轴线相互垂直；
所述压电振子(1)通过后端盖(1-3)的下表面与静平台(2)上表面固定连接，压电振子(1)处于静平台(2)上的两个导轨(4)之间，且压电振子(1)轴线与静平台(2)上设置的两个导轨(4)的轴线平行，压电振子(1)上的驱动足(1-1-2)的上侧面与动平台(3)下表面紧密接触。
2.根据权利要求1所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台，其特征在于，压电振子(1)中的八片压电陶瓷片(1-2)均沿厚度方向极化，在一个后端盖(1-3)至另一个后端盖(1-3)的方向上，八片压电陶瓷片(1-2)分别为第一个至第八个压电陶瓷片(2)，
第一个和第二个压电陶瓷片(1-2)均分为上下两个半区进行极化，在第一个和第二个压电陶瓷片(1-2)中，同一压电陶瓷片(1-2)上下两个半区的极化方向相反，且第一个和第二个压电陶瓷片(1-2)的两个下半区极化方向相反，
第七个和第八个压电陶瓷片(1-2)分为上下两个半区进行极化，第一个和第七个压电陶瓷片(1-2)极化方向相同，第二个和第八个压电陶瓷片(1-2)极化方向相同；
第三个、第四个、第五个和第六个压电陶瓷片(1-2)均分为左右两个半区进行极化，在第三至第六个压电陶瓷片(1-2)中，同一压电陶瓷片(1-2)上左右两个半区的极化方向相同，第三个和第四个压电陶瓷片(1-2)极化方向相反，第四个和第五个压电陶瓷片(1-2)极化方向相同，第五个和第六个压电陶瓷片(1-2)极化方向相反；
第二个和第三个压电陶瓷片(1-2)之间、第四个压电陶瓷片(1-2)和变幅杆(1-1-1)之间、变幅杆(1-1-1)和第五个压电陶瓷片(1-2)之间、第六个和第七个压电陶瓷片(1-2)之间均设置有接地电极片(1-4)，
第一个和第二个压电陶瓷片(1-2)之间、第七个和第八个压电陶瓷片(1-2)之间均设置有弯振电极片(1-5)，
第三个和第四个压电陶瓷片(1-2)之间、第五个和第六个压电陶瓷片(1-2)之间均分别设置有两个纵弯复用电极片(1-6)，且上述的两个纵弯复用电极片(1-6)分别设置在所在的平面内的左右两侧，且设置在同一平面内的两个纵弯复用电极片(1-6)之间留有间隙。
3.根据权利要求2所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台，其特征在于，所述压电振子(1)中的所有接地电极片(1-4)与激励信号公共端连接，所有弯振电极片(1-5)与第一相驱动信号连接，所有纵弯复用电极片(1-6)与第二相驱动信号连接，第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差。
4.根据权利要求2所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台，其特征在于，所述压电振子(1)中的所有接地电极片(1-4)与激励信号公共端连接，所有弯振电极片(1-5)与第一相驱动信号连接，
第三个和第四个压电陶瓷片(1-2)之间左侧的纵弯复用电极片(1-6)与第二相驱动信号连接，第五个和第六个压电陶瓷片(1-2)之间右侧的纵弯复用电极片(1-6)与第二相驱动信号连接；
第三个和第四个压电陶瓷片(1-2)之间右侧的纵弯复用电极片(1-6)与第三相驱动信号连接，第五个和第六个压电陶瓷片(1-2)之间左侧的纵弯复用电极片(1-6)与第三相驱动信号连接；
第一相驱动信号与第二相驱动信号在时间上具有90度或者-90度的相位差，第二相驱动信号与第三相驱动信号在时间上具有180度的相位差。
5.根据权利要求1所述的采用压电驱动的两自由度直线运动平台，其特征在于，所述的静平台(2)上表面开设有凹槽，该凹槽位于静平台(2)上的两个导轨(4)之间，且压电振子(1)位于该凹槽内。
CN201610013001.9A 2016-01-08 2016-01-08 采用压电驱动的两自由度直线运动平台 Expired - Fee Related CN105406758B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610013001.9A CN105406758B (zh) 2016-01-08 2016-01-08 采用压电驱动的两自由度直线运动平台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610013001.9A CN105406758B (zh) 2016-01-08 2016-01-08 采用压电驱动的两自由度直线运动平台

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105406758A true CN105406758A (zh) 2016-03-16
CN105406758B CN105406758B (zh) 2018-07-06

Family

ID=55472058

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610013001.9A Expired - Fee Related CN105406758B (zh) 2016-01-08 2016-01-08 采用压电驱动的两自由度直线运动平台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105406758B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106849746A (zh) * 2017-04-07 2017-06-13 吉林大学 基于惯性冲击的三自由度压电驱动平台
CN107659202A (zh) * 2017-11-08 2018-02-02 合肥工业大学 一种压电马达
CN107814205A (zh) * 2017-08-08 2018-03-20 董惠娟 对置式超声驻波悬浮传输装置及超声驻波悬浮和传输方法
CN111726033A (zh) * 2020-05-25 2020-09-29 浙江师范大学行知学院 一种磁悬浮式侧压单向微动力压电惯性驱动器
CN112271953A (zh) * 2020-10-30 2021-01-26 浙江工业职业技术学院 一种尺蠖粘滑混合驱动式压电直线驱动器及安装工艺

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102324867A (zh) * 2011-09-22 2012-01-18 哈尔滨工业大学 使用复合弯振双足直线超声振子的直线平台
CN102739106A (zh) * 2012-06-26 2012-10-17 哈尔滨工业大学 弯振复合型单足直线超声驱动器
CN103354431A (zh) * 2013-06-28 2013-10-16 南京航空航天大学 一种纵弯复合模态夹心式超声电机振子
CN104405716A (zh) * 2014-11-04 2015-03-11 哈尔滨工业大学 两端预紧式压电堆致缸体多模态振动的低摩擦特性气缸
CN104440344A (zh) * 2014-11-26 2015-03-25 广东工业大学 直线电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102324867A (zh) * 2011-09-22 2012-01-18 哈尔滨工业大学 使用复合弯振双足直线超声振子的直线平台
CN102739106A (zh) * 2012-06-26 2012-10-17 哈尔滨工业大学 弯振复合型单足直线超声驱动器
CN103354431A (zh) * 2013-06-28 2013-10-16 南京航空航天大学 一种纵弯复合模态夹心式超声电机振子
CN104405716A (zh) * 2014-11-04 2015-03-11 哈尔滨工业大学 两端预紧式压电堆致缸体多模态振动的低摩擦特性气缸
CN104440344A (zh) * 2014-11-26 2015-03-25 广东工业大学 直线电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
石胜君等: "大推力推挽纵振弯纵复合直线超声电机", 《中国电机工程学报》 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106849746A (zh) * 2017-04-07 2017-06-13 吉林大学 基于惯性冲击的三自由度压电驱动平台
CN107814205A (zh) * 2017-08-08 2018-03-20 董惠娟 对置式超声驻波悬浮传输装置及超声驻波悬浮和传输方法
CN107814205B (zh) * 2017-08-08 2019-04-19 董惠娟 对置式超声驻波悬浮传输装置及超声驻波悬浮和传输方法
CN107659202A (zh) * 2017-11-08 2018-02-02 合肥工业大学 一种压电马达
CN107659202B (zh) * 2017-11-08 2019-03-26 合肥工业大学 一种压电马达
CN111726033A (zh) * 2020-05-25 2020-09-29 浙江师范大学行知学院 一种磁悬浮式侧压单向微动力压电惯性驱动器
CN112271953A (zh) * 2020-10-30 2021-01-26 浙江工业职业技术学院 一种尺蠖粘滑混合驱动式压电直线驱动器及安装工艺

Also Published As

Publication number Publication date
CN105406758B (zh) 2018-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105406758A (zh) 采用压电驱动的两自由度直线运动平台
CN103259449B (zh) 压电驱动器及压电马达
CN103354431B (zh) 一种纵弯复合模态夹心式超声电机振子
CN102868315A (zh) 贴片式弯振复合双足超声电机振子
CN101656490A (zh) 一种纵弯复合模态的直线超声电机
CN102361413B (zh) 复合弯振夹心式双足直线超声电机振子
CN104967355A (zh) 仿生爬行多足直线压电驱动器
CN102437782B (zh) 夹心式工字型四足直线超声电机振子
CN102324867B (zh) 使用复合弯振双足直线超声振子的直线平台
CN104883090A (zh) 融合切变压电致动器复合驱动模式的压电直线马达
CN101001054B (zh) 双柱体振子直线超声电机
CN101051798A (zh) 棱柱型纵弯复合振子直线超声电机
CN105071692A (zh) 多工作模式复合型悬臂多足压电驱动器
CN102882422A (zh) 夹心式压电金属复合梁及驱动该夹心式压电金属复合梁纵弯复合振动的方法
CN105406754A (zh) 纵弯复合单足两自由度超声电机振子
CN110299866A (zh) 方框结构驱动的精密压电直线移动平台及工作模态
CN102497132B (zh) 陶瓷嵌入式工字型四足直线超声电机振子
CN102868316A (zh) 贴片式双足超声电机振子
CN103825492A (zh) 一种压电步进电机
CN204068758U (zh) 压电振子及包括该压电振子的精密位移平台
CN102437780A (zh) 分区激励式复合弯振直线超声电机振子
CN210629372U (zh) 基于框架板结构定子驱动的压电平面电机
CN1235404A (zh) 直线型超声电机及其驱动振子
CN210297571U (zh) 叠层八杆型压电定子推动的直线电机
CN110601589B (zh) 叠层八杆型压电定子推动的直线电机及运行方式

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180706

Termination date: 20210108

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee