CN105276344B - 光刻胶瓶固持装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种光刻胶瓶固持装置，包括：底座；大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。本发明能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。

Description

光刻胶瓶固持装置
技术领域
本发明涉及一种光刻胶瓶固持装置，尤其涉及一种便于切换大、小光刻胶瓶的光刻胶瓶固持装置。
背景技术
光刻胶是半导体工艺中一种常用的液体制剂，通常存储于光刻胶瓶中。在使用时，光刻胶瓶被固定在光刻胶瓶固持装置上，由光刻胶瓶固定装置夹持的吸管伸入光刻胶瓶中，以从光刻胶瓶中抽取光刻胶。
但是，常用的光刻胶瓶通常具有多种不同的尺寸，而现有技术中的光刻胶瓶固持装置的结构是固定的，其通常仅能与某一种特定尺寸的光刻胶瓶最优地配合使用。当更换不同尺寸的光刻胶瓶时，现有技术中的光刻胶瓶固持装置并不能起到较优的支撑、固定作用，可能会导致各种问题，例如光刻胶瓶得不到牢固的支撑，吸管无法插入瓶口等。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种光刻胶瓶固持装置，能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种光刻胶瓶固持装置，包括：
底座；
大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；
小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。
根据本发明的一个实施例，该装置还包括：
吸管固定架，该吸管固定架的位置相对于所述底座固定；
吸管夹持臂，用于夹持吸管，该吸管夹持臂与所述吸管固定架滑动连接以调节该吸管的竖直高度。
根据本发明的一个实施例，该装置还包括：
微调标尺，固定在所述吸管固定架上；
与所述微调标尺配合使用的刻度指针，固定在所述吸管夹持臂上。
根据本发明的一个实施例，所述吸管夹持臂夹持有瓶盖，所述吸管插入该瓶盖内。
根据本发明的一个实施例，该装置还包括：支撑板，与所述底座固定连接以支撑该大瓶或小瓶的底部，该支撑板与水平面之间具有预设的倾角。
根据本发明的一个实施例，所述第一支撑面与第二支撑面为圆柱面且二者同轴。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
本发明实施例的光刻胶瓶固持装置具有可拆卸的小瓶保持架，在安装小瓶保持架时，小瓶保持架的第二支撑面与小瓶的侧壁形状相适应，在拆掉小瓶保持架时，大瓶保持架的第一支撑面与大瓶的侧壁形状相适应，从而能够适用于具有不同尺寸的大瓶和小瓶。
进一步而言，本发明实施例的光刻胶瓶固持装置还具有可滑动的吸管夹持臂，该吸管夹持臂可以相对于吸管固定架滑动，以调节吸管的垂直高度，从而能够使得吸管顺利插入不同尺寸的光刻胶瓶内，以适用于多种不同尺寸的光刻胶瓶。
附图说明
图1是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的立体结构图；
图2是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的剖面结构图；
图3是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的正视图；
图4是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持小瓶时的立体结构图；
图5是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持小瓶时的剖面结构图；
图6是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持小瓶时的正视图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。
本实施例的光刻胶瓶固持装置包括底座、大瓶保持架、小瓶保持架、吸管固定架、吸管夹持臂、微调标尺、刻度指针以及支撑板。
其中，大瓶保持架与底座固定连接，大瓶保持架用于支撑大瓶(“大光刻胶瓶”的简称)，更进一步而言，大瓶保持架的第一支撑面用于支撑大瓶，该第一支撑面的形状与大瓶的侧壁形状适应。
小瓶保持架与大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有第二支撑面和第三支撑面，其中第二支撑面用于支撑小瓶(“小光刻胶瓶”的简称)，第三支撑面用于与大瓶保持架的第一支撑面接触。该第二支撑面的形状与小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与第一支撑面的形状适应。
需要说明的是，本申请中的“大瓶”和“小瓶”是相对的概念，大瓶的尺寸大于小瓶的尺寸，但是二者的具体尺寸并无特定的限制，例如可以是符合某一特定标准的标准尺寸，也可以是自定义的其他适当尺寸。
吸管固定架的位置相对于底座固定，例如可以固定在底座上，或者固定在另一与底座相对固定的部件上。吸管夹持臂与吸管固定架滑动连接，该吸管夹持臂用于夹持吸管，吸管夹持臂的滑动可以调节吸管的竖直高度，以将吸管插入大瓶或者是小瓶的瓶口中。
在一具体实施例中，吸管夹持臂可以夹持瓶盖，吸管插在瓶盖内，吸管夹持臂的滑动将带动瓶盖和吸管上下滑动。
吸管固定架上可以设置有微调标尺，吸管夹持臂上可以设置有刻度指针，该刻度指针与微调标尺配合使用，在吸管夹持臂上下滑动时，可以通过刻度指针在微调标尺上指示的刻度来观察和确定吸管夹持臂当前的位置。
另外，底座上可以固定连接有支撑板，用于支撑大瓶或小瓶的底部，该支撑板与水平面之间具有预设的倾角，使得大瓶或小瓶保持倾斜状态，从而使吸管可以伸入至瓶底最深处，充分利用瓶内的光刻胶。
下面分别通过固持大瓶和固持小瓶时的状态来对该光刻胶瓶固持装置进行详细说明。
参考图1至图3，图1至图3示出了该光刻胶瓶固持装置在固持大瓶100时的状态。在用于固持大瓶100时，小瓶保持架被拆除，该光刻胶瓶固持装置包括：底座10、大瓶保持架11、吸管固定架12、吸管夹持臂13、微调标尺14、刻度指针15以及支撑板19。
其中，支撑板19与底座10固定连接，该支撑板19用于支撑大瓶100的底部，支撑板19与水平面具有一倾角，以使得大瓶100适当倾斜。
大瓶保持架11与底座10固定连接，用于支撑大瓶100的侧壁。该大瓶保持架11具有用于支撑大瓶100的第一支撑面，该第一支撑面的形状与大瓶的侧壁形状相适应。例如，该大瓶100可以是圆筒，相应地，第一支撑面可以是圆柱面。
吸管固定架12的位置相对于底座10固定，吸管夹持臂13与吸管固定架12滑动连接。例如，该吸管固定架12可以设置有滑槽，该吸管夹持臂13可以具有滑块，该滑块可以沿滑槽滑动，以实现滑动连接。吸管夹持臂13的滑动可以带动吸管，以调节吸管的竖直高度。例如，该吸管夹持臂13可以夹持瓶盖，吸管插在瓶盖中，该瓶盖与大瓶100的瓶口配合。
通过滑动吸管夹持臂13，可以使得瓶盖盖住大瓶100的瓶口而不接触，继续微调吸管夹持臂13的位置，可以使得吸管尽可能伸至大瓶100的底部但不接触瓶底。
吸管固定架12上可以设置有微调标尺14，吸管夹持臂13上可以设置有刻度指针15，刻度指针15与微调标尺14相配合使用，以指示吸管夹持臂13当前的位置。
参考图4至图6，图4至图6示出了该光刻胶瓶固持装置在固持小瓶200时的状态。在用于固持小瓶200时，小瓶保持架111被安装在大瓶保持架11上，该光刻胶瓶固持装置包括：底座10、大瓶保持架11、小瓶保持架111、吸管固定架12、吸管夹持臂13、微调标尺14、刻度指针15以及支撑板19。
其中，底座10、大瓶保持架11、吸管固定架12、吸管夹持臂13、微调标尺14、刻度指针15以及支撑板19的结构、位置以及连接关系与在大瓶状态时相同，这里不再赘述。
小瓶保持架111与大瓶保持架11的第一支撑面连接，该小瓶保持架111具有第二支撑面和第三支撑面，其中，第三支撑面与大瓶保持架11的第一支撑面接触，第二支撑面的形状与小瓶200的侧壁形状适应，用于支撑小瓶200的侧壁。
在本实施例中，大瓶100和小瓶200都是圆筒，相应地，大瓶保持架11的第一支撑面以及小瓶保持架111的第二支撑面都是圆柱面，且两个圆柱面同轴，因此在切换到小瓶状态时，由小瓶保持架111支撑的小瓶200和大瓶状态时由大瓶支撑架11支撑的大瓶100(参见图1至图3)同中心。
相应地，由于支撑板19具有一定的倾角，使得小瓶200的倾斜角度与大瓶状态时大瓶100(参见图1至图3)的倾斜角度相同。
仍然参考图4至图6，与图1至图3所示的大瓶状态相比，在切换至小瓶状态时，吸管夹持臂13在吸管固定架12上滑动的位置相对靠下，使得吸管能够伸入小瓶200的瓶口内。
由上，本实施例的光刻胶瓶固持装置通过套装和拆卸小瓶保持架，可以切换为支撑小瓶或大瓶，并能保持大瓶和小瓶具有相同的倾斜角度，同中心。通过调节吸管夹持臂的位置，使得吸管能伸入大瓶和小瓶的瓶口内。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。

Claims (6)

1.一种光刻胶瓶固持装置，其特征在于，包括：
底座；
大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；
小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸；
通过套装和拆卸小瓶保持架，可以切换为支撑小瓶或大瓶。
2.根据权利要求1所述的光刻胶瓶固持装置，其特征在于，还包括：
吸管固定架，该吸管固定架的位置相对于所述底座固定；
吸管夹持臂，用于夹持吸管，该吸管夹持臂与所述吸管固定架滑动连接以调节该吸管的竖直高度。
3.根据权利要求2所述的光刻胶瓶固持装置，其特征在于，还包括：
微调标尺，固定在所述吸管固定架上；
与所述微调标尺配合使用的刻度指针，固定在所述吸管夹持臂上，在吸管夹持臂上下滑动时，通过刻度指针在微调标尺上指示的刻度来观察和确定吸管夹持臂当前的位置。
4.根据权利要求2所述的光刻胶瓶固持装置，其特征在于，所述吸管夹持臂夹持有大瓶或小瓶的瓶盖，所述吸管插入该瓶盖内。
5.根据权利要求1所述的光刻胶瓶固持装置，其特征在于，还包括：
支撑板，与所述底座固定连接以支撑该大瓶或小瓶的底部，该支撑板与水平面之间具有预设的倾角。
6.根据权利要求1所述的光刻胶瓶固持装置，其特征在于，所述第一支撑面与第二支撑面为圆柱面且二者同轴。
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