CN105115486B - 静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法 - Google Patents
静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105115486B CN105115486B CN201510423409.9A CN201510423409A CN105115486B CN 105115486 B CN105115486 B CN 105115486B CN 201510423409 A CN201510423409 A CN 201510423409A CN 105115486 B CN105115486 B CN 105115486B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- spherical shell
- electrode
- glass
- substrate
- oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5691—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
本发明公开一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底，玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底，主单元结构设置于玻璃层的中心位置，包括球壳振子和电极球壳，球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置，电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层；电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件。本发明中主单元结构中的球壳振子由光刻胶SU8采用3‑DLaser技术制成，为MEMS的加工提供了一种新的思路；球壳振子使用静电悬浮结构悬浮于主单元结构中心位置可以消除谐振时机械摩擦的影响,同时提高抗冲击能力。
Description
技术领域
本发明涉及微机电和惯性传感器领域，具体涉及一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法。
背景技术
近年来，随着航空航天技术的不断发展，具有高性能的半球谐振陀螺受到各国的重视。它具有精度高、可靠性高、寿命长、抗辐射等优点，因此被认为是航空航天器惯导系统中最理想的器件，被广泛的应用于航空惯导系统、兵器惯导系统，在空间领域的应用中更是具备其它陀螺所不能相比的优势。
静电悬浮陀螺仪是一种新型的自由转子陀螺，不像传统的陀螺仪，需要弹性梁来支撑质量块，它利用静电场的静电吸力使球形金属转子在自由悬浮状态下高速旋转，因而从根本上消除了机械摩擦，可以获得极高的精度，被公认为具有最高精度的惯性器件。
发明内容
发明目的：本发明的目的在于解决现有技术中存在的不足，提供一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法。
技术方案：本发明的一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法，所述静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底，玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底，并且分别设置于上层玻璃基底和下层玻璃基底的表面；所述主单元结构设置于玻璃层的中心位置，包括球壳振子和电极球壳，球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置，电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层；以球壳振子的球心为原点建立空间直角坐标系，电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件，三个球面电极组件分别沿X轴、Y轴和Z轴的轴向设置于相应的轴向平面内，每个球面电极组件均包括若干驱动电极、驱动检测电极、检测电极和平衡电极，各个驱动电极、驱动检测电极、检测电极和平衡电极均呈全对称分布，其中，轴向平面指分别以X轴、Y轴或Z轴为法线的平面；
每个轴向上有四个驱动电极，包括两个主驱动电极和两个反馈驱动电极，主驱动电极位于所在轴向平面的0°主轴的正负半轴，反馈驱动电极位于所在轴向平面的﹢45°轴线上；驱动检测电极位于所在轴向平面的90°主轴的正负半轴，并且同一主轴上分别位于正负半轴的两个驱动检测电极相互差分；检测电极位于所在轴向平面的﹣45°轴线上；平衡电极位于所在轴向平面的22.5°、67.5°、112.5°、157.5°、202.5°、247.5°、92.5°和337.5°轴线上；
具体依次包括以下步骤：
(1)在硅衬底涂覆SU8光刻胶，然后采用3-D laser光刻技术进行光刻，制成球壳振子；
(2)在球壳振子的表面先溅射金属Cr，再溅射Au，形成金属膜；
(3)清洗两块单晶硅硅片并烘干，在第一块硅片上涂光刻胶，利用第一块掩膜板曝光，再用各向同性的刻蚀法刻蚀第二块硅片，然后在两个硅片中心区域各自形成半球型凹槽；
(4)采用硅-玻璃键合技术，在两块硅片上部键合硼硅酸玻璃；
(5)在两块玻璃上涂光刻胶，利用第二、三块掩膜板分别曝光，用腐蚀液刻蚀玻璃，得到所要设置电极和信号引线的凹槽；
(6)在两块硼硅酸盐玻璃基底上，先溅射金属Cr再溅射Au，形成电极和信号引线，去除光刻胶；
(7)采用微加工喷灯成型工艺吹制两块硅片的半球型凹槽上部的玻璃，形成两个半球电极球壳；
(8)将制作好的球壳振子装入一个半球电极球壳中，采用键合技术将两块玻璃进行键合。
进一步的，所述上层玻璃基底和下层玻璃基底均呈正方形，且上层玻璃基底的长度小于下层玻璃基底的长度；所述电极球壳上的信号引线从上层玻璃基底和下层玻璃基底的见何处引出，且与下层玻璃基底上的电极相连。
进一步的，所述球壳振子的直径为800～1500μm，球壳振子的壁厚为0.6～1.2μm，并且所述球壳振子表层沿其周向开设有方形齿槽，所述方形齿槽所处位置对应于相邻两个电极之间共15个。
进一步的，所述球壳振子通过在SU8光刻胶上镀金属膜制成，电极球壳由硅硼酸玻璃吹制，硅衬底由单晶硅制成。
有益效果：本发明中主单元结构中的球壳振子由光刻胶SU8采用3-D Laser技术制成，为MEMS的加工提供了一种新的思路；球壳振子使用静电悬浮结构悬浮于主单元结构中心位置可以消除谐振时机械摩擦的影响,同时提高抗冲击能力。
同时，本发明为全对称结构，利用闭环力平衡控制电路，使其始终工作在零位平衡位置，因而可以同时检测三轴的角速度，大大减小器件的尺寸并降低成本和能量损耗，提高Q值。
另外，本发明静电悬浮控制系统的等效弹簧系数只与施加的静电力有关，因此灵敏度和带宽的调整都相当方便，易获得较高的检测精度和灵敏度。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明中X/Y/Z轴电极示意图；
图3为本发明中X/Y/Z轴电路框图；
图4为本发明的加工方法流程图；
图5为本发明的加工方法中步骤(5)的上层玻璃结构俯视图。
具体实施方式
下面对本发明技术方案进行详细说明，但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。
如图1和图2所示，本发明的一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层4和硅衬底3，玻璃层4包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底3包括上层硅衬底和下层硅衬底，并且分别设置于上层玻璃基底和下层玻璃基底的表面；主单元结构设置于玻璃层4的中心位置，包括球壳振子1和电极球壳21，球壳振子1呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置，电极球壳21均匀地包覆于球壳振子1的外周表层；以球壳振子1的球心为原点建立空间直角坐标系，电极球壳21上设置有环绕于球壳振子1的三个球面电极组件，三个球面电极组件分别沿X轴、Y轴和Z轴的轴向设置于相应的轴向平面内，每个球面电极组件均包括若干驱动电极22、驱动检测电极23、检测电极24和平衡电极25，各个驱动电极22、驱动检测电极23、检测电极24和平衡电极25均呈全对称分布，其中，轴向平面指分别以X轴、Y轴或Z轴为法线的平面。
其中，上层硅衬底和下层硅衬底的尺寸分别与上层玻璃基底和下层玻璃基底尺寸相同。上述球壳振子1采用静电悬浮的工作方式悬浮在主单元结构的中心位置，即电极球壳21位于上层玻璃基底和下层玻璃基底的中心区域，能够消除机械摩擦，并提高抗冲击能力。
每个轴向上有四个驱动电极22，包括两个主驱动电极和两个反馈驱动电极，主驱动电极位于所在轴向平面的0°主轴的正负半轴，反馈驱动电极位于所在轴向平面的﹢45°轴线上。
驱动检测电极23位于所在轴向平面的90°主轴的正负半轴，并且同一主轴上分别位于正负半轴的两个驱动检测电极23相互差分。
检测电极24位于所在轴向平面的﹣45°轴线上。
平衡电极25位于所在轴向平面的22.5°、67.5°、112.5°、157.5°、202.5°、247.5°、92.5°和337.5°轴线上。
上层玻璃基底和下层玻璃基底均呈正方形，且上层玻璃基底的长度小于下层玻璃基底的长度；电极球壳21上的信号引线从上层玻璃基底和下层玻璃基底的见何处引出，且与下层玻璃基底上的电极相连，以便于与外部电路相连。
球壳振子1的直径为800～1500μm，，球壳振子1的壁厚为0.6～1.2μm，例如其直径可以是1100-1300μm，壁厚为0.7-0.9μm，采用这样的结构设计，既能够保证其使用精度又不至于尺寸过大浪费成本。
球壳振子1表层沿其周向开设有方形齿槽，方形齿槽所处位置对应于相邻两个电极之间共15个，以便于在球壳振子1使用3D laser直写技术加工时，有助于球壳振子1腔体内部刻蚀掉的物质流出，同时，在加工后期通过对方形齿槽上质量的修正，可使得球壳振子1接近完美的轴对称。
为减少能耗损失增加Q值，球壳振子1通过在SU8光刻胶上镀金属膜制成，电极球壳21由硅硼酸玻璃吹制，硅衬底由单晶硅制成。
如图3所示，上述静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的具体工作原理是：
利用力平衡控制模式对陀螺进行控制，采用双点激励进行驱动。球壳振子1在X轴、Y轴和Z轴三个方向同时驱动时，将沿着3-D Lissajous轨迹进行振动，以此作为参考模态。
当在X轴的两个主驱动电极上施加极性相反的带直流偏置的交流电压后，根据电容式变间隙静电力产生原理，一个主驱动电极上将产生吸力，另一个主驱动电极将产生斥力，在静电力的作用下，将推动球壳振子1沿X轴向X＝0处移动，当球壳振子1到达X＝0处后，由于这两个主驱动电极的静电力大小相等，极性相反，因此球壳振子1将保持在X＝0位置。
当在Y轴的两个主驱动电极上施加极性相反的带直流偏置的交流电压后，将推动球壳振子1沿Y轴向Y＝0处移动，当球壳振子1到达Y＝0处后，由于这两个电极的静电力大小相等，极性相反，因此球壳振子1将保持在Y＝0位置。
当在Z轴的两个主驱动电极上施加极性相反的带直流偏置的交流电压后，将推动球壳振子1沿Z轴向Z＝0处移动，当球壳到达Z＝0处后，由于这两个电极的静电力大小相等，极性相反，因此球壳振子1将保持在Z＝0位置。
当同时在X、Y、Z三个轴上的主驱动电极上施加驱动电压后，将激励球壳振子1向主单元结构的中心位置移动，并悬浮保持在其中心位置，这时球壳振子1将处于参考模态下；通过X轴、Y轴和Z轴的检测电极24驱动检测电极23将球壳振子1的振动信号提取出来，所提取的信号通过相位控制和幅值控制回路用作正反馈到各轴的驱动控制电路中，利用相位控制回路对球壳振子1的固有频率进行跟踪，使得球壳谐振子工作在谐振频率点上，幅值控制回路施加静电力使球壳振子1在恒定的振幅下振动，避免了由于外界环境的影响、球壳振子1振型的振幅自身衰减和其他因素的影响所造成幅值和谐振频率的改变，使得球壳振子1保持在稳定的振动状态。
当Z轴方向有角速度输入时，球壳振子1将受到科氏力的作用，球壳振子1相对于电极球壳21振动，振动轨迹将发生变化，此时检测电极24与电极球壳21之间的间隙发生变化，因此电容值发生变化，通过检测电极24将球壳振子1的振动信号提取出来，所提取的信号通过正交控制回路和速率控制回路反馈到平衡电极25和反馈驱动电极上。正交控制回路通过对平衡电极25上施加直流电压来改变球壳振子1在的振动频率，从而消除两个振型之间的频率裂解，保证两个振型的振动频率与相角一致，达到控制的目的。同时利用速率控制回路，在反馈驱动电极上施加驱动力，以抵消科氏力的影响，使得球壳振子1保持一种非进动状态，根据所施加的驱动力的大小输出Z轴角速度信息。
X轴和Y轴方向的角速度检测与Z轴方向的角速度检测原理相同。
本发明还公开了一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法，依次包括以下步骤：
(1)在硅衬底涂覆SU8光刻胶，然后采用3-D laser光刻技术进行光刻，制成球壳振子1；
(2)在球壳振子1的表面先溅射金属Cr，再溅射Au，形成金属膜；
(3)清洗两块单晶硅硅片并烘干，在第一块硅片上涂光刻胶，利用第一块掩膜板曝光，再用各向同性的刻蚀法刻蚀第二块硅片，然后在两个硅片中心区域各自形成半球型凹槽；
(4)采用硅-玻璃键合技术，在两块硅片上部键合硼硅酸玻璃；
(5)在两块玻璃上涂光刻胶，利用第二、三块掩膜板分别曝光，用腐蚀液刻蚀玻璃，得到所要设置电极和信号引线的凹槽；
(6)在两块硼硅酸盐玻璃基底上，先溅射金属Cr再溅射Au，形成电极和信号引线，去除光刻胶；
(7)采用微加工喷灯成型工艺吹制两块硅片的半球型凹槽上部的玻璃，形成两个半球电极球壳21；
(8)将制作好的球壳振子1装入一个半球电极球壳21中，采用键合技术将两块玻璃进行键合。
Claims (4)
1.一种静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法，其特征在于：
所述静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪，包括主单元结构、刻有信号引线的玻璃层和硅衬底，玻璃层包括依次上下叠放的上层玻璃基底和下层玻璃基底，硅衬底包括上层硅衬底和下层硅衬底，并且分别设置于上层玻璃基底和下层玻璃基底的表面；所述主单元结构设置于玻璃层的中心位置，包括球壳振子和电极球壳，球壳振子呈球体状悬浮于主单元结构的中心位置，电极球壳均匀地包覆于球壳振子的外周表层；以球壳振子的球心为原点建立空间直角坐标系，电极球壳上设置有环绕于球壳振子的三个球面电极组件，三个球面电极组件分别沿X轴、Y轴和Z轴的轴向设置于相应的轴向平面内，每个球面电极组件均包括若干驱动电极、驱动检测电极、检测电极和平衡电极，各个驱动电极、驱动检测电极、检测电极和平衡电极均呈全对称分布，其中，轴向平面指分别以X轴、Y轴或Z轴为法线的平面；
每个轴向上有四个驱动电极，包括两个主驱动电极和两个反馈驱动电极，主驱动电极位于所在轴向平面的0°主轴的正负半轴，反馈驱动电极位于所在轴向平面的﹢45°轴线上；驱动检测电极位于所在轴向平面的90°主轴的正负半轴，并且同一主轴上分别位于正负半轴的两个驱动检测电极相互差分；检测电极位于所在轴向平面的﹣45°轴线上；平衡电极位于所在轴向平面的22.5°、67.5°、112.5°、157.5°、202.5°、247.5°、92.5°和337.5°轴线上；
具体依次包括以下步骤：
(1)在硅衬底涂覆SU8光刻胶，然后采用3-D laser光刻技术进行光刻，制成球壳振子；
(2)在球壳振子的表面先溅射金属Cr，再溅射Au，形成金属膜；
(3)清洗两块单晶硅硅片并烘干，在第一块硅片上涂光刻胶，利用第一块掩膜板曝光，再用各向同性的刻蚀法刻蚀第二块硅片，然后在两个硅片中心区域各自形成半球型凹槽；
(4)采用硅-玻璃键合技术，在两块硅片上部键合硼硅酸玻璃；
(5)在两块玻璃上涂光刻胶，利用第二、三块掩膜板分别曝光，用腐蚀液刻蚀玻璃，得到所要设置电极和信号引线的凹槽；
(6)在两块硼硅酸盐玻璃基底上，先溅射金属Cr再溅射Au，形成电极和信号引线，去除光刻胶；
(7)采用微加工喷灯成型工艺吹制两块硅片的半球型凹槽上部的玻璃，形成两个半球电极球壳；
(8)将制作好的球壳振子装入一个半球电极球壳中，采用键合技术将两块玻璃进行键合。
2.根据权利要求1所述的静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法，其特征在于：所述上层玻璃基底和下层玻璃基底均呈正方形，且上层玻璃基底的长度小于下层玻璃基底的长度；所述电极球壳上的信号引线从上层玻璃基底和下层玻璃基底的键合 处引出，且与下层玻璃基底上的电极相连。
3.根据权利要求1所述的静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法，其特征在于：所述球壳振子的直径为800～1500μm，球壳振子的壁厚为0.6～1.2μm，并且所述球壳振子表层沿其周向开设有方形齿槽，所述方形齿槽所处位置对应于相邻两个电极之间共15个。
4.根据权利要求1所述的静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法，其特征在于：所述球壳振子通过在SU8光刻胶上镀金属膜制成，电极球壳由硅硼酸玻璃吹制，硅衬底由单晶硅制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510423409.9A CN105115486B (zh) | 2015-07-17 | 2015-07-17 | 静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510423409.9A CN105115486B (zh) | 2015-07-17 | 2015-07-17 | 静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105115486A CN105115486A (zh) | 2015-12-02 |
| CN105115486B true CN105115486B (zh) | 2018-03-20 |
Family
ID=54663531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510423409.9A Active CN105115486B (zh) | 2015-07-17 | 2015-07-17 | 静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105115486B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106248068B (zh) * | 2016-08-04 | 2020-05-08 | 上海交通大学 | 相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法 |
| CN106569154B (zh) * | 2016-11-15 | 2019-02-19 | 上海交通大学 | 一种三轴磁通门传感器 |
| CN107830870B (zh) * | 2017-09-30 | 2020-09-01 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 一种高精度陀螺仪静电支承电极分配测试方法 |
| CN108489476B (zh) * | 2018-02-11 | 2021-07-09 | 东南大学 | 一种基于声光耦合效应的光声波陀螺仪及其加工方法 |
| CN116499444B (zh) * | 2023-06-20 | 2023-09-05 | 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所 | 一种基于振型主动进动的半球谐振陀螺模态切换方法 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3847026A (en) * | 1970-11-12 | 1974-11-12 | Rockwell International Corp | Cross product pickoff for ball gyros of the electrostatic levitation type |
| JP2000310649A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Tokimec Inc | 球形センサ型計測装置 |
| CN101279713A (zh) * | 2008-03-31 | 2008-10-08 | 清华大学 | 一种制备悬浮式微硅静电陀螺/加速度计敏感结构的方法 |
| CN101968360A (zh) * | 2010-07-05 | 2011-02-09 | 北京信息科技大学 | 一种钟形振子式角速率陀螺的电路系统 |
| CN102175235A (zh) * | 2011-01-21 | 2011-09-07 | 南京航空航天大学 | 球形压电定子式陀螺仪 |
| CN102278983A (zh) * | 2011-07-22 | 2011-12-14 | 上海交通大学 | 具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法 |
| CN104197921A (zh) * | 2014-08-08 | 2014-12-10 | 上海交通大学 | 一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法 |
| CN104197917A (zh) * | 2014-08-08 | 2014-12-10 | 上海交通大学 | 一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 |
| CN204359318U (zh) * | 2014-12-18 | 2015-05-27 | 重庆富鑫玻璃有限公司 | 静电轴承陀螺仪 |
-
2015
- 2015-07-17 CN CN201510423409.9A patent/CN105115486B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3847026A (en) * | 1970-11-12 | 1974-11-12 | Rockwell International Corp | Cross product pickoff for ball gyros of the electrostatic levitation type |
| JP2000310649A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Tokimec Inc | 球形センサ型計測装置 |
| CN101279713A (zh) * | 2008-03-31 | 2008-10-08 | 清华大学 | 一种制备悬浮式微硅静电陀螺/加速度计敏感结构的方法 |
| CN101968360A (zh) * | 2010-07-05 | 2011-02-09 | 北京信息科技大学 | 一种钟形振子式角速率陀螺的电路系统 |
| CN102175235A (zh) * | 2011-01-21 | 2011-09-07 | 南京航空航天大学 | 球形压电定子式陀螺仪 |
| CN102278983A (zh) * | 2011-07-22 | 2011-12-14 | 上海交通大学 | 具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法 |
| CN104197921A (zh) * | 2014-08-08 | 2014-12-10 | 上海交通大学 | 一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法 |
| CN104197917A (zh) * | 2014-08-08 | 2014-12-10 | 上海交通大学 | 一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 |
| CN204359318U (zh) * | 2014-12-18 | 2015-05-27 | 重庆富鑫玻璃有限公司 | 静电轴承陀螺仪 |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| 四模态匹配三轴硅微陀螺仪;夏敦柱等;《光学 精密工程》;20130930;第21卷(第9期);2326-2332 * |
| 基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术;韩丰田等;《中国惯性技术学报》;20080630;第16卷(第3期);339-342,347 * |
| 微型半球陀螺非轴对称结构的电刚度补偿方法研究;嵇海平等;《传感器与微系统》;20061231;第25卷(第9期);第46页第2栏第11-15行，第47页第1栏第1-8行 * |
| 超声悬浮式球转子陀螺的动力学设计与试验研究;李繁;《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技II辑》;20130215(第2期);1-82 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105115486A (zh) | 2015-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105115486B (zh) | 静电悬浮三轴球壳谐振微陀螺仪的加工方法 | |
| CN102297690B (zh) | 压电驱动电容检测的双轴陀螺仪 | |
| EP1619471A1 (en) | MEMS gyroscope having coupling springs | |
| CN102353371B (zh) | 静电驱动电容检测三轴微陀螺仪 | |
| CN101666646B (zh) | 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法 | |
| CN105004334B (zh) | 面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法 | |
| CN110631568B (zh) | 一种基于二维光子晶体腔体结构的新型moems双轴陀螺仪及其加工方法 | |
| CN104197909B (zh) | 一种双半球结构微型谐振陀螺仪及其制备方法 | |
| CN103344227B (zh) | 静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法 | |
| CN105698780B (zh) | 微壳体振动陀螺及其制备方法 | |
| CN101261126B (zh) | 微固体模态陀螺 | |
| CN102305627A (zh) | 具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪 | |
| CN104457725B (zh) | 高灵敏度体声波硅微陀螺仪 | |
| CN103363970A (zh) | 电磁驱动电磁检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法 | |
| CN104197910A (zh) | 基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 | |
| CN103322996A (zh) | 电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法 | |
| CN104807452A (zh) | 蜂窝式mems谐振硅微陀螺仪及其加工方法 | |
| CN104197920B (zh) | 上下贯通支撑的半球谐振微陀螺 | |
| CN104897146A (zh) | 面外压电式半球形微陀螺仪及其制备方法 | |
| CN102278983B (zh) | 具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法 | |
| CN103344230A (zh) | 静电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法 | |
| CN102353370B (zh) | 压电驱动电容检测微固体模态陀螺 | |
| CN103322995A (zh) | 压电驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法 | |
| CN104197919B (zh) | 上下贯通支撑的玻璃金属半球谐振微陀螺 | |
| CN111780737B (zh) | 一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |