CN104833461A - 一种应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置 - Google Patents
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Abstract
一种应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置，主要解决现有技术不能快速准确查找泄露源头的问题。该装置包括安装壳体、管路接头、压块、漏液感知传感器及安装壳体上盖等。所述安装壳体内通过压块固定漏液感知传感器；上述压块通过漏液感知传感器压块螺钉固定在安装壳体上。所述漏液感知传感器用于检测安装壳体内管路接头的泄露及提供报警信息。安装壳体上盖与安装壳体通过接头安装壳体螺钉紧固在管路上，并由螺钉进行紧固。本发明安装壳体及安装壳体上盖采用钣金结构，体积小，重量轻，适用性好，能快速准确查找泄露源头以便快速的进行设备恢复，最大限度地减小因设备停机带来的经济损失及因泄露带来的人员危害。可广泛应用于半导体薄膜沉积技术领域。
Description
技术领域
本发明涉及一种应用于半导体设备的漏液报警装置，确切地说是一种应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置，属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。
背景技术
半导体设备在沉积反应时往往需要使反应腔体或相关元件达到一定的使用温度，以维持整个半导体设备的正常运行。有时会使用温度较低的冷却水进行相关器件的降温，或是使用具有一定温度的液体来实现对相关器件的升温或温度维持。半导体设备无论其所生产的产品及设备本身都包括许多的电子器件，液体输送管路一旦泄露将会污染洁净间环境，如出现因漏液造成的异常导通现象，严重损害半导体设备及产品，更严重的将危害工作人员的安全。虽然液体的泄露有时是难以避免的，但应尽可能的将漏液的危害缩减到最小则是人们所关注的问题。
现有的半导体设备往往只是从提高管路的耐压及强度方面，或是关键元器件的放水等级方面作为提高设备整体对漏液的抵抗能力。但仅仅依靠这些防护措施是不够的，还需要在源头进行检测及防护，以便及时的处理漏液事件，以减小对设备及人员的损害。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的，主要解决现有的半导体设备中普遍存在的仅仅依靠加强管路强度或元器件防水等级的被动的防漏液方式存在的不能快速准确查找泄露源头，以便第一时间解决漏液的现象。事实上仅仅依靠管路的强度是不可靠的，即便管路的强度是可以保证的，但管路的接头处往往是整个液体输送系统的最薄弱环节，因为接头处经常需要拆卸、安装等操作，或是长时间的使用后造成的密封原件失效等原因，大部分的设备液体泄漏现象都是出现在管路的接头部分。本发明提供了一种更直接的漏液检测报警装置，使用沿液体输送管路布置的漏液检知触感器及与相应的管路接头相配合的分体式传感器安装模块，可以在有微小漏液情况发生时第一时间检测漏液现象，并向系统提供反馈信号以便及时切断液体输送及处理漏液故障。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：一种应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置，该装置是沿液体输送管路的接头处安装一种分体式的漏液报警结构元件，元件内部安装漏液感知传感器，即使在只有不易察觉的微小泄露现象发生时，液滴会最先滴落在传感器上，使得漏液信号转换为电信号反馈给设备主机，以便第一时间提供报警信息，并同时执行切断液体输送管路，设备断电等预定义操作，以避免即将发生的漏液产生更严重的后果。根据管路上不同位置的接头定义不同的信号位置，可以更快速的反馈给维护人员漏液存在的位置，缩短查找漏点所需时间，更快速的进行设备的恢复，以争取减小因设备停机带来的经济损失及因泄露带来的人员危害。
该报警装置包括：安装壳体、管路接头、漏液感知传感器压块、硬管管路、漏液感知传感器压块螺钉、漏液感知传感器、安装壳体上盖及接头安装壳体螺钉。所述安装壳体内通过漏液感知传感器压块固定漏液感知传感器；上述漏液感知传感器压块通过漏液感知传感器压块螺钉固定在安装壳体上。所述漏液感知传感器用于检测安装壳体内管路接头的泄露及提供报警信息。安装壳体上盖与安装壳体通过接头安装壳体螺钉紧固在管路上，并由螺钉进行紧固。
本发明的有益效果及特点：结构简单、适用性好，缩短查找漏点所需时间，能快速准确查找泄露源头以便快速的进行设备恢复，最大限度地减小因设备停机带来的经济损失及因泄露带来的人员危害。接头安装壳体及接头安装壳体上盖采用钣金结构，体积小，重量轻，外形整体美观，不会对管路带来损伤。并能根据不同种类的接通形式配合加工多种通用型接头壳体结构，已适用三通、直通或弯头形式以及卡套连接、宝塔连接、螺纹连接等不同连接形式的管路接头。可广泛应用于半导体薄膜沉积技术领域。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是图1的俯视纵向剖面图。
图3是本发明的使用状态示意图。
图中零件标号分别代表:
1、直通接头安装壳体；2、直通管路接头；3、漏液感知传感器压块；4、硬管管路；5、漏液感知传感器压块螺钉；6、漏液感知传感器；7、直通接头安装壳体上盖；8、接头安装壳体螺钉；9、螺母；10、卡套/NPT转换弯头安装壳体；11、卡套/NPT转换弯头；12、卡套三通接头安装壳体；13、卡套三通接头；14、卡套弯头安装壳体；15、卡套弯头；16、宝塔接头安装壳体；17、宝塔接头；18、软管管路；19、卡套/NPT转换直通接头安装壳体；20、卡套/NPT转换直通接头。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
具体实施方式
实施例
如图1和图2所示，一种应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置，该装置主要包括：直通接头安装壳体1、直通管路接头2、漏液感知传感器压块3、硬管管路4、漏液感知传感器压块螺钉5、漏液感知传感器6及直通接头安装壳体上盖7。所述直通接头安装壳体1内通过漏液感知传感器压块3固定漏液感知传感器6；上述漏液感知传感器压块3通过漏液感知传感器压块螺钉5固定在直通接头安装壳体1上。所述漏液感知传感器6用于检测直通接头安装壳体1内直通管路接头2的泄露及提供报警信息。直通接头安装壳体上盖7与直通接头安装壳体1通过接头安装壳体螺钉8紧固在管路4上，并由螺钉9进行紧固。
如图3所示，工作时，沿整个液体输送管路，根据不同的接头形式安装不同的安装壳体，如卡套/NPT转换弯头11上安装卡套/NPT转换弯头安装壳体10；卡套三通接头13上安装卡套三通接头安装壳体12；卡套弯头15上安装卡套弯头安装壳体14；宝塔接头17上安装宝塔接头安装壳体16；卡套/NPT转换直通接头20上安装卡套/NPT转换直通接头安装壳体19，以适用于整个液体输送管路中不同管路硬管管路4或软管管路18及不同的连接头形式(NPT螺纹连接、卡套连接、宝塔接头连接等)。并在其内部通过漏液感知传感器压块3固定漏液感知传感器6，当整个管路上发生液体泄漏现象时，漏液感知传感器6会第一时间与泄漏液体相接处，即使在只有不易察觉的微小泄露现象发生时，液滴会最先低落在传感器上，使得漏液信号转换为电信号反馈给设备主机，以便第一时间提供报警信息，并同时执行切断液体输送管路，设备断电等预定义操作，以避免即将发生的漏液产生更严重的后果。根据管路上不同位置的接头定义不同的信号位置，可以更快速的反馈给维护人员漏液存在的位置，缩短查找漏点所需时间，更快速的进行设备的恢复，以争取减小因设备停机带来的经济损失及因泄露带来的人员危害。
本发明可与多种类不同形式的接头配套使用，上述的安装壳体可选择其中的一种或几种。
上述卡套/NPT转换，是指接头的一端为卡套连接方式，另一端为NPT螺纹连接方式，是因为不同的元器件厂商制造的接头形式可能不同，在一个流体输送系统中需要转换成统一标准。
上述漏液感知传感器6采用欧姆龙品牌，型号为F03—16PE的产品。
Claims (2)
1.一种应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置，其特征在于：它包括安装壳体、管路接头、漏液感知传感器压块、硬管管路、漏液感知传感器压块螺钉、漏液感知传感器、安装壳体上盖及安装壳体螺钉，所述安装壳体内通过漏液感知传感器压块固定漏液感知传感器；上述漏液感知传感器压块通过漏液感知传感器压块螺钉固定在安装壳体上；所述漏液感知传感器用于检测安装壳体内管路接头的泄露及提供报警信息，安装壳体上盖与安装壳体通过安装壳体螺钉紧固在管路上，并由螺钉进行紧固。
2.如权利要求1所述的应用于半导体设备的钣金形式漏液报警装置，其特征在于：所述的安装壳体选择直通接头安装壳体、卡套/NPT转换弯头安装壳体、卡套三通接头安装壳体、卡套弯头安装壳体、宝塔接头安装壳体或卡套/NPT转换直通接头安装壳体中的一种或几种。
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