CN104741794A - 基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 - Google Patents
基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104741794A CN104741794A CN201510145090.8A CN201510145090A CN104741794A CN 104741794 A CN104741794 A CN 104741794A CN 201510145090 A CN201510145090 A CN 201510145090A CN 104741794 A CN104741794 A CN 104741794A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- work pieces
- curved surface
- lines
- reconstructed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明提供了一种基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法，包括：采用逆向工程方法测量建模待加工自由曲面工件外形，并基于重构曲面模型进行表面阵列微结构的设计图形布局；之后对设计图形进行激光刻蚀加工路径规划，根据加工路径所在的切平面、几何中心点以及对应外法矢量，调整激光加工头相对自由曲面工件的空间方位，使激光束沿法向方向射向自由曲面工件，逐条进行几何线条的激光刻蚀加工。本发明可以有效保证光束焦点在加工过程中始终位于自由曲面工件表面或有一定的离焦量，是一种全新的“准确聚焦”激光加工方法，完全消除了表面阵列微结构图形的布局与加工误差，确保了激光刻蚀加工工艺质量的精确性和稳定性。
Description
技术领域
本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法。
背景技术
在机械工业和电子工业领域，经常需要在已经成型的自由曲面工件表面上再制备出阵列微结构。微结构是指面形精度达亚微米级，表面粗糙度达纳米级的，具有特定功能的微小表面拓扑形状。微结构最主要的特征是其结构的功能性，如微结构表面光学元件的表面结构决定了对光线的反射，透射或衍射性能，便于光学设计者优化光学系统，减轻重量，缩小体积。另一特征是它们一般都有大的深宽比，这与传统的表面参数及统计特性不同。
由于曲面工件外形的不规则性、非回转性和不可展性等特点，一般很难用数学方程精确地描述，通常采用一系列离散型值点，即离散点云模型进行描述。其中，点云数据可以通过曲面工件的逆向工程技术获得。逆向工程技术是一种能根据现有的物理部件通过CAD、CAM、CAE或其他软件构筑3D虚拟模型的方法。逆向工程的过程采用了通过丈量实际物体的尺寸并将其制作成3D模型的方法，真实的对象可以通过如CMMs，激光扫描仪，结构光源转换仪或者X射线断层成像这些3D扫描技术进行尺寸测量。曲面重构技术是逆向工程中的关键技术，根据所采用的曲面表达方式，曲面重构的方法主要有：(1)函数曲面方法；(2)隐函数方法；(3)多边形模型法；(4)三角Bézier方法；(5)细分曲面方法；(6)B样条以及NURBS方法等。
激光刻蚀加工在激光加工中属于激光去除类，也可以称之为蒸发加工，是基于激光与被加工材料相互作用引起物态变化形成的热物理效应，以及各种能量变化产生的综合结果。影响加工质量的主要因素取决于激光的波长、激光功率密度、光束质量、聚焦状态和被加工材料本身的物理特性等参数。激光束初始经过聚焦透镜后照射在处于焦平面的工件上，使被加工材料表面的温度迅速上升。当温度上升到接近于材料的蒸发温度时，激光对材料的去除加工开始进行。此时固态金属发生强烈的相变，最先金属开始融化，之后一部分开始汽化。随着温度不断上升，金属蒸汽携带着液相物质以极高的速度从液相底部猛烈的喷溅出来，从而将底部新的表面暴露在激光束照射之下，从而持续产生熔化、蒸发与喷溅。通过这种不断的照射、熔化-蒸发、喷溅、照射，直至达到要求的激光刻蚀深度或穿透整个工件材料。与此同时，激光束按照设定的速度和路径移动，可以获得要求的激光刻蚀加工结构。
现有技术中，针对曲面工件外形的表面阵列微结构的加工一般有两种方法。第一种方法是先基于理论工件模型进行离线虚拟设计再对实际工件进行在线加工，但是由于任何自由曲面工件在其自由曲面外形的加工过程中都有加工公差，因此这种方法没有考虑工件实际外形尺寸与理论工件模型的误差，加工误差较大。第二种方法是先基于表面阵列微结构图形进行离线虚拟布局和设计，再对实际工件进行在线加工，但是由于刀具的方位误差和磨损误差或激光束的投影拼接误差的存在，使得微结构图形布局与加工均存在较大的偏差。
发明内容
本发明针对上述现有技术的不足，提供了一种加工误差小、精确性好和稳定性高的基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法。
本发明是通过如下技术方案实现的：
一种基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法，包括如下步骤：
(1)固定装夹和定位自由曲面工件；基于空间XYZ直角坐标系，采用逆向工程方法测量自由曲面工件表面的外形尺寸，获得自由曲面工件表面的重构模型，即重构曲面；
(2)在重构曲面上，取初始点P0(x0，y0，z0)、P1(x1，y1，z1)、P2(x2，y2，z2)，使得P0、P1、P2三点中任意两点的距离等于阵列微结构的周期性单元间距D，将P0、P1、P2构成的曲面等边三角形T0的三条边L0、L1、L2都标记为“未扩展”；
(3)在重构曲面上，对任意一条标记为“未扩展”的边Lj，都向外扩展一个曲面等边三角形Tj；若向外扩展成功，则将Tj的三条边标记为“未扩展”，将Lj标记为“已扩展”；若Lj无法向外扩展，则仅仅将Lj标记为“已扩展”；
其中，向外扩展的含义为：根据边的两个端点，在重构曲面上取第三点，使得满足第三点与两个端点之间的距离等于周期性单元间距D，并且第三点不在任何已扩展得到的等边三角形的内部；
无法向外扩展的含义为：根据边的两个端点，在重构曲面上无法取到第三点，使得满足第三点与两个端点之间的距离等于周期性单元间距D，并且第三点不在任何已扩展得到的等边三角形的内部；
(4)反复执行步骤(3)，直至不存在标记为“未扩展”的边；
(5)对步骤(2)至(4)获得的所有曲面等边三角形，记录其所有不重复的曲面等边三角形顶点坐标Pi，并计算求得Pi所在重构曲面位置的切平面Ki和外法矢量Vi：其中i＝0～n，n为大于3的整数；
(6)在重构曲面所在的空间XYZ直角坐标系中，任意选择一个空间基准向量；
(7)在所有切平面Ki或者与切平面Ki平行的平面上，以其对应的Pi点为几何中心点，对应排布一个单元微结构的设计图形Gi，并且满足所有切平面上的设计图形的同一条对应特征边线与空间基准向量在Ki上的投影线之间的夹角均为固定值；
(8)对步骤(7)获得的所有的设计图形Gi进行激光刻蚀加工路径规划，获得对应的激光刻蚀加工路径集合Ri，Ri由若干条位于切平面Ki上的几何线条构成；
(9)对所有激光刻蚀加工路径集合Ri，根据其所在的切平面Ki、几何中心点Pi以及对应外法矢量Vi，将Ri中的所有激光刻蚀加工路径沿着Vi方向向重构曲面上进行平行投影，获得重构曲面上的激光刻蚀加工路径集合Ri’，并且计算Ri中的每一条几何线条的起点和终点与Ri’中对应的几何线条的起点和终点的空间距离ds、dt；
(10)对所有激光刻蚀加工路径集合Ri，根据其所在的切平面Ki、几何中心点Pi以及对应外法矢量Vi，调整激光加工头相对自由曲面工件的空间方位，使激光束沿Vi方向射向自由曲面工件；
(11)在Ri中选择任意一条未加工过的几何线条，平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过该几何线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或有离焦量；
(12)打开激光；
(13)平移激光加工头，使光束焦点以一定的扫描速度沿着该几何线条的轨迹由起点向终点平移行进，行进过程中同时使得聚焦物镜与自由曲面工件沿Vi方向的距离均匀的调整dt-ds大小；到达终点后，标记该几何线条为已加工过；
(14)在Ri中任意选择一条未加工过的几何线条作为下一条加工线条，若不存在下一条加工线条，则表明Ri中所有的几何线条均被加工过，转入步骤(17)；若存在下一条加工线条，则判断下一条加工线条是否与步骤(13)中已加工过的几何线条首尾衔接，若是，则转入步骤(16)；否则进入步骤(15)；
(15)关闭激光；平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过下一条加工线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或有离焦量；返回步骤(12)；
(16)平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过下一条加工线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或有离焦量；返回步骤(13)；
(17)结束。
本发明具有如下有益效果：
1、本发明采用逆向工程方法测量建模待加工自由曲面工件外形，并基于重构曲面模型进行表面阵列微结构的设计图形布局，在线测量、设计与加工在同一坐标系下进行，相比传统方法完全消除了工件实际外形尺寸与理论工件模型的误差问题，并且阵列微结构的设计图形采用了平行投影方式，与激光加工的光束平移完全一致(激光束平移加工本质就是光线平行投影)，从而也完全消除了表面阵列微结构图形的布局与加工误差。
2、本发明的表面阵列微结构图形的布局与设计，计算量与自由曲面的曲率分布与变化无关，兼容各种类型的自由曲面，计算规模稳定且保持收敛，布局效率高；
3、本发明的表面阵列微结构图形布局方法，可以保证周期性阵列图形的单元间距一定，满足所有切平面上的设计图形的同一条对应特征边线与空间基准向量在Ki上的投影线之间的夹角均为固定值α，从而保证所有的阵列微结构的空间朝向尽可能整齐，若周期性阵列微结构的功能为频率选择表面，则该空间基准向量与入射电磁波的方向一致，十分精确、灵活和便于调整；
4、本发明的表面阵列微结构的激光刻蚀加工方法，可以有效保证光束焦点在加工过程中始终位于自由曲面工件表面或根据工艺需要有一定的离焦量，相比目前现有在自由曲面工件表面上的各种“近似聚焦”的激光加工方法，是一种全新的“准确聚焦”激光加工方法，确保了激光刻蚀加工工艺质量的精确性和稳定性。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明做进一步详细的说明。
本发明提供了一种基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法，采用该方法可以在给定某个具有光滑表面的自由曲面工件表面排布和制备周期性阵列微结构；其中，构成周期性阵列微结构的单元微结构之间的周期性单元间距为D；周期性单元间距的定义为任意两个单元微结构的各自几何中心点之间的沿曲面弧长或空间直线距离(二者任取其一，一旦取定之后在整个方法中都保持一致)。
上述基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法具体包括如下步骤：
(1)固定装夹和定位自由曲面工件；基于空间XYZ直角坐标系，采用逆向工程方法测量自由曲面工件表面的外形尺寸，获得自由曲面工件表面的重构模型，以下将自由曲面工件表面的重构模型简称为重构曲面，显然此处重构曲面是自由曲面工件表面的近似拟合模型，其近似程度可以由逆向工程方法的测量精度和拟合精度共同控制；
(2)在重构曲面上，取初始点P0(x0，y0，z0)、P1(x1，y1，z1)、P2(x2，y2，z2)，使得P0、P1、P2三点中任意两点的距离(沿曲面弧长或空间直线距离取其一，要求与周期性单元间距D的定义相同)等于周期性单元间距D，显然P0、P1、P2构成曲面等边三角形T0(边长定义与周期性单元间距D的定义相同)，将T0的三条边L0、L1、L2都标记为“未扩展”；
(3)在重构曲面上，对任意一条标记为“未扩展”的边Lj，都向外扩展一个曲面等边三角形Tj；若向外扩展成功，则将Tj的三条边标记为“未扩展”，将Lj标记为“已扩展”；若Lj无法向外扩展，则仅仅将Lj标记为“已扩展”；
其中，向外扩展的含义为：根据边的两个端点，在重构曲面上取第三点，使得满足第三点与两个端点之间的距离等于周期性单元间距D，并且第三点不在任何已扩展得到的等边三角形的内部。
无法向外扩展的含义为：根据边的两个端点，在重构曲面上无法取到(即不存在)第三点，使得满足第三点与两个端点之间的距离等于周期性单元间距D，并且第三点不在任何已扩展得到的等边三角形的内部。
(4)反复执行步骤(3)，直至不存在标记为“未扩展”的边；
(5)对步骤(2)至(4)获得的所有曲面等边三角形，记录其所有不重复的曲面等边三角形顶点坐标Pi(i＝0～n，n为大于3的整数)，并计算求得Pi所在重构曲面位置的切平面Ki和外法矢量Vi(即Ki与Vi垂直)；
(6)在重构曲面所在的空间XYZ直角坐标系中，任意选择一个空间基准向量(若周期性阵列微结构的功能为频率选择表面，则该空间基准向量与入射电磁波的方向一致)；
(7)在所有切平面Ki(i＝0～n，n为大于3的整数)或者与切平面Ki平行的平面上，以其对应的Pi点为几何中心点，对应排布一个单元微结构的设计图形Gi(i＝0～n，n为大于3的整数)，并且满足所有切平面上的设计图形的同一条对应特征边线(所述特征边线是指构成设计图形Gi的任一线段)与空间基准向量在Ki上的投影线之间的夹角均为固定值(即限定设计图形绕Pi点的旋转方位角，保证所有的阵列微结构的空间朝向尽可能整齐)；
(8)对步骤(7)获得的所有的设计图形Gi(i＝0～n，n为大于3的整数)进行激光刻蚀加工路径规划，获得对应的激光刻蚀加工路径集合Ri(i＝0～n，n为大于3的整数)，Ri由若干条位于切平面Ki上的几何线条构成，该几何线条可以为直线，也可以为曲线。
其中，激光刻蚀加工路径规划定义为：根据激光束聚焦光斑外形尺寸和功率密度(组合起来决定了单次扫描的刻蚀线宽和刻蚀深度)，确定激光束聚焦光斑的图形轮廓线和内部填充线的扫描路径，显然此处扫描路径为对应切平面Ki上的几何线条。
(9)对所有激光刻蚀加工路径集合Ri(i＝0～n，n为大于3的整数)，根据其所在的切平面Ki、几何中心点Pi以及对应外法矢量Vi，将Ri中的所有激光刻蚀加工路径沿着Vi方向向重构曲面上进行平行投影，获得重构曲面上的激光刻蚀加工路径集合Ri’(i＝0～n，n为大于3的整数)，并且计算Ri中的每一条几何线条的起点和终点与Ri’中对应的几何线条的起点和终点的空间距离ds、dt(其中，起点与起点的空间距离标记为ds、终点与终点的空间距离标记为dt)；
(10)对所有激光刻蚀加工路径集合Ri(i＝0～n，n为大于3的整数)，根据其所在的切平面Ki、几何中心点Pi以及对应外法矢量Vi，调整激光加工头相对自由曲面工件的空间方位，使激光束沿Vi方向射向自由曲面工件，即使得激光加工头的聚焦物镜出射的聚焦激光束光轴与Vi平行；
(11)在Ri中选择任意一条未加工过的几何线条，平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过该几何线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或根据工艺需要有一定的离焦量；
(12)打开激光；
(13)平移激光加工头，使光束焦点以一定的扫描速度沿着该几何线条的轨迹由起点向终点平移行进，行进过程中同时使得聚焦物镜与自由曲面工件沿Vi方向的距离均匀的调整dt-ds大小，即保证光束焦点在行进过程中始终位于自由曲面工件表面或根据工艺需要有一定的离焦量；到达终点后，标记该几何线条为已加工过；
(14)在Ri中任意选择一条未加工过的几何线条作为下一条加工线条，若不存在下一条加工线条，则表明Ri中所有的几何线条均被加工过，转入步骤(17)；若存在下一条加工线条，则判断下一条加工线条是否与步骤(13)中已加工过的几何线条首尾衔接，若是，则转入步骤(16)；否则进入步骤(15)；
(15)关闭激光；平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过下一条加工线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或根据工艺需要有一定的离焦量；返回步骤(12)；
(16)平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过下一条加工线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或根据工艺需要有一定的离焦量；返回步骤(13)；
(17)结束。
本发明可改变为多种方式对本领域的技术人员是显而易见的，这样的改变不认为脱离本发明的范围。所有这样的对所述领域的技术人员显而易见的修改，将包括在本权利要求的范围之内。
Claims (1)
1.一种基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)固定装夹和定位自由曲面工件；基于空间XYZ直角坐标系，采用逆向工程方法测量自由曲面工件表面的外形尺寸，获得自由曲面工件表面的重构模型，即重构曲面；
(2)在重构曲面上，取初始点P0(x0，y0，z0)、P1(x1，y1，z1)、P2(x2，y2，z2)，使得P0、P1、P2三点中任意两点的距离等于阵列微结构的周期性单元间距D，将P0、P1、P2构成的曲面等边三角形T0的三条边L0、L1、L2都标记为“未扩展”；
(3)在重构曲面上，对任意一条标记为“未扩展”的边Lj，都向外扩展一个曲面等边三角形Tj；若向外扩展成功，则将Tj的三条边标记为“未扩展”，将Lj标记为“已扩展”；若Lj无法向外扩展，则仅仅将Lj标记为“已扩展”；
其中，向外扩展的含义为：根据边的两个端点，在重构曲面上取第三点，使得满足第三点与两个端点之间的距离等于周期性单元间距D，并且第三点不在任何已扩展得到的等边三角形的内部；
无法向外扩展的含义为：根据边的两个端点，在重构曲面上无法取到第三点，使得满足第三点与两个端点之间的距离等于周期性单元间距D，并且第三点不在任何已扩展得到的等边三角形的内部；
(4)反复执行步骤(3)，直至不存在标记为“未扩展”的边；
(5)对步骤(2)至(4)获得的所有曲面等边三角形，记录其所有不重复的曲面等边三角形顶点坐标Pi，并计算求得Pi所在重构曲面位置的切平面Ki和外法矢量Vi；其中i＝0～n，n为大于3的整数；
(6)在重构曲面所在的空间XYZ直角坐标系中，任意选择一个空间基准向量；
(7)在所有切平面Ki或者与切平面Ki平行的平面上，以其对应的Pi点为几何中心点，对应排布一个单元微结构的设计图形Gi，并且满足所有切平面上的设计图形的同一条对应特征边线与空间基准向量在Ki上的投影线之间的夹角均为固定值；
(8)对步骤(7)获得的所有的设计图形Gi进行激光刻蚀加工路径规划，获得对应的激光刻蚀加工路径集合Ri，Ri由若干条位于切平面Ki上的几何线条构成；
(9)对所有激光刻蚀加工路径集合Ri，根据其所在的切平面Ki、几何中心点Pi以及对应外法矢量Vi，将Ri中的所有激光刻蚀加工路径沿着Vi方向向重构曲面上进行平行投影，获得重构曲面上的激光刻蚀加工路径集合Ri’，并且计算Ri中的每一条几何线条的起点和终点与Ri’中对应的几何线条的起点和终点的空间距离ds、dt；
(10)对所有激光刻蚀加工路径集合Ri，根据其所在的切平面Ki、几何中心点Pi以及对应外法矢量Vi，调整激光加工头相对自由曲面工件的空间方位，使激光束沿Vi方向射向自由曲面工件；
(11)在Ri中选择任意一条未加工过的几何线条，平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过该几何线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或有离焦量；
(12)打开激光；
(13)平移激光加工头，使光束焦点以一定的扫描速度沿着该几何线条的轨迹由起点向终点平移行进，行进过程中同时使得聚焦物镜与自由曲面工件沿Vi方向的距离均匀的调整dt-ds大小；到达终点后，标记该几何线条为已加工过；
(14)在Ri中任意选择一条未加工过的几何线条作为下一条加工线条，若不存在下一条加工线条，则表明Ri中所有的几何线条均被加工过，转入步骤(17)；若存在下一条加工线条，则判断下一条加工线条是否与步骤(13)中已加工过的几何线条首尾衔接，若是，则转入步骤(16)；否则进入步骤(15)；
(15)关闭激光；平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过下一条加工线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或有离焦量；返回步骤(12)；
(16)平移激光加工头使得经过聚焦物镜出射的聚焦激光束穿过下一条加工线条的起点，并且光束焦点位于自由曲面工件表面或有离焦量；返回步骤(13)；
(17)结束。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510145090.8A CN104741794B (zh) | 2015-03-21 | 2015-03-21 | 基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510145090.8A CN104741794B (zh) | 2015-03-21 | 2015-03-21 | 基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104741794A true CN104741794A (zh) | 2015-07-01 |
| CN104741794B CN104741794B (zh) | 2016-05-25 |
Family
ID=53582357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510145090.8A Active CN104741794B (zh) | 2015-03-21 | 2015-03-21 | 基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104741794B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108108052A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-01 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 激光拼接图案结构及其蚀刻布线方法 |
| CN108838551A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-11-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种三维曲面激光刻蚀方法 |
| CN111830605A (zh) * | 2019-04-18 | 2020-10-27 | 上旸光学股份有限公司 | 具有激光诱发周期表面微结构的光学镜片 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61249694A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-06 | Toshiba Corp | レ−ザ加工装置 |
| US6663817B1 (en) * | 1999-03-26 | 2003-12-16 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Method for manufacture of sliders |
| CN101786200A (zh) * | 2010-02-26 | 2010-07-28 | 华中科技大学 | 一种自由曲面上的投影式激光刻蚀方法 |
| CN102151984A (zh) * | 2011-03-01 | 2011-08-17 | 华中科技大学 | 一种适用于复杂曲面的激光加工方法及装置 |
| CN102166685A (zh) * | 2011-04-27 | 2011-08-31 | 华中科技大学 | 一种三坐标振镜扫描式激光加工头 |
-
2015
- 2015-03-21 CN CN201510145090.8A patent/CN104741794B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61249694A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-06 | Toshiba Corp | レ−ザ加工装置 |
| US6663817B1 (en) * | 1999-03-26 | 2003-12-16 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Method for manufacture of sliders |
| CN101786200A (zh) * | 2010-02-26 | 2010-07-28 | 华中科技大学 | 一种自由曲面上的投影式激光刻蚀方法 |
| CN102151984A (zh) * | 2011-03-01 | 2011-08-17 | 华中科技大学 | 一种适用于复杂曲面的激光加工方法及装置 |
| CN102166685A (zh) * | 2011-04-27 | 2011-08-31 | 华中科技大学 | 一种三坐标振镜扫描式激光加工头 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 孔荣宗等: ""激光刻蚀半球型铂电阻的定位研究"", 《激光技术》 * |
| 胡雪林，曹宇，李峰平: ""激光入射角对振镜扫描激光刻蚀质量的影响"", 《温州大学学报·自然科学版》 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108108052A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-06-01 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 激光拼接图案结构及其蚀刻布线方法 |
| CN108838551A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-11-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种三维曲面激光刻蚀方法 |
| CN108838551B (zh) * | 2018-06-29 | 2019-12-03 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种三维曲面激光刻蚀方法 |
| CN111830605A (zh) * | 2019-04-18 | 2020-10-27 | 上旸光学股份有限公司 | 具有激光诱发周期表面微结构的光学镜片 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104741794B (zh) | 2016-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104759760B (zh) | 点云描述曲面工件的表面阵列微结构激光加工方法 | |
| CN108838551B (zh) | 一种三维曲面激光刻蚀方法 | |
| CN102151984B (zh) | 一种适用于复杂曲面的激光加工方法及装置 | |
| CN111581874B (zh) | 一种薄壁曲面表层图案激光加工轨迹求解方法 | |
| CN103453849B (zh) | 多光学传感器协同的复杂曲面零件三维测量方法与系统 | |
| Phan et al. | Scanner path planning with the control of overlap for part inspection with an industrial robot | |
| Lee et al. | Mesh-based tool path generation for constant scallop-height machining | |
| CN104741794A (zh) | 基于曲面工件外形的表面阵列微结构激光刻蚀制备方法 | |
| US7979144B2 (en) | System for forming patterns on a multi-curved surface | |
| CN112276339B (zh) | 一种曲面工件的智能随形激光扫描加工方法及装置 | |
| Apolinar et al. | Three-dimensional microscope vision system based on micro laser line scanning and adaptive genetic algorithms | |
| CN104741791B (zh) | 一种曲面工件表面阵列微结构图形布局方法 | |
| Wang et al. | A new point cloud slicing based path planning algorithm for robotic spray painting | |
| Dong et al. | An improved signal processing method for the laser displacement sensor in mechanical systems | |
| CN112059412A (zh) | 一种激光诱导自由曲面周期性纳米结构图案与着色方法 | |
| CN105710369B (zh) | 用于逐层制造三维物体的装置 | |
| CN104732032B (zh) | 点云描述曲面工件的表面阵列微结构排布方法 | |
| Yu et al. | Surface modeling method for aircraft engine blades by using speckle patterns based on the virtual stereo vision system | |
| CN110497088B (zh) | 基于曲面映射的柔性共形天线激光加工误差控制方法 | |
| CN211939504U (zh) | 一种螺旋锥齿轮飞秒激光加工系统 | |
| Wang et al. | Investigation of processing parameters for three-dimensional laser ablation based on Taguchi method | |
| Zhang et al. | Motorized Measurement of Deformation on Surface of Revolution With 2-D Laser Profiler | |
| Wang et al. | Digitally reverse modeling for the repair of blades in aero-engines | |
| Guo et al. | CAD-BASED PATH PLANNING FOR LINE LASER SCANNING OF CURVED SURFACE. | |
| US12005516B2 (en) | Method for smoothing a component surface region |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |