CN104729999B - 激光测量核孔膜均匀度的方法 - Google Patents

激光测量核孔膜均匀度的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104729999B
CN104729999B CN201510126691.4A CN201510126691A CN104729999B CN 104729999 B CN104729999 B CN 104729999B CN 201510126691 A CN201510126691 A CN 201510126691A CN 104729999 B CN104729999 B CN 104729999B
Authority
CN
China
Prior art keywords
nucleopore membranes
uniformity
laser
measurement
dimension translational
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201510126691.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104729999A (zh
Inventor
莫丹
袁平
刘杰
曹殿亮
刘建德
张胜霞
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Modern Physics of CAS
Original Assignee
Institute of Modern Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Modern Physics of CAS filed Critical Institute of Modern Physics of CAS
Priority to CN201510126691.4A priority Critical patent/CN104729999B/zh
Publication of CN104729999A publication Critical patent/CN104729999A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104729999B publication Critical patent/CN104729999B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种核孔膜均匀度的测量装置及方法。这种方法可以应用到核探测技术以及核孔膜生产过程中在线检验和成品检验。一种激光测量核孔膜均匀度的装置,其主要特点在于包括有支架,支架包括有水平支架和竖直支架,在竖直支架的上端设有激光器,在竖直支架的中部设有二维平移台,其二维平移台的台面为透明板:在水平支架上设有光探测器;激光器与光探测器在一个中心线上。本发明的优点是:采用可调束斑大小激光可以精准探测所需要了解的位置点的信息,可以根据不同的扫描方式,来统计所关心的不同位置的信息。这种扫描的方式,可以通过计算机编程,自动的进行获取,从而迅速得到样品的均匀度信息。与其他方法相比,激光光源稳定,自动化程度高,测试更为精准。

Description

激光测量核孔膜均匀度的方法
技术领域
本发明涉及一种核孔膜均匀度的测量装置及方法。这种方法可以应用到核探测技术以及核孔膜生产过程中在线检验和成品检验。
背景技术
核孔膜,又称作核微孔膜或重离子微孔膜,它是利用重离子在绝缘物质薄膜上打孔然后化学蚀刻扩孔而成。对于核孔膜的均匀度检测有着重要意义:一方面核孔膜作为固体径迹探测器,可以真实记录束流的离子数量和位置信息,常用作均匀度探测器的校准。离子在不同位置上的分布,对于束流的扫描品质有着重要意义。另一方面,核孔膜本身可以作为滤膜,加工成为产品。而滤膜产品质量一般要求核孔膜均匀度达到一定的要求,在线生产和成品检验过程中常用到核孔膜均匀度的检验。
目前,常见的方法是用光学显微镜或电子显微镜人工统计不同位置的视野下的孔数目,从而得到核孔膜均匀度。有人提出了计算机软件分析照片自动数孔的方法,但是这种方法对照片清晰度和对比度等要求较高,常统计带来较大的误差。也有人提出放射元素能谱方法,但是这种方法的位置点的探测精度、探测面积大小很难控制,而且容易受空气层的影响。因此,人们需要一种精准度更高、位置更灵敏和自动化程度更高的方法。
发明内容
本发明的目的在于避免现有技术的不足之处而提供提出一种激光测量核孔膜均匀度的装置。使得核孔膜均匀度测量精确度更高、位置更灵敏和自动化程度更高。
本发明的又一目的在于一种激光测量核孔膜均匀度的方法。
为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:一种激光测量核孔膜均匀度的装置,其主要特点在于包括有支架,支架包括有水平支架和竖直支架,在竖直支架的上端设有激光器,在竖直支架的中部设有二维平移台,其二维平移台的台面为透明板:在水平支架上设有光探测器;激光器与光探测器在一个中心线上。
所述的激光测量核孔膜均匀度的装置,所述的二维平移台扫描方式为沿着水平两个方向扫描,或只沿着某一方向线扫描。
所述的激光测量核孔膜均匀度的装置,所述的二维平移台平移方式为手动模式或自动模式。
所述的激光测量核孔膜均匀度的装置,所述的激光器发出的激光波长范围为300-1100nm。
所述的激光测量核孔膜均匀度的装置,所述的激光束斑形状为圆形和方形,束斑面积的调整范围为1mm2-300mm2
一种激光测量核孔膜均匀度的方法,其主要特点在于步骤为:将核孔膜放置在二维平移台的平移台面上,激光器的一束激光穿透核孔膜,光探测器测量并记录该入射位置点的光吸收率或透射率;通过不断移动二维平移台,获得核孔膜其他位置点的光吸收率或透射率;由于孔数目和光吸收率或透射率成线性关系,从而推导出不同位置点的孔数目差异,最终确定所测试核孔膜样品的均匀度。
所述的激光测量核孔膜均匀度的方法,所述的核孔膜的材料包括PC、PET和PI。
本发明的有益效果是:采用可调束斑大小激光可以精准探测所需要了解的位置点的信息,可以根据不同的扫描方式,来统计所关心的不同位置的信息。这种扫描的方式,可以通过计算机编程,自动的进行获取,从而迅速得到样品的均匀度信息。与其他方法相比,激光光源稳定,自动化程度高,测试更为精准。
附图说明:
图1激光测量核孔膜均匀度示意图。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。下面以具体事例,对本发明的内容进行详细的说明。
实施例1:见图1,一种激光测量核孔膜均匀度的装置,包括有支架1,支架1包括有水平支架1-1和竖直支架1-2,在竖直支架1-2的上端设有激光器2,在竖直支架1-2的中部设有二维平移台3,其二维平移台3的位移台面为透明板:在水平支架1-1上设有光探测器4;激光器2与光探测器4在一个中心线上。
所述的二维平移台3扫描方式为沿着水平两个方向扫描,或只沿着某一方向线扫描。
二维平移台3平移方式为手动模式或自动模式。
所述的激光器2发出的激光波长范围为300-1100nm。
所述的激光束斑形状为圆形和方形,束斑面积的调整范围为1mm2-300mm2
实施例2:一种激光测量核孔膜均匀度的方法,其步骤为:将核孔膜5放置在二维平移台3的位移台面上,激光器2的一束激光穿透核孔膜5,光探测器4测量并记录该入射位置点的光吸收率或透射率;再通过不断移动二维平移台3,获得核孔膜5其他位置点的光吸收率或透射率;由于孔数目和光吸收率或透射率成一定的线性关系,从而推导出不同位置点的孔数目差异,最终确定所测试核孔膜5样品的均匀度。
所述的核孔膜的材料包括PC、PET和PI。
实施例3:将核孔膜PET放置在二维水平移动的位移台上。利用一束束斑为圆形的激光从一侧穿透核孔膜,激光波长308nm,束斑大小1mm2,通过另一侧放置光探测器测量并记录该入射位置点的光透射率;通过二维平移台沿着水平两个方向进行区域扫描,逐个得到不同位置点的透射率。通过软件计算获取分析得到所测试核孔膜样品所测试面积的均匀度。
实施例4:将核孔膜PC放置在二维水平移动的位移台上。利用一束束斑为方形的激光从一侧穿透核孔膜,激光波长633nm,束斑大小30mm2,通过另一侧放置光探测器测量并记录该入射位置点的光透射率;通过二维平移台沿着水平某个方向进行线扫描,逐个得到不同位置点的透射率。通过软件计算获取分析得到所测试核孔膜样品在某一方向的均匀度。
实施例5:将核孔膜PI放置在二维水平移动的位移台上。利用一束束斑为方形的激光从一侧穿透核孔膜,激光波长970nm,束斑大小30mm2,通过另一侧放置光探测器测量并记录该入射位置点的光透射率;通过手动移动二维平移台到另一个点,记录该点的光透射率。逐个手动移动不同位置点的获取样品透射率。通过软件计算获取分析得到所测试核孔膜样品不同测试点的均匀度。
实施例6:将核孔膜PET放置在二维水平移动的位移台上。利用一束束斑为圆形的激光从一侧穿透核孔膜,激光波长1064nm,束斑大小300mm2,通过另一侧放置光探测器测量并记录该入射位置点的光透射率;通过手动移动二维平移台到另一个点,记录该点的光透射率。逐个手动移动不同位置点的获取样品透射率。通过软件计算获取分析得到所测试核孔膜样品不同测试点的均匀度。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种激光测量核孔膜均匀度的装置测量核孔膜均匀度的方法,其特征在于步骤为:将核孔膜放置在二维平移台的平移台面上,激光器的一束激光穿透核孔膜,光探测器测量并记录该入射位置点的光吸收率或透射率;通过不断移动二维平移台,获得核孔膜其他位置点的光吸收率或透射率;由于孔数目和光吸收率或透射率成线性关系,从而推导出不同位置点的孔数目差异,最终确定所测试核孔膜样品的均匀度;
激光测量核孔膜均匀度的装置包括有支架,支架包括有水平支架和竖直支架,在竖直支架的上端设有激光器,在竖直支架的中部设有二维平移台,其二维平移台的台面为透明板:在水平支架上设有光探测器;激光器与光探测器在一个中心线上。
2.如权利要求1所述的激光测量核孔膜均匀度的装置测量核孔膜均匀度的方法,其特征在于所述的二维平移台扫描方式为沿着水平两个方向扫描,或只沿着某一方向线扫描。
3.如权利要求1所述的激光测量核孔膜均匀度的装置测量核孔膜均匀度的方法,其特征在于所述的二维平移台平移方式为手动模式或自动模式。
4.如权利要求1所述的激光测量核孔膜均匀度的装置测量核孔膜均匀度的方法,其特征在于所述的激光器发出的激光波长范围为300-1100nm。
5.如权利要求1所述的激光测量核孔膜均匀度的装置测量核孔膜均匀度的方法,其特征在于所述的激光束斑形状为圆形和方形,束斑面积的调整范围为1mm2-300mm2
6.如权利要求1所述的激光测量核孔膜均匀度的装置测量核孔膜均匀度的方法,其特征在于所述的核孔膜的材料包括PC、PET和PI。
CN201510126691.4A 2015-03-20 2015-03-20 激光测量核孔膜均匀度的方法 Active CN104729999B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510126691.4A CN104729999B (zh) 2015-03-20 2015-03-20 激光测量核孔膜均匀度的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510126691.4A CN104729999B (zh) 2015-03-20 2015-03-20 激光测量核孔膜均匀度的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104729999A CN104729999A (zh) 2015-06-24
CN104729999B true CN104729999B (zh) 2016-05-11

Family

ID=53454094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510126691.4A Active CN104729999B (zh) 2015-03-20 2015-03-20 激光测量核孔膜均匀度的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104729999B (zh)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102122063A (zh) * 2011-03-09 2011-07-13 北京工业大学 倒置式数字全息显微镜
CN103175847A (zh) * 2013-03-19 2013-06-26 哈尔滨理工大学 光栅表面缺陷检测装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102169050B (zh) * 2010-12-17 2012-08-08 中国科学院光电技术研究所 一种反射率综合测量方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102122063A (zh) * 2011-03-09 2011-07-13 北京工业大学 倒置式数字全息显微镜
CN103175847A (zh) * 2013-03-19 2013-06-26 哈尔滨理工大学 光栅表面缺陷检测装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《α能谱法测量核孔膜孔隙率》;林雯等;《原子能科学技术》;20130430;696-699 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN104729999A (zh) 2015-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106500965B (zh) 基于ccd探测器的龙虾眼x射线光学元件聚焦性能测试装置与方法
US9106807B2 (en) Device for noncontact determination of edge profile at a thin disk-shaped object
CN203786038U (zh) 自动定位样品移动平台
CN103454070B (zh) 一种基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试方法
CN111060294B (zh) 一种荧光显微物镜综合测试平台
CN103969215A (zh) 一种太赫兹时域光谱系统及其测量方法
CN204731151U (zh) 激光测量核孔膜均匀度的装置
CN104567674A (zh) 双边拟合共焦测量方法
CN205506004U (zh) 一种移动式平面度激光检测仪
EP3087374A1 (en) Non-imaging coherent line scanner systems and methods for optical inspection
CN209086170U (zh) 一种高反射镜表面疵病参数表征装置
KR100974111B1 (ko) 표면들을 광학적으로 조사하기 위한 광학 센서 및 상기조사를 위한 방법
CN104344803A (zh) 一种可变检测位置的平面度检测装置
KR101530631B1 (ko) 3차원 스캐너를 이용한 밀도 측정 장치 및 방법
CN204188158U (zh) 一种可变检测位置的平面度检测装置
CN206037856U (zh) 一种可用于楔形塞尺和内外直角检测尺检定的检定装置
CN108152294A (zh) 一种超光滑镜片疵病检测装置及其方法
JP2007078594A (ja) 微小平面の角度測定装置
CN104729999B (zh) 激光测量核孔膜均匀度的方法
CN204008076U (zh) 一种光学系统综合性能测试仪
TW201447956A (zh) 氣體中掃描型電子顯微鏡
CN109297986A (zh) 激光陀螺高反射镜表面疵病参数表征装置和检测方法
CN202216766U (zh) 准直光束的检测装置
CN104776804A (zh) 基于非接触式微小距离测量的光学相机装调方法及装置
JP2006214867A (ja) 欠陥粒子測定装置および欠陥粒子測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant