CN104729809A - 一种加速器的氦质谱检漏方法 - Google Patents

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朱长平
陈然
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Abstract

本发明公开了一种加速器的氦质谱检漏方法，是一种加速器的在线检测方法，在加速器上安装多个氦质谱分析系统，利用加速器提供高真空环境工作，对加速器上的可疑漏点进行喷氦，就近的氦质谱分析系统将氦信号传输给电控系统，高效、准确判断漏点的位置及漏率大小。

Description

一种加速器的氦质谱检漏方法
技术领域
本发明涉及加速器检测方法领域，具体是一种加速器的氦质谱检漏方法。
背景技术
加速器真空系统的部件，包括真空测量规管、束流测量元件、电极引入元件、金属真空室、陶瓷真空室等等，一般要求工件的漏率小于1×10-11mbar.L/s，如果发现有漏，那么必须找到漏点，确定漏率，采用相应的方法消除泄漏。
加速器在运行过程中的在线泄漏检测。加速器运行的必要真空度高（一般都要求好于5×10-8Pa，有的甚至进入10-9Pa量级），氦质谱检漏是加速器真空系统得以正常运行的必须手段，如果密封性不够，如漏率多了一个量级，达到所需真空度所需要抽气泵的抽速需要增加10倍，而这无论从空间还是经费等方面都是不可能达到的。
而其中如果发现有漏，那么在确定漏点过程中需要在检漏仪正常工作并且本底恢复以后，在真空系统外进行反复喷氦，耗时相当之长，有时甚至因为无法确定漏点而造成整个部件重新加工。
由于加速器真空系统的复杂性，元件的多样性，使得检漏工作非常繁杂。检漏是加速器真空系统安装耗时最多的工作。
发明内容    本发明的目的是提供一种加速器的氦质谱检漏方法，以解决现有技术加速器检漏工作繁杂的问题。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：
一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：在加速器上安装多个氦质谱分析系统，各个氦质谱分析系统分别与电控系统连接，利用加速器提供高真空环境，并通过氦质谱分析系统对加速器上的可疑漏点进行喷氦，同时氦质谱分析系统将检测到的信号传输给电控系统，由电控系统判断漏点的位置及漏率大小。
所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述氦质谱分析系统包括质谱室、离子源、信号接收器、磁铁、真空计。质谱室是为离子飞行提供高真空环境的独立腔体，离子源是将进入质谱室的气体分子电离成离子产生离子流部件，信号接收器是接收离子流并转化为电信号的器件，真空计是检测质谱管中压力，确保质谱室中的高真空环境，磁铁是为离子提供偏转磁场。离子源使气体分子产生离子流，经偏转磁场发生180度偏转，信号接收器接收到一定偏转半径的氦离子流，并转换为电信号，输出给电控系统。
质谱室前端安装孔安装离子源、安装孔信号接收器，两孔的中心距为64mm,质谱室一侧焊接带转接口的法兰，且转接口上端连接有真空计，质谱室后端还连接有螺杆，螺杆上螺合有非均匀磁场的磁铁。氦质谱分析系统通过自身法兰硬密封安装在加速器上，氦质谱分析系统与电控系统连接，离子源、信号接收器由电控系统控制。
所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述离子源为双灯丝结构的振荡型离子源。
所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述信号接收器采用法拉第筒检测结构。
所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述法兰为CF35法兰。
所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述磁铁为180度非均匀磁场的磁铁。
所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述电控系统由外壳、设置在外壳中的控制板、接入控制板并设置在外壳表面的显示单元构成，氦质谱分析系统中质谱室与控制板连接。
本发明的优点：
本发明氦质谱分析系统直接安装在加速器上，采用的是在线检测，加速器无需停机，可以在加速器在运行时检测。
本发明氦质谱分析系统直接安装在加速器上，通过加速器提供的高真空环境工作，无需使用其他辅助泵提供高真空环境，简化了检测系统。
本发明采用在加速器中安装多个氦质谱分析系统，对可疑漏点检测时，使用就近的氦质谱分析系统检测，提供高灵敏度，准确判断漏点。
附图说明
图1为本发明检漏示意图。
图2为氦质谱分析系统结构示意图。
图3为质谱管结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，一种加速器的氦质谱检漏方法，在加速器1上安装多个氦质谱分析系统2，各个氦质谱分析系统2分别与电控系统3连接，利用加速器1提供高真空环境，并通过氦质谱分析系统2对加速器1上的可疑漏点进行喷氦，同时氦质谱分析系统2将检测到的信号传输给电控系统3，由电控系统3判断漏点的位置及漏率大小。
如图2所示，氦质谱分析系统2包括质谱室23，质谱室23前端安装离子源21、信号接收器22，质谱室23一侧安装带转接口的法兰26，且转接口上端连接有真空计24，质谱室23后端还连接有螺杆，螺杆上螺合有非均匀磁场的磁铁25，氦质谱分析系统2通过自身法兰26硬密封安装在加速器1上，质谱室23与电控系统3连接，且质谱室23、离子源21、信号接收器22分别由电控系统3供电。
如图3所示，质谱室的￠40mm安装孔31安装离子源，￠40mm安装孔32安装信号接收器，安装孔31、32中心距64mm,螺杆33安装磁铁，左端的螺杆33距质谱室的左端面26mm,法兰35距质谱室的左端面35.5mm,真空计安装口34中心距法兰35面28mm。
离子源21为双灯丝结构的振荡型离子源。
信号接收器22采用法拉第筒检测结构。
法兰26为CF35法兰。
磁铁25为180度非均匀磁场的磁铁。
电控系统3由外壳、设置在外壳中的控制板、接入控制板并设置在外壳表面的显示单元构成，氦质谱分析系统中质谱室与控制板连接。
在加速器1上，安装多个氦质谱分析系统2，氦质谱分析系统2采用CF35法兰硬密封连接在加速器1上，氦质谱分析系统2上的离子源、信号接收器通过电缆4、5连接到电空系统3上，实现对氦质谱分析系统2的信息的读取与控制。
氦质谱分析系统中的质谱室23上有三个孔，一孔安装离子源21，一孔安装信号接收器22，一孔焊接CF35法兰26转接口，在CF35法兰26转接口上端连接真空计24，磁铁25通过螺母固定在质谱室23后端的螺杆上。

Claims (7)

1.一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：在加速器上安装多个氦质谱分析系统，各个氦质谱分析系统分别与电控系统连接，利用加速器提供高真空环境，并通过氦质谱分析系统对加速器上的可疑漏点进行喷氦，同时氦质谱分析系统将检测到的信号传输给电控系统，由电控系统判断漏点的位置及漏率大小。
2.根据权利要求1所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述氦质谱分析系统包括质谱室，质谱室前端安装离子源、信号接收器，质谱室一侧安装带转接口的法兰，且转接口上端连接有真空计，质谱室后端还连接有螺杆，螺杆上螺合有非均匀磁场的磁铁，氦质谱分析系统通过自身法兰硬密封安装在加速器上，质谱室与电控系统连接，且离子源、信号接收器分别由电控系统供电。
3.根据权利要求1所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，氦质谱分析系统其特征在于：真空计是检测质谱管中压力，确保质谱室中的高真空环境，磁铁是为离子提供偏转磁场，离子源使气体分子电离产生离子流，经偏转磁场发生180度偏转，信号接收器接收到偏转一定半径的氦离子流，并转换为电信号，输出给电控系统。
4.根据权利要求2所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述离子源为双灯丝结构的振荡型离子源。
5.根据权利要求2所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述信号接收器采用法拉第筒检测结构。
6.根据权利要求2所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述法兰为CF35法兰。
7.根据权利要求2所述的一种加速器的氦质谱检漏方法，其特征在于：所述磁铁为180度非均匀磁场的磁铁。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107044902A (zh) * 2017-03-17 2017-08-15 西安聚能超导磁体科技有限公司 一种加速器用超导磁体的检漏装置及检漏方法
CN108871693A (zh) * 2018-07-04 2018-11-23 中国原子能科学研究院 一种用于超导回旋加速器真空室的检漏方法
CN109323811A (zh) * 2017-07-31 2019-02-12 深圳市远望工业自动化设备有限公司 具有真空腔体的质谱检漏设备
CN109556796A (zh) * 2017-09-26 2019-04-02 上海德义机电有限公司 一种四通阀氦质谱检漏及综合测试设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58129341A (ja) * 1982-01-29 1983-08-02 Meidensha Electric Mfg Co Ltd ヘリウムリ−ク試験方法
US20060156795A1 (en) * 2003-06-11 2006-07-20 Charles Perkins Methods and apparatus for detection of large leaks in sealed articles
CN201368790Y (zh) * 2008-09-29 2009-12-23 合肥皖仪科技有限公司 超高灵敏度氦质谱检漏仪
CN102564709A (zh) * 2010-12-10 2012-07-11 中国航空工业集团公司第六三一研究所 一种密封结构零件的检漏方法
CN104568336A (zh) * 2015-01-26 2015-04-29 上海贤日自动化设备有限公司 一种密封工件的氦质谱检漏方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58129341A (ja) * 1982-01-29 1983-08-02 Meidensha Electric Mfg Co Ltd ヘリウムリ−ク試験方法
US20060156795A1 (en) * 2003-06-11 2006-07-20 Charles Perkins Methods and apparatus for detection of large leaks in sealed articles
CN201368790Y (zh) * 2008-09-29 2009-12-23 合肥皖仪科技有限公司 超高灵敏度氦质谱检漏仪
CN102564709A (zh) * 2010-12-10 2012-07-11 中国航空工业集团公司第六三一研究所 一种密封结构零件的检漏方法
CN104568336A (zh) * 2015-01-26 2015-04-29 上海贤日自动化设备有限公司 一种密封工件的氦质谱检漏方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
陈向东 等: "机翼整体邮箱氦质谱检漏技术", 《航空制造技术》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107044902A (zh) * 2017-03-17 2017-08-15 西安聚能超导磁体科技有限公司 一种加速器用超导磁体的检漏装置及检漏方法
CN109323811A (zh) * 2017-07-31 2019-02-12 深圳市远望工业自动化设备有限公司 具有真空腔体的质谱检漏设备
CN109556796A (zh) * 2017-09-26 2019-04-02 上海德义机电有限公司 一种四通阀氦质谱检漏及综合测试设备
CN109556796B (zh) * 2017-09-26 2020-11-03 上海德义机电股份有限公司 一种四通阀氦质谱检漏及综合测试设备
CN108871693A (zh) * 2018-07-04 2018-11-23 中国原子能科学研究院 一种用于超导回旋加速器真空室的检漏方法
CN108871693B (zh) * 2018-07-04 2019-08-06 中国原子能科学研究院 一种用于超导回旋加速器真空室的检漏方法

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