CN104656454A - 一种气路系统的显示方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种气路系统的显示方法和装置，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述方法包括：在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；在所述显示位置展现所述线条和气路控件。本发明采用线条展现气体管道的排布，大大减少绘制气体管道的控件的堆积，不仅节约了显示空间而且可以减少系统内存的损耗，提高了气路系统的显示效率。

Description

一种气路系统的显示方法和装置

技术领域

本发明涉及半导体设备的控制技术领域，特别是涉及一种气路系统的显示方法和一种气路系统的显示装置。

背景技术

半导体设备中，执行工艺用到了很多不同种类的气体，工艺反应气体进入工艺腔室形成等离子体用于刻蚀、PVD（Physical Vapor Deposition，物理气相沉积）、CVD（Chemical Vapor Deposition，化学气象沉积）等半导体设备。其中工艺腔室中一个重要的辅助系统就是气路系统，为方便用户直观地了解半导体设备的气路系统的状况，需要在控制界面显示该气路系统的状况。

现有技术中，用户根据设备所需的管路和阀门的实际情况，手动地采用系统自带的控件PictureBox进行堆积，绘出所有的气路系统，以刻蚀设备为例，最终获取如图1所示的气路系统。其中，每个竖直的管路、管路连接处、管路拐角处都是一个控件，例如图2所示的气体管道，由A-H共八小控件组成。

由于气体管道数量较多，所以整个气路系统使用的控件个数就很多。为了能在有限的空间将所有气路信息显示完整，只能单独做出一个专门显示气路系统的模块，用户如果想查看当前气路的状态，则必须切换到该模块。

由于整个气路系统使用的控件个数较多，切换模块时，进行加载就需要消耗大量内存。

不同用户可能会对气体管道需求不同，比如需要增加或者减少气体管道时，只能手动的删除部分管路。为了整体的美观，往往只能重新手动调整整个页面布局，操作繁琐。

由于气路系统的控件不尽相同，其堆积方法不能兼容其他设备，如果用到其它设备，需要修改界面及代码，不具备可复用性，操作麻烦。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种气路系统的显示方法，以解决占用内存大，操作麻烦的问题。

本发明还提供了一种气路系统的显示装置，用以保证上述方法的实现及应用。

为了解决上述问题，本发明公开了一种气路系统的显示方法，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述方法包括：

在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；

在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；

采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；

在所述显示位置展现所述线条和气路控件。

优选地，所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器；

所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。

优选地，所述气路系统包括多条特征气路，所述特征气路对应有复用气路模块进行展现；所述复用气路模块包括十二路线条，所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性；所述管道显示属性包括显示和不显示；所述排空阀显示属性包括显示和不显示；

所述在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布的步骤包括：

配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示时，则显示所述线条；

当所述线条的管道显示属性为不显示时，则不显示所述线条；

所述在所述线条上添加气路控件的展现的步骤包括：

配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时，则在所述线条上展现对应的排空阀控件；

当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时，则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。

优选地，所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性；

所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性；

所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性；

所述方法还包括：

配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。

优选地，所述采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置的步骤包括：

分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值，获得高度比和宽度比；

将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比，获得在所述显示位置的真实坐标。

本发明还公开了一种气路系统的显示装置，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述装置包括：

气体管道展现模块，用于在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；

气路仪器展现模块，用于在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；

显示位置计算模块，用于采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；

线条和气路控件展现模块，用于在所述显示位置展现所述线条和气路控件。

优选地，所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器；

所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。

优选地，所述气路系统包括多条特征气路，所述特征气路对应有复用气路模块进行展现；所述复用气路模块包括十二路线条，所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性；所述管道显示属性包括显示和不显示；所述排空阀显示属性包括显示和不显示；

所述气体管道展现模块包括：

管道显示属性配置子模块，用于配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示时，则显示所述线条；

当所述线条的管道显示属性为不显示时，则不显示所征线条；

所述气路仪器展现模块包括：

排空阀显示属性配置子模块，用于配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时，则在所述线条上展现对应的排空阀控件；

当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时，则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。

优选地，所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性；

所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性；

所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性；

所述装置还包括：

线条属性配置模块，用于配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

线条属性展现模块，用于按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。

优选地，所述显示位置计算模块包括：

高度比和宽度比计算子模块，用于分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值，获得高度比和宽度比；

真实坐标获得子模块，用于将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比，获得在所述显示位置的真实坐标。

与背景技术相比，本发明包括以下优点：

本发明采用线条展现气体管道的排布，大大减少绘制气体管道的控件的堆积，不仅节约了显示空间而且可以减少系统内存的损耗，提高了气路系统的显示效率。

本发明的气路系统中的控件增加了的可配置性，编译后以dll形式被提供，可以根据用户不同的需求，可以被复用于多个项目，提高了气路系统显示的实用性。

本发明通过集成特征气路，可以批量进行气体管道和气路仪器的表示和删除，大大加快了气路系统的显示效率。

附图说明

图1是刻蚀设备的气路系统的示例图；

图2是图1所示的气路系统的气体管道的控件组成示例图；

图3是本发明的一种气路系统的显示方法实施例的步骤流程图；

图4是本发明的一种气体管道的相对坐标的示例图；

图5是本发明的一种气体管道的相对坐标的示例图；

图6是本发明的一种气路系统显示位置示例图；

图7是本发明的一种特征气路显示示例图；

图8是本发明的一种气路系统的显示装置实施例的结构框图。

具体实施方式

为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明实施例作进一步详细的说明。

半导体设备中，气路系统主要包括：摆阀、干泵、分子泵、气路管道、MFC（Mass Flow Controller，质量流量控制器）等。

气路系统对应的上级控制系统需要对当前气路系统的各种气路名称、气体流量、阀门开关等进行实时的显示。不同的半导体设备由于应用的工艺不同，所以对气路系统的配置也往往不同。主要区别在于以下几方面：

气路个数：即共几路气体。目前刻蚀设备气路大约4～12路不等。

气体管道个数：有几路气体也就需要几个管道、Primary阀（主阀）和Secondary阀（次级阀）。

不同气路系统会根据实际情况对Purge阀（排空阀）进行配置。有的气路需要该阀门，有的则不需要。

本发明的一个核心构思在于，将不同半导体设备的气路系统所需的所有控件都放在一个自定义控件中，且增加了气路系统的可配置性，编译后以dll（DynamicLinkLibrary，动态链接库）形式被提供。

参照图3，示出了本发明实施例的一种气体通道的控制方法实施例的步骤流程图，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述方法包括如下步骤：

步骤301，在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；

本发明实施例提供了一个绘制窗口，包括了线条和气路控件，用于绘制气路系统。当然，该绘制窗口还可以包括复制、黏贴、剪切、删除、预览、保存、导入等功能，用于绘制气路系统，本发明实施例对此不一一加以详述。

其中，可以采用线条展现气体管道的排布，优选为实线，但也可以是虚线、波浪线等等，本发明实施例对此不加以限制。不同的半导体设备，其气路系统的气体管道可以有不同的排布，在采用线条展现气体管道的排布过程中，可以依据半导体设备的气路系统的气体管道的实际排布，做出对应的调整。例如，气体管道为100°倾斜，为了方便绘制和整体美观，可以采用90°倾斜的实线进行展现等等，即实际绘制中可以存在角度、长度、宽度等参数值或绘制比例的误差，只要能清楚展现气体管道的实际排布即可，本发明实施例对此不加以限制。

在实际应用中，线条携带有相对坐标的信息，即相对于某一点为参照点所获得的坐标值。例如，图4所示的气体管道的展现，以O点为参照点，即其相对坐标为（0，0），A点相对于O点的坐标为（0，8），B点相对于O点的坐标为（12，0）。则实线0A和实线OB分别表示一段长度为8和长度为12的气体管道。需要说明的是，为标明O点、A点和B点的位置，在图4中采用了明显的点进行表示，而在实际应用中，O点、A点和B点并不会采用明显的点进行表示。

步骤302，在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；

不同的半导体设备，其气体管道上可以有不同的气路仪器，用于对气体管道进行状态（温度、气体流量等等）的测量或者对气体管道进行气体的控制（通入、禁止通入等等）等等，在采用线条展现气体管道的排布过程中，可以依据气体管道上气路仪器的实际排布，做出对应的调整。例如，MFC在实际的气体管道中是一个仪表，用于显示该气体管道通入气体的质量流量，宽度为该气体管道的十分之一，而在采用MFC控件表征MFC时，可以采用一个长方形控件，其内部写有字母“MFC”表示该控件为MFC控件，在其旁边连接着另一个长方形控件，其用于显示该MFC控件的参数值，两个长方形的长度为表示该气体管道的线条的二分之一。即实际绘制中可以存在角度、长度、宽度等参数值或绘制比例的误差，只要能清楚展现气路仪器在气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态即可，本发明实施例对此不加以限制。

当在表示气体管道的线条上添加了气路控件的展现后，可以记录其在该线条上的相对坐标的信息。例如，如图5所示，在图4中的线条OB上添加了气路控件C，气路控件C相对于O点的坐标C为（6，0）。

在实际应用中，所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器；摆阀的状态包括开和关，排空阀的状态包括开和关，干泵的状态包括正常运作、停止运作和再生操作，分子泵的状态包括正常运作和停止运作，质量流量控制器的状态包括质量流量的显示等等。

则相对应地，所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。需要说明的是，气路控制可以有不同的表示方法，例如，排空阀控件可以为圆圈，颜色鲜艳表示开状态，颜色灰暗表示关状态，也可以为圆圈中添加一道杠，当杠水平放置时表示开状态，当杠竖直放置时表示关状态等等，只要能明确表示气路仪器的状态即可，本发明实施例对此不加以限制。

为方便用户进行监控气路系统，气路控件可以有对应的气路控件标识进行区分表达。

当然，上述气路仪器和对应的气路控件只是作为示例，在实施本发明实施例时，可以根据实际情况设置其它气路仪器和对应的气路控件，本发明实施例对此不加以限制。

步骤303，采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；

当绘制完成后，则需要在用户指定的位置（即显示位置）进行显示，以表征气路系统的运行状况。

在实际应用中，由于气路系统自定义控件布局较集中，而气路系统属于腔室的一部分，便于用户查看腔室信息，所以可以直接作为腔室维护的一部分显示给用户，具体显示效果图可以参照图6所示。

在本发明的一种优选实施例中，所述步骤303具体可以包括如下子步骤：

子步骤S11，分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值，获得高度比和宽度比；

子步骤S12，将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比，获得在所述显示位置的真实坐标。

在显示位置进行显示时，为保持整体美观，需要将绘制窗口中绘制的气路系统进行等比例的放大或缩小，则需要将相对坐标转换为真实坐标，即绝对坐标。

显示位置的每个点都可以有固定的坐标，点和点之间可以有固定的距离。

例如，假设绘制图5所示的气路系统的绘制窗口的高度为8，宽度为12，而显示位置的高度和宽度都为16cm。即高度比为2，宽度比为4/3。宽度比小于高度比，以O点作为显示位置的原点，则将A点、B点和C点的相对坐标乘以宽度比，得出各实际坐标：A’（0，32/3），B’（16，0），C’（8，0）。在显示时，线条OA’放大为长度为32/3cm的线条，线条OB’放大为长度为16cm的线条，在C’点显示气路控件C，其中，气路控件C的大小不变，线条OA’和OB’的宽度不变。

步骤304，在所述显示位置展现所述线条和气路控件。

当在显示位置调整完成之后，可以在显示位置显示绘制好的线条和气路控件，以表征实际的气路系统。

在本发明的一个优选实施例中，所述气路系统包括多条特征气路，所述特征气路对应有复用气路模块进行展现；所述复用气路模块包括十二路线条，所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性；所述管道显示属性包括显示和不显示；所述排空阀显示属性包括显示和不显示；

所述步骤301可以包括如下子步骤：

子步骤S21，配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示时，则显示所述线条；

当所述线条的管道显示属性为不显示时，则不显示所述线条；

所述步骤302可以包括如下子步骤：

子步骤S31，配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时，则在所述线条上展现对应的排空阀控件；

当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时，则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。

在半导体设备中，经常会出现带有purge阀的气路，一般是四至十二路不等，例如图1中的Gas1-Gas12，为了对其进行区分，本发明实施例将其称之为特征气路。

如图7所示，为了更灵活的添加或删除气路，本发明实施例将特征气路，根据绘制窗口的高度自动由下而上生成。为了兼容性，本发明实施例默认绘制了十二路线条进行表示。需要说明的是，该十二路线条包括了放置purge阀控件的线条。

在复用气路模块中具有可以自定义的属性，包括设置是否显示该线条的属性数组GasConnected[12]（管道显示属性），设置是否显示purge阀的属性（排空阀显示属性）。

线条自下而上分别为Gas1、Gas2……Gas12。如果需要显示1-8路气体管道，则设置GasConnected[0～7]=true且GasConnected[8～11]=false。如果需要显示第10路气体管道，则设置GasConnected[9]=true。

其中，GasConnected如果为true，则与该气路相关的气路阀门，阀门名称，气体流量等控件也会显示。否则都不显示。

对于是否设置有purge阀显示属性，首先会判断该线条是否显示，如果线条不显示，则purge阀管路也不显示。如果线条显示，再判断purge阀管路属性是否为true，如果为true则显示，否则不显示。

在本发明的一个优选实施例中，所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性；

所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性；

所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性；

所述方法还可以包括如下步骤：

步骤305，配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

步骤306，按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。

本发明实施例中，为满足不同用户对显示的需求和方便对管道进行表示，增加了线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性。通过对管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行设值，可以设置线条显示的粗细和颜色、管道通入的气体，例如图6中的He和N2，表示对应的气体管道通入氦气和氮气。需要说明的是，管道名称属性可以在管道入口（即线条断开的位置）以箭头表示有气体通入，再用气体名称表示通入的气体，也可以采用其他形式进行表达，本发明实施例对此不加以限制。

本发明采用线条展现气体管道的排布，大大减少绘制气体管道的控件的堆积，不仅节约了显示空间而且可以减少系统内存的损耗，提高了气路系统的显示效率。

本发明的气路系统中的控件增加了的可配置性，编译后以dll形式被提供，可以根据用户不同的需求，可以被复用于多个项目，提高了气路系统显示的实用性。

本发明通过集成特征气路，可以批量进行气体管道和气路仪器的表示和删除，大大加快了气路系统的显示效率。

对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

参照图8，示出了本发明的一种气路系统的显示装置实施例的结构框图，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述装置可以包括以下模块：

气体管道展现模块801，用于在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；

气路仪器展现模块802，用于在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；

显示位置计算模块803，用于采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；

线条和气路控件展现模块804，用于在所述显示位置展现所述线条和气路控件。

在本发明的一种优选实施例中，所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器；

所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。

在本发明的一种优选实施例中，所述气路系统包括多条特征气路，所述特征气路对应有复用气路模块进行展现；所述复用气路模块包括十二路线条，所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性；所述管道显示属性包括显示和不显示；所述排空阀显示属性包括显示和不显示；

所述气体管道展现模块可以包括如下子模块：

管道显示属性配置子模块，用于配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示时，则显示所述线条；

当所述线条的管道显示属性为不显示时，则不显示所征线条；

所述气路仪器展现模块包括：

排空阀显示属性配置子模块，用于配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时，则在所述线条上展现对应的排空阀控件；

当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时，则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。

在本发明的一种优选实施例中，所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性；

所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性；

所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性；

所述装置还可以包括如下模块：

线条属性配置模块，用于配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

线条属性展现模块，用于按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。

在本发明的一种优选实施例中，所述显示位置计算模块具体可以包括如下子模块：

高度比和宽度比计算子模块，用于分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值，获得高度比和宽度比；

真实坐标获得子模块，用于将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比，获得在所述显示位置的真实坐标。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者移动设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者移动设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者移动设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明实施例所提供的一种气路系统的显示方法和一种气路系统的显示装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明实施例的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明实施例的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明实施例的限制。

Claims (10)

1.一种气路系统的显示方法，其特征在于，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述方法包括：

在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；

在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；

采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；

在所述显示位置展现所述线条和气路控件。

2.根据权利要求1所述的气路系统的显示方法，其特征在于，所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器；

所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。

3.根据权利要求2所述的气路系统的显示方法，其特征在于，所述气路系统包括多条特征气路，所述特征气路对应有复用气路模块进行展现；所述复用气路模块包括十二路线条，所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性；所述管道显示属性包括显示和不显示；所述排空阀显示属性包括显示和不显示；

所述在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布的步骤包括：

配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示时，则显示所述线条；

当所述线条的管道显示属性为不显示时，则不显示所述线条；

所述在所述线条上添加气路控件的展现的步骤包括：

配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时，则在所述线条上展现对应的排空阀控件；

当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时，则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。

4.根据权利要求1或2或3所述的气路系统的显示方法，其特征在于，所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性；

所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性；

所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性；

所述方法还包括：

配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。

5.根据权利要求1或2或3所述的气路系统的显示方法，其特征在于，所述采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置的步骤包括：

分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值，获得高度比和宽度比；

将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比，获得在所述显示位置的真实坐标。

6.一种气路系统的显示装置，其特征在于，所述气路系统包括气体管道和气路仪器，所述装置包括：

气体管道展现模块，用于在预置的绘制窗口中，采用线条展现所述气体管道的排布；其中，所述线条携带有相对坐标的信息；

气路仪器展现模块，用于在所述线条上添加气路控件的展现，所述气路控件用于表征所述气路仪器在所述气体管道上的分布以及对应气路仪器的状态；

显示位置计算模块，用于采用所述相对坐标的信息计算所述线条和所述气路控件的显示位置；

线条和气路控件展现模块，用于在所述显示位置展现所述线条和气路控件。

7.根据权利要求1所述的气路系统的显示装置，其特征在于，所述气路仪器包括摆阀、排空阀、干泵、分子泵和/或质量流量控制器；

所述气路控件包括摆阀控件、排空阀控件、干泵控件、分子泵控件和/或质量流量控制器控件。

8.根据权利要求7所述的气路系统的显示装置，其特征在于，所述气路系统包括多条特征气路，所述特征气路对应有复用气路模块进行展现；所述复用气路模块包括十二路线条，所述十二路线条都具有管道显示属性和排空阀显示属性；所述管道显示属性包括显示和不显示；所述排空阀显示属性包括显示和不显示；

所述气体管道展现模块包括：

管道显示属性配置子模块，用于配置所述复用气路模块中的十二路线条的管道显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示时，则显示所述线条；

当所述线条的管道显示属性为不显示时，则不显示所征线条；

所述气路仪器展现模块包括：

排空阀显示属性配置子模块，用于配置所述复用气路模块中的十二路线条的排空阀显示属性；

当所述线条的管道显示属性为显示且所述排空阀显示属性为显示时，则在所述线条上展现对应的排空阀控件；

当所述线条的管道显示属性为不显示或所述排空阀显示属性为不显示时，则不在所述线条上展现对应的排空阀控件。

9.根据权利要求6或7或8所述的气路系统的显示装置，其特征在于，所述线条具有管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

所述管道宽度属性为控制所述线条的宽度的属性；

所述管道颜色属性为控制所述线条的颜色的属性；

所述管道名称属性为显示所述线条对应的气体管道里气体的名称的属性；

所述装置还包括：

线条属性配置模块，用于配置所述线条的管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性；

线条属性展现模块，用于按照所述管道宽度属性、管道颜色属性和/或管道名称属性进行对应的展现。

10.根据权利要求6或7或8所述的气路系统的显示装置，其特征在于，所述显示位置计算模块包括：

高度比和宽度比计算子模块，用于分别计算所述显示窗口的高度、宽度与所述显示位置的高度、宽度的比值，获得高度比和宽度比；

真实坐标获得子模块，用于将所述相对坐标乘以比值最小的高度比或宽度比，获得在所述显示位置的真实坐标。