CN104617476B - 防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,包括:激光晶体棒、石英玻璃管、聚光腔、激光二极管列阵、第一散热器、第二散热器、第三散热器、端头、外密封器;第一散热器、第二散热器、第三散热器、聚光腔和端头之间形成内密封腔,用于防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高生成挥发物质污染激光二极管发光腔面;外密封器、端头与所述侧面泵浦激光单元之间形成外密封腔,内密封腔和外密封腔均阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面。该模块解决了侧面泵浦激光模块中激光二极管发光腔面污染的问题,提高了高功率、长时间运转、低吸收全固态侧面泵浦激光器的可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及全固态侧面泵浦激光器技术领域,具体涉及一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块。
背景技术
全固态侧面泵浦激光器以其泵浦光输入功率大、吸收均匀、结构紧凑等优点在激光器领域有重要应用。侧面泵浦激光模块是全固态侧面泵浦激光器的核心部件,该部件的可靠性直接决定激光器的可靠性。
实验研究发现全固态侧面泵浦激光器,在高功率、长时间运转时激光功率下降、寿命变短,特别是低吸收激光器(即泵浦光被激光晶体棒单次吸收少),该现象更为严重。深入试验研究后发现导致该现象的主要原因是侧面泵浦激光模块中激光二极管(Laser diode,简称LD)发光腔面被污染,而污染源主要有两方面:一是侧泵激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高挥发物质污染发光腔面。侧面泵浦激光模块的泵浦光耦合方式特殊,即LD列阵辐射的泵浦光是从聚光腔外壁的通光窗口耦合进入内壁,随后经过石英玻璃管后被所述激光晶体棒吸收,而未被吸收的泵浦光只有部分被聚光腔反射回激光晶体棒进行多次吸收。在该泵浦光耦合过程中,聚光腔中光线发散角度不一样,经多次反射后,必会从聚光腔侧壁通光窗口处溢出剩余泵浦光,辐照侧面泵浦激光模块中的器件,对器件加热导致温升乃至熔融,挥发物质污染LD发光腔面。当为低吸收时,反射次数增加,溢出剩余泵浦光更多,LD发光腔面更易被污染;二是环境扰动导致外界物质进入侧面泵浦激光头模块内部污染LD发光腔面。全固态侧面泵浦激光器在实际应用中,运行环境中存在污染物,当外界扰动时,导致污染物进入模块内部污染LD发光腔面,从而降低侧面泵浦激光模块的可靠性,缩短全固态侧面泵浦激光器的使用寿命。
发明内容
针对现有技术中的缺陷,本发明提供了一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,该模块有效解决了由于温度导致挥发物质污染和外界环境污染导致的激光二极管发光腔面的污染问题。
第一方面,本发明提供一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,所述模块包括:激光晶体棒、石英玻璃管、聚光腔、由激光二极管热沉、聚醚酰亚胺和激光二极管组成的激光二极管列阵、第一散热器、第二散热器、第三散热器、端头、外密封器;
由所述激光晶体棒、石英玻璃管、聚光腔、激光二极管列阵、第一散热器、第二散热器、第三散热器组成侧面泵浦激光单元;
所述激光晶体棒、所述石英玻璃管和聚光腔由内而外依次共轴放置,所述第一散热器与所述激光二极管热沉的一面固定;所述第二散热器与所述聚醚酰亚胺的两个相邻侧面固定;所述第三散热器固定于所述端头上;
其中,所述激光晶体棒,用于吸收所述激光二极管列阵辐射的泵浦光;
所述激光二极管封装在所述激光二极管热沉上,所述激光二极管列阵为多个,等角度环绕在所述聚光腔的外侧;
所述端头,包括左端头和右端头,每个端头分别包括冷却介质密封槽、器件固定孔,位于所述侧面泵浦激光单元的左右两端,用于形成密封通道和固定各部件;
所述外密封器,用于密封所述左端头和右端头;
所述第一散热器、第二散热器、第三散热器、聚光腔和端头之间形成内密封腔,用于防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高生成挥发物质污染激光二极管发光腔面,并阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面;
所述外密封器、端头与所述侧面泵浦激光单元之间形成外密封腔,用于进一步阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面。
可选的,所述第一散热器的一面位于所述激光二极管热沉的一端,并通过所述激光二极管热沉进行固定;
所述第一散热器内部有通道,用于供冷却介质通过。
可选的,所述第二散热器为L型,固定于所述聚醚酰亚胺相邻的两个面上,并与所述聚醚酰亚胺相邻的两个面进行固定;所述第二散热器内部有通道,用于供冷却介质通过。
可选的,所述第三散热器与所述左端头和右端头固定连接,连接后位于所述侧面泵浦模块的四周;
所述第三散热器内部有通道,用于供冷却介质通过。
可选的,所述第一散热器与所述激光二极管热沉之间有缝隙,所述缝隙大小为0.5~2mm。
可选的,所述第一散热器、第二散热器、第三散热器之间均有缝隙,所述缝隙大小为0.5~2mm,且均为大热导率材料。
可选的,所述激光二极管列阵平行于所述聚光腔;
多个所述激光二极管列阵之间等角度对称排布,并环绕所述聚光腔外侧壁一周,且所述激光二极管列阵的个数为奇数个;
每个所述激光二极管列阵中的所述聚醚酰亚胺上均设有冷却介质出口和入口。
可选的,所述石英玻璃管内径大于所述激光晶体棒的直径,环绕在所述激光晶体棒的外侧,并与所述激光晶体棒的外侧之间形成缝隙。
可选的,所述左端头、所述右端头和所述外密封器将所述侧面泵浦激光模块密封;
所述左端头上设有与所述激光二极管列阵个数相同的冷却介质入口;所述右端头上设有与所述激光二极管列阵个数相同的冷却介质出口;
所述左端头上的冷却介质入口和所述右端头上的冷却介质出口分别与所述激光二极管列阵上的冷却介质入口和冷却介质出口的位置相对应,形成通孔。
可选的,所述聚醚酰亚胺左右两端均有长方形凸起,该长方形凸起通过密封圈与所述左端头和所述右端头进行密封连接固定。
由上述技术方案可知,本发明提供的一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,该模块第一散热器、第二散热器、第三散热器、聚光腔和端头之间形成内密封腔,用于防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高生成挥发物质污染激光二极管发光腔面,并阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面;所述端头、外密封器与所述侧面泵浦激光单元之间形成外密封腔,用于进一步阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面,该装置的内密封腔和外密封腔解决了侧面泵浦激光模块中激光二极管发光腔面污染的问题,提高了高功率、长时间运转、低吸收全固态侧面泵浦激光器的可靠性,扩大了该模块的应用场合。
附图说明
图1是本发明实施例防止LD发光腔面污染的侧面泵浦激光模块的基本结构示意图;
图2是本发明实施例第一散热器的结构示意图;
图3是本发明实施例第二散热器的结构示意图;
图4是本发明实施例第三散热器的结构示意图;
图5是本发明实施例防止LD发光腔面污染的侧面泵浦激光模块的端头外侧基本结构示意图;
图6是本发明实施例防止LD发光腔面污染的侧面泵浦激光模块的端头内侧基本结构示意图;
图7为本发明实施例外密封器的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图,对发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
本发明实施例包括内密封腔和外密封腔组成的模块,避免了侧面泵由于长时间运转导致内部器件温度升高挥发物质污染LD发光腔面,还阻止了由于环境扰动导致外界物质进入模块内部污染LD发光腔面。该双层密封腔的技术方案可提高高功率、长时间运转、低吸收全固态侧面泵浦激光器的可靠性,促进其广泛应用。
下面首先对内层密封腔的技术方案进行详细说明。
图1为一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,所述模块包括:
激光晶体棒1、石英玻璃管2、聚光腔3、由激光二极管热沉5、聚醚酰亚胺6和激光二极管组成的激光二极管列阵4、第一散热器7、第二散热器8、第三散热器9、端头11、外密封器10;
由所述激光晶体棒1、石英玻璃管2、聚光腔3、激光二极管列阵4、第一散热器7、第二散热器8、第三散热器9组成侧面泵浦激光单元;
所述激光晶体棒1、所述石英玻璃管2和聚光腔3由内而外依次共轴放置;激光二极管封装在所述激光二极管热沉5上,所述激光二极管列阵4为多个,并等角度环绕在所述聚光腔3的外侧;
所述第一散热器7与所述激光二极管热沉5的一面固定;所述第二散热器8与所述聚醚酰亚胺6的两个相邻侧面固定;所述第三散热器9固定于所述端头11上。
其中,激光晶体棒1,用于吸收所述LD列阵辐射的泵浦光,以产生激光。
石英玻璃管2,其内径比所述激光晶体棒1直径大,环绕在所述激光晶体棒1的外侧。石英玻璃管2内侧和晶体棒1外侧之间形成缝隙,供冷却介质通过。
聚光腔3,环绕其外侧壁一周等间隔开有通光窗口,用于让所述LD列阵4辐射的泵浦光进入聚光腔3内壁经所述石英玻璃管2后被所述激光晶体棒1吸收,并将未被吸收的部分泵浦光反射回激光晶体棒1进行多次吸收;泵浦光在聚光腔3中光线的发散角度不一样,经多次反射后,必会从聚光腔3侧壁通光窗口处溢出剩余泵浦光,从而对侧面泵浦激光模块的器件进行加热温升,产生挥发物质污染LD发光腔面,损坏器件。
单个LD列阵4平行于所述激光聚光腔3,多个LD列阵4之间等角度对称排布,该LD列阵的个数为奇数个,每个所述激光二极管列阵中的所述聚醚酰亚胺上均设有冷却介质出口和入口。举例来说,若该LD列阵的个数为3个,则多个LD列阵之间的角度为120°;若该LD列阵的个数为5个,则多个LD列阵之间的角度为72°,环绕所述聚光腔3外侧壁一周,LD发光中心精确位于聚光腔3通光孔中央位置处;激光二极管封装在所述激光二极管热沉上,所述激光二极管列阵辐射的泵浦光从所述聚光腔通光窗口照射到激光晶体棒上激发激光,LD热沉固定在聚醚酰亚胺上,内部有通道,供冷却介质通过,用于冷却LD列阵,LD热沉为无氧铜热沉。
所述端头11,包括左端头和右端头,每个端头分别包括冷却介质密封槽、器件固定孔,位于所述侧面泵浦激光单元的左右两端,用于形成密封通道和固定各部件;
所述外密封器,用于密封所述左端头和右端头,所述左端头、所述端头和所述外密封器将所述侧面泵浦激光模块密封;
所述左端头上设有与所述激光二极管列阵个数相同的冷却介质入口;所述右端头上设有与所述激光二极管列阵个数相同的冷却介质出口;
所述左端头上的冷却介质入口和所述右端头上的冷却介质出口分别与所述激光二极管列阵上的冷却介质入口和冷却介质出口的位置相对应,形成通孔。
所述第一散热器、第二散热器、第三散热器、聚光腔和端头之间形成内密封腔,用于防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高生成挥发物质污染激光二极管发光腔面,并阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面。
所述外密封器、端头与所述侧面泵浦激光单元之间形成外密封腔,用于进一步阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面。
其中散热器包括第一散热器,其为大热导率材料,其内部有冷却介质流过;第二散热器,其为大热导率材料,其内部有冷却介质流过;第三散热器,其为大热导率材料。三种散热器用于吸收、遮挡和反射外溢剩余泵浦光,防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高,挥发物质污染LD发光腔面,并阻止由于环境扰动导致外部污染物进入侧面泵浦激光模块内部污染LD发光腔面。
优选的,LD热沉5可以为无氧铜热沉,第一散热器、第二散热器和第三散热器的材料可以为无氧铜材料。
在LD发光腔面位置,第一散热器与LD热沉5的一面不能相互连接,设计有较小狭缝,缝隙大小合适,以不遮挡泵浦光稍大为宜,大小为0.5-2mm,且该激光二极管热沉的一端为与所述聚光腔固定的一端;第一散热器与第三散热器、与第二散热器与第三散热器之间也不能相互连接均设计有较小缝隙,缝隙大小合适,大小为0.5-2mm。
第一散热器见图2,第一散热器的一面位于所述激光二极管热沉的一端,并通过所述激光二极管热沉进行固定。在第一散热器中有封装固定孔,通过LD热沉5进行固定;第一散热器内部有通道,供冷却介质通过。全固态侧面泵浦激光器工作时,第一散热器反射部分外溢剩余泵浦光再次从所述聚光腔通光窗口处进入晶体被再次吸收,吸收部分和遮挡部分外溢剩余泵浦光,从而保证侧面泵浦激光模块在长时间运转时LD列阵发光腔面附近器件温度不会升高、不会挥发物质污染LD发光腔面。
第二散热器见图3呈L面形,固定于所述聚醚酰亚胺6相邻的两个面上。在第二散热器中有封装固定孔,与聚醚酰亚胺6紧密接触并固定,其为大热导率材料。聚醚酰亚胺6是一种树脂,热传导性能差,本身会吸收LD列阵4辐射的泵浦光,长时间被泵浦光照射,该器件表面温度会很高,甚至导致熔融,挥发物质污染LD发光腔面。全固态侧面泵浦激光器工作时,第二散热器吸收和遮挡部分外溢剩余泵浦光,从而保证侧面泵浦激光模块在长时间运转时聚醚酰亚胺器件温度不会升高、不会挥发物质污染LD发光腔面。
第三散热器见图4,呈扇形面形,与所述左端头和右端头固定连接,连接后位于所述侧面泵浦模块的四周。其为大热导率材料,其内部有冷却介质流过。全固态侧面泵浦激光器工作时,第三散热器吸收和遮挡部分外溢剩余泵浦光,从而保证侧面泵浦激光模块在长时间运转时器件温度不会升高、不会挥发物质污染LD发光腔面。
在本发明的一个实施例中,优选地,单个LD列阵4平行于所述激光聚光腔3,多个LD列阵4之间等角度,包括72°,120°,环绕所述聚光腔3外侧壁一周,LD发光中心精确位于聚光腔3通光孔中央位置处;LD热沉固定在聚醚酰亚胺6上,所述聚醚酰亚胺左右两端均有长方形凸起,该长方形凸起通过密封圈与所述左端头和所述右端头进行密封连接固定,每两个LD列阵之间放置第三散热器。
在本发明的一个实施例中,优选地,左右端头外侧面见图5,由内及外依次留有三个环形槽。内侧环形槽11-11与石英玻璃管法阑以及O型圈配合石英玻璃管2将接触区域密封,中间环形槽11-12与固定端盖形成冷却介质通道,外侧环形槽11-13与固定端盖以及O型圈将接触区域密封。冷却介质通道连通石英玻璃管2,配合外界冷却系统,形成激光晶体棒1冷却介质循环通道,对激光晶体棒1散热;冷却介质通道连通LD热沉5,配合外界冷却系统,形成LD列阵4冷却介质循环通道,对LD列阵4散热。左右端头四周小侧面有外近似密封器固定孔、封装底板固定孔和冷却介质进出口。晶体法兰固定于左右固定端盖上。另外,左右端头内侧面见图6,包括:聚光腔3固定槽11-14、LD列阵4固定槽11-15。聚光腔3固定槽11-14位于LD列阵4固定槽11-15内侧,两者之间的尺寸由LD列阵的尺寸决定。LD列阵4两端固定于左右端头内侧面相应的LD列阵固定孔上。
上述由内密封腔和外密封腔组成双层密封结构,可有效防止LD发光腔面污染。
下面详细介绍本发明实施例的具体结构:
本实施例提供一种双层密封腔结构的防止LD发光腔面污染的侧面泵浦激光模块的具体结构。
其中石英玻璃管2为空心圆柱结构,材料为石英,内径为5mm,外径为10mm,长度为52.5mm。
聚光腔3为空心圆柱结构,材料为陶瓷,内径为10.5mm,外径为16.4mm,长度为41.5mm。石英玻璃管2放置于聚光腔3内部,处于共轴关系。环绕聚光腔3外侧壁一周等间隔开有矩形通光窗口,长度为34mm,宽为4mm。
第一散热器如图2所示,材料为无氧铜,高10.8mm,横截面近似为长方形结构,长为12mm,宽5mm,内部有冷却槽直径1mm,供冷却介质流过,实现对该部件进行冷却,通过两个M2.5mm螺钉与LD列阵进行固定,在长方形面上有一狭缝,狭缝宽4mm,高0.6mm,保证第一散热器7与LD热层5有较小狭缝,不遮挡泵浦光。
第二散热器如图3所示,材料为无氧铜,根据商用LD列阵结构设计,高10.8mm,横截面为L形结构,长臂长为27mm,短臂长为16mm,厚度为3mm,内部有冷却槽直径1mm,供冷却介质流过,实现对该部件进行冷却,长臂面通过固定LD热沉5和聚醚酰亚胺6的螺钉进行固定,短臂面与聚醚酰亚胺6紧密接触并通过三个M2.5mm螺钉固定。
第三散热器如图4所示,材料为无氧铜,根据商用LD列阵结构设计,高35.1mm,横截面为近似扇形结构,内径圆半径为21mm,外径圆半径为31mm,第三散热器9上下两个端面各有两个M4螺纹孔,深度为4.5mm,通过螺钉孔与端头11进行固定。
外密封器10的形状如图7所示,材料为铝,高63.5mm,横截面为多边形,为半圆与长方形结构组合体,壁厚1.5mm,半圆内直径为90mm,长方形内长为90mm,高40mm,侧面分别通过8个M2.5螺钉与侧面泵浦激光模块的左端头和右端头进行固定。
3向3列的LD列阵,为商业化LD列阵4,中心波长808nm,为连续光输出,LD热沉5为商业化LD的配套装置,LD热沉5固定在聚醚酰亚胺6上,LD列阵4通过聚醚酰亚胺6两端与端头11进行密封固定。
左端头和右端头由不锈钢材料制成,横截面为多边形,为半圆与长方形结构组合体,半圆直径为90mm,长方形内长为90mm,高40mm,厚度为14mm。结构包括密封槽,冷却介质通道和固定孔。以端头外侧面为参考面,端头长方形上边沿中心为圆心,由内及外的具体结构依次为石英管固定密封孔11-11,直径10.5mm,通孔;圆环形水槽11-12,直径62mm,深7mm;圆形密封槽11-13,内径64mm,外径67.6mm,深2mm;三个M2.5石英玻璃管螺纹固定孔,均匀分布于直径为24mm的圆上;三个LD列阵冷却介质通道连通孔,直径为5mm通孔,均匀分布于直径为40mm的圆上;第三个散热器9固定孔,均匀分布于直径为78mm圆上,M4沉孔;端头的内侧面尺寸与外侧面相同,由内及外的结构依次为:正聚光腔3固定槽11-14,槽深3.2mm,外切圆直径17mm;三个LD热沉5固定槽11-15,分布于聚光腔3固定槽11-14外侧,其尺寸与商业化LD热沉5相匹配,槽深1.2mm;左端头和右端头底部侧面上有两个底座固定孔,M5镙纹孔,孔深10mm,间距60mm,中心对称;左端头和右端头内侧面相对放置时,分别位于左端头和右端头上两个40mm×14mm侧面,各有一个冷却介质进出口,孔深25mm,与冷却介质通道连通。所述组成部分由固定封装结构封装在一起。
固定封装结构包括:石英玻璃管法兰、圆环形左右固定端盖、长方体底板和晶体棒法兰。其中石英玻璃管法兰内直径10.5mm,外直径28mm,厚2mm,且上有三个M2.5固定沉孔,均匀位于直径为24mm的圆上。圆环形左右固定端盖,外直径88mm,其共心放置有直径为3.2mm的激光增益介质1固定通孔,深4mm的M7.2晶体棒法兰固定螺纹孔,以及均匀分布直径为75mm的圆上的三个M4前后端盖固定沉孔。长方体底板固定在左端头和右端头底部。其余结构以及固定孔与其配套器件相匹配。
本实施例提供的双层密封腔结构组成的防止LD发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,适用于晶体棒直径为2mm-4mm,长度为65mm-90mm激光晶体棒,可实现对侧面泵浦激光模块中聚光腔通光窗口位置处外溢剩余泵浦光进行充分遮挡、吸收和反射,防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高,挥发物质污染LD发光腔面,并阻止由于环境扰动导致外界污染物进入内部,保证高功率、长时间运转和低吸收全固态侧面泵浦激光器的可靠性。
在本发明实施例提供的防止LD发光腔面污染的侧面泵浦激光模块中,采用内密封腔和外密封腔,以解决高功率、长时间运转、低吸收全固态侧面泵浦激光器因LD发光腔面容易被污染导致功率下降、寿命变短难题,提高全固态侧面泵浦激光器可靠性,促进其广泛应用。
本发明的说明书中,说明了大量具体细节。然而,能够理解,本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中,并未详细示出公知的方法、结构和技术,以便不模糊对本说明书的理解。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。
Claims (10)
1.一种防止激光二极管发光腔面污染的侧面泵浦激光模块,其特征在于,所述模块包括:激光晶体棒、石英玻璃管、聚光腔、由激光二极管热沉、聚醚酰亚胺和激光二极管组成的激光二极管列阵、第一散热器、第二散热器、第三散热器、端头、外密封器;
由所述激光晶体棒、石英玻璃管、聚光腔、激光二极管列阵、第一散热器、第二散热器、第三散热器组成侧面泵浦激光单元;
所述激光晶体棒、所述石英玻璃管和聚光腔由内而外依次共轴放置,所述第一散热器与所述激光二极管热沉的一面固定;所述第二散热器与所述聚醚酰亚胺的两个相邻侧面固定;所述第三散热器固定于所述端头上;
其中,所述激光晶体棒,用于吸收所述激光二极管列阵辐射的泵浦光;
所述激光二极管封装在所述激光二极管热沉上,所述激光二极管列阵为多个,等角度环绕在所述聚光腔的外侧;
所述端头,包括左端头和右端头,每个端头分别包括冷却介质密封槽、器件固定孔,位于所述侧面泵浦激光单元的左右两端,用于形成密封通道和固定各部件;
所述外密封器,用于密封所述左端头和右端头;
所述第一散热器、第二散热器、第三散热器、聚光腔和端头之间形成内密封腔,用于防止侧面泵浦激光模块由于长时间运转导致内部器件温度升高生成挥发物质污染激光二极管发光腔面,并阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面;
所述外密封器、端头与所述侧面泵浦激光单元之间形成外密封腔,用于进一步阻止外界物质进入污染激光二极管发光腔面。
2.根据权利要求1所述的模块,其特征在于,所述第一散热器的一面位于所述激光二极管热沉的一端,并通过所述激光二极管热沉进行固定;
所述第一散热器内部有通道,用于供冷却介质通过。
3.根据权利要求1所述的模块,其特征在于,
所述第二散热器为L型,固定于所述聚醚酰亚胺相邻的两个面上,并与所述聚醚酰亚胺相邻的两个面进行固定;所述第二散热器内部有通道,用于供冷却介质通过。
4.根据权利要求1所述的模块,其特征在于,所述第三散热器与所述左端头和右端头固定连接,连接后位于所述侧面泵浦模块的四周;
所述第三散热器内部有通道,用于供冷却介质通过。
5.根据权利要求1或2所述的模块,其特征在于,所述第一散热器与所述激光二极管热沉之间有缝隙,所述缝隙大小为0.5~2mm。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的模块,其特征在于,所述第一散热器、第二散热器、第三散热器之间均有缝隙,所述缝隙大小为0.5~2mm,且均为大热导率材料。
7.根据权利要求6所述的模块,其特征在于,所述激光二极管列阵平行于所述聚光腔;
多个所述激光二极管列阵之间等角度对称排布,并环绕所述聚光腔外侧壁一周,且所述激光二极管列阵的个数为奇数个;
每个所述激光二极管列阵中的所述聚醚酰亚胺上均设有冷却介质出口和入口。
8.根据权利要求6所述的模块,其特征在于,所述石英玻璃管内径大于所述激光晶体棒的直径,环绕在所述激光晶体棒的外侧,并与所述激光晶体棒的外侧之间形成缝隙。
9.根据权利要求6所述的模块,其特征在于,所述左端头、所述右端头和所述外密封器将所述侧面泵浦激光模块密封;
所述左端头上设有与所述激光二极管列阵个数相同的冷却介质入口;所述右端头上设有与所述激光二极管列阵个数相同的冷却介质出口;
所述左端头上的冷却介质入口和所述右端头上的冷却介质出口分别与所述激光二极管列阵上的冷却介质入口和冷却介质出口的位置相对应,形成通孔。
10.根据权利要求6所述的模块,其特征在于,
所述聚醚酰亚胺左右两端均有长方形凸起,该长方形凸起通过密封圈与所述左端头和所述右端头进行密封连接固定。
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