CN104616851A - 一种激光调阻机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种激光调阻机，它包括机架，机架设置有联动机构、测阻机构和调节机构，联动机构包括底座和工作台，底座连轨道A，轨道A设有螺杆A，螺杆A连有电机A，底座设有轨道B，轨道B设有螺杆B，螺杆B连有电机B，测阻机构设有测阻座，测阻座连有测阻台，测阻台设有测阻孔，测阻台设有测阻针，调节机构设有外壳，外壳通过调节架与机架连接，外壳内设有调节支架，调节支架连有激光调节装置，调节机构还设有激光反射装置和摄像头，激光反射装置连有激光发射装置，摄像头连有成像装置，成像装置连有显示器，显示器连有控制终端，控制终端通过信号线与激光调节装置连接，具有结构简单、运行成本低、调阻精度高、功能全面的优点。

Description

一种激光调阻机

技术领域

本发明属于调阻设备技术领域，具体涉及一种激光调阻机。

背景技术

调阻机工艺已经成熟应用在厚膜、薄膜及半导体电路中，现今由于人们对器件的微型化要求越来越高，甚至到苛刻的地步，电路的微型化要求也越来越高，在一些精密的厚、薄膜电路以及一些半导体电路中，在我国，电子信息产业已成为国民经济和社会发展的第一大支柱产业，电子信息产业的发展推动了相关电子元器件的加速发展，片式元器件由于体积小、制造成本低等优势，正在被电子应用领域广泛使用，而实现片式元器件工艺技术的载体是专用设备，在片式电阻生产工艺中对精密调阻机有着相当高的要求，而且这些电阻的生产工艺只有激光调阻才能解决，这种激光调阻机除了基本的测量精度外，对产品的运动精度及定位精度要求也非常高，因此，开发一种结构简单、运行成本低、调阻精度高、功能全面的激光调阻机具有十分重要的意义。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术的不足，而提供一种结构简单、运行成本低、调阻精度高、功能全面的激光调阻机。

本发明的目的是这样实现的：一种激光调阻机，它包括机架，所述的机架从下至上一次设置有联动机构、测阻机构和调节机构，所述的联动机构包括底座和与底座连接的工作台，所述的底座连接有轨道A，所述的轨道A内设置有与底座相配合的螺杆A，所述的螺杆A的右端连接有电机A，底座的上侧面设置有轨道B，所述的轨道B内设置有与工作台相配合的螺杆B，所述的螺杆B连接有电机B，所述的测阻机构与联动机构相配合，测阻机构设置有测阻座，所述的测阻座连接有测阻台，所述的测阻台的中部设置有测阻孔，测阻台的上侧面上设置有与测阻孔相配合的测阻针，所述的调节机构与测阻机构相配合，调节机构设置有外壳，所述的外壳通过调节架与机架连接，外壳内设置有调节支架，所述的调节支架连接有激光调节装置，调节机构还设置有与激光调节装置相配合的激光反射装置和与激光调节装置相配合的摄像头，所述的激光反射装置连接有与激光反射装置相配合的激光发射装置，所述的摄像头连接有成像装置，所述的成像装置通过信号线连接有显示器，所述的显示器通过信号装置连接有控制终端，所述的控制终端通过信号线与激光调节装置连接。

所述的轨道A和轨道B为垂直设置。

所述的底座的设置有与工作台相配合的限位装置。

所述的测阻台通过卡接的方式与测阻座连接，且通过螺栓固定测阻台。

所述的测阻针的数量为三个，且沿测阻孔圆周均匀分布。

所述的成像装置为CCD成像装置。

所述的激光调节装置的数量为两个，且两个激光调节装置为垂直设置。

所述的激光发射装置为双镜片组合结构的激光发射装置。

所述的工作台通过负压的方式固定被测片阻。

本发明的有益效果：本发明包括机架，机架下部设置的联动机构是由底座和底座连接的工作台组成，底座连接的轨道A是为了将底座沿轨道A运动，具有限制底座运动轨迹的作用，底座通过电机A带动螺杆A将底座沿轨道A运动，另外工作台在电机B的作用下带动螺杆B将工作台沿轨道B运动，而且由于轨道A和轨道B为垂直设置，这种设置使联动机构能够在纵向方向和横向方向都能运动，从而实现工作台在平面上任意改变位置，具有使用范围广的优点，而且在结构上简单合理、制造成本低，机架上部设置的测阻机构是主要起到测量片阻的阻值，测阻机构包括测阻台，测阻台的上侧面上设置的测阻针能够精确的测量片阻的阻值，在测量片阻的阻值时联动机构和测阻机构相配合达到测量阻值的作用，机架的上部设置的调节机构主要是起到对测量的阻值进行调节，调节机构设置有调节支架，调节支架起到支撑激光反射装置的作用，在使用时激光发射装置发射出激光，激光通过激光调节装置的调节后，将调节后的激光再反射给激光反射装置，通过激光反射装置的激光对片阻进行调节阻值，由于激光反射装置的数量为两个，且垂直设置，这种设置能够很好的将激光反射出去，并且能够根据需要随意的调节激光的角度，这种设置在调节片阻时精确度高，使用方便，摄像头的设置是为了对激光进行实施检测，并将检测结构通过成像装置在显示器显示出来，这样更能直观的观察激光的动态，显示器连接的控制终端起到控制整个调阻过程，使调节的片阻的阻值精确度更高，本发明具有结构简单、运行成本低、调阻精度高、功能全面的优点。

附图说明

图1为本发明一种激光调阻机的结构示意图。

图2为本发明一种激光调阻机的联动机构的结构示意图。

图3为本发明一种激光调阻机的测阻机构的结构示意图。

图中：1、机架 2、联动机构 3、测阻机构 4、调节机构 5、底座 6、工作台 7、轨道 8、螺杆A 9、电机A 10、轨道B 11、螺杆B 12、电机B 13、测阻座 14、测阻台 15、测阻孔 16、测阻针 17、外壳 18、调节架 19、调节支架 20、激光调节装置 21、激光反射装置 22、摄像头 23、激光发射装置 24、成像装置 25、显示器 26、控制终端 27、限位装置。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的说明。

实施例1

如图1、图2和图3所示，一种激光调阻机，它包括机架1，所述的机架1从下至上一次设置有联动机构2、测阻机构3和调节机构4，所述的联动机构2包括底座5和与底座5连接的工作台6，所述的底座5连接有轨道A7，所述的轨道A7内设置有与底座5相配合的螺杆A8，所述的螺杆A8的右端连接有电机A9，底座5的上侧面设置有轨道B10，所述的轨道B10内设置有与工作台6相配合的螺杆B11，所述的螺杆B11连接有电机B12，所述的测阻机构3与联动机构2相配合，测阻机构3设置有测阻座13，所述的测阻座13连接有测阻台14，所述的测阻台14的中部设置有测阻孔15，测阻台14的上侧面上设置有与测阻孔15相配合的测阻针16，所述的调节机构4与测阻机构3相配合，调节机构4设置有外壳17，所述的外壳17通过调节架18与机架1连接，外壳17内设置有调节支架19，所述的调节支架19连接有激光调节装置20，调节机构4还设置有与激光调节装置20相配合的激光反射装置21和与激光调节装置20相配合的摄像头22，所述的激光反射装置21连接有与激光反射装置21相配合的激光发射23装置，所述的摄像头22连接有成像装置24，所述的成像装置24通过信号线连接有显示器25，所述的显示器25通过信号装置连接有控制终端26，所述的控制终端26通过信号线与激光调节装置20连接。

本发明包括机架，机架下部设置的联动机构是由底座和底座连接的工作台组成，底座连接的轨道A是为了将底座沿轨道A运动，具有限制底座运动轨迹的作用，底座通过电机A带动螺杆A将底座沿轨道A运动，另外工作台在电机B的作用下带动螺杆B将工作台沿轨道B运动，而且由于轨道A和轨道B为垂直设置，这种设置使联动机构能够在纵向方向和横向方向都能运动，从而实现工作台在平面上任意改变位置，具有使用范围广的优点，而且在结构上简单合理、制造成本低，机架上部设置的测阻机构是主要起到测量片阻的阻值，测阻机构包括测阻台，测阻台的上侧面上设置的测阻针能够精确的测量片阻的阻值，在测量片阻的阻值时联动机构和测阻机构相配合达到测量阻值的作用，机架的上部设置的调节机构主要是起到对测量的阻值进行调节，调节机构设置有调节支架，调节支架起到支撑激光反射装置的作用，在使用时激光发射装置发射出激光，激光通过激光调节装置的调节后，将调节后的激光再反射给激光反射装置，通过激光反射装置的激光对片阻进行调节阻值，由于激光反射装置的数量为两个，且垂直设置，这种设置能够很好的将激光反射出去，并且能够根据需要随意的调节激光的角度，这种设置在调节片阻时精确度高，使用方便，摄像头的设置是为了对激光进行实施检测，并将检测结构通过成像装置在显示器显示出来，这样更能直观的观察激光的动态，显示器连接的控制终端起到控制整个调阻过程，使调节的片阻的阻值精确度更高，本发明具有结构简单、运行成本低、调阻精度高、功能全面的优点。

实施例2

如图1、图2和图3所示，一种激光调阻机，它包括机架1，所述的机架1从下至上一次设置有联动机构2、测阻机构3和调节机构4，所述的联动机构2包括底座5和与底座5连接的工作台6，所述的底座5连接有轨道A7，所述的轨道A7内设置有与底座5相配合的螺杆A8，所述的螺杆A8的右端连接有电机A9，底座5的上侧面设置有轨道B10，所述的轨道B10内设置有与工作台6相配合的螺杆B11，所述的螺杆B11连接有电机B12，所述的测阻机构3与联动机构2相配合，测阻机构3设置有测阻座13，所述的测阻座13连接有测阻台14，所述的测阻台14的中部设置有测阻孔15，测阻台14的上侧面上设置有与测阻孔15相配合的测阻针16，所述的调节机构4与测阻机构3相配合，调节机构4设置有外壳17，所述的外壳17通过调节架18与机架1连接，外壳17内设置有调节支架19，所述的调节支架19连接有激光调节装置20，调节机构4还设置有与激光调节装置20相配合的激光反射装置21和与激光调节装置20相配合的摄像头22，所述的激光反射装置21连接有与激光反射装置21相配合的激光发射23装置，所述的摄像头22连接有成像装置24，所述的成像装置24通过信号线连接有显示器25，所述的显示器25通过信号装置连接有控制终端26，所述的控制终端26通过信号线与激光调节装置20连接，所述的轨道A7和轨道B10为垂直设置，所述的底座5的设置有与工作台6相配合的限位装置27，所述的测阻台14通过卡接的方式与测阻座13连接，且通过螺栓固定测阻台14，所述的测阻针16的数量为三个，且沿测阻孔15圆周均匀分布，所述的成像装置24为CCD成像装置，所述的激光调节装置20的数量为两个，且两个激光调节装置20为垂直设置，所述的激光发射装置23为双镜片组合结构的激光发射装置，所述的工作台6通过负压的方式固定被测片阻。

本发明包括机架，机架下部设置的联动机构是由底座和底座连接的工作台组成，底座连接的轨道A是为了将底座沿轨道A运动，具有限制底座运动轨迹的作用，底座通过电机A带动螺杆A将底座沿轨道A运动，另外工作台在电机B的作用下带动螺杆B将工作台沿轨道B运动，而且由于轨道A和轨道B为垂直设置，这种设置使联动机构能够在纵向方向和横向方向都能运动，从而实现工作台在平面上任意改变位置，具有使用范围广的优点，而且在结构上简单合理、制造成本低，机架上部设置的测阻机构是主要起到测量片阻的阻值，测阻机构包括测阻台，测阻台的上侧面上设置的测阻针能够精确的测量片阻的阻值，在测量片阻的阻值时联动机构和测阻机构相配合达到测量阻值的作用，机架的上部设置的调节机构主要是起到对测量的阻值进行调节，调节机构设置有调节支架，调节支架起到支撑激光反射装置的作用，在使用时激光发射装置发射出激光，激光通过激光调节装置的调节后，将调节后的激光再反射给激光反射装置，通过激光反射装置的激光对片阻进行调节阻值，由于激光反射装置的数量为两个，且垂直设置，这种设置能够很好的将激光反射出去，并且能够根据需要随意的调节激光的角度，这种设置在调节片阻时精确度高，使用方便，摄像头的设置是为了对激光进行实施检测，并将检测结构通过成像装置在显示器显示出来，这样更能直观的观察激光的动态，显示器连接的控制终端起到控制整个调阻过程，使调节的片阻的阻值精确度更高，本发明具有结构简单、运行成本低、调阻精度高、功能全面的优点。

Claims (9)

1.一种激光调阻机，它包括机架，其特征在于：所述的机架从下至上一次设置有联动机构、测阻机构和调节机构，所述的联动机构包括底座和与底座连接的工作台，所述的底座连接有轨道A，所述的轨道A内设置有与底座相配合的螺杆A，所述的螺杆A的右端连接有电机A，底座的上侧面设置有轨道B，所述的轨道B内设置有与工作台相配合的螺杆B，所述的螺杆B连接有电机B，所述的测阻机构与联动机构相配合，测阻机构设置有测阻座，所述的测阻座连接有测阻台，所述的测阻台的中部设置有测阻孔，测阻台的上侧面上设置有与测阻孔相配合的测阻针，所述的调节机构与测阻机构相配合，调节机构设置有外壳，所述的外壳通过调节架与机架连接，外壳内设置有调节支架，所述的调节支架连接有激光调节装置，调节机构还设置有与激光调节装置相配合的激光反射装置和与激光调节装置相配合的摄像头，所述的激光反射装置连接有与激光反射装置相配合的激光发射装置，所述的摄像头连接有成像装置，所述的成像装置通过信号线连接有显示器，所述的显示器通过信号装置连接有控制终端，所述的控制终端通过信号线与激光调节装置连接。

2.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的轨道A和轨道B为垂直设置。

3.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的底座的设置有与工作台相配合的限位装置。

4.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的测阻台通过卡接的方式与测阻座连接，且通过螺栓固定测阻台。

5.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的测阻针的数量为三个，且沿测阻孔圆周均匀分布。

6.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的成像装置为CCD成像装置。

7.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的激光调节装置的数量为两个，且两个激光调节装置为垂直设置。

8.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的激光发射装置为双镜片组合结构的激光发射装置。

9.如权利要求1所述的一种激光调阻机，其特征在于：所述的工作台通过负压的方式固定被测片阻。