CN104614796B - 一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器。本发明采用介质薄膜覆盖金属双缝结构，当入射光从背面照射金属双缝结构时，每个狭缝都可以激发空气‑介质‑金属的复合波导支持的TM和TE模式，每个方向波导模式总的场强就是两个狭缝单独激发的模式的相干叠加；由于两个狭缝的宽度不同，相反方向的干涉状态可以反相，因此可以实现波导模式的定向激发；进一步，由于复合波导存在很大的模式色散，因此两个互相垂直的偏振模式可以沿着相反的方向传播，从而实现偏振分束。本发明在金属双缝结构上实现了一个超小的偏振分束器件，双缝干涉可以调控金属纳米结构中的场分布，在纳米等离激元器件中有重要的作用；并且在集成回路中具有重要的应用。

Description

一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器
技术领域
本发明涉及纳米光子学领域，尤其涉及一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器。
背景技术
偏振是光的一个重要属性，偏振分束器是光学系统中重要的组成元件，它可以将入射光分成两束彼此分开的、偏振方向互相垂直的线偏振光。随着微加工技术和集成光学的不断发展，器件的小型化和集成化变得越来越重要，尤其是在高集成度的光子回路和光学量子计算领域。表面等离激元是沿金属表面传播的横磁波(TM)，由于它可以突破衍射极限，因此为光子器件的小型化提供了一个新的途径。最近几年，人们提出了许多基于可以同时支持横磁(TM)和横电(TE)模式的表面等离激元复合结构的偏振分束器件来减小器件的尺寸。数值计算发现，通过在耦合波导结构中的一个波导上面设计一个金属带或者在两个耦合波导之间放置金属颗粒和金属薄膜可以有效地将TM和TE模式分开。另外，通过在介质波导结构中插入金的等离激元波导阵列结构或者MIM结构也可以实现偏振分束。但是这些复合等离激元结构都比较复杂，实验上很难实现。实验上利用CMOS工艺，在中间波导被Cu覆盖的耦合波导结构上实现了偏振分束，但是这种结构中耦合区域的长度达6.5μm。以上这些偏振分束器件的工作原理主要有两种，一种是倏逝波耦合效应，另一种则是多模干涉。最近，文献报道了利用共振腔效应，实验上在非对称金属狭缝结构中实现了偏振分束，器件的横向尺寸被压缩到了亚微米。但是由于共振腔效应的限制，这种偏振分束器只能在单波长工作。
发明内容
针对以上现有技术存在的问题，本发明提出了一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器，利用双缝干涉效应在介质薄膜覆盖的金属双缝结构上实现了超小的宽带偏振分束器。
本发明的一个目的在于提供一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器。
本发明的基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器包括：金属薄膜、第一狭缝、第二狭缝以及介质薄膜；其中，金属薄膜的厚度为tM，在金属薄膜上设置第一狭缝和第二狭缝，二者之间的距离为d，宽度分别为w1和w2，构成金属双缝结构；介质薄膜覆盖在金属薄膜、第一狭缝和第二狭缝上，介质薄膜的厚度为tI；介质薄膜上面为空气，从而形成空气-介质-金属的复合波导；这种波导同时支持TM和TE两种波导模式，并且通过控制介质薄膜的厚度tI保证有且只有一个TE模式和一个TM模式存在；一束光从背面入射，每一个狭缝都相当于一个源，同时激发TM和TE两种波导模式，两种波导模式都向两个方向传播，强度相同；每一个方向上总的波导模式强度就是两个狭缝单独激发的模式的相干叠加；TM模式向右和TE模式向左发生相消干涉的条件：
或者，TM模式向左和TE模式向右方向发生相消干涉的条件：
其中，neff TM(tI)和neff TE(tI)分别表示空气-介质-金属的复合波导支持的TM和TE模式的有效折射率；n′eff TM(tI)和n′eff TE(tI)分别是第一或第二狭缝处空气-介质-空气的介质波导支持的TM和TE模式的有效折射率；λTM L是金属双缝结构向左定向激发TM模式时的真空波长，λTE R是金属双缝结构向右定向激发TE模式时的真空波长；λTM R是金属双缝结构向右定向激发TM模式时的真空波长，λTE L是金属双缝结构向左定向激发TE模式时的真空波长；当λTM L＝λTE R，或者λTM R＝λTE L时，实现偏振分束。
由于表面等离激元具有偏振依赖，纯金属结构中只支持TM偏振的表面等离激元模式，而不支持TE模式。本发明在金属薄膜上设置距离为d，宽度分别为w1和w2的金属双缝结构，然后再覆盖一层厚度为tI的介质薄膜，形成空气-介质-金属的复合波导，同时支持TM和TE波导模式。介质薄膜的厚度tI越大，同时存在的TE和TM模式越多，随着介质薄膜的厚度tI逐渐增加，逐渐出现更高阶的TM和TE模式，通过控制介质薄膜的厚度为tI，使得有且只有一个TE模式和一个TM模式存在，即tTE0(λ)﹤tI﹤tTM1(λ)，tTE0(λ)是第一个TE模式的截止厚度，tTM1(λ)是第二个TM模式的截止厚度，两者都与入射波长和介质膜折射率有关。当一束光从背面照射整个金属双缝结构时，每一个狭缝都相当于一个源，同时激发TM和TE两种波导模式，两种波导模式都向两个方向传播，强度相同。金属双缝结构激发的波导模式就是两个狭缝单独激发的波导模式的相干叠加，干涉状态的不同直接决定了总的激发波导模式的强度。第一狭缝与第二狭缝产生的波导模式之间向右干涉的相位差ΦR，以及第一狭缝与第二狭缝产生的波导模式之间向左干涉的相位差ΦL满足：
其中，neff表示空气-介质-金属的复合波导支持的波导模式的有效折射率；n′eff是第一或第二狭缝处空气-介质-空气介质波导支持的波导模式的有效折射率；其中为光在第一狭缝中传播产生的相位、第一狭缝激发波导模式的相位、以及模式穿过第二狭缝的边缘时带来的相位之和；为光在第二狭缝中传播产生的相位、第二狭缝激发波导模式的相位、以及模式穿过第一狭缝的边缘时带来的相位之和。通过调节缝宽来调节金属双缝结构激发的模式的强度。如果w1≠w2时，当一个方向是完全相消干涉时，另一个方向不会发生相消干涉，因此能够在金属双缝结构中实现波导模式的定向激发。为了实现偏振分束，TM和TE模式需要在不同的方向实现定向激发。由于在空气-介质-金属的复合波导中，存在很大的模式色散，TM和TE模式的有效折射率不同，因此它们在同一方向上的干涉状态不一样。基于以上原理，可利用介质膜覆盖的金属双缝结构实现偏振分束。根据式(1)，TM模式向右和TE模式向左方向发生相消干涉的条件：
同理，TM模式向左和TE模式向右方向发生相消干涉的条件：
当λTM L＝λTE R时，或者λTM R＝λTE L，金属双缝结构激发的TM和TE模式分别沿不同方向传播，从而实现偏振分束。
本发明的优点：
本发明采用介质薄膜覆盖在金属双缝结构，当入射光从背面照射金属双缝结构时，每个狭缝都可以激发空气-介质-金属的复合波导支持的TM和TE模式，每个方向波导模式总的强度就是两个狭缝单独激发的模式的相干叠加；由于两个狭缝的宽度不同，相反方向的干涉状态可以是反相的，因此可以实现波导模式的定向激发；更重要的是，由于复合波导的模式色散，因此两个互相垂直的偏振模式可以沿着相反的方向传播，从而实现偏振分束。本发明在金属双缝结构上实现了一个超小(横向尺寸约1.6μm)、宽带(约50nm)的偏振分束器件，双缝干涉可以调控金属纳米结构中的场分布，在纳米等离激元器件中有重要的作用；本发明提出的这种超小的宽带偏振分束器件在集成回路中具有重要的应用。
附图说明
图1为本发明的基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器的结构示意图；
图2为本发明的基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器的一个实施例中模式强度随狭缝间距的变化曲线图，其中，(a)为TM模式的强度随狭缝间距的变化曲线图，(b)为TE模式的强度随狭缝间距的变化曲线图，(c)为TM模式的能流图，(d)为TE模式的能流图；
图3为本发明的基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器的一个实施例的电镜图，其中，(a)为整体图，(b)为(a)中的局部放大图，(c)为p偏振的CCD图，(d)为s偏振的CCD图；图4为本发明的基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器的一个实施例的TM模式和TE模式的激发谱，其中，(a)和(b)分别为实验获得的TM模式和TE模式在左右两个方向的激发谱，(c)和(d)分别为数值计算获得的TM模式和TE模式在左右两个方向的激发谱。
具体实施方式
下面结合附图，通过实施例对本发明做进一步说明。
如图1所示，本实施例的基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器包括：金属薄膜3、第一狭缝1、第二狭缝2以及介质薄膜4；其中，金属薄膜的厚度为tM，在金属薄膜上设置第一狭缝和第二狭缝，二者之间的距离为d，宽度分别为w1和w2；介质薄膜覆盖金属薄膜、第一狭缝和第二狭缝，介质薄膜的厚度为tI；在介质薄膜上面为空气，从而形成空气-介质-金属的复合波导。金属薄膜的材料采用金或银；介质薄膜的材料采用聚合物、晶体、玻璃、半导体以及液体薄膜中的一种。
空气-介质-金属的复合波导同时支持TM和TE波导模式。当一束光从背面入射，每一个狭缝都相当于一个源，同时激发TM和TE两种波导模式，两种波导模式都向两个方向传播，强度相同；每一个方向上波导模式的总强度就是两个狭缝单独激发的模式的相干叠加。当满足式(1)，并且λTM L＝λTE R时，向右传播TM模式完全相消干涉，向左传播的TE模式也完全相消干涉，从而TM模式只向左传播，并且TE模式只向右传播，实现了偏振分束。
在本实施例中，金属薄膜采用金Au，介质薄膜采用聚乙烯醇PVA。首先采用ComsolMultiphysics对金属双缝结构的模式的强度进行计算。入射波长λ＝760nm，金和PVA的介电常数分别为εAu＝-20.9+1.29i和εPVA＝2.25。金薄膜和PVA薄膜的厚度分别为tAu＝300nm和tPVA＝240nm，此时空气-PVA-金复合波导只支持一种TM和TE模式，有效折射率分别为neff TM(tPVA＝240nm)＝1.54和neff TE(tPVA＝240nm)＝1.15。为了保证金属双缝结构激发的模式的强度基本相等，第一狭缝和第二狭缝的宽度分别选为w1＝720nm和w2＝360nm。为了得到模式的强度，在距离两个狭缝中心15μm远处设置了两个240nm高的探测窗口。探测窗口的能流积分除以窗口处的能量占总模式能量的比例，即可以得到总的波导模式能量。当p偏振或者s偏振的光从背面入射时，TM或者TE模式就被激发了。TM模式和TE模式的总强度随着两个狭缝间距的变化关系，分别如图2(a)和(b)所示，其中，实线表示向左传播，虚线表示向右传播。两种模式的强度变化都表现出周期振荡的行为，TM模式和TE模式的周期PTM和PTE分别为PTM＝496和PTE＝660nm，基本等于各自的有效波长：λneff TM＝λ0/neff TM≈760/1.54≈494nm和λneff TE＝λ0/neff TE≈760/1.15≈661nm，其中，λneff TM和λneff TE分别为TM模式和TE模式的有效波长，λ0为入射波长的真空波长，这和根据式(3)得到的P＝λ0/neff是符合的。更重要的是，由于缝宽的不同，相反方向传播模式的强度的振荡行为是反相的。如图2(a)和(b)中虚线所示，当d＝500nm时，向右传播的TM模式和向左传播的TE模式的强度曲线出现了明显的谷，这表明两个狭缝激发的波导模式有基本相等的振幅。干涉时的相位差可以根据式(3)推得：对向右传播的TM模式，由于两个宽度不一样的狭缝中的波导模式的有效折射率基本相等，因而有可以得到第一狭缝与第二狭缝产生的TM模式之间向右干涉的相位差ΦR TM≈2π/λ(neff TMd+n′eff TMw2)≈2π/760(1.54×500+1.15×360)≈3.1π，说明向右传播的TM模式发生了相消干涉。对向左传播的TE模式， 其中nslit TE(w1,2)表示两个狭缝中的TE波导模式的有效折射率。可以得到第一狭缝与第二狭缝产生的TE模式之间向左干涉的相位差说明向左传播的TE模式也发生相消干涉。此时，相反方向的TM和TE模式的相位差分别为ΦL TM≈4.4π和ΦR TE≈3.8π，说明此时是相长干涉，如图2(a)和(b)所示。相应的能流分别如图2(c)和(d)所示。显然，此时TM模式主要向左传播，消光比约为10×log(IL TM/IR TM)≈15dB；而TE模式主要向右传播，消光比为10×log(IR TE/IL TE)≈20dB。而且，向左的TM模式和向右的TE模式有相当的强度。因此，入射光可以被介质薄膜覆盖的金属双缝结构分成两个偏振态相互垂直的波导模式。
进一步在实验上进行了证明。实验样品是用聚焦离子束(FIB)加工的。金薄膜厚450nm，并且下面有一层30nm厚的Ti粘附层。除了金属双缝结构，在其正上方还加工了一个单缝结构作为参考样品。为了将沿表面传播的TM和TE模式散射到自由空间方便远场探测，在两侧加工了两个光栅(周期为560nm，间距30μm)。样品的电镜图及其细节分别如图3(a)和(b)所示。测量得到的样品的结构参数为w1＝720nm，w2＝360nm，d＝500，所以整个结构的横向尺寸大约为1.6μm。参考样品的缝宽约为w＝720nm。最后用旋涂的方法，在样品上甩一层240nm厚的PVA有机薄膜。
采用声光调制晶体(AOTF)从超连续光源(Fianum)中分出一束760nm的单色光，从背面照射样品。金属双缝结构可以将p偏振和s偏振的入射光分别耦合成TM和TE偏振的波导模式。激发的波导模式沿着金属表面传播，直到被光栅散射到自由空间。用长工作距离的物镜收集散射光，然后成像至CCD上。图3(c)和(d)分别是当入射波长λ＝760nm时p偏振和s偏振的CCD图像。由于参考样品结构的对称性，所以无论是p偏振还是s偏振入射的情况，上半部分散射光栅两边的强度基本相当。但对于下半部分散射光栅，结果则不相同。对TM模式而言，下半部分散射光栅的右侧基本上是完全暗的，而左侧则比上半部分散射光栅还亮，如图3(c)所示，说明金属双缝结构激发出来的TM模式主要向左传播。而TE模式的现象刚好相反，激发的TE模式主要向右传播，如图3(d)所示。因此，入射光被分成了两种偏振互相垂直的波导模式。
为了定量地分析偏振分束器件，进一步测量了TM和TE模式的激发效率η。实验上激发效率定义为下半部分光栅散射光强与上半部分光栅散射光强之比，而光栅散射光强是通过对CCD图像上光栅所在区域的光强空间积分得到。按照这种方法，激光器的涨落，CCD的响应随波长的变化都可以消除。更重要的是，散射光栅对TM和TE模式不同的散射效率也可以消除。改变入射光的波长，得到了TM和TE模式的激发谱，如图4(a)和(b)所示。理论上激发效率定义为金属双缝结构中能流在探测窗口的积分和缝宽为720nm的单缝结构中能流在探测窗口的比，相应的理论的数值计算的结果如图4(c)和(d)所示。可以看到数值计算的结果和实验结果符合的很好，这就进一步证明了本发明的正确性。两者之间轻微的差别主要是由于样品的缺陷导致的，如图3(a)和(b)所示。当λ＝760nm时，此时TM和TE模式的消光比分别为10×log(ηL TM/ηR TM)≈14和10×log(ηR TE/ηL TE)≈8dB。此外，可以看到TM模式向右传播的效率ηR TM和TE模式向左传播的效率ηL TE在735nm和785nm之间的范围内基本上等于0，而ηL TM和ηR TE则比较大，所以本发明提出的偏振分束器可以在50nm的带宽内工作，如图4(a)至(d)中的灰色区域所示。相比与现有的利用共振腔效应在亚微米的非对称狭缝结构中实现的偏振分束器的带宽要大，而且和利用倏逝波耦合效应在长达6.5μm的耦合波导结构中实现的偏振分束的工作带宽也是可以比拟的。
综上所述，本发明提出并实验证明了一种基于介质薄膜覆盖的金属双缝结构的超小宽带偏振分束器。当入射光从背面照射金属双缝结构时，每个狭缝都可以激发空气-介质-金属的复合波导支持的TM和TE模式，每个方向波导模式总的强度就是两个狭缝单独激发的模式的相干叠加。由于缝宽的不同，相反方向的干涉状态可以是反相的，因此可以实现波导模式的定向激发。更重要的是，由于复合波导存在很大的模式色散，因此两个互相垂直的偏振模式可以沿着相反的方向传播，实现了一个超小的偏振分束器。此外，较短的干涉距离可以在一定程度上增加器件的工作带宽。因此，本发明在金属双缝结构上实现了一个超小(横向尺寸约1.6μm)、宽带(约50nm)的偏振分束器。双缝干涉可以调控金属纳米结构中的场分布，在纳米等离激元器件中有重要的作用。高集成度的等离激元回路需要偏振操控的能力，因此本发明提出的这种超小的宽带偏振分束器在集成回路中将具有重要的应用。
最后需要注意的是，公布实施方式的目的在于帮助进一步理解本发明，但是本领域的技术人员可以理解：在不脱离本发明及所附的权利要求的精神和范围内，各种替换和修改都是可能的。因此，本发明不应局限于实施例所公开的内容，本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。

Claims (4)

1.一种基于双缝干涉的超小宽带偏振分束器，其特征在于，所述偏振分束器包括：金属薄膜、第一狭缝、第二狭缝以及介质薄膜；其中，金属薄膜的厚度为tM，在金属薄膜上设置第一狭缝和第二狭缝，二者之间的距离为d，宽度分别为w1和w2，构成金属双缝结构；介质薄膜覆盖在金属薄膜、第一狭缝和第二狭缝上，介质薄膜的厚度为tI；介质薄膜上面为空气，从而形成空气-介质-金属的复合波导；这种波导同时支持TM和TE两种波导模式，并且通过控制介质薄膜的厚度tI保证有且只有一个TE模式和一个TM模式存在；一束光从背面入射，每一个狭缝都相当于一个源，同时激发TM和TE两种波导模式，两种波导模式都向两个方向传播，强度相同；每一个方向上总的波导模式强度就是两个狭缝单独激发的模式的相干叠加；TM模式向右和TE模式向左发生相消干涉的条件：
或者，TM模式向左和TE模式向右方向发生相消干涉的条件：
其中，neff TM(tI)和neff TE(tI)分别表示空气-介质-金属的复合波导支持的TM和TE模式的有效折射率；n′eff TM(tI)和n′eff TE(tI)分别是第一或第二狭缝处空气-介质-空气的介质波导支持的TM和TE模式的有效折射率；λTM L是金属双缝结构向左定向激发TM模式时的真空波长，λTE R是金属双缝结构向右定向激发TE模式时的真空波长；λTM R是金属双缝结构向右定向激发TM模式时的真空波长，λTE L是金属双缝结构向左定向激发TE模式时的真空波长；当λTM L＝λTE R，或者λTM R＝λTE L时，实现偏振分束。
2.如权利要求1所述的偏振分束器，其特征在于，所述介质薄膜的厚度tI满足tTE0(λ)﹤tI﹤tTM1(λ)，其中，tTE0(λ)是第一个TE模式的截止厚度，tTM1(λ)是第二个TM模式的截止厚度。
3.如权利要求1所述的偏振分束器，其特征在于，所述金属薄膜的材料采用金或银。
4.如权利要求1所述的偏振分束器，其特征在于，所述介质薄膜的材料采用聚合物、晶体、玻璃、半导体以及液体薄膜中的一种。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108873161B (zh) * 2017-05-15 2020-06-05 上海新微科技服务有限公司 硅基光波导结构及其制作方法
CN107229096B (zh) * 2017-05-15 2019-08-09 中国空间技术研究院 一种基于表面等离激元杂化波导的偏振分束器及分束方法
US10976562B2 (en) 2017-10-10 2021-04-13 Kla Corporation Nano-structured non-polarizing beamsplitter
CN111641011B (zh) * 2020-06-05 2022-02-08 深圳大学 金属波导阵列及应用该金属波导阵列的调控装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1207586C (zh) * 2002-02-27 2005-06-22 中国科学院半导体研究所 波导型偏振模式分离器
CN201069474Y (zh) * 2007-03-13 2008-06-04 浙江大学 一种基于光子晶体/多模干涉耦合器混合型的偏振分束器
CN102016665A (zh) * 2008-05-06 2011-04-13 惠普发展公司，有限责任合伙企业 薄膜分束器的制造
CN102200613B (zh) * 2011-05-24 2014-11-19 北京邮电大学 一种利用弯曲波导实现偏振分束器和慢光器件集成的实现方法
US9453965B2 (en) * 2011-06-08 2016-09-27 Skorpios Technologies, Inc. Systems and methods for photonic polarization rotators
CN103116226B (zh) * 2013-01-23 2015-05-20 北京大学 一种基于复合腔结构的亚微米表面等离激元分束器
CN103236643B (zh) * 2013-04-18 2015-08-12 北京大学 一种宽带表面等离激元单向激发器
CN103777274B (zh) * 2014-02-26 2016-01-20 上海交通大学 金属光栅偏振分束器及其制备方法
CN104007512B (zh) * 2014-05-05 2016-06-15 北京大学 一种光偏振分束器
CN104007513B (zh) * 2014-05-08 2017-08-04 北京大学 一种光偏振分束器

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