CN104567696B - 一种基于衍射光栅的二维位移测量装置 - Google Patents
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Abstract
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，由标尺光栅和读数头两部分组成，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；该装置基于迈克尔逊干涉仪原理和多衍射光栅干涉原理实现了X向和Z向位移的同时测量，具有结构简单紧凑、体积小、抗干扰能力强以及X向和Z向测量不耦合等优点，能够实现纳米甚至更高测量分辨力，可应用于多自由度高精度位移测量。
Description
技术领域
本发明涉及一种超精密位移测量技术及光栅位移测量系统，特别涉及一种基于衍射光栅的二维位移测量装置。
背景技术
近年来，超精密测量已成为世界测量领域的研究热点。考虑到测量范围、精度、系统尺寸和工作环境等因素的影响，用小体积多自由度的测量方法来实现高精度测量在现代位移测量中的需求也越来越突出。在半导体加工领域，光刻机中的掩膜台和工件台的定位精度和运动精度是限制半导体芯片加工线宽的主要因素，为了保证掩膜台和工件台的定位精度和运动精度，光刻机中通常采用具有高精度、大量程的双频激光干涉仪测量系统进行位移测量。目前市场上现有的半导体芯片的线宽已经逼近14nm，不断提高的半导体加工要求对超精密位移测量技术提出了更大的挑战，而双频激光干涉仪测量系统由于其长光程测量易受环境影响，且存在系统体积大、价格高昂等一系列问题，难以满足新的测量需求。
针对上述问题，国内外超精密测量领域的各大公司及研究机构都投入了大量精力进行研究，其中一个主要研究方向包括研发基于衍射光栅的新型位移测量系统。基于衍射光栅的位移测量系统经过数十年的发展，已有较多的研究成果，在诸多专利和论文中均有揭露。
德国HEIDENHAIN公司的专利US4776701A(公开日1988年10月11日)提出了利用光束通过折射光栅和反射光栅后实现相干叠加与光学移相的方式来测量X方向位移的方法。该方法利用光栅本身的结构参数调整实现了干涉信号移相，同时测量结果不受Y方向和Z方向位移的影响。由于该方法不需额外的移相元件，因此系统体积较小，但是该方法只能用于X方向的位移测量。
荷兰ASML公司的专利US7362446B2(公开日2008年4月22日)提出了一种利用光栅衍射编码器和干涉仪原理测量标尺光栅在X方向和Z方向位移的位置测量单元，利用3个该位置测量单元能够同时测量平台的6个自由度；通过特殊的棱镜结构设计，使得该位置测量单元除了标尺光栅以外的其他分光、移相、合光等光学元件组合成一个整体，达到减轻单元尺寸和质量，结构紧凑的目的；该位置测量单元测量标尺光栅X向位移所使用光栅衍射编码器的测量光来自标尺光栅的衍射光，测量标尺光栅Z向位移所使用干涉仪的测量光也来自标尺光栅的衍射光，但来源于不同光束的衍射，是分立的。该方法可同时实现X向和Z向的位移测量，但干涉仪和光栅衍射测量的位置不同，棱镜组结构较复杂。
日本学者Wei Gao与清华大学学者曾理江等人联合发表的论文“Design andconstruction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometricmeasurement of stage position and straightness.Precision Engineering34(2010)145-155”中提出了一种利用衍射光栅干涉原理的二维光栅测量装置。激光器出射的激光经过偏振分光棱镜分为测量光和参考光，二者分别入射到标尺光栅和参考光栅并发生反向衍射，反向衍射光在偏振分光棱镜处汇聚后入射到光电探测单元发生干涉，利用后续光路移相，可以在四组探测器表面接收到干涉信号。通过对干涉信号进行处理，可以解耦出光栅读数头相对于标尺光栅在X向和Z向两个方向的位移信息。该方法为了实现对信号的移相，引入了很多的移相合光器件，体积较大；而且当读数头与光栅产生的Z向运动时，干涉区域的范围变小，不利于Z向较大量程的测量。
清华大学学者朱煜的专利CN102937411A(公开日2013年2月20日)和CN102944176A(公开日2013年2月27日)中，提出了利用衍射光栅干涉原理设计的二维光栅测量系统，并引入了双频激光产生了拍频信号，增强了测量信号的抗干扰能力。该组专利当读数头相对于标尺光栅发生Z向运动时，干涉区域范围变小，不利于Z向较大量程的测量。
日本株式会社三丰的专利CN102865817A(公开日2013年1月9日)以及US8604413B2(公开日2013年12月10日)提出了一种二维位移传感器的构造，该构造能够实现多维位移测量，但是整个系统采用透射方式，并且使用了棱镜等光学器件用于折光，因此系统体积较大。
哈尔滨工业大学学者胡鹏程等人的专利CN103604376A(公开日2014年2月26日)中，提出了一种抗光学频率混叠的光栅干涉仪系统，通过激光器出射的双频激光在空间上分开传输的设置，消除了光学频率混叠和相应的周期非线性误差，并能够实现三维位移的测量；哈尔滨工业大学学者林杰等人的专利CN103644849A(公开日2014年3月19日)中，通过引入自准直原理提出了一种三维位移测量系统，该系统能够实现较大量程的Z向位移测量，但是由于光束分光次数较多，不利于提高干涉信号的质量。
发明内容
为解决上述方案的局限性，适应和满足前述的测量要求，本发明利用典型迈克尔逊干涉仪原理与多衍射光栅干涉原理，设计了一种结构简单紧凑、体积小的基于衍射光栅的二维位移测量装置。当本装置的读数头相对于标尺光栅发生水平方向(X向)和垂直方向(Z向)的位移时，可实现高精度的二维位移实时测量。
本发明的技术方案如下：
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，包括标尺光栅和读数头，读数头包括光源、分光部件、扫描分光光栅部件、X向探测部件、Z向探测部件、信号处理部件；光源包括单频激光器、偏振片A；所述的分光部件包括偏振分光棱镜A、1/4波片A、反射部件、1/4波片B；扫描分光光栅部件包括扫描分光光栅、光阑；扫描分光光栅的栅线所在平面和标尺光栅的栅线所在平面平行；扫描分光光栅为一维光栅，标尺光栅具有后向零级衍射光，且扫描分光光栅和标尺光栅在X方向上的等效光栅周期相等；X方向是与扫描分光光栅的栅线所在平面平行，且垂直于扫描分光光栅栅线的方向；Z方向是与扫描分光光栅的栅线所在平面垂直的方向；等效光栅周期是指光栅在某一方向上的周期；单频激光器出射的激光透过偏振片A入射到偏振分光棱镜A后分为参考光和测量光；参考光透过1/4波片A，并由反射部件反射后，依次透过1/4波片A、偏振分光棱镜A入射到Z向探测部件；测量光透过1/4波片B后沿Z方向入射到扫描分光光栅，经扫描分光光栅衍射后衍射光束入射到标尺光栅并发生反向衍射，反向衍射光透过扫描分光光栅衍射分光，得到九束测量光束与其他杂散光束；九束测量光束中，其中八束两两传播方向相同，入射到X向探测部件形成四组干涉信号，通过信号处理部件解算后得到读数头相对于标尺光栅在X向发生的位移；九束测量光束中的另一沿入射方向返回的测量光束透过1/4波片B，并由偏振分光棱镜A反射入射到Z向探测部件；入射到Z向探测部件的参考光和测量光相遇形成干涉信号，通过信号处理部件解算后得到读数头相对于标尺光栅在Z向发生的位移。
扫描分光光栅为一维矩形光栅时，标尺光栅包括以下结构安排方式：①标尺光栅为一维矩形光栅，且其栅线方向与扫描分光光栅的栅线方向平行；②标尺光栅为二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅的栅线方向平行和垂直；③标尺光栅为二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅的栅线方向成45°。
Z向探测部件为二通道探测器或四通道探测器。
光阑位于扫描分光光栅与X向探测部件之间。
在单频激光器出射的激光波长λ＝632.8nm时，①扫描分光光栅采用一维矩形光栅的一组参数为光栅周期d＝10μm、光栅台阶高度h＝488nm、光栅台阶宽度a＝3.567μm；②标尺光栅的参数包括：(a)当标尺光栅采用一维矩形光栅，且其栅线方向与扫描分光光栅的栅线方向平行时，其一组参数为光栅周期d＝10μm、光栅台阶高度h＝488nm、光栅台阶宽度a＝3.567μm；(b)当标尺光栅采用二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅的栅线方向平行和垂直时，其一组参数为两个栅线方向的光栅周期d1＝d2＝10μm、光栅台阶高度h＝159nm、两个栅线方向的光栅台阶宽度a1＝a2＝5.67μm；(c)当标尺光栅采用二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅的栅线方向成45°时，其一组参数为两个栅线方向的光栅周期d1＝d2＝7.07μm、光栅台阶高度h＝159nm、两个栅线方向光栅台阶宽度a1＝a2＝4.01μm。
本发明是利用典型迈克尔逊干涉仪原理和多衍射光栅干涉原理提出的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，具有以下创新性和突出效果：
1.通过将标尺光栅和扫描分光光栅平行放置，以及二者在X方向的等效光栅周期相等、标尺光栅具有后向零级衍射光的设置，可同时为X向和Z向提供测量信号，进而同时测量读数头相对于标尺光栅在X向和Z向两个方向的位移，并实现了光学2细分，搭配合适的电学细分卡，可以实现纳米精度测量。
2.由于X方向的位移测量利用了扫描分光光栅和标尺光栅自身的分光特性实现相干叠加与光学移相，因此不需要额外的移相合光器件，既减小了结构尺寸，又避免了移相合光器件带来的误差；Z向测量信号的探测可以应用较为成熟的二通道或四通道探测器，体积较小，且可以保证测量精度。
3.通过将标尺光栅和扫描分光光栅平行放置，以及二者在X方向的等效光栅周期相等的设置，可使得读数头相对于标尺光栅在Z向运动时，不影响X向测量干涉区域的范围，故而够提供较大的Z向测量范围。
4.在检测位移量时，X向与Z向的测量信号之间不存在耦合关系，简化了后续的信号处理方式，减少了信号处理引入的误差。
5.X向与Z向测量信号可以通过光纤导出，能进一步减小读数头的体积，特别是设计光栅的周期为微米量级时，该二维位移测量装置同时具有结构紧凑、体积小、质量轻的优点，方便应用。
附图说明
图1为本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置的结构示意图。
图2a为本发明Z向探测部件所采用的一种二通道探测器的结构示意图。
图2b为本发明Z向探测部件所采用的一种四通道探测器的结构示意图。
图3a为本发明扫描分光光栅与标尺光栅栅线方向平行和垂直的放置方式示意图。
图3b为本发明扫描分光光栅与标尺光栅栅线方向成45°的放置方式示意图。
图4a为本发明应用的一维矩形光栅的结构示意图。
图4b为本发明应用的二维矩形光栅的结构示意图。
图5为本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置实施例的光路传输方向示意图。
图中件号说明：1—光源，2—分光部件，3—扫描分光光栅部件，4—标尺光栅，5—X向探测部件，6—Z向探测部件，7—信号处理部件，11—单频激光器，12—偏振片A，21—偏振分光棱镜A，22—1/4波片A，23—反射部件，24—1/4波片B，31—扫描分光光栅，32—光阑，611—分光棱镜A，612—1/4波片C，613—偏振片B，614—偏振片C，615—光电探测部件A，621—1/4波片D，622—分光棱镜B，623—偏振分光棱镜B，624—1/2波片，625—偏振分光棱镜C，626—光电探测部件B。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细介绍。
一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，包括标尺光栅4和读数头，读数头包括光源1、分光部件2、扫描分光光栅部件3、X向探测部件5、Z向探测部件6、信号处理部件7；光源1包括单频激光器11、偏振片A12；分光部件2包括偏振分光棱镜A21、1/4波片A22、反射部件23、1/4波片B24；扫描分光光栅部件3包括扫描分光光栅31、光阑32；扫描分光光栅31的栅线所在平面和标尺光栅4的栅线所在平面平行；扫描分光光栅31为一维光栅，标尺光栅4具有后向零级衍射光，且扫描分光光栅31和标尺光栅4在X方向上的等效光栅周期相等；X方向是与扫描分光光栅31的栅线所在平面平行，且垂直于扫描分光光栅31栅线的方向；Z方向是与扫描分光光栅31的栅线所在平面垂直的方向；等效光栅周期是指光栅在某一方向上的周期；单频激光器11出射的激光透过偏振片A12入射到偏振分光棱镜A21后分为参考光和测量光；参考光透过1/4波片A22，并由反射部件23反射后，依次透过1/4波片A22、偏振分光棱镜A21入射到Z向探测部件6；测量光透过1/4波片B24后沿Z方向入射到扫描分光光栅31，经扫描分光光栅31衍射后衍射光束入射到标尺光栅4并发生反向衍射，反向衍射光透过扫描分光光栅31衍射分光，得到九束测量光束与其他杂散光束；九束测量光束中，其中八束两两传播方向相同，入射到X向探测部件5形成四组干涉信号，通过信号处理部件7解算后得到读数头相对于标尺光栅4在X向发生的位移；九束测量光束中的另一沿入射方向返回的测量光束透过1/4波片B24，并由偏振分光棱镜A21反射入射到Z向探测部件6；入射到Z向探测部件6的参考光和测量光相遇形成干涉信号，通过信号处理部件7解算后得到读数头相对于标尺光栅4在Z向发生的位移。
本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，扫描分光光栅31为一维矩形光栅时，其标尺光栅4包括以下结构安排方式：①标尺光栅4为一维矩形光栅，且其栅线方向与扫描分光光栅31的栅线方向平行；②标尺光栅4为二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅31的栅线方向平行和垂直；③标尺光栅4为二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅31的栅线方向成45°。
本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，其Z向探测部件6为二通道探测器或四通道探测器。
本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，光阑32位于扫描分光光栅31与X向探测部件5之间。
本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，在单频激光器11出射激光的波长λ＝632.8nm时，①扫描分光光栅31采用一维矩形光栅的一组参数为光栅周期d＝10μm、光栅台阶高度h＝488nm、光栅台阶宽度a＝3.567μm；②标尺光栅4的参数包括：(a)当标尺光栅4采用一维矩形光栅，且其栅线方向与扫描分光光栅31的栅线方向平行时，其一组参数为光栅周期d＝10μm、光栅台阶高度h＝488nm、光栅台阶宽度a＝3.567μm；(b)当标尺光栅4采用二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅31的栅线方向平行和垂直时，其一组参数为两个栅线方向的光栅周期d1＝d2＝10μm、光栅台阶高度h＝159nm、两个栅线方向的光栅台阶宽度a1＝a2＝5.67μm；(c)当标尺光栅4采用二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅31的栅线方向成45°时，其一组参数为两个栅线方向的光栅周期d1＝d2＝7.1μm、光栅台阶高度h＝159nm、两个栅线方向光栅台阶宽度a1＝a2＝4.01μm。
以标尺光栅4和扫描分光光栅31均为一维矩形光栅为例，本发明的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置在具体实施时，如附图5所示，偏振分光棱镜A21设置为使得光源1出射的光束OP1入射到偏振分光棱镜A21后分为振动方向相互垂直的参考光束OP2-1和测量光束OP2-2。
测量光OP2-2透过1/4波片B24入射到扫描分光光栅31后发生衍射产生-1级OP3-1、0级OP3-2、+1级OP3-3三束测量光束；该三束测量光束入射到标尺光栅4后发生反向衍射，得到五束测量光束[-1，+1]级OP3-13、[0，-1]级OP3-21、[0，0]级OP3-22、[0，+1]级OP3-23、[+1，-1]级OP3-31和其他杂散光束；该五束测量光束入射到扫描分光光栅31后再一次发生衍射，其衍射光的杂散光束被设置在扫描分光光栅31与X向探测部件5之间的光阑32遮挡，未被遮挡的测量光束有[-1，+1，-1]级OP3-131、[0，-1，0]级OP3-212、[-1，+1，0]级OP3-132、[0，-1，+1]级OP3-213、[+1，-1，0]级OP3-312、[0，+1，-1]级OP3-231、[+1，-1，+1]级OP3-313、[0，+1，0]级OP3-232和[0，0，0]级OP3-222共九束。
九束测量光束中的[-1，+1，-1]级OP3-131与[0，-1，0]级OP3-212、[-1，+1，0]级OP3-132与[0，-1，+1]级OP3-213、[+1，-1，0]级OP3-312与[0，+1，-1]级OP3-231、[+1，-1，+1]级OP3-313与[0，+1，0]级OP3-232两两传播方向相同，入射到X向探测部件5形成四组干涉信号，而且该四组干涉信号的变化只和读数头相对于标尺光栅4在X向发生的位移有关，该四组干涉信号被X向探测部件5接收后通过信号处理部件7处理得到两路互相正交的电学信号，解算后得到读数头相对于标尺光栅4在X向发生的位移。
1/4波片A22的放置方式可设置为快轴方向与X-Z平面夹角为45°，参考光OP2-1透过1/4波片A22，并由反射部件23反射之后再次透过1/4波片A22，其偏振方向旋转90°并入射到偏振分光棱镜A21上发生透射，最终作为Z向测量的参考光入射到Z向探测部件6；1/4波片B24的放置方式可设置为快轴方向与X-Z平面夹角为45°，测量光OP2-2透过1/4波片B24、扫描分光光栅31，并由标尺光栅4反射，再次透过扫描分光光栅31，即为九束测量光中沿入射方向返回的测量光束[0，0，0]级OP3-222，其再次透过1/4波片B24后偏振方向旋转90°并入射到偏振分光棱镜A21上发生反射，最终作为Z向测量的测量光入射到Z向探测部件6；入射到Z向探测部件6的参考光和测量光相遇形成干涉信号，而且该干涉信号只包含读数头相对于标尺光栅4在Z向发生的位移信息，该干涉信号被Z向探测部件6接收并通过信号处理部件7解算后得到读数头相对于标尺光栅4在Z向发生的位移。
为了提高Z向探测部件6接收到的干涉信号的信噪比，需要使得入射到Z向探测部件6的测量光和参考光能量近似相等，因此在具体实施时，设置偏振方向可调的偏振片A12调整光束OP1的偏振方向，使得Z向探测部件6接收到的测量光和参考光能量近似相等。
具体实施过程中，为了进一步减小读数头体积，偏振分光棱镜A21、1/4波片A22、1/4波片B24和反射部件23可以采用一体化结构。
具体实施过程中，为了减小读数头体积，同时减弱单频激光器11的散热对探测器的影响，可以利用光纤将单频激光器11出射的光束传输至光路。
参考图2a，为本发明应用的二通道探测器的一种结构形式，包括分光棱镜A611、1/4波片C612、偏振片B613、偏振片C614、光电探测部件A615，Z向探测部件6采用二通道探测器可以获得两个相位相差90°的干涉信号，实现Z方向的位移测量和辨向。
参考图2b，为本发明应用的四通道探测器的一种结构形式，包括1/4波片D621、分光棱镜B622、偏振分光棱镜B623、1/2波片624、偏振分光棱镜C625、光电探测部件B626，Z向探测部件6采用四通道探测器可以获得四个相位相差90°的干涉信号，实现Z方向的位移测量和辨向。
参考图3a，为本发明扫描分光光栅31与标尺光栅4栅线方向平行和垂直的放置方式示意图，其中扫描分光光栅31为一维矩形光栅，标尺光栅4为二维矩形光栅，扫描分光光栅31与标尺光栅4平行放置，标尺光栅4的两个栅线方向分别与扫描分光光栅31的栅线方向平行和垂直。
参考图3b，为本发明扫描分光光栅31与标尺光栅4栅线方向成45°的放置方式示意图，其中扫描分光光栅31为一维矩形光栅，标尺光栅4为二维矩形光栅，扫描分光光栅31与标尺光栅4平行放置，标尺光栅4的两个栅线方向分别与扫描分光光栅31的栅线方向成45°。
参考图4a，为本发明应用的一维矩形光栅结构示意图，其中各参数为：光栅周期d、光栅台阶高度h、光栅台阶宽度a。
参考图4b，为本发明应用的二维矩形光栅结构示意图，其中各参数为：两个方向光栅周期d1和d2、光栅台阶高度h、两个方向光栅台阶宽度a1和a2。
Claims (5)
1.一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，包括标尺光栅(4)和读数头，其特征在于：所述的读数头包括光源(1)、分光部件(2)、扫描分光光栅部件(3)、X向探测部件(5)、Z向探测部件(6)、信号处理部件(7)；所述的光源(1)包括单频激光器(11)、偏振片A(12)；所述的分光部件(2)包括偏振分光棱镜A(21)、1/4波片A(22)、反射部件(23)、1/4波片B(24)；所述的扫描分光光栅部件(3)包括扫描分光光栅(31)、光阑(32)；所述的扫描分光光栅(31)的栅线所在平面和标尺光栅(4)的栅线所在平面平行；所述的扫描分光光栅(31)为一维光栅，标尺光栅(4)具有后向零级衍射光，且扫描分光光栅(31)和标尺光栅(4)在X方向上的等效光栅周期相等；所述的X方向是与扫描分光光栅(31)的栅线所在平面平行，且垂直于扫描分光光栅(31)栅线的方向；Z方向是与扫描分光光栅(31)的栅线所在平面垂直的方向；所述的等效光栅周期是指光栅在某一方向上的周期；所述的单频激光器(11)出射的激光透过偏振片A(12)入射到偏振分光棱镜A(21)后分为参考光和测量光；所述的参考光透过1/4波片A(22)，并由反射部件(23)反射后，依次透过1/4波片A(22)、偏振分光棱镜A(21)入射到Z向探测部件(6)；所述的测量光透过1/4波片B(24)后沿Z方向入射到扫描分光光栅(31)，经扫描分光光栅(31)衍射后衍射光束入射到标尺光栅(4)并发生反向衍射，反向衍射光透过扫描分光光栅(31)衍射分光，得到九束测量光束与其他杂散光束；所述的九束测量光束中，其中八束两两传播方向相同，入射到X向探测部件(5)形成四组干涉信号，通过信号处理部件(7)解算后得到读数头相对于标尺光栅(4)在X向发生的位移；所述的九束测量光束中的另一沿入射方向返回的测量光束透过1/4波片B(24)，并由偏振分光棱镜A(21)反射入射到Z向探测部件(6)；入射到Z向探测部件(6)的参考光和测量光相遇形成干涉信号，通过信号处理部件(7)解算后得到读数头相对于标尺光栅(4)在Z向发生的位移。
2.如权利要求1所述的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，其特征在于：所述的扫描分光光栅(31)为一维矩形光栅时，标尺光栅(4)包括以下结构安排方式：①标尺光栅(4)为一维矩形光栅，且其栅线方向与扫描分光光栅(31)的栅线方向平行；②标尺光栅(4)为二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅(31)的栅线方向平行和垂直；③标尺光栅(4)为二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅(31)的栅线方向成45°。
3.如权利要求1所述的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，其特征在于：所述的Z向探测部件(6)为二通道探测器或四通道探测器。
4.如权利要求1所述的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，其特征在于：所述的光阑(32)位于扫描分光光栅(31)与X向探测部件(5)之间。
5.如权利要求1所述的一种基于衍射光栅的二维位移测量装置，其特征在于：在单频激光器(11)出射的激光波长λ＝632.8nm时，①所述的扫描分光光栅(31)采用一维矩形光栅的一组参数为光栅周期d＝10μm、光栅台阶高度h＝488nm、光栅台阶宽度a＝3.567μm；②所述的标尺光栅(4)的参数包括：(a)当标尺光栅(4)采用一维矩形光栅，且其栅线方向与扫描分光光栅(31)的栅线方向平行时，其一组参数为光栅周期d＝10μm、光栅台阶高度h＝488nm、光栅台阶宽度a＝3.567μm；(b)当标尺光栅(4)采用二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅(31)的栅线方向平行和垂直时，其一组参数为两个栅线方向的光栅周期d1＝d2＝10μm、光栅台阶高度h＝159nm、两个栅线方向的光栅台阶宽度a1＝a2＝5.67μm；(c)当标尺光栅(4)采用二维矩形光栅，且其两个栅线方向分别与扫描分光光栅(31)的栅线方向成45°时，其一组参数为两个栅线方向的光栅周期均为d1＝d2＝7.07μm、光栅台阶高度h＝159nm、两个栅线方向光栅台阶宽度a1＝a2＝4.01μm。
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