CN104538839A - 平面波导型石墨烯被动锁模激光器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种平面波导型石墨烯被动锁模激光器,涉及光电技术领域,其中,所述缓冲层、下光包层、下势垒层、有源层、上势垒层、上光包层和欧姆接触层依次制作在[100]面偏向[110]方向4~9°的N型掺杂硅衬底层上构成半导体光放大器结构;第一光栅结构和第二光栅结构具有相同中心波长,分别制作在有源层的两侧,构成光栅谐振腔;石墨烯层贴附于第一光栅结构(6)的输入端面,作为饱和吸收体。本发明以硅基为作为衬底层的,解决了现有技术中半导体超短脉冲激光器主要是以GaAS或InP为衬底不与CMOS工艺兼容的技术问题,且便于和硅基集成;并利用石墨烯的饱和吸收特性,实现了超短脉冲激光。
Description
技术领域
本发明属于光电技术领域,具体涉及一种平面波导型石墨烯被动锁模激光器。
背景技术
随着激光技术的迅速发展及其应用要求的增加,可集成、性能稳定的器件上实现高功率、高效率、高稳定性、高光束质量和长寿命的激光器是激光领域发展的方向。超短脉冲激光器技术是近代科学最重要前沿之一,近几十年来,科学家对如何获得超短脉冲激光器已有了广泛和深入的研究。目前比较常用的技术是利用饱和吸收体来实现的被动锁模技术。其中,饱和吸收体附着在腔内,当光脉冲通过饱和吸收体时,由于光脉冲边缘部分的损耗大于光脉冲中心波长部分的损耗,使得光脉冲在通过饱和吸收体的过程中被窄化。饱和吸收体被动锁模的主要优点就是重复频率比较稳定,锁模脉冲脉宽比较窄。目前常用的饱和吸收体是半导体可饱和吸收镜(SESAM),然而SESAM具有制作工艺复杂,生产成本高,可饱和吸收光谱范围相对较窄的缺点,并且SESAM所使用的半导体化合物材料热导率一般都不高,长时间工作会积累大量的热量,导致SESAM性能退化等不足。
石墨烯是一种蜂窝形的二维六方碳结构材料,自从2004被发现以来,由于其独特的光电特性,引起了科学界的广泛研究。单层石墨烯对紫外到红外光的光谱都有相对较大的吸收,并且随着层数的增加,吸收也线性增长,单层石墨烯调制深度可达66.5%(见文献Qiaoliang Bao, Han Zhang, Zhenhua Ni, el at. Monolayer graphene as a saturable absorber in a mode-locked laser, Nano Research, 20011, Vol.4)。石墨烯材料是一个优良的饱和吸收体,这一特性已被实验证实(见文献Qiaoliang Bao, Han Zhang, Yu Wang, el at. Atomic-Layer graphene as a saturable absorber for ultrafast pulsed Lasers. Adv. Funct. Mater. 2009, Vol.19)。另外,石墨烯的高热导率有利于迅速扩散掉沉积的热量,这一特性使其具有较高的热损伤阈值,可以作为高功率激光器的饱和吸收体来实现锁模,并长时间内维持稳定的锁模运转。
现有技术中半导体超短脉冲激光器主要是以GaAS或InP为衬底,由于材料特性的不一样,不与CMOS工艺兼容,应用受限。本领域技术人员亟需解决该技术问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能与CMOS工艺兼容的平面波导型石墨烯被动锁模激光器。
为解决上述技术问题,本发明所提供的技术方案为:
平面波导型石墨烯被动锁模激光器,包括缓冲层2、下光包层3、下势垒层4、有源层5、上势垒层9、上光包层10和欧姆接触层11,其特征在于,还包括具有相同中心波长的第一光栅结构6、第二光栅结构7和石墨烯层8,所述衬底层1为[100]面偏向[110]方向4~9°的N型掺杂硅衬底;缓冲层2、下光包层3、下势垒层4、有源层5、上势垒层9、上光包层10和欧姆接触层11自下而上依次制作在衬底层1上构成半导体光放大器结构;所述第一光栅结构6和第二光栅结构7分别制作在有源层5的两侧构成光栅谐振腔,所述石墨烯层贴附于第一光栅结构6的输入端面,作为饱和吸收体。上述技术方案中,第一光栅结构6对中心波长光具有高反射性,第二光栅结构7对中心波长为部分反射,反射率根据需要选择。
上述技术方案中,所述石墨烯层可采用单层石墨烯、多层石墨烯或经氧化还原的石墨烯聚合物。
上述技术方案中,所述缓冲层2的材料为Ge/GaAs或GaAs,缓冲层的厚度视具体需求而定。
上述技术方案中,所述有源层5为多周期结构,周期数为1~20,其材料为InGaAs量子阱、InGaAs量子点、InGaAsP量子阱或Ga AlAs量子阱。
上述技术方案中,所述上势垒层9和下势垒层4 的作用是限制载流子,满足下述至少一项:
所述上势垒层9和/或下势垒层4的材料为InGaAsP、InGaAs、AlGaAs或GaAs;
所述上势垒层9和/或下势垒层4厚度为1~2μm。
上述技术方案中,所述上光包层10和下光包层3的作用是限制光,满足下述至少一项:
所述上光包层10和/或下光包层3的材料为InGaAsP或AlGaAs;
所述上光包层10和/或下光包层3厚度为1~3μm。
上述技术方案中,所述欧姆接触层11的作用是作为电极使用,满足下述至少一项:
所述欧姆接触层11的材料为高掺杂的InGaP或GaAs;
所述欧姆接触层11厚度为0.2~0.5μm。
有益效果:
本发明技术方案以硅基为作为衬底层的,解决了现有技术中半导体超短脉冲激光器主要是以GaAS或InP为衬底,由于材料特性的不一样,不与CMOS工艺兼容的技术问题,便于和硅基集成;利用石墨烯的饱和吸收特性,实现超短脉冲激光。
附图说明
图1是本发明实施例的平面波导型的石墨烯被动锁模激光器结构示意图。
图1中:1、硅衬底层,2、缓冲层,3、下光包层,4、下势垒层,5、有源层,6、第一光栅结构,7、第二光栅结构,8、石墨烯层,9、上势垒层,10、上光包层,11、欧姆接触层。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
本发明的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,有源层5作为增益介质位于一对光栅结构中间,构成光栅谐振腔,石墨烯作为饱和吸收体贴附于第一光栅结构6的输入端面,第一光栅结构6和第二光栅结构7 具有相同中心波长,第一光栅结构6对中心波长光具有高反射性,第二光栅结构7对波导光栅中心波长为部分反射,反射率根据需要选择。当欧姆接触层11接电极工作时,在有源层5中激发产生光波,只有与光栅中心波长一致的光波可在光栅谐振腔中形成谐振,并得到放大。当光脉冲经过饱和吸收体时,光栅中心波长处的光强使石墨烯饱和,而光栅中心波长的边翼部分的光波损耗大于中心波长的损耗,即可达到窄化光脉冲的目的,实现了稳定的超短脉冲。此外,石墨烯对紫外到红外光的光谱都有相对较大的吸收,有超快的恢复时间,并具有极高的热导率,使得锁模激光器不受饱和吸收体的带宽限制,故而可以迅速扩散掉沉积在上面的热量,使其具有较高的热损伤阈值,可以作为高功率激光器的可饱和吸收体来实现锁模,并长时间内维持稳定的锁模运转。
实施例
图1是本发明一种平面波导型石墨烯被动锁模激光器的结构示意图。
由图1可见,本发明提供的平面波导型石墨烯被动锁模激光器的缓冲层2、下光包层3、下势垒层4、有源层5、上势垒层9、上光包层10和欧姆接触层11依次制作在硅衬底层1上;第一光栅结构6和第二光栅结构7分别制作在有源层5的两侧,构成光栅谐振腔;石墨烯层8 贴附于第一光栅结构6的输入端面,作为饱和吸收体;欧姆接触层11所覆盖的上光包层10、上势垒层9、有源层5、下势垒层4、下光包层3、缓冲层2和衬底层1构成半导体光放大器结构。
实施例中所述衬底层1的材料为[100]面偏向[110]方向4~9°的N型掺杂硅,更有利于缓冲层材料的生长;
实施例中所述缓冲层2的材料为GaAs,选用金属有机化学气相沉积,即MOCVD方法制备,N型掺杂主要是为了消除硅衬底和GaAs之间的晶格失配,避免位错;
实施例中所述有源层5为多周期结构,周期数为1~20,其材料为InGaAs量子阱、InGaAs量子点、InGaAsP量子阱或Ga AlAs量子阱,是发光的主要结构,也可以根据需求选择不同的材料得到所需的发光波长。
实施例中所述石墨烯层8为单层石墨烯。
实施例中所述上势垒层9和下势垒层4 的材料为InGaAsP、InGaAs、AlGaAs或GaAs,厚度为1~2μm即可达到技术要求,用于量子阱或量子点的势垒,限制载流子;
实施例中所述上光包层10和下光包层3的材料为InGaAsP或AlGaAs,厚度为1~3μm,主要用于限制光,形成波导结构;
实施例中所述欧姆接触层11的材料为高掺杂的InGaP或GaAs,厚度为0.2~0.5μm即可达到技术要求,主要用于制备电极;
当欧姆接触层11接电极工作时,在有源层5中激发光波产生,只有与光栅中心波长一致的光波可在光栅谐振腔中形成谐振,并得到放大。当光脉冲经过石墨烯时,光栅中心波长处的光强使石墨烯饱和,光栅中心波长的边翼部分的光波损耗大于中心波长的损耗,使光脉冲被石墨烯饱和吸收体窄化,即实现了稳定的超短脉冲。
由上述实施例可以得知本发明的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,利用石墨烯代替SESAM作为饱和吸收体,用一对光栅结构作为光栅谐振腔,并将III-V族半导体锁模激光器与硅衬底结合起来,克服了现有技术的不足,并能与硅基微电子集成技术兼容,实现了可集成、高稳定性、窄脉宽、高能量脉冲的被动锁模激光输出。
Claims (8)
1.平面波导型石墨烯被动锁模激光器,包括缓冲层(2)、下光包层(3)、下势垒层(4)、有源层(5)、上势垒层(9)、上光包层(10)和欧姆接触层(11),其特征在于,还包括具有相同中心波长的第一光栅结构(6)、第二光栅结构(7)和石墨烯层(8),所述衬底层(1)为[100]面偏向[110]方向4~9°的N型掺杂硅衬底;缓冲层(2)、下光包层(3)、下势垒层(4)、有源层(5)、上势垒层(9)、上光包层(10)和欧姆接触层(11)自下而上依次制作在衬底层(1)上构成半导体光放大器结构;所述第一光栅结构(6)和第二光栅结构(7)分别制作在有源层(5)的两侧构成光栅谐振腔,所述石墨烯层贴附于第一光栅结构(6)的输入端面,作为饱和吸收体。
2.根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于:第一光栅结构(6)对中心波长光具有高反射性;第二光栅结构(7)对中心波长为部分反射。
3.根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于:石墨烯层为单层石墨烯、多层石墨烯或经氧化还原的石墨烯聚合物。
4.根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于:所述缓冲层(2)的材料为Ge/GaAs或GaAs。
5.根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于:所述有源层(5)为多周期结构,周期数为1~20,其材料为InGaAs量子阱、InGaAs量子点、InGaAsP量子阱或GaAlAs量子阱。
6.根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于,满足下述至少一项:
所述上势垒层(9)和/或下势垒层(4)的材料为InGaAsP、InGaAs、AlGaAs或GaAs;
所述上势垒层(9)和/或下势垒层(4)厚度为1~2μm。
7. 根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于,满足下述至少一项:
所述上光包层(10)和/或下光包层(3)的材料为InGaAsP或AlGaAs;
所述上光包层(10)和/或下光包层(3)厚度为1~3μm。
8.根据权利要求1所述的平面波导型石墨烯被动锁模激光器,其特征在于,满足下述至少一项:
所述欧姆接触层(11)的材料为高掺杂的InGaP或GaAs;
所述欧姆接触层(11)厚度为0.2~0.5μm。
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