CN104502629A - 一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计 - Google Patents
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Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
CN107782915A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-03-09 | 中国人民解放军国防科技大学 | 硅中空梁、基于硅中空梁的硅微加速度计及其制备方法 |
CN110347119A (zh) * | 2019-06-29 | 2019-10-18 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 运动控制结构以及执行器 |
CN110865204A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-03-06 | 西北工业大学 | 一种基于表面等离激元的开环式面外加速度传感器及方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101858929A (zh) * | 2010-05-21 | 2010-10-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法 |
CN102128953A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-07-20 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器 |
CN102435780A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-05-02 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种单片三轴微机械加速度计 |
CN102759637A (zh) * | 2011-04-26 | 2012-10-31 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | Mems三轴加速度传感器及其制造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101858929A (zh) * | 2010-05-21 | 2010-10-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法 |
CN102128953A (zh) * | 2010-12-10 | 2011-07-20 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器 |
CN102759637A (zh) * | 2011-04-26 | 2012-10-31 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | Mems三轴加速度传感器及其制造方法 |
CN102435780A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-05-02 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种单片三轴微机械加速度计 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
刘宗林等: "新型三轴微加速度计设计", 《传感技术学报》 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107782915A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-03-09 | 中国人民解放军国防科技大学 | 硅中空梁、基于硅中空梁的硅微加速度计及其制备方法 |
CN107782915B (zh) * | 2017-09-29 | 2020-07-17 | 中国人民解放军国防科技大学 | 硅中空梁、基于硅中空梁的硅微加速度计及其制备方法 |
CN110347119A (zh) * | 2019-06-29 | 2019-10-18 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 运动控制结构以及执行器 |
CN110347119B (zh) * | 2019-06-29 | 2021-11-16 | 瑞声科技(南京)有限公司 | 运动控制结构以及执行器 |
CN110865204A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-03-06 | 西北工业大学 | 一种基于表面等离激元的开环式面外加速度传感器及方法 |
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