CN104474855A - 非链式df/hf激光器放电生成物小型化干法处理装置 - Google Patents
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Abstract
非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，属于激光器放电生成物处理技术领域。解决了现有激光器尾气处理装置结构大、吸附剂装卸复杂且相互影响、不便存储运输、污染环境的问题。该装置包括金属壳及一个以上的密封的净化单元，每个净化单元包括进气管、排气管及由从下至上依次排列的第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室组成的吸附剂仓室；金属壳上设有分别与第一仓室、第二仓室、第三仓室贯通的填料口，通过填料口分别装填和卸载第一仓室、第二仓室、第三仓室中的吸附剂；填料口上设有用于密封填料口的密封盖。该装置具有生成物处理彻底，设备体积小、重量轻，易于操作，方便维护，没有二次污染废水等优点。
Description
技术领域
本发明涉及激光器放电生成物处理技术领域，具体涉及一种非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置。
背景技术
非链式氟化氘/氟化氢(DF/HF)激光器输出波段为2.6-4.1μm，处于3-5μm中红外波段。这一波段不仅是衰减最小的大气红外窗口，而且在这一波段内还覆盖了众多原子及分子的吸收峰，所以该波段激光在光谱学、遥感、医疗、环保及军事等诸多领域都有重要的应用价值和前景。鉴于非链式DF激光器和HF激光器的工作气体及其放电生成物理化性质相似，在此仅以非链式DF激光器为例进行说明。
非链式DF激光器的工作气体通常由SF6和D2按一定比例混合配制而成。在高压放电情况下，工作气体相互反应会生成对环境有害的DF，SF4等气体。如果将这些气体直接排放到大气中，对环境和人体都具有巨大的危害。高浓度含氟气体对人的呼吸道和眼睛黏膜有刺激损伤作用，严重时可引起支气管炎、肺炎、肺水肿，发生呕吐、腹痛、腹泻等胃肠道疾患或中枢神经系统中毒症状，甚至使人窒息死亡。长期接触低浓度含氟气体则会造成慢性中毒，表现为鼻出血、齿龈炎、氟斑牙、牙齿变脆等症状，还可见持久性消化道、呼吸道疾病。含氟废气还会污染大气、水体、土壤，腐蚀建筑物、设备，破坏臭氧层，导致动物死亡、植物坏死。因此，需要对DF激光器工作时排出的有害气体进行检测和分析，并采用适当的方法进行消除。
现有技术中，北京工业大学刘颜召等人设计的氧碘化学激光器尾气处理设备，采用了固体吸附的方法(干法)处理氧碘化学激光器排放的大量腐蚀性气体。该方法首先利用球型储罐和一列管式换热器对尾气进行降温处理，然后将尾气导入吸收塔底部，并依次经过过滤层、硅胶和碱石灰混合层、活性炭层，最终净化后，从吸收塔顶部用真空泵抽出。该方法可有效去除氧碘化学激光器工作尾气中的固态碘、气态碘、氯气、水蒸气等物质，但是其吸收塔中各吸附剂采用散装形式从塔顶出口装入，需要人工调整依次填入，并控制其在塔内高度平整，各层吸附剂之间直接接触，不可避免造成各吸附剂相互混杂，影响吸附效果。激光器工作过程中，如果需要调整某一吸附剂用量，要将全部吸附剂卸料，造成浪费及操作复杂。并且，由于该吸收塔结构庞大，不能适用于非链式DF激光器放电生成物处理。
为解决这一技术问题，中国专利公开了一种DF激光器放电生成物的小型化处理装置(公开号103041677A)，采用NaOH溶液吸收含氟废气，该装置虽然可以有效的去除含氟化合物，具有小型化的特点，能够在狭小空间应用，但是该装置采用了液体吸收方法，碱液使用一段时间后需要重新配置，还会带来腐蚀和废水处理的问题，同时液体也不容易存储和运输，在北方冬季还存在保温防冻的问题，不利用工程化应用。
发明内容
本发明的目的是解决现有技术中，激光器尾气处理装置结构大、吸附剂装卸复杂且相互影响、不便存储运输及污染环境的技术问题，提供一种非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案如下：
非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，包括：金属壳及一个以上的净化单元；
所述净化单元为密封结构，包括吸附剂仓室、进气管和排气管；
所述吸附剂仓室设定在金属壳内，由从下至上依次排列的第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室组成，所述第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室两两之间的接触面均为过滤网，所述第一仓室、第二仓室和第三仓室均用于放置有吸附剂；
所述进气管和排气管均贯穿金属壳，进气管的一端与激光器放电生成物连通，进气管的另一端与第一过渡仓室连通，排气管的一端与第二过渡仓室连通，排气管的另一端与大气连通，进气管和排气管上均设有密封阀；
所述金属壳上设有分别与第一仓室、第二仓室、第三仓室贯通的填料口，通过填料口分别装填和卸载第一仓室、第二仓室、第三仓室中的吸附剂；
所述填料口上设有用于密封填料口的密封盖。
进一步的，所述第一仓室中的吸附剂为生石灰或者碱石灰，第二仓室中的吸附剂为活性氧化铝，第三仓室中的吸附剂为活性炭或者多孔分子筛材料。
进一步的，所述金属壳为圆柱体，当净化单元为多个时，每个净化单元的吸附剂仓室均为截面为扇形的柱状结构，多个净化单元的吸附剂仓室在金属壳内沿圆周均匀分布。
进一步的，当净化单元为多个时，相邻的净化单元均通过隔离仓隔开，多个净化单元彼此隔离封闭；更进一步的，所述净化单元为四个，隔离仓为截面为十字形的柱状结构。
进一步的，当净化单元为多个时，不同的两个净化单元之间由导气管相互连接，导气管的一端与一个净化单元的第一过渡仓室连通，导气管的另一端与另一个净化单元的第二过渡仓室连通，更进一步的，当设有隔离仓时，所述导气管设置在隔离仓的内部。
进一步的，所述导气管上设有密封阀。
进一步的，所述过滤网的材料为不锈钢。
进一步的，所述金属壳为密封结构，所述过滤网的边缘固定在金属壳的内表面上，所述第一过渡仓室的下表面和第二过渡仓室的上表面均为金属壳的内表面，第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室的侧面均为金属壳的内表面。
本发明的有益效果是：
1、本发明的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置生成物处理彻底，设备体积小、重量轻，易于操作，方便维护，没有二次污染废水，冬季防冻，便于工程化；
2、本发明的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置根据放电生成物中废气含量的不同可以方便地改变净化单元的使用个数和物料的添加量，以满足净化的要求；并且通过使用不同的净化单元，可以同时进行吸附剂装卸和生成物净化，在狭小空间应用时，也可以有效处理放电生成物，净化工作环境。
附图说明
图1为本发明非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置的单个净化单元的结构示意图；
图2为本发明非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置的俯视图；
图中：1、金属壳，2、净化单元，3、进气管，4、排气管，5、第一过渡仓室，6、第一仓室，7、第二仓室，8、第三仓室，9、第二过渡仓室，10、过滤网，11、填料口，12、密封盖，13、导气管，14、隔离仓。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步详细说明。
如图1、2所示，非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，包括：金属壳1和一个以上的净化单元2。其中，每个净化单元2均为密封结构，每个净化单元2由吸附剂仓室、进气管3和排气管4组成，吸附剂仓室设定在金属壳1的内腔中，吸附剂仓室由从下至上依次排列的第一过渡仓室5、第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8和第二过渡仓室9，第一过渡仓室5用于容纳进气管3导入的放电生成物，第二过渡仓室9用于容纳处理后将要排除大气的放电生成物，第一仓室6、第二仓室7和第三仓室8均放置有吸附剂，用于吸附处理放电生成物中的有害物质，第一仓室6中的吸附剂为生石灰或者碱石灰，第二仓室7中的吸附剂为活性氧化铝，第三仓室8中的吸附剂为活性炭或者多孔分子筛材料，为了便于气体通过，第一过渡仓室5、第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8和第二过渡仓室9两两之间的接触面均为过滤网10，过滤网10的材料可以采用不锈钢；为了便于加工，第一过渡仓室5、第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8和第二过渡仓室9均可以与金属壳1一体化成型，即金属壳1为密封结构，过滤网10的边缘均固定在金属壳1的内壁上，第一过渡仓室5、第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8和和第二过渡仓室9的侧面即为金属壳1的内壁，第一过渡仓室5的下表面为金属壳1内部的下表面，第二过渡仓室9的上表面为金属壳1内部的上表面；进气管3和排气管4均贯穿金属壳1，进气管3的一端与第一过渡仓室5连通，排气管3的另一端与激光器中的放电生成物连通；排气管4的一端与第二过渡仓室9连通，排气管4的另一端与大气连通，进气管3和排气管4上均设有密封阀，密封阀控制排气管3和排气管4的开关；激光器中的放电生成物通过进气管3导入第一过渡仓室5，然后依次经第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8的吸附剂吸附后，进入第二过渡仓室9，再由排气管4排入大气中。金属壳1一般采用圆柱形密封结构，金属壳1的壳体上设有分别与第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8贯通的三个填料口11，通过相应的填料口11分别装填和卸载第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8中的吸附剂，每个填料口11上均设定有与该填料口11配合的密封盖12，密封盖12与金属壳1共同形成密封环境，实现净化单元2的密封。
本实施方式的处理装置，可以根据激光器中的放电生成物中污染物的含量来调整净化单元2的数量，在某个净化单元2漏气或者需要更换吸附剂时，仍然可以使用其他净化单元2发挥作用。本实施方式中，吸附剂仓室中的吸附剂均过量，也可以根据需要吸附的气体的量，进行计算，使用恰好可吸附的量。
本实施方式中，当净化单元2为多个时，多个净化单元2间通过隔离仓14分隔为彼此独立的密封环境。如图2所示，当金属壳1为圆柱形，多个吸附剂仓室优选为截面为扇形的柱状结构，与圆柱形金属壳1匹配并在金属壳1内按圆周均匀分布。当净化单元2为四个时，隔离仓14为截面为十字形的柱形结构，十字形隔离仓14的中心轴与圆柱形金属壳1的中心轴在一条直线上，十字形隔离仓14将圆柱形金属壳1分隔成四个独立的截面为90度扇形的柱状腔体，四个净化单元2的四个吸附剂仓室均为截面为90度扇形的柱状结构，恰好配合在四个独立的截面为90度扇形的柱状腔体内。
本实施方式中，当净化单元2为多个时，可以通过导气管13连通不同的两个净化单元2，导气管13的一端与一个净化单元2的第一过渡仓室5连通，导气管13的另一端与另一个净化单元2的第二过渡仓室9连通。为避免导气管13布置在装置外侧时可能出现的漏气和碰撞损坏，导气管13可以排布在隔离仓14内；导气管13上可以设有密封阀，密封阀用于控制导气管13的开关；放电生成物在每个净化单元2中的流动方向为从下到上，在进入下一个净化单元2时，气体从一个净化单元2的第二过渡仓室9经导气管13引导至另一个净化单元2的第一过渡仓室5，进一步净化；在图2中，气体在多个净化单元2中的流动方向为逆时针方向。
以非链式DF激光器说明本发明的发明原理：
非链式DF激光器，其工作物质为SF6与D2的混合气体，在高压放电条件下，放电区发生的主要化学反应为：
SF6+e→SF5 -+F SF6+e→SF5 ++2e+F
SF5 ++SF5 -→SF6+SF4 2F+D2→2DF；
如果工作物质中混入少量的水蒸汽时，还会发生如下反应：SF4+H2O→SOF2+2HF；所以放电生成物中主要的废气成分是SF4和DF，还可能有少量的水蒸汽、SOF2以及HF。
放电生成物先经进气管3进入净化单元2的第一过渡仓室5，通过过滤网10在吸附剂仓室内部上升，过程中依次通过第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8的吸附剂吸附，为使放电生成物与吸附剂充分接触，第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8中的吸附剂均覆盖该仓室下表面的过滤网10。当放电生成物通过第一仓室6，如第一仓室6装填有生石灰或碱石灰，生石灰或碱石灰对DF发生化学吸附，化学反应式如下：CaO+2DF→CaF2+D2O；同时生石灰或碱石灰还会除去放电生成物中可能含有的少量水蒸气和HF；当放电生成物通过第二仓室7，如第二仓室7装填有活性氧化铝，活性氧化铝对SF4发生物理吸附，对DF发生化学吸附，化学反应式如下：Al2O3+6DF→2AlF3+3D2O；同时活性氧化铝还会除去放电生成物中可能含有的SOF2，化学反应式如下：3SOF2+Al2O3→2AlF3+3SO2；放电生成物通过第三仓室8，如第三仓室8装填有活性炭或者多孔分子筛材料，活性炭或者多孔分子筛材料进一步对DF和SF4进行物理吸附，以及对可能产生的SO2进行物理吸附。之后，经第一仓室6、第二仓室7、第三仓室8处理后的放电生成物进入第二过渡仓室9，进而可以经排气管4排入大气中，也可以根据需要，打开导气管13的阀门，将第二过渡仓室9中的气体导入下一个净化单元2进一步处理。
显然，以上实施方式的说明只是用于帮助理解本发明的核心思想。应当指出，对于所述技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。
Claims (10)
1.非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，包括：金属壳(1)及一个以上的净化单元(2)；
所述净化单元(2)为密封结构，包括吸附剂仓室、进气管(3)和排气管(4)；
所述吸附剂仓室设定在金属壳(1)内，由从下至上依次排列的第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)组成，所述第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)两两之间的接触面均为过滤网(10)，所述第一仓室(6)、第二仓室(7)和第三仓室(8)均用于放置吸附剂；
所述进气管(3)和排气管(4)均贯穿金属壳(1)，进气管(3)的一端与激光器放电生成物连通，进气管(3)的另一端与第一过渡仓室(5)连通，排气管(4)的一端与第二过渡仓室(9)连通，排气管(4)的另一端与大气连通，进气管(3)和排气管(4)上均设有密封阀；
所述金属壳(1)上设有分别与第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)贯通的填料口(11)，通过填料口(11)分别装填和卸载第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)中的吸附剂；
所述填料口(11)上设有用于密封填料口(11)的密封盖(12)。
2.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，所述第一仓室(6)中的吸附剂为生石灰或者碱石灰，第二仓室(7)中的吸附剂为活性氧化铝，第三仓室(8)中的吸附剂为活性炭或者多孔分子筛材料。
3.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，所述金属壳(1)为圆柱体，当净化单元(2)为多个时，每个净化单元(2)的吸附剂仓室均为截面为扇形的柱状结构，多个净化单元(2)的吸附剂仓室在金属壳(1)内沿圆周均匀分布。
4.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，当净化单元(2)为多个时，相邻的净化单元(2)均通过隔离仓(14)隔开，多个净化单元(2)彼此隔离封闭。
5.根据权利要求4所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，所述净化单元(2)为四个，隔离仓(14)为截面为十字形的柱状结构。
6.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，当净化单元(2)为多个时，不同的两个净化单元(2)之间由导气管(13)相互连接，导气管(13)的一端与一个净化单元(2)的第一过渡仓室(5)连通，导气管(13)的另一端与另一个净化单元(2)的第二过渡仓室(9)连通。
7.根据权利要求4所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，当净化单元(2)为多个时，不同的两个净化单元(2)之间由导气管(13)相互连接，导气管(13)的一端与一个净化单元(2)的第一过渡仓室(5)连通，导气管(13)的另一端与另一个净化单元(2)的第二过渡仓室(9)连通，所述导气管(13)设置在隔离仓(14)的内部。
8.根据权利要求6或7所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，所述导气管(13)上设有密封阀。
9.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，所述过滤网(10)的材料为不锈钢。
10.根据权利要求1所述的非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置，其特征在于，所述金属壳(1)为密封结构，所述过滤网(10)的边缘固定在金属壳(1)的内表面上，所述第一过渡仓室(5)的下表面和第二过渡仓室(9)的上表面均为金属壳(1)的内表面，第一过渡仓室(5)、第一仓室(6)、第二仓室(7)、第三仓室(8)和第二过渡仓室(9)的侧面均为金属壳(1)的内表面。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106178925A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-12-07 | 安徽中科艾克西玛光电科技有限公司 | 一种小型干式含氟废气过滤器 |
| CN114039262A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-02-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 小型化非链式脉冲df/hf激光装置及其激发方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5423903A (en) * | 1990-12-03 | 1995-06-13 | Schmitz; Michael | Air filter |
| DE202009004480U1 (de) * | 2009-03-02 | 2010-04-22 | BLüCHER GMBH | Mobiles Gerät zur Luftreinigung |
| CN202909601U (zh) * | 2012-11-30 | 2013-05-01 | 吴江市万事达环保溶剂有限公司 | 化工废气处理装置 |
| CN203253353U (zh) * | 2013-03-26 | 2013-10-30 | 天津市嘉腾环保设备有限公司 | 干法酸尾气净化器 |
-
2014
- 2014-10-22 CN CN201410572503.6A patent/CN104474855B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5423903A (en) * | 1990-12-03 | 1995-06-13 | Schmitz; Michael | Air filter |
| DE202009004480U1 (de) * | 2009-03-02 | 2010-04-22 | BLüCHER GMBH | Mobiles Gerät zur Luftreinigung |
| CN202909601U (zh) * | 2012-11-30 | 2013-05-01 | 吴江市万事达环保溶剂有限公司 | 化工废气处理装置 |
| CN203253353U (zh) * | 2013-03-26 | 2013-10-30 | 天津市嘉腾环保设备有限公司 | 干法酸尾气净化器 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106178925A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-12-07 | 安徽中科艾克西玛光电科技有限公司 | 一种小型干式含氟废气过滤器 |
| CN114039262A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-02-11 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 小型化非链式脉冲df/hf激光装置及其激发方法 |
| CN114039262B (zh) * | 2021-10-22 | 2023-10-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 小型化非链式脉冲df/hf激光装置及其激发方法 |
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