CN104353591A - 硅片匀胶烘干操作台 - Google Patents
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Abstract
硅片匀胶烘干操作台,包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。本发明设计合理,操作方便,不需要操作人员频繁起身。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片匀胶烘干操作台。
背景技术
在硅片制作工艺中,匀胶是利用高速旋转的离心力将光刻胶涂平,匀胶后会高温处理,蒸发掉其中水分,定型。目前,硅片利用匀胶机处理后,需要把匀胶后的硅片放到烘干箱内烘干,由于匀胶机一次只能处理一片硅片,处理完后操作人员需要将单片硅片放入烘干箱内,需要频繁起身,操作不方便。
发明内容
为了克服现在硅片匀胶烘干操作不方便的问题,本发明的目的在于提供一种操作方便,操作人员不需要频繁起身的硅片匀胶烘干操作台。
为了解决上述问题,本发明采用以下技术方案:一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
进一步的,在所述操作台本体上设置有棚罩,棚罩的顶端呈三角形。
优选的,所述匀胶机开关为脚踏式开关。
本发明的有益效果是:它将匀胶机和烘干装置巧妙的设计在操作台上,实现了匀胶和烘干在同一操作台操作;烘干板上等间距设置的凸筋方便硅片的取放;匀胶机采用脚踏式开关,设计合理,操作方便;三角形棚罩可防止蒸汽凝结后落到硅片上。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明:
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的烘干板侧视图。
图中,1本体、12棚罩、2匀胶机、21脚踏式开关、3烘干装置、31开关、32烘干板、321凸筋。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施例做详细说明:
如图1和图2所示,本发明的具体实施包括操作台本体1、匀胶机2和烘干装置3。
在所述操作台本体1的桌面上设置有通孔,所述匀胶机2的托盘固定在所述通孔中,匀胶机2的托盘上端与桌面平齐,匀胶机2的机体固定在操作台本体1的桌面的下方,优选的,所述匀胶机2的开关为脚踏式开关21。所述烘干装置3包括加热丝、开关31和烘干板32,所述开关31设置在操作台本体1的桌面一侧。所述加热丝位于烘干板32下方,加热丝与电热炉中的加热丝相同,加热丝对烘干板加热,实现对烘干板32上的硅片烘干。所述烘干板32上表面等间距设置有若干凸筋321,烘干板32优选为铝板,其上面的凸筋321可以横向设置,也可以纵向设置,图1和图2中为纵向设置。在图1中,匀胶机2设置了两台,它们用一个脚踏式开关21控制,当然,匀胶机2也可以设置一台或多台。
为了防止灰尘落入匀胶的硅片上,在所述操作台本体1上设置有棚罩12。为了防止在烘干过程中蒸汽在棚罩12上凝结后滴落到硅片上,棚罩12的顶端为三角形结构设计,与常见的三角形房顶相同,这样凝结的水珠会沿着房顶落到一侧。棚罩12优选的采用透明玻璃制成。
使用时,工作人员坐在操作台本体1前方,踩下脚踏式开关21,开始匀胶,匀胶完成后直接将硅片按顺序放在烘干板21上开始烘干。
以上所述只是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
2.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:在所述操作台本体上设置有棚罩,棚罩的顶端呈三角形。
3.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:所述匀胶机开关为脚踏式开关。
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