CN104353591A - 硅片匀胶烘干操作台 - Google Patents

硅片匀胶烘干操作台 Download PDF

Info

Publication number
CN104353591A
CN104353591A CN201410612630.4A CN201410612630A CN104353591A CN 104353591 A CN104353591 A CN 104353591A CN 201410612630 A CN201410612630 A CN 201410612630A CN 104353591 A CN104353591 A CN 104353591A
Authority
CN
China
Prior art keywords
drying
operating table
switch
operating desk
silicon chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410612630.4A
Other languages
English (en)
Inventor
李佳珊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201410612630.4A priority Critical patent/CN104353591A/zh
Publication of CN104353591A publication Critical patent/CN104353591A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

硅片匀胶烘干操作台,包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。本发明设计合理,操作方便,不需要操作人员频繁起身。

Description

硅片匀胶烘干操作台
技术领域
本发明涉及一种硅片匀胶烘干操作台。
背景技术
在硅片制作工艺中,匀胶是利用高速旋转的离心力将光刻胶涂平,匀胶后会高温处理,蒸发掉其中水分,定型。目前,硅片利用匀胶机处理后,需要把匀胶后的硅片放到烘干箱内烘干,由于匀胶机一次只能处理一片硅片,处理完后操作人员需要将单片硅片放入烘干箱内,需要频繁起身,操作不方便。
发明内容
为了克服现在硅片匀胶烘干操作不方便的问题,本发明的目的在于提供一种操作方便,操作人员不需要频繁起身的硅片匀胶烘干操作台。
为了解决上述问题,本发明采用以下技术方案:一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
进一步的,在所述操作台本体上设置有棚罩,棚罩的顶端呈三角形。
优选的,所述匀胶机开关为脚踏式开关。
本发明的有益效果是:它将匀胶机和烘干装置巧妙的设计在操作台上,实现了匀胶和烘干在同一操作台操作;烘干板上等间距设置的凸筋方便硅片的取放;匀胶机采用脚踏式开关,设计合理,操作方便;三角形棚罩可防止蒸汽凝结后落到硅片上。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明:
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的烘干板侧视图。
图中,1本体、12棚罩、2匀胶机、21脚踏式开关、3烘干装置、31开关、32烘干板、321凸筋。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施例做详细说明:
如图1和图2所示,本发明的具体实施包括操作台本体1、匀胶机2和烘干装置3。
在所述操作台本体1的桌面上设置有通孔,所述匀胶机2的托盘固定在所述通孔中,匀胶机2的托盘上端与桌面平齐,匀胶机2的机体固定在操作台本体1的桌面的下方,优选的,所述匀胶机2的开关为脚踏式开关21。所述烘干装置3包括加热丝、开关31和烘干板32,所述开关31设置在操作台本体1的桌面一侧。所述加热丝位于烘干板32下方,加热丝与电热炉中的加热丝相同,加热丝对烘干板加热,实现对烘干板32上的硅片烘干。所述烘干板32上表面等间距设置有若干凸筋321,烘干板32优选为铝板,其上面的凸筋321可以横向设置,也可以纵向设置,图1和图2中为纵向设置。在图1中,匀胶机2设置了两台,它们用一个脚踏式开关21控制,当然,匀胶机2也可以设置一台或多台。
为了防止灰尘落入匀胶的硅片上,在所述操作台本体1上设置有棚罩12。为了防止在烘干过程中蒸汽在棚罩12上凝结后滴落到硅片上,棚罩12的顶端为三角形结构设计,与常见的三角形房顶相同,这样凝结的水珠会沿着房顶落到一侧。棚罩12优选的采用透明玻璃制成。
使用时,工作人员坐在操作台本体1前方,踩下脚踏式开关21,开始匀胶,匀胶完成后直接将硅片按顺序放在烘干板21上开始烘干。
以上所述只是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
2.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:在所述操作台本体上设置有棚罩,棚罩的顶端呈三角形。
3.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:所述匀胶机开关为脚踏式开关。
CN201410612630.4A 2014-11-04 2014-11-04 硅片匀胶烘干操作台 Pending CN104353591A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410612630.4A CN104353591A (zh) 2014-11-04 2014-11-04 硅片匀胶烘干操作台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410612630.4A CN104353591A (zh) 2014-11-04 2014-11-04 硅片匀胶烘干操作台

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104353591A true CN104353591A (zh) 2015-02-18

Family

ID=52520950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410612630.4A Pending CN104353591A (zh) 2014-11-04 2014-11-04 硅片匀胶烘干操作台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104353591A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004275888A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Trinity Ind Corp 塗装用乾燥炉
CN203171582U (zh) * 2013-03-11 2013-09-04 天津市墨一坊工艺美术品有限公司 匀墨加热工作台
CN203254388U (zh) * 2013-05-31 2013-10-30 上虞市龙冠照明电器有限公司 一种用于粘结led灯电路板的多工位操作台
CN203357416U (zh) * 2013-06-07 2013-12-25 安徽砻坊科技发展有限公司 一种铁画加工台
CN204182540U (zh) * 2014-11-04 2015-03-04 李佳珊 硅片匀胶烘干操作台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004275888A (ja) * 2003-03-14 2004-10-07 Trinity Ind Corp 塗装用乾燥炉
CN203171582U (zh) * 2013-03-11 2013-09-04 天津市墨一坊工艺美术品有限公司 匀墨加热工作台
CN203254388U (zh) * 2013-05-31 2013-10-30 上虞市龙冠照明电器有限公司 一种用于粘结led灯电路板的多工位操作台
CN203357416U (zh) * 2013-06-07 2013-12-25 安徽砻坊科技发展有限公司 一种铁画加工台
CN204182540U (zh) * 2014-11-04 2015-03-04 李佳珊 硅片匀胶烘干操作台

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207379194U (zh) 一种铝板烘干装置
CN105113194A (zh) 一种新型的室外晾衣杆
CN201942923U (zh) 旋转式烘干机晾衣架
CN204182540U (zh) 硅片匀胶烘干操作台
CN205641855U (zh) 一种纸浆快速烘干装置
CN104353591A (zh) 硅片匀胶烘干操作台
CN108071040B (zh) 一种离型纸的烘干装置
CN203000406U (zh) 一种速干式晾衣架
CN204194239U (zh) 硅片匀胶烘干操作台
CN203936097U (zh) 玻璃的风刀清洗机
CN206212388U (zh) 一种布料除静电装置
CN207702926U (zh) 一种玻璃瓶高效烘干装置
CN206862057U (zh) 一种布料烘干装置
CN202637922U (zh) 台球桌电子恒温加热除湿系统
CN207214730U (zh) 太阳能烘干集热器
CN204435010U (zh) 一种快速烘干晾衣装置
CN206368281U (zh) 一种高效分离式晾晒装置
CN206264587U (zh) 一种加速印刷纸张除湿干燥的装置
CN204612371U (zh) 挤压型颗粒物烘干机
CN206011988U (zh) 一种鞋垫印花装置
CN207452526U (zh) 一种新型晾衣架
CN106988100A (zh) 一种加速衣服干爽的晾衣架
CN205880055U (zh) 一种湿敏电阻的检测装置
CN106852628A (zh) 一种能自动旋转的太阳能晾袜架
CN207653975U (zh) 一种晾鞋装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20150218