CN104308296A - 一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法 - Google Patents

一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104308296A
CN104308296A CN201410544603.8A CN201410544603A CN104308296A CN 104308296 A CN104308296 A CN 104308296A CN 201410544603 A CN201410544603 A CN 201410544603A CN 104308296 A CN104308296 A CN 104308296A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
tool
deposition
forming method
direct forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410544603.8A
Other languages
English (en)
Inventor
彭子龙
方东
兰红波
李一楠
张艺耀
钱雪立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qingdao University of Technology
Original Assignee
Qingdao University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Qingdao University of Technology filed Critical Qingdao University of Technology
Priority to CN201410544603.8A priority Critical patent/CN104308296A/zh
Publication of CN104308296A publication Critical patent/CN104308296A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/08—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat
    • C23C24/10—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat with intermediate formation of a liquid phase in the layer
    • C23C24/103—Coating with metallic material, i.e. metals or metal alloys, optionally comprising hard particles, e.g. oxides, carbides or nitrides

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，本发明结合快速原型技术的分层制造及电火花放电沉积加工设备简单，能量易于控制等优点，提出了面向金属微细结构制造的电火花放电沉积增材加工新方法，充分利用电火花沉积加工本身的加工方式和工艺特点，控制极间放电条件，实现工具电极高损耗和已沉积材料低蚀除，应用单次放电微量沉积，多次放电累加成形的工艺特点，实现微细结构二维层面上的沉积加工，继而应用二维层面的累加形成三维微小零件实体。以实现金属微细结构电火花放电沉积加工工艺，增加微细金属三维器件制造过程的灵活性和被加工零件的复杂程度，为现代制造提供新的技术手段。

Description

一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法
技术领域
本发明涉及电火花工艺领域，具体涉及一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法。
背景技术
随着电火花加工理论及实验研究的不断深入，人们对电极损耗现象、加工介质的选择以及对加工中蚀除产物的排出方式等方面的理解也有了更深入的认识。研究表明，通过微细电火花极间放电，不但能够实现金属材料的精微去除加工，而且利用工具电极的高损耗现象，在适当的工艺条件下也可以实现金属材料的沉积生长加工。而微细电火花加工中不可避免的电极高损耗现象有利于工具电极材料在工件上的生长加工。基于电火花放电沉积加工的研究成为一种新的微细加工方法得到人们的重视。
目前从世界范围的而言，微细加工技术的发展应用主要存在着三个主流发展方向。其一是以美国为代表的基于硅平面技术发展而成的硅加工技术；其二是以德国为代表的集光刻、电铸和注塑于一体的LIGA技术；另一个则是以日本为代表的由传统切削加工和特种加工方法衍生而来的微细加工技术。这三种加工方法都有其各自的特点，并广泛的应用于MEMS系统微小型器件的制造。
迄今，硅微细加工在微机械的制造中仍占据主要位置，在微型传感器的制作及与电路集成等方面表现出一定的技术优势，但由于其工艺条件和被加工材料等方面的限制，使其不适用于微型致动器及复杂微细三维结构的制作。LIGA技术被加工材料取材广泛，具备大纵横比复杂微细零件的加工能力，但它需要采用昂贵的同步辐射X射线光源和特制X光掩模，与微电子工艺的兼容性较差，并且加工工艺不够灵活。随着微细加工方法的不断发展，各种常规的加工方法也向微细加工领域延伸，出现了如微细车削、微细铣削等微细加工方法，取得了较好的加工效果，但被加工材料硬度限制仍是其加工瓶颈，同时微小切削加工的刀具本身就难以制作，限制了其广泛的应用。
微细特种加工方法采用各种物理的、化学的能量及其各种理化效应，直接去除或增加材料以达到加工的目的。加工中一般没用宏观作用力，多数属于非接触式加工，可加工性与材料本身的硬度无关。这些特性在微小尺度零件的加工中表现出不可替代的优越性。微细特种加工方法主要有微细电火花加工、微细电解加工、微细激光加工、离子束加工、电子束加工等，其中离子束加工和电子束加工可加工材料范围广，易于实现精确控制，然而由于其均需在真空中进行，加工设备昂贵，加工工艺灵活性受到一定的限制。微细激光加工精度高、速度快，加工性能好，然而由于其焦点位置对孔及特征尺寸的形状和深度有很大影响，会形成加工锥度，且加工深度有限。微细电解加工过程中无工具电极损耗，可长期使用，加工后工件不产生残余应力，加工表面质量好，然而微细电解加工由于其加工参数较常规电解加工小得多，加工间隙小，加工产物不易排出，引起加工区域电解液浓度变化，易发生短路瞬间熔断电极，破坏加工过程。并且由于影响电解加工间隙电场和流场稳定性的参数很多，精确控制困难，加工时存在杂散腐蚀现象，因此该方法目前不易达到较高的加工精度和加工稳定性。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供了一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，包括如下步骤：
S1、采用圆柱形工具电极(直径500微米)接脉冲电源正极的加工极性，采用煤油作为工作介质，通过微细电火花块电极反铐工艺，制备所需直径的工具电极；
S2、将工件和步骤S1所制备工具电极分别接脉冲电源的负极和正极，调节脉冲电源的放电参数，使放电点处的工具电极和工件金属材料局部熔化、汽化，分别在工具电极和工件金属材料蚀除微小体积的金属材料；
S3、将步骤S2所蚀除的工具电极材料在极小的放电间隙内，向工件金属材料运动，并最终到达工件金属材料表面，与熔化的工件金属材料共同冷凝形成沉积材料；
S4、重复上述步骤S2和S3，直至形成三维微小零件实体。
其中，由于参与单次放电的两极都会受到不同程度的蚀除，因此保证工具电极材料的高蚀除量和已沉积材料的低蚀除量是本工艺实现的前提条件。
所述步骤S1所制备的工作电极直径为20-200微米。
所述方法采用工具电极接脉冲电源的正极的加工极性，采用窄脉冲宽度，保证两极之间蚀除量差值最大，以实现较高的沉积加工速度。
所述方法中采用静止气体(空气、惰性气体)作为加工介质(相对于电火花去除加工采用液体介质)，以保证沉积加工微观过程中较小的爆炸力，有利于沉积加工工艺的进行。
所述方法采用短路前置的伺服控制策略。即当两极间检测到短路时，工具电极抬起一定高度，同时，工件在X-Y平面内向待加工区域移动微小距离，目的是使两极间消除短路状态，并保证沉积层连续。
其中，短路前置伺服策略中，工具电极向抬起高度和工件在X-Y平面内向待加工区域移动微小距离选取值通过给定脉冲能量条件下单次脉冲放电沉积实验确定。即测量沉积点高度及直径，经计算得到其斜率，并以此值作为机床伺服运动“短路前置伺服策略”的基础值，以保证单层沉积材料的均匀性。
所述两极之间通过极间放电状态检测系统，分辨出正常放电、短路及开路状态，通过主控计算机处理并发出3个运动轴的前进、后退指令，以实现伺服进给运动，保证加工状态的正常进行。
所述方法采用CCD显微视觉系统观测放电沉积加工过程。
本发明结合快速原型技术的分层制造及电火花放电沉积加工设备简单，能量易于控制等优点，提出了面向金属微细结构制造的电火花放电沉积增材加工新方法，充分利用电火花沉积加工本身的加工方式和工艺特点，控制极间放电条件，实现工具电极高损耗和已沉积材料低蚀除，应用单次放电微量沉积，多次放电累加成形的工艺特点，实现微细结构二维层面上的沉积加工，继而应用二维层面的累加形成三维微小零件实体。以实现金属微细结构电火花放电沉积加工工艺，增加微细金属三维器件制造过程的灵活性和被加工零件的复杂程度，为现代制造提供新的技术手段。
附图说明
图1为本发明一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法的制作系统原理图。
图中，1、工具电极；2、块电极；3、工件。
具体实施方式
为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明实施例提供了一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，包括如下步骤：
S1、采用圆柱形工具电极(直径500微米)接脉冲电源正极的加工极性，采用煤油作为工作介质，通过微细电火花块电极反铐工艺，制备所需直径的工具电极；
S2、将工件和步骤S1所制备工具电极分别接脉冲电源的负极和正极，调节脉冲电源的放电参数，使放电点处的工具电极和工件金属材料局部熔化、汽化，分别在工具电极和工件金属材料蚀除微小体积的金属材料；
S3、将步骤S2所蚀除的工具电极材料在极小的放电间隙内，向工件金属材料运动，并最终到达工件金属材料表面，与熔化的工件金属材料共同冷凝形成沉积材料；
S4、重复上述步骤S2和S3，直至形成三维微小零件实体。
其中，由于参与单次放电的两极都会受到不同程度的蚀除，因此保证工具电极材料的高蚀除量和已沉积材料的低蚀除量是本工艺实现的前提条件。
所述步骤S1所制备的工作电极直径为20-200微米。
所述方法采用工具电极接脉冲电源的正极的加工极性，采用窄脉冲宽度，保证两极之间蚀除量差值最大，以实现较高的沉积加工速度。
所述方法中采用静止气体(空气、惰性气体)作为加工介质(相对于电火花去除加工采用液体介质)，以保证沉积加工微观过程中较小的爆炸力，有利于沉积加工工艺的进行。
如图1所示，所述方法采用短路前置的伺服控制策略。即当两极间检测到短路时，工具电极1抬起一定高度，同时，工件3在X-Y平面内向待加工区域移动微小距离，目的是使两极间消除短路状态，并保证沉积层连续。
其中，短路前置伺服策略中，工具电极Z向抬起高度和工件在X-Y平面内向待加工区域移动微小距离选取值通过给定脉冲能量条件下单次脉冲放电沉积实验确定。即测量沉积点高度及直径，经计算得到其斜率，并以此值作为机床伺服运动“短路前置伺服策略”的基础值，以保证单层沉积材料的均匀性。
所述两极之间通过极间放电状态检测系统，分辨出正常放电、短路及开路状态，通过主控计算机处理并发出3个运动轴的前进、后退指令，以实现伺服进给运动，保证加工状态的正常进行。
所述方法采用CCD显微视觉系统观测放电沉积加工过程。
本具体实施分别从电火花沉积增材制造工艺的加工极性选择、工作介质、放电参数、放电沉积点位置控制等方面对多种工具电极材料的放电沉积展开系统研究，总结放电沉积的加工机理及工艺规律。获得金属微细结构直接成形的最佳实现条件；放电沉积加工的特点决定了放电点只发生在参与放电的两极距离最短处，因此已沉积层面的平整度直接影响下一层沉积加工的放电点分布。因此，本具体实施基于单脉冲放电理论分析和工艺实验，系统研究了单次放电微小沉积物与放电能量变化、放电点位置变化等的内在规律。在此基础上，进行了有限次脉冲放电及连续脉冲放电的理论和实验研究，研究了单次微能放电的沉积当量及多次放电成形的极限条件，确定该方法制造微细结构的尺寸极限；放电沉积加工是以工具电极的高损耗为基础实现的，本具体实施提出在极间放电定域沉积的基础上，引入分层制造的概念，在微细结构的分层沉积加工中，由于工具电极横截面积通常比加工工件面积小很多，因此工具电极损耗现象更加明显。工具电极损耗是一个实时存在、逐渐加大的过程，如果只是间歇性的进行电极损耗补偿，势必造成加工放电状态的不稳定，不但对加工效率和表面精度造成不利的影响，而且会影响下一层沉积加工放电点分布；所谓短路前置策略指检测到极间短路状态，工具电极向待加工区域斜前方移动一定距离，向上运动分量用于快速消除短路状态，向前运动分量用于使沉积加工区域顺利转移，维持沉积加工顺利进行。向上分量和向前分量的比值选择通过电火花放电逐层沉积工艺实验确定。本部分引入了短路前置补偿原理，使放电沉积增材制造过程连续进行。本具体实施主要研究工具电极轴向损耗补偿新方法和单层沉积加工中工具电极的平面运动特征两方面。通过对工具电极损耗补偿新方法的研究，解决单层沉积加工中放电点位置运动变化条件下的工具电极轴向实时补偿问题。从微细三维结构加工的实现过程看，放电沉积增材加工与传统的端面分层铣削加工在加工模式上具有相似性，都经历了从三维建模到分层加工的过程。而两者在各层面的加工顺序是互逆的，前者为沉积增材加工，后者为分层去除加工。因此，可以在获取三维结构各层面的加工信息的此基础上，增加各加工层面的工具电极损耗和补偿策略，采用“逆铣削”的加工模式，开发针对放电沉积分层增材制造的专用模块，完成了工具电极运动路径轨迹规划。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、采用圆柱形工具电极接脉冲电源正极的加工极性，采用煤油作为工作介质，通过微细电火花块电极反铐工艺，制备所需直径的工具电极；
S2、将工件和步骤S1所制备工具电极分别接脉冲电源的负极和正极，调节脉冲电源的放电参数，使放电点处的工具电极和工件金属材料局部熔化、汽化，分别在工具电极和工件金属材料上蚀除微小体积的金属材料；
S3、将步骤S2所蚀除的工具电极材料在极小的放电间隙内，向工件金属材料运动，并最终到达工件金属材料表面，与熔化的工件金属材料共同冷凝形成沉积材料；
S4、重复上述步骤S2和S3，直至形成三维微小零件实体。
2.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，所述步骤S1所制备的工作电极直径为20-200微米。
3.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，所述方法采用工具电极接脉冲电源的正极的加工极性，采用窄脉冲宽度，保证两极之间蚀除量差值最大，以实现较高的沉积加工速度。
4.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，所述方法中采用静止气体作为加工介质，以保证沉积加工微观过程中较小的爆炸力，有利于沉积加工工艺的进行。
5.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，所述方法采用短路前置的伺服控制策略。
6.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，所述两极之间通过极间放电状态检测系统，分辨出正常放电、短路及开路状态，通过主控计算机处理并发出3个运动轴的前进、后退指令，以实现伺服进给运动，保证加工状态的正常进行。
7.根据权利要求1所述的一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法，其特征在于，所述方法采用CCD显微视觉系统观测放电沉积加工过程。
CN201410544603.8A 2014-10-01 2014-10-01 一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法 Pending CN104308296A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410544603.8A CN104308296A (zh) 2014-10-01 2014-10-01 一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410544603.8A CN104308296A (zh) 2014-10-01 2014-10-01 一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104308296A true CN104308296A (zh) 2015-01-28

Family

ID=52363682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410544603.8A Pending CN104308296A (zh) 2014-10-01 2014-10-01 一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104308296A (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106881509A (zh) * 2017-03-20 2017-06-23 南昌大学 一种基于超声焊接增材及电火花成形的3d打印方法
CN107008996A (zh) * 2017-06-02 2017-08-04 河南科技大学 一种金属冷焊增材制造的方法
CN110270724A (zh) * 2018-03-15 2019-09-24 上海交通大学 微细火花放电加工中脉冲放电能量产生方法
CN110722277A (zh) * 2019-10-29 2020-01-24 哈尔滨工业大学 叠层实体电火花熔融成形方法
CN111360255A (zh) * 2020-03-23 2020-07-03 哈尔滨工业大学 一种导电材料一体化加工系统及加工方法
CN111375919A (zh) * 2020-03-27 2020-07-07 哈尔滨工业大学 电火花微焊接装置及方法
CN112008167A (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 中国石油大学(华东) 一种新型电弧增材与气中电火花电弧铣削减材复合制造装置
CN113020621A (zh) * 2021-02-26 2021-06-25 南方科技大学 基于放电的增材制造方法与装置
CN114959801A (zh) * 2022-03-28 2022-08-30 南京工业大学 一种限域电化学逐层增减材复合加工制造方法及装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102248496A (zh) * 2010-05-21 2011-11-23 湖大海捷(湖南)工程技术研究有限公司 一种采用电火花沉积方法制备超硬磨粒层的装置
CN102528188A (zh) * 2012-03-08 2012-07-04 哈尔滨工业大学 一种微细电极的电火花电化学复合加工方法
CN102950343A (zh) * 2012-11-15 2013-03-06 大连理工大学 一种以非导电塑料作电极加工微细结构的方法
EP2669036A2 (en) * 2012-05-31 2013-12-04 General Electric Company Hybrid electro-spark deposition and machining method and system
CN103480928A (zh) * 2013-09-16 2014-01-01 山东大学 一种超声振动微细电火花加工工作台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102248496A (zh) * 2010-05-21 2011-11-23 湖大海捷(湖南)工程技术研究有限公司 一种采用电火花沉积方法制备超硬磨粒层的装置
CN102528188A (zh) * 2012-03-08 2012-07-04 哈尔滨工业大学 一种微细电极的电火花电化学复合加工方法
EP2669036A2 (en) * 2012-05-31 2013-12-04 General Electric Company Hybrid electro-spark deposition and machining method and system
CN102950343A (zh) * 2012-11-15 2013-03-06 大连理工大学 一种以非导电塑料作电极加工微细结构的方法
CN103480928A (zh) * 2013-09-16 2014-01-01 山东大学 一种超声振动微细电火花加工工作台

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
彭子龙等: "电火花放电沉积金属微支撑结构工艺研究", 《热加工工艺》 *
金柏冬等: "电火花沉积加工微细结构的研究", 《华中科技大学学报（自然科学版）》 *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106881509A (zh) * 2017-03-20 2017-06-23 南昌大学 一种基于超声焊接增材及电火花成形的3d打印方法
CN107008996A (zh) * 2017-06-02 2017-08-04 河南科技大学 一种金属冷焊增材制造的方法
CN107008996B (zh) * 2017-06-02 2019-05-07 河南科技大学 一种金属冷焊增材制造的方法
CN110270724A (zh) * 2018-03-15 2019-09-24 上海交通大学 微细火花放电加工中脉冲放电能量产生方法
CN110270724B (zh) * 2018-03-15 2021-01-08 上海交通大学 一种基于场致射流表面感应放电的火花加工方法
CN112008167A (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 中国石油大学(华东) 一种新型电弧增材与气中电火花电弧铣削减材复合制造装置
CN112008167B (zh) * 2019-05-31 2022-03-15 中国石油大学(华东) 一种新型电弧增材与气中电火花电弧铣削减材复合制造装置
CN110722277B (zh) * 2019-10-29 2021-04-02 哈尔滨工业大学 叠层实体电火花熔融成形方法
CN110722277A (zh) * 2019-10-29 2020-01-24 哈尔滨工业大学 叠层实体电火花熔融成形方法
CN111360255A (zh) * 2020-03-23 2020-07-03 哈尔滨工业大学 一种导电材料一体化加工系统及加工方法
CN111375919A (zh) * 2020-03-27 2020-07-07 哈尔滨工业大学 电火花微焊接装置及方法
CN111375919B (zh) * 2020-03-27 2022-04-12 哈尔滨工业大学 电火花微焊接装置及方法
CN113020621A (zh) * 2021-02-26 2021-06-25 南方科技大学 基于放电的增材制造方法与装置
CN114959801A (zh) * 2022-03-28 2022-08-30 南京工业大学 一种限域电化学逐层增减材复合加工制造方法及装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104308296A (zh) 一种基于电火花放电沉积增材制造的金属微细结构直接成形方法
Tiwary et al. Study on the influence of micro-EDM process parameters during machining of Ti–6Al–4V superalloy
Kuriachen et al. Multiresponse optimization of micro-wire electrical discharge machining process
CN100544874C (zh) 微细圆柱群电极电化学腐蚀加工方法
CN106270839B (zh) 多材质电火花加工电极及其加工方法
Yan et al. Process planning and electrode wear compensation for 3D micro-EDM
CN103056463B (zh) 微细电解加工碳纳米管工具电极制备方法及多功能工作槽
CN103252543B (zh) 超薄工件的电解加工方法及装置
CN102357688A (zh) 一种用于成型微结构的模具镶块电火花加工方法
Dong et al. An experimental investigation of enhancement surface quality of micro-holes for Be-Cu alloys using micro-EDM with multi-diameter electrode and different dielectrics
CN104801795A (zh) 线电极径向往复振动的微细电解切割加工方法
CN106141339A (zh) 一种多电极微细电火花成形加工方法和装置
Li et al. Microstructure of electrochemical micromachining using inert metal mask
Huan et al. Micro-electrode wear and compensation to ensure the dimensional consistency accuracy of micro-hole array in micro-EDM drilling
Wang et al. Electrochemical micromachining of small tapered microstructures with sub-micro spherical tool
Kar et al. Parametric optimization of µEDM drilling on titanium using principal component analysis
Tong et al. Servo scanning 3D micro EDM for array micro cavities using on-machine fabricated tool electrodes
Chen et al. Micro sinking electro-discharge machining of complex 3D micro-cavity using in-situ milled graphite microform electrode
CN205996340U (zh) 多材质电火花加工电极
Wang et al. Micro-milling/micro-EDM combined processing technology for complex microarray cavity fabrication
Liu et al. Modeling and fabrication of microhole by electrochemical micromachining using retracted tip tool
CN108856918B (zh) 一种阵列式微细阶梯槽的电火花加工方法
Zhang et al. The tool electrode investigation of electrostatic field-induced electrolyte jet (E-jet) electrical discharge machining
Singh et al. Micro-hole drilling on thin sheet metals by micro-electro discharge machining
Moarrefzadeh Finite element simulation of dimensional limitation of electro chemical machining (ECM) process

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20150128