CN104278325A - 蓝宝石单晶炉 - Google Patents

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CN104278325A
CN104278325A CN201410490325.2A CN201410490325A CN104278325A CN 104278325 A CN104278325 A CN 104278325A CN 201410490325 A CN201410490325 A CN 201410490325A CN 104278325 A CN104278325 A CN 104278325A
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宋奇
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Shanghai Langzhao Mechanical & Electrical Equipment Co Ltd
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Shanghai Langzhao Mechanical & Electrical Equipment Co Ltd
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/16—Oxides
    • C30B29/20—Aluminium oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure

Abstract

本发明蓝宝石单晶炉，包括：机架、腔体、旋转机构、运动机构、电源、控制柜、及水冷系统；其中机架包括：底架，在底架上设有安装孔，腔体设置在安装孔内；底板，底板设置在底架的下方，底架通过锁紧螺钉与底板连接；调节螺钉及调节螺母，调节螺钉及调节螺母设置在底板上；立柱，立柱设置在底架的一侧，旋转机构设置在立柱的上端面；运动机构与旋转机构连接；横梁，横梁设置在底架上，控制柜通过螺钉固定在横梁上。本发明蓝宝石单晶炉将设备的主要组成部分完成装配后，整体包装、运输到使用场所，减少在安装场地的工作量，缩短安装、调整的时间，快速进入工作状态，提高效率。

Description

蓝宝石单晶炉
技术领域
本发明涉及半导体生产领域，特别是一种蓝宝石单晶炉。
背景技术
蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，强度高、硬度大、耐腐蚀，可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作，因而得到广泛的应用。是半导体发光二极管(LED)，大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。
蓝宝石单晶炉是针对蓝宝石晶体的广泛应用而开发的晶体生长设备。传统的蓝宝石单晶炉是把设备的几个组成部分拼合、摆放在一起组成一台设备，缺乏统一的安装平台来整体布局，造成安装时工作量相对较大，对安装人员的技术水平要求高，辅助设备占用率高，效率低。
发明内容
本发明提供了一种方便装配及运输的蓝宝石单晶炉。
为解决上述技术问题，本发明蓝宝石单晶炉，包括：机架、腔体、旋转机构、运动机构、电源、控制柜、及水冷系统；其中所述机架包括：底架，在所述底架上设有安装孔，所述腔体设置在所述安装孔内；底板，所述底板设置在所述底架的下方，所述底架通过锁紧螺钉与所述底板连接；调节螺钉及调节螺母，所述调节螺钉及所述调节螺母设置在所述底板上；立柱，所述立柱设置在所述底架的一侧，所述旋转机构设置在所述立柱的上端面；所述运动机构与所述旋转机构连接；横梁，所述横梁设置在所述底架上，所述控制柜通过螺钉固定在所述横梁上。
所述底板、所述调节螺钉及所述调节螺母的数量为四个，四个所述底板、所述调节螺钉及所述调节螺母的数量为四个分别设置在所述底板的四个角。
所述旋转机构包括：底座，所述底座为一贯通的柱体，所述底座的一端插入所述立柱内；转轴，所述转轴穿设于所述底座，所述转轴的两端分别伸出所述底座的两端；支座，所述支座通过螺钉设置在所述转轴上部。
在所述底座上、下两端的内壁上分别环接有衬套。
在所述衬套上设有油槽。
所述设有油槽为半圆形环形。
在所述转轴插入所述立柱内的一端的末端设有挡圈。
本发明蓝宝石单晶炉将设备的主要组成部分完成装配后，整体包装、运输到使用场所，减少在安装场地的工作量，缩短安装、调整的时间，快速进入工作状态，提高效率。
附图说明
图1为本发明蓝宝石单晶炉结构示意图；
图2为本发明蓝宝石单晶炉机架结构示意图；
图3为本发明蓝宝石单晶炉旋转机构结构示意图。
本发明蓝宝石单晶炉附图中附图标记说明：
1-底板                2-底架                3-横梁
4-立柱                5-锁紧螺钉            6-调节螺钉
7-调节螺母            8-安装孔              9-底座
10-转轴               11-衬套               12-支座
13-螺钉               14-挡圈               15-机架
16-腔体               17-旋转机构           18-运动机构
19-电源               20-控制柜             21-水冷系统
具体实施方式
下面结合附图对本发明蓝宝石单晶炉作进一步详细说明。
如图1～图3所示，本发明蓝宝石单晶炉的机架15，按预定位置将四块底板1用地脚螺栓固定在地基上，将底架2按装配关系放置在底板1之上，然后用调节螺钉6和调节螺母7调整底架2水平度，最后用锁紧螺钉13固定好底架2的位置。
将立柱4装入底架2的一侧，用螺栓固定，其上端用于安装旋转及运动机构18。再将横梁3装入底架2，并固定，实现电气控制系统的固定。同时，底架2上中空的安装孔8安装平面用于安装设备的腔体16部分。
旋转机构17包括：形状为一贯通的柱体的底座9，底座9的一端插入立柱4内。在底座9的两端的开口处分别装入滑动衬套11，在滑动衬套11的半圆形环形油槽(图中未示出)中涂少量润滑脂。然后将转轴10装入两个滑动衬套11中，并贯穿整个底座9。同时，在转轴10插入立柱4内的一端的末端设有挡圈14。此时，通过底座9及其上的衬套11能保证转轴10的旋转平稳，无卡阻现象。并且具备足够的抵抗变形的能力。
然后，将支座12安装在转轴10上部，并通过螺钉13固定。再将运动机构18安装通过支座12连接在转轴10上，可实现大角度旋转，并使设备结构得以简化，降低空间尺寸，使设备进一步小型化、轻量化。
最后，在机架15上安装腔体16，用螺钉紧固；在机架15横梁3上安装控制柜20，用螺钉紧固；电源电极板与腔体16上安装的电极位置对正，固定电源19位置；根据进、排水主管位置确定水冷系统21汇水排方向，在设备占地面积范围内。
本发明蓝宝石单晶炉将设备的主要组成部分完成装配后，整体包装、运输到使用场所，减少在安装场地的工作量，缩短安装、调整的时间，快速进入工作状态，提高效率。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (7)

1.蓝宝石单晶炉，其特征在于，包括机架、腔体、旋转机构、运动机构、电源、控制柜、及水冷系统；其中
所述机架包括：
底架，在所述底架上设有安装孔，所述腔体设置在所述安装孔内；
底板，所述底板设置在所述底架的下方，所述底架通过锁紧螺钉与所述底板连接；
调节螺钉及调节螺母，所述调节螺钉及所述调节螺母设置在所述底板上；
立柱，所述立柱设置在所述底架的一侧，所述旋转机构设置在所述立柱的上端面；所述运动机构与所述旋转机构连接；
横梁，所述横梁设置在所述底架上，所述控制柜通过螺钉固定在所述横梁上。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，所述底板、所述调节螺钉及所述调节螺母的数量为四个，四个所述底板、所述调节螺钉及所述调节螺母的数量为四个分别设置在所述底板的四个角。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，所述旋转机构包括：
底座，所述底座为一贯通的柱体，所述底座的一端插入所述立柱内；
转轴，所述转轴穿设于所述底座，所述转轴的两端分别伸出所述底座的两端；
支座，所述支座通过螺钉设置在所述转轴上部。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，在所述底座上、下两端的内壁上分别环接有衬套。
5.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，在所述衬套上设有油槽。
6.根据权利要求5所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，所述设有油槽为半圆形环形。
7.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉，其特征在于，在所述转轴插入所述立柱内的一端的末端设有挡圈。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104451878A (zh) * 2014-11-17 2015-03-25 上海朗兆机电设备有限公司 蓝宝石单晶生长炉立柱
CN104532348A (zh) * 2014-11-17 2015-04-22 上海朗兆机电设备有限公司 蓝宝石单晶生长炉机架

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Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Lv Liqiang

Inventor before: Song Qi

COR Change of bibliographic data
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20150114

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication