CN104152648A - 连续退火炉低露点气氛的配气方法 - Google Patents

Abstract

本发明是一种连续退火炉低露点气氛的配气方法，包括以下步骤：将按照设定流量供给的初始保护气氛分为第一支路和第二支路，第二支路的保护气氛直接通入水槽的水中进行增湿，以形成湿气氛支路；将湿气氛支路的保护气体和第一支路混合，以形成为最终通往炉内的总气氛；计算湿气氛流量值和干气氛流量值，并通过干、湿气氛管路的流量控制阀调整干、湿气氛流量至各自目标值；选择不同的水槽水温调整干、湿气氛的流量，使得干气氛的流量值、湿气氛的流量值处于最佳控制特性区域；以及进行增湿水槽内连续动态补水控制。本发明有效提高连续退火炉段内低露点气氛的露点控制精度，并可快速进行不同生产工艺间的动态露点调整和消除露点波动。

Description

连续退火炉低露点气氛的配气方法

技术领域

本发明涉及一种冷轧连续退火技术，尤其涉及一种多气氛连续退火炉内的气氛露点控制方法。

背景技术

露点是空气湿度达到饱和时的温度。目前，薄带生产连续退火炉炉内一般采用N₂或N₂+H₂保护气体来提高带钢表面的质量，常用N₂或N₂+H₂保护气体的露点在-40℃以下，但当产品的生产工艺对退火保护气氛有露点要求时，如利用增湿气体和板材表面反应进行脱碳处理或是在有一定露点的气氛保护下进行再结晶退火，则必须对进入退火炉的气氛增湿处理，以控制气体露点满足生产工艺要求。通常来说，露点小于0℃的气氛称为干气氛；0-45℃为低露点气氛；45℃以上为高露点气氛。

某些高附加值板材产品的热处理工艺，要求在退火炉内连续实现高露点气氛下的脱碳和低露点保护气氛下的冷却还原处理。

当前为使保护气氛具有一定露点而采用的配气方法，如图1和图2所示，包括以下流程：通过保护气氛流量阀9将工艺所需流量的初始保护气体通入增湿水槽1中，与水槽1中通过蒸汽流量阀10通入的水蒸气混合后达到目标露点保护气氛,增湿后的气体通过水槽顶部连接炉子的管道通往退火炉8内。通过装置上的温度传感器，流量阀的反馈联锁调整配气流量，通过水槽水温来调整配气温度和湿度，以使保护气氛达到工艺要求的露点；随着气氛的不断流入消耗，水槽1每隔一段时间还要通过水泵11进行补水，通过液位计2检测水槽中的水位。

高露点的保护气氛，采用以上增湿方式控制露点，公差精度较高，对于40-80℃的控制目标，露点波动可稳定在±0.5℃；而在露点控制要求低至0-40℃的情况下，即保护气氛低露点需求下，则无法稳定控制露点的波动，尤其是在水槽补水的过程中，波动甚至达到±3℃，远远超出产品要求的露点控制范围。低露点保护气氛采用上述配气方式主要存在的问题有：

配气过程稳定性差：配气量较大，露点控制目标低时，存在着欠饱和/过饱和现象；

水槽补水时，水温变化大：由于不同季节水温差异，加之对水槽液位的控制，只有先排放部分温度高的水后再补水，而在目标露点较低的工艺条件下甚至需要补经冷凝的水来满足水温要求，造成资源的消耗大，劳动作业强度大；

需要依靠调节水温来实现露点调整时，水温的调节变化时间长，直接影响露点的响应速度，影响工艺和产品质量；微调露点时温度惯量大，不易稳定；露点控制目标值越低，干扰越大；

要解决排补水对露点控制精度的影响，必须另增水槽独立控制水温，以减小温差，但也仅能减小波动而不能消除，还增加了投资成本并使控制方法复杂化。

经检索，目前现有的气体露点控制装置，如发明专利申请公开第CN101651218号所揭示，该装置包括有一蒸气产生器，用以产生一蒸气；一气体混合槽，连通该蒸气产生器，用以供导入的一气体与该蒸气于该气体混合槽的一气体混合室中混合为一高温饱和气体，并使该高温饱和气体自该气体混合槽的一混合气体出口排出；一间隔板，连接该气体混合槽，用以隔热；一露点温度控制槽，通过该间隔板连通该气体混合槽，用以供该高温饱和气体于该露点温度控制槽中进行露点温度调节，而产生一调节后的饱和气体。

发明专利申请公开第CN101651218号所揭示的是一种目前比较具有代表性的气体露点控制装置，利用该装置来进行的气体露点增湿过程就是前述现有的气体增湿方法，即是设计一个水蒸气槽产生具有一定露点的蒸汽，将保护气氛和水蒸汽混合后，再通过一个温度控制槽来调整露点，虽可持续供应流量大、气氛可控的增湿气体，但不足之处也很明显：(1)气体与水蒸气接触时间短，增湿效率低下，低露点控制要求下存在欠饱和现象；(2)当需要改变炉内露点时，增湿槽水蒸气与纯水达到新的动态平衡需要较长时间，切换过程中露点波动较大；(3)采用湿气温度而非湿气露点来控制水蒸气的量，仅能将露点控制在某一波段的范围内，控制精度较差。

发明内容

本发明的目的是提供一种连续退火炉低露点气氛的配气方法，可有效提高使用低露点保护气氛的连续退火炉段内的露点控制精度，同时实现可快速进行不同生产工艺间的动态露点调整，大大缩短调整时间和消除露点波动。

本发明的一种连续退火炉低露点气氛的配气方法，包括以下步骤：

将按照设定流量供给的初始保护气氛分为第一支路和第二支路，所述第二支路的保护气氛直接通入水槽的水中进行增湿，以形成湿气氛支路；

将所述湿气氛支路的保护气体和第一支路混合，以形成为最终通往炉内的总气氛；

计算湿气氛流量值Fw和干气氛流量值Fd，并通过干、湿气氛管路的流量控制阀调整干、湿气氛流量至各自目标值；

选择不同的水槽水温Ty调整干、湿气氛的流量，使得干气氛的流量值Fd、湿气氛的流量值Fw处于最佳控制特性区域；以及

进行增湿水槽内连续动态补水控制。

所述湿气氛流量值Fw根据以下公式计算：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

所述干气氛流量值Fd根据以下公式计算：Fd=Ft-Fw

其中：

Tx：最终气氛露点(目标露点)，单位为℃；

Tz：初始保护气氛露点（干气氛露点），单位为℃；

Ty：水槽水温，单位为℃；

Ft：总气氛流量，单位为m³/hr；

Fw：湿气氛流量值，单位为m³/hr；

Fd：干气氛流量值，单位为m³/hr。

所述干、湿气氛的流量值的最佳控制特性区域是使湿气氛流量值Fw和干气氛流量值Fd关系符合：Fw/Fd在0.5～2.5，水槽水温控制范围如下：

最终气氛露点(目标露点)Tx在0～20℃时,水槽水温Ty应控制在15～35℃；

最终气氛露点(目标露点)Tx在20～45℃时,水槽水温Ty应控制在35～65℃；

所述连续动态补水流量Y根据以下公式确定：

$Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K$

其中：

Mair：保护气体的摩尔质量，单位为g/mol；

Fw：湿气氛流量值，单位为m³/hr；

Ty：水槽水温，单位为℃；

ρ_air：保护气体密度(0℃时)，单位为kg/m³；

K为动态补水流量的周期修正值，表示在设定补水检测时间周期t内，计时开始时和结束时水槽内水的体积变化的比率，单位为m³/min；

K的数学表达式为：

K=60×(L_t0-L_t1)×S/t

上式中：

L_t0：计时开始水槽的液位高度，单位为m；

L_t1：计时结束水槽的液位高度，单位为m；

S：水槽底面积，单位为m²；

t：设定补水检测时间周期t，单位为min；

在设定补水检测时间周期t内，所述动态补水的流量Y是通过反馈至补水管路上的流量控制阀控制补水。

所述计时开始水槽的液位高度L_t0，计时结束水槽的液位高度L_t1通过水槽内的液位计在补水检测时间周期t开始和结束时测量，每一个时间周期内的动态补水流量周期修正值K均根据L_t0，L_t1重新测量计算。

本发明的有益效果是：

采用干、湿气氛按比例混合控制最终露点，湿气氛经过水槽内部增湿充分，消除了欠饱和/过饱和带来的露点波动，可以有效提高低露点控制要求下的露点稳定性、露点的控制精度达到±0.5℃；

根据设定的目标露点，水槽水温，总气氛流量精确计算干、湿气体各自的流量控制目标值，通过干、湿气氛管路的流量控制阀闭环进行流量控制，调整露点响应快速，精度高；

在保持增湿能力一定的情况下，可以选择最优的水槽水温，使得干、湿气氛的流量在最佳控制特性区域，确保控制稳定，减少检测失真和设备故障的发生率；

工艺需要降低露点时不需要采用排放热水、添加冷水来实现露点变更，采用连续动态补水实现露点变化快速准确，减少了资源消耗和操作强度。

总之，本发明的连续退火炉低露点气氛的配气方法可有效提高使用低露点保护气氛的连续退火炉段内的露点控制精度，提高产品质量；同时实现可快速进行不同生产工艺间的动态露点调整，大大缩短调整时间和消除露点波动，从而降低工艺调整带来的产量和能耗浪费;有效稳定成品质量，降低生产成本。

附图说明

图1是采用现有配气方法的装置布置示意图；

图2是现有配气方法的流程图；

图3是实施本发明一个实施例的连续退火炉低露点气氛的配气方法的装置布置示意图；

图4是本发明一个实施例的连续退火炉低露点气氛的配气方法的流程图；以及

图5是图4中所示配气方法中配气参数计算反馈逻辑图。

具体实施方式

为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明。首先需要说明的是，本发明并不限于下述具体实施方式，本领域的技术人员应该从下述实施方式所体现的精神来理解本发明，各技术术语可以基于本发明的精神实质来作最宽泛的理解。图中相同或相似的构件采用相同的附图标记表示。

如图3和图4所示，本发明一个实施例的连续退火炉低露点气氛的配气方法，包括以下步骤：

1、将按照设定流量供给的初始保护气氛分为两条支路，即第一支路12和第二支路13，其中第二支路的保护气氛即干气氛直接通入水槽1的水中进行增湿，气体在水面鼓泡逸出后成为携带一定量水蒸气的湿气氛支路14。

2、上述湿气氛支路14的保护气体即湿气氛和第一支路12的干气氛混合后，成为最终通往退火炉8内的总气氛，即目标露点保护气氛。

3、如图5所示，将最终设定气氛露点(目标露点)Tx，水槽水温Ty和总气氛流量Ft作为设定值输入，自动计算出干流量控制目标值Fd、湿气氛流量控制目标值Fw并输出，通过干气氛管路12流量控制阀6、湿气氛管路13的流量控制阀5调整干、湿气氛流量至目标值，其中：

湿气氛流量值Fw的表达式为：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

干气氛流量值Fd的表达式为：Fd=Ft-Fw

上述表达式中各变量符号的意义：

Tx：最终气氛露点(目标露点)，单位为℃；

Tz：初始保护气氛露点（干气氛露点），单位为℃；

Ty：水槽水温，单位为℃；

Ft：总气氛流量，单位为m³/hr；

Fw：湿气氛流量值，单位为m³/hr；

Fd：干气氛流量值，单位为m³/hr。

4、选择不同的水槽水温Ty调整干、湿气氛的流量，使得干、湿气氛的流量值处于最佳控制特性区域，即湿气氛流量值Fw和干气氛流量值Fd关系符合：Fw/Fd在0.5～2.5,其中:

最终气氛露点(目标露点)Tx在0～20℃时,水槽水温Ty应控制在15～35℃；

最终气氛露点(目标露点)Tx在20～45℃时,水槽水温Ty应控制在35～65℃；

5、增湿水槽1内的补水采用连续动态补水控制，以实现水槽1内水液位和温度的稳定，消除液位低间歇补水时温度变化滞后性和惯性造成的露点湿气氛波动。

6、上述连续动态补水流量Y，根据水槽水温Ty、湿气氛流量值Fw计算,

Y的数学表达式为：

$Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K$

上述表达式中各变量符号的意义：

Mair：保护气体的摩尔质量，单位为g/mol；

Fw：湿气氛流量值，单位为m³/hr；

Ty：水槽水温，单位为℃；

ρ_air：保护气体密度(0℃时)，单位为kg/m³；

K为动态补水流量的周期修正值，表示在设定补水检测时间周期t内，计时开始时和结束时水槽内水的体积变化的比率，单位为m³/min；

K的数学表达式为

K=60×(L_t0-L_t1)×S/t

上式中：

L_t0：计时开始水槽的液位高度，单位为m；

L_t1：计时结束水槽的液位高度，单位为m；

S：水槽底面积，单位为m²；

t：设定补水检测时间周期t，单位为min；

在设定补水检测时间周期t内，动态补水的流量按照Y值进行控制，反馈至补水管路4上的流量控制阀3控制补水。

7.上述计时开始水槽的液位高度L_t0，和计时结束水槽的液位高度L_t1通过水槽内的液位计2在补水检测时间周期t开始和结束时测量，每一个时间周期内的动态补水流量周期修正值K均根据L_t0，L_t1重新测量计算。

由上述说明可知：现有的气体增湿过程仅仅是将加湿用的蒸气和保护气氛混合，如图1和图2所示，并无配气的过程，且水槽1采用的是间隔补水，只要一补水，就造成温度波动，露点的调整仅仅就是通过水槽1的水温来控制；而本发明的连续退火炉低露点气氛的配气方法具有以下的实质性区别技术特征：

1)将直接通入水中充分增湿的湿气氛和干气氛混合实现露点稳定控制；

2)最终气氛露点（目标露点）设定后，根据水槽水温、总气氛流量精确计算干、湿气氛各自的流量，并输出后通过流量控制阀实现闭环控制；

3)根据最终气氛露点设定值确定最佳水槽水温设定区间，使得干、湿气氛的流量处于最佳控制特性区域；

4)水槽采用连续动态补水方式，实现液位和温度的稳定；以及

5)连续动态补水的补水流量经过精确计算得出，并根据液位的高度变化进行修正。

综上所述，本发明的有益效果体现在:

采用干、湿气氛按比例混合控制最终露点，湿气氛经过水槽内部增湿充分，消除了欠饱和/过饱和带来的露点波动，可以有效提高低露点控制要求下的露点稳定性、露点的控制精度达到±0.5℃；

根据设定的目标露点，水槽水温，总气氛流量精确计算干、湿气体各自的流量控制目标值，通过干、湿气氛管路的流量控制阀闭环进行流量控制，调整露点响应快速，精度高；

在保持增湿能力一定的情况下，可以选择最优的水槽水温，使得干、湿气氛的流量在最佳控制特性区域，确保控制稳定，减少检测失真和设备故障的发生率；以及

工艺需要降低露点时不需要采用排放热水、添加冷水来实现露点变更，采用连续动态补水实现露点变化快速准确，减少了资源消耗和操作强度。

总之，本发明的连续退火炉低露点气氛的配气方法可有效提高使用低露点保护气氛的连续退火炉段内的露点控制精度，提高产品质量；同时实现可快速进行不同生产工艺间的动态露点调整，大大缩短调整时间和消除露点波动，从而降低工艺调整带来的产量和能耗浪费;有效稳定成品质量，降低生产成本。

以下具体说明本发明的连续退火炉低露点气氛的配气方法应用在连续退火线生产中的一些实例，在应用实例中，供给的初始保护气氛为N2+H2保护气氛，其中：

初始保护气氛露点（干气氛露点）Tz为-60℃，保护气体的密度ρair为0.379kg/m³，保护气体的摩尔质量Mair为8.5g/mol，设定补水检测时间周期t=5min。系统自动更新计算每5min内的水槽液位变化率K，对动态补水流量Y进行修正。水槽的底面积S为0.785m²。

实例一、某牌号产品工艺要求炉内最终气氛露点(目标露点)Tx为15℃，总气氛流量Ft为120m³/hr，生产时设定水槽水温Ty为25℃，湿气氛流量值Fw的计算公式：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

通过计算Fw为64.6m³/hr，干气氛流量值Fd通过Fd=Ft-Fw计算为55.4m³/hr，湿气氛流量和干气氛流量比为1.17。水槽进行动态持续补水，经过计算：

补水流量 $Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K=1.62+K,$

其中每设定补水时间周期t=5min内，系统在周期开始测量Lt0(m)，周期结束时测量Lt1(m)，计算K修正Y。

实例二、某牌号产品工艺要求炉内最终气氛露点(目标露点)Tx为40℃，总气氛流量Ft为180m³/hr，生产时设定水槽水温Ty为55℃，湿气氛流量值Fw计算公式为：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

通过计算Fw为84.4m3/hr，干气氛流量值Fd通过Fd=Ft-Fw计算为95.6m³/hr，湿气氛流量和干气氛流量比为0.88。水槽进行动态持续补水，经过计算：

补水流量 $Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K=10.49+K,$

其中每设定补水检时间周期t=5min内，系统在周期开始测量Lt0(m)，周期结束时测量Lt1(m)，计算K修正Y。

实例三、某牌号产品工艺要求炉内最终气氛露点(目标露点)Tx为20℃，总气氛流量Ft为150m³/hr，生产时设定水槽水温Ty为30℃，湿气氛流量值Fw计算公式为：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

通过计算Fw为82.7m³/hr，干气氛流量值Fd通过Fd=Ft-Fw计算为67.3m3/hr，湿气氛流量和干气氛流量比为1.23。水槽进行动态持续补水，经过计算：

补水流量 $Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K=2.78+K,$

其中每设定补水检测时间周期t=5min内，系统在周期开始测量Lt0(m)，周期结束时测量Lt1(m)，计算K修正Y。

实例四、某牌号产品工艺要求炉内最终气氛露点(目标露点)Tx为25℃，总气氛流量Ft为150m³/hr，生产时设定水槽水温Ty为35℃，湿气氛流量值Fw计算公式为：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

通过计算Fw为84.5m³/hr，干气氛流量值Fd通过Fd=Ft-Fw计算为65.5m3/hr，湿气氛流量和干气氛流量比为1.29。水槽进行动态持续补水，经过计算:

补水流量 $Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K=3.76+K,$

其中每设定补水检测时间周期t=5min内，系统在周期开始测量Lt0(m)，周期结束时测量Lt1(m)，计算K修正Y。

实例五、某牌号产品工艺要求炉内最终气氛露点(目标露点)Tx为38℃，总气氛流量Ft为180m³/hr，生产时设定水槽水温Ty为50℃，湿气氛流量值Fw计算公式为：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-10{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})}^{})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

通过计算Fw为96.7m³/hr，干气氛流量值Fd通过Fd=Ft-Fw计算为83.3m3/hr，湿气氛流量和干气氛流量比为1.16。水槽进行动态持续补水，经过计算：

补水流量 $Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K=9.42+K,$

其中每设定补水检测时间周期t=5min内，系统在周期开始测量Lt0(m)，周期结束时测量Lt1(m)，计算K修正Y。

本发明有效满足对保护气氛有低露点要求的连退线的炉内气氛控制，可快速进行不同生产工艺间的动态露点调整，大大缩短调整时间和消除露点波动，能有效提高和稳定产品质量，降低能耗，推广应用前景开阔。

应理解，在阅读了本发明的上述讲授内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

Claims (6)

1.一种连续退火炉低露点气氛的配气方法，其特征在于，包括以下步骤：

将按照设定流量供给的初始保护气氛分为第一支路和第二支路，所述第二支路的保护气氛直接通入水槽的水中进行增湿，以形成湿气氛支路；

将所述湿气氛支路的保护气体和第一支路混合，以形成为最终通往炉内的总气氛；

计算湿气氛流量值Fw和干气氛流量值Fd，并通过干、湿气氛管路的流量控制阀调整干、湿气氛流量至各自目标值；

选择不同的水槽水温Ty调整干、湿气氛的流量，使得干气氛的流量值Fd、湿气氛的流量值Fw处于最佳控制特性区域；以及

进行增湿水槽内连续动态补水控制。

2.根据权利要求1所述的连续退火炉低露点气氛的配气方法，其特征在于，所述湿气氛流量值Fw根据以下公式计算：

$\mathrm{Fw}=\frac{({10}^{7.5\×\mathrm{Tx}/(237.7+\mathrm{Tx})}-{10}^{7.5\×\mathrm{Tz}/(237.7+\mathrm{Tz})})}{{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(237.7+\mathrm{Ty})}}\×\mathrm{Ft}$

所述干气氛流量值Fd根据以下公式计算：Fd=Ft-Fw

其中：

Tx：最终气氛露点(目标露点)，单位为℃；

Tz：初始保护气氛露点（干气氛露点），单位为℃；

Ty：水槽水温，单位为℃；

Ft：总气氛流量，单位为m³/hr；

Fw：湿气氛流量值，单位为m³/hr；

Fd：干气氛流量值，单位为m³/hr。

3.根据权利要求1或2所述的连续退火炉低露点气氛的配气方法，其特征在于，所述干、湿气氛的流量值的最佳控制特性区域是使湿气氛流量值Fw和干气氛流量值Fd关系符合：Fw/Fd在0.5～2.5，水槽水温控制范围如下：

最终气氛露点(目标露点)Tx在0～20℃时,水槽水温Ty应控制在15～35℃；

最终气氛露点(目标露点)Tx在20～45℃时,水槽水温Ty应控制在35～65℃。

4.根据权利要求1或2所述的连续退火炉低露点气氛的配气方法，其特征在于，所述连续动态补水流量Y根据以下公式确定：

$Y=\frac{0.10863\×{10}^{7.5\×\mathrm{Ty}/(\mathrm{Ty}+237.7)}}{M_{\mathrm{air}}}\×{\mathrm{\ρ}}_{\mathrm{air}}\×\mathrm{Fw}+K$

其中：

Mair：保护气体的摩尔质量，单位为g/mol；

Fw：湿气氛流量值，单位为m³/hr；

Ty：水槽水温，单位为℃；

ρ_air：保护气体密度(0℃时)，单位为kg/m³；

K为动态补水流量的周期修正值，表示在设定补水检测时间周期t内，计时开始时和结束时水槽内水的体积变化的比率，单位为m³/min；

K的数学表达式为：

K=60×(L_t0-L_t1)×S/t

上式中：

L_t0：计时开始水槽的液位高度，单位为m；

L_t1：计时结束水槽的液位高度，单位为m；

S：水槽底面积，单位为m²；

t：设定补水检测时间周期t，单位为min。

5.根据权利要求4所述的连续退火炉低露点气氛的配气方法，其特征在于，在设定补水检测时间周期t内，所述动态补水的流量Y是通过反馈至补水管路上的流量控制阀控制补水。

6.根据权利要求4所述的连续退火炉低露点气氛的配气方法，其特征在于，所述计时开始水槽的液位高度L_t0，计时结束水槽的液位高度L_t1通过水槽内的液位计在补水检测时间周期t开始和结束时测量，每一个时间周期内的动态补水流量周期修正值K均根据L_t0，L_t1重新测量计算。