CN103969857A - 晶圆级变焦镜头模组及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种晶圆级变焦镜头模组及其制备方法，通过由相邻的两层镜片组和其之间的垫片所构成的腔体内注入如液晶等的光折变材料，并在该两片镜片组中分别设置有透明导电薄膜，通过连接一可变电压源后，作为一对平行电位板，能够形成位于该平行电位板之间的电场，从而使得光折变材料在电场的作用下产生光电效应以改变其折射率或阿贝数，进而对整个光学镜头模组的焦距进行改变，达到可变焦的目的。
Description
技术领域
本发明涉及变焦镜头制造领域，尤其涉及一种晶圆级变焦镜头模组及其制备方法。
背景技术
目前，一般的光学镜头模组中的焦距通常是固定的，即当镜头模组完成了相应的制造工艺，从而形成了对应的产品或样品之后，其自身的焦距就无法进行进一步改变，这时因为镜头模组中的不同镜片组之间的距离被设置为一个固定的值，以由两组晶片组构成的镜头模组为例，如图1所示，其结构一般包括：第一镜片组101、第二晶片组102和垫片部分103；该第一晶片组101通过垫片部分103与第二镜片组102进行固定，从而形成光学镜头模组，其中，该第一镜片组101中设置有第一透镜111，而第二镜片组102中设置有第二透镜112。在该镜头模组的结构中，由于第一镜片组101和第二镜片组102之间由该垫片部分103进行固定和隔开，因此，位于第一镜片组101中的第一透镜111和位于第二镜片组102中的第二透镜112之间的距离由该垫片部分103的厚度决定，而该垫片部分103的厚度在制作完成后是固定的，因而，该光学镜头模组中的焦距也是一个固定的值。
由于上述的焦距固定的光学镜头模组的焦距是固定的，因此在产品的试产阶段，无法了解到各面镜片的光学特性和其存在的潜在的误差，因此在产品的试产阶段中，往往需要制备大量的具有垫片厚度梯度的样品，以从中挑选出符合产品需要的最佳垫片厚度的样品，然后方可进行大批量产品的制备。这会导致在产品的试产阶段中投入大量时间成本和人力物力成本，从而影响经济效益。另外，由于固定焦距的光学镜头具有一定的局限性，所以其并不能适用于需要灵活变焦的情况。
中国专利(CN102103243A)公开了一种镜头模组，包括一个镜筒及容置于该镜筒内的一个镜片、一个遮光环。该镜筒的内壁向该镜筒内延伸有两个凸起部。该凸起部包括一个第一抵持面。每个镜片包括一光学部及一非光学部。该光学部用于对物体进行光学成像。该非光学部连接围绕于光学部的周围。
中国专利(CN102289187A)公开了一种镜头模组，包括一镜筒及两个镜片。该镜筒具有相对的两个端面，该镜筒开设一贯穿该两个端面的收容孔，该收容孔具有中心轴。该镜筒内壁凸出形成有环状凸起，该环状凸起与该收容孔同轴，该环状凸起具有两个接触面，该两个接触面分别临近于该两个端面。
上述两个专利中的镜头模组均为固定焦距的镜头模组，其并不能克服上述的问题。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种晶圆级变焦镜头模组及其制备方法。
本发明解决技术问题所采用的技术方案为：
一种晶圆级变焦镜头模组，其中，包括：
至少两个镜片层和至少一个垫片层；
任意相邻的两个所述镜片层之间均通过一所述垫片层进行叠置，以构成一密封腔体，且每个所述密封腔体中均填充有光折变材料；
其中，每个所述镜片层均包括透明导电薄膜，且构成所述密封腔体的两镜片层中的透明导电薄膜均与一可变电压源电连接，以控制所述光折变材料的折射率或阿贝数。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述垫片层呈中空的环形状。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，每个所述镜片层均还包括透明导电玻璃基板和透镜；
所述透明导电薄膜覆盖在所述透明导电玻璃基板位于其所对应的密封腔体内的一侧的表面，所述透镜固定设置于所述透明导电玻璃基板另一侧的表面；
其中，所述垫片层通过与所述透明导电薄膜密封连接形成所述密封腔体。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，在位于所述透明导电薄膜所对应的密封腔体内的一侧的表面上也固定设置有所述透镜；
其中，在一个所述晶圆级变焦镜头模组中，所有所述透镜的光轴均重合。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述光折变材料为液晶。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述液晶为向列型液晶。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述透镜为平凹透镜或平凸透镜。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述垫片层由玻璃材质或其他相应的材质构成。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述透明导电薄膜的材质包括SnO2、InO2、ZnO、FTO、ATO、ITO、AZO、CTO、MIO、IZO中的一种或多种的组合。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，每层透明导电薄膜的厚度均为0.1um～2um；
每个所述透明导电玻璃基板的厚度均为0.1mm～2mm；
每个所述垫片层的厚度均为0.1mm～2mm。
所述的晶圆级变焦镜头模组，其中，所述可变电压源为一直流可变电压源。
一种制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，包括：
步骤S1、提供若干个垫片层和若干个已制备有透明导电薄膜和透镜的镜片层；
步骤S2、在其中一个所述垫片层的一个表面涂覆接着剂；
步骤S3、将其中一个所述镜片层通过所述接着剂与该垫片层进行连接，以使该镜片层和该垫片层构成一敞开的腔体；
步骤S4、在该敞开的腔体中注入光折变材料；
步骤S5、在该垫片层的另一个表面上涂覆接着剂；
步骤S6、选择一个镜片层与该垫片层进行连接，以封闭所述腔体，使得在该封闭的腔体中形成两个相对设置的透明导电薄膜；
步骤S7、重复步骤S2～步骤S6，以使所有的镜片层之间均通过垫片层实现连接，从而完成晶圆级变焦镜头模组的制备；
其中，每个所述镜片层的光轴均重合。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，若干个所述镜片层包括：
设置于所述晶圆级变焦镜头模组顶部和底部的顶部镜片层和底部镜片层，以及
设置于所述晶圆级变焦镜头模组中部的中部镜片层；
其中，所述顶部镜片层和底部镜片层中的透明导电玻璃基板的一个表面上覆盖有所述透明导电薄膜，所述中部镜片层的透明导电玻璃基板的两个表面上均覆盖有所述透明导电薄膜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，制备所述顶部镜片层或底部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜；
在该透明导电薄膜的表面上粘结透镜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，制备所述顶部镜片层或底部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜；
在该透明导电玻璃基板暴露的表面上粘结透镜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，制备所述顶部镜片层或底部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜；
在该透明导电薄膜的表面和该透明导电玻璃基板暴露的表面上均粘结透镜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，制备所述中部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的上下两个表面上均制备一层透明导电薄膜；
在其中一层透明导电薄膜的表面粘结透镜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，制备所述中部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的上下两个表面上均制备一层透明导电薄膜；
在该两层透明导电薄膜的表面均粘结透镜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，所述光折变材料为液晶。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，所述液晶为向列型液晶。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，所述透镜为平凹透镜或平凸透镜。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，所述垫片层由玻璃或其他相应的材质构成。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，所述垫片层呈中空的环形状。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，所述透明导电薄膜的材质包括SnO2、InO2、ZnO、FTO、ATO、ITO、AZO、CTO、MIO、IZO中的一种或多种的组合。
所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其中，每层透明导电薄膜的厚度均为0.1um～2um；
每个所述透明导电玻璃基板的厚度均为0.1mm～2mm；
每个所述垫片层的厚度均为0.1mm～2mm；
所述接着剂的厚度为1um～50um。
上述技术方案具有如下优点或有益效果：
本发明通过在由相邻的两层镜片组和其之间的垫片所构成的腔体内注入如液晶等的光折变材料，并在该两片镜片组中分别设置有透明导电薄膜，以作为一对平行电位板，从而在该透明导电薄膜上分别施加正负电压后，能够形成位于该平行电位板之间的电场，从而使得光折变材料在电场的作用下产生光电效应以改变其折射率或阿贝数，进而对整个光学镜头模组的焦距进行改变，达到可变焦的目的。另外，在批量产品的试产阶段，采用本发明提供的变焦镜头模组，利用其变焦特性，可以获得各面镜片的光学特性和各种误差范围，从而便于对产品的规格进行确定。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1是现有技术中镜头模组的剖面结构示意图；
图2A～2B是本发明实施例1的晶圆级变焦镜头模组的剖面结构示意图；
图3是本发明实施例2中的晶圆级变焦镜头模组的剖面结构示意图；
图4是本发明方法的步骤流程示意图。
具体实施方式
本发明提供了一种晶圆级变焦镜头模组，主要包括：若干个镜片层和若干垫片层，该若干镜片层之间通过表面涂覆有接着剂的垫片层进行叠置，且每个镜片层的光轴都重合；每相邻两个镜片层均与位于其之间的垫片层一同构成一腔体，每个腔体内均可选择填充有光折变材料；每个腔体中均包含有两层沿所述光轴方向且相向设置的透明导电薄膜，并将该透明导电薄膜连接至一可变电压源，以形成一对平行电位板；通过在该平行电位板上施加可变的电压，以在该电位板之间形成可变电场，在该可变电场的作用下改变该光折变材料的折射率或阿贝数。
下面结合附图和具体实施例对本发明的晶圆级变焦镜头模组进行详细说明。
实施例1
如图2A～2B所示，本实施例中的晶圆级变焦镜头模组包括：第一镜片层201和第二镜片层202和位于该第一镜片层201和第二镜片层202之间的垫片层203。该第一镜片层201包括第一透明导电玻璃基板211、至少一个第一透镜221和第一透明导电薄膜231；该第二镜片层202包括第二透明导电玻璃基板212，至少一个第二透镜222和第二透明导电薄膜232；在第一透明导电玻璃基板211的其中一个表面上覆盖有第一透明导电薄膜231，类似的，在第二透明导电玻璃基板212的其中一个表面上覆盖有第二透明导电薄膜232。该第一透镜221和第二透镜222均为平凸透镜或平凹透镜，即一个表面为平面另一个表面为凸面或凹面的透镜，其可根据具体的工艺需要进行设置。上述的第一透镜的数量可以是一个或两个，第二透镜的数量也可以是一个或两个。当第一透镜和第二透镜的数量均为一个时，如图2B所示，第一透镜221通过其呈平面的表面固定于第一透明导电薄玻璃基板211上未粘附该第一透明导电薄膜的表面，而第二透镜222通过其呈平面的表面固定于第二透明导电玻璃212上为粘附该第二透明导电薄膜的表面；当第一透镜和第二透镜的数量均为两个时，如图2A所示，两个第一透镜221分别设置于第一透明导电薄膜231的表面和第一透明导电玻璃基板211上未粘附第一透明导电薄膜的表面；两个第二透镜222也分别设置于第二透明导电薄膜232的表面和第二透明导电玻璃基板212上未粘附第二透明导电薄膜的表面。
如图2A和2B所示，第一镜片层201和第二镜片层202之间设置有垫片层203，该垫片层203的上下两个表面上均涂覆有接着剂204，通过该接着剂204实现与第一镜片层201和第二镜片层202的连接，该垫片层203可以是一个环形的空腔结构，其材质优选为玻璃，该垫片层203和位于其上方的第一镜片201层以及位于其下方的第二镜片层202共同构成一个密封腔体，且第一透镜221和第二透镜222的光轴重合，位于第一镜片层201中的第一透明导电薄膜231和位于第二镜片层202中的第二透明导电薄膜232沿光轴方向相向设置，当第一导电薄膜231和第二导电薄膜232均连接至一可变电压源时，该两个透明导电薄膜上被施加正负电压后，其可以作为一对平行电位板并在其之间形成电场。在该空腔内填充有光折变材料205(如液晶等)，在本实施例中的光折变材料优选为向列型液晶。
上述的透明导电薄膜的材质可以是SnO2、InO2、ZnO、FTO、ATO、ITO、AZO、CTO、MIO、IZO中的一种或多种的组合。其中，FTO为掺杂氟的SnO2(SnO2：F)；ATO为掺杂锑的SnO2(SnO2：Sb)；TIO为掺杂锡的In2O3(In2O3：S)；AZO为掺杂铝的ZnO(ZnO：Al)；CTO为Cd2SnO4；MIO为Mo；IZO为掺杂铟的ZnO(ZnO：In)。
上述的第一透明导电玻璃基板和第二透明导电玻璃基板的厚度均为0.1mm～2mm(如：0.1mm、1mm、1.5mm或2mm等)；上述的垫片层的厚度为0.1mm～2mm(如：0.1mm、1mm、1.5mm或2mm等)；上述的透明导电薄膜的厚度均为0.1um～2um(如：0.1um、1um、1.5um或2um等)；上述的接着剂的厚度均为1um～50um(如1um、10um、30um或50um等)。
在上述的镜头模组中，通过在位于第一镜片层中的透明导电薄膜和位于第二镜片层中的透明导电薄膜均连接至一可变直流电源后，该第一透明导电薄膜和第二透明导电薄膜上分别施加极性相反的电压，从而在该第一镜片层和第二镜片层之间形成电场，使得液晶等光折变材料处于该电场中，以使其产生光电效应，并通过调整所施加的电压的大小，从而使得光折变材料的折射率(Nd)或阿贝数(Vd)发生变化，进而改变镜头模组的焦距，以实现镜头模组的可变焦。
实施例2
由于本发明中的晶圆级变焦镜头模组并不局限于两层的镜片层，其还可以包括三层或三层以上的镜片层，由于包含三层镜片层的镜头模组结构与包含三层以上镜片层的镜头模组的结构大致相似，因此，在本实施例中以具有三层镜片层的镜头模组为例进行详细说明。
如图3所示，本实施例中的晶圆级变焦镜头模组包括：位于镜头模组顶部的顶部晶片层301、位于镜头模组中部的中部镜片层302、位于镜头模组底部的底部镜片层303和位于每相邻两个镜片层之间的多个垫片层301。顶部镜片层301和底部镜片层303与实施例1中的第一镜片层301和第二镜片层302的设置方式相同，故在此处不再详细赘述。本实施例中的中部镜片层302包括中部透明导电玻璃基板312、至少一个中部透镜322和中部透明导电薄膜332。在该中部透明导电玻璃基板312的上下两个表面均覆盖有中部透明导电薄膜332，且中部透镜302可仅设置于位于上方的中部透明导电薄膜332或位于下方的中部透明导电薄膜332上，或者同时设置于该两个中部透明导电薄膜332的表面，其具体的设置的方式可根据具体工艺需求进行确定，类似地，上述的中部透镜可以为平凹透镜或这平凸透镜，具体的选择可根据实际工艺需求进行确定。
如图3所示，顶部镜片层301和中部镜片层302之间通过一层表面涂覆有接着剂304的垫片层301进行连接，而中部镜片层302和底部镜片层303之间也通过一层表面涂覆有接着剂的垫片层进行连接，从而形成两个腔体，两个腔体中填充有光折变材料305。且在每个腔体顶部和底部的镜片层中的透明导电薄膜分别位于光折变材料的两侧相向设置。
通过分别对两个腔体中的透明导电薄膜施加电压，可以分别在两个腔体内形成电场，从而改变其各自内部的光折变材料的折射率或阿贝数。
在本实施例中的其他器件参数可参见实施例1，在此处不再进行赘述。
本发明还提供一种制备晶圆级变焦镜头模组的方法，如图4所示，主要包括：
步骤S1、提供若干个垫片层和若干个已制备有透明导电薄膜和透镜的镜片层。该若干个镜片层进一步包括：需要设置于镜头模组两端的顶部镜片层和底部镜片层，以及需要设置于镜头模组中部的中部镜片层。对于顶部镜片层和底部镜片层的制备可先在一片透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜，然后仅在该透明导电薄膜的表面或该透明导电玻璃基板的表面设置透镜，或在两个表面上均设置透镜；而对于中部镜片层的制备，则需要在一透明导电玻璃基板的两个表面上均制备透明导电薄膜，并在其中一层透明导电薄膜的表面上设置透镜，或者在两层透明导电薄膜的表面上均设置透镜，具体的，可根据实际工艺需求进行确定。
步骤S2、在其中一个垫片层的表面涂覆接着剂。
步骤S3、将其中一个镜片层通过该接着剂与该垫片层进行连接，从而使得该镜片层和该垫片层构成一敞开的腔体。
步骤S4、在该敞开的腔体中注入光折变材料。该光折变材料可以是液晶材料，更优选的，可以是向列型液晶材料。
步骤S5、在该垫片层的另一个表面上涂覆接着剂。
步骤S6、选择一个镜片层与该垫片层进行连接，以封闭上述的敞开的腔体，从而使得在该封闭腔体中形成两个相对设置的透明导电薄膜。
步骤S7、重复步骤S2～S6，使所有的镜片层之间均通过垫片层实现连接，从而完成晶圆级变焦镜头模组的制备。
上述每个镜片层中的透镜均为平凹透镜或者平凸透镜，且连接相邻两个镜片层的垫片层均为玻璃材质构成的中空环形结构，其厚度为0.1mm～2mm(如：0.1mm、1mm、1.5mm或2mm等)，每个透明导电玻璃基板的厚度均为0.1mm～2mm(如：0.1mm、1mm、1.5mm或2mm等)，每个透明导电薄膜的厚度均为0.1um～2um(如：0.1um、1um、1.5um或2um等)，接着剂的厚度均为1um～50um(如1um、10um、30um或50um等)。
上述的透明导电薄膜的材质可以是SnO2、InO2、ZnO、FTO、ATO、ITO、AZO、CTO、MIO、IZO中的一种或多种的组合。其中，FTO为掺杂氟的SnO2(SnO2：F)；ATO为掺杂锑的SnO2(SnO2：Sb)；TIO为掺杂锡的In2O3(In2O3：S)；AZO为掺杂铝的ZnO(ZnO：Al)；CTO为Cd2SnO4；MIO为Mo；IZO为掺杂铟的ZnO(ZnO：In)。
综上所述，通过上述的方法可以制备出可变焦的晶圆级镜头模组，将该镜头模组应用于大批量产品生产前的试产阶段中的样品，并利用该镜头模组的可变焦的特性，可以更为便捷地获得各个镜片的光学特性和可能存在的各种误差，从而省去了制备和比对大量样品的繁复过程，节省了生产过程中时间成本和物料成本。同时该晶圆级变焦镜头模组还可单独作为产品应用或集成于其他光学器件中。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
Claims (25)
1.一种晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，包括：
至少两个镜片层和至少一个垫片层；
任意相邻的两个所述镜片层之间均通过一所述垫片层进行叠置，以构成一密封腔体，且每个所述密封腔体中均填充有光折变材料；
其中，每个所述镜片层均包括透明导电薄膜，且构成所述密封腔体的两镜片层中的透明导电薄膜均与一可变电压源连接，以控制所述光折变材料的折射率或阿贝数。
2.如权利要求1所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述垫片层呈中空的环形状。
3.如权利要求2所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，每个所述镜片层均还包括透明导电玻璃基板和透镜；
所述透明导电薄膜覆盖在所述透明导电玻璃基板位于其所对应的密封腔体内的一侧的表面，所述透镜固定设置于所述透明导电玻璃基板另一侧的表面；
其中，所述垫片层通过与所述透明导电薄膜密封连接形成所述密封腔体。
4.如权利要求3所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，在位于所述透明导电薄膜所对应的密封腔体内的一侧的表面上也固定设置有所述透镜；
其中，在一个所述晶圆级变焦镜头模组中，所有所述透镜的光轴均重合。
5.如权利要求1所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述光折变材料为液晶。
6.如权利要求5所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述液晶为向列型液晶。
7.如权利要求3所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述透镜为平凹透镜或平凸透镜。
8.如权利要求1所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述垫片层由玻璃材质构成。
9.如权利要求1所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述透明导电薄膜的材质包括SnO2、InO2、ZnO、FTO、ATO、ITO、AZO、CTO、MIO、IZO中的一种或多种的组合。
10.如权利要求3所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，每层透明导电薄膜的厚度均为0.1um～2um；每个所述透明导电玻璃基板的厚度均为0.1mm～2mm；每个所述垫片层的厚度均为0.1mm～2mm。
11.如权利要求1所述的晶圆级变焦镜头模组，其特征在于，所述可变电压源为一直流可变电压源。
12.一种制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，包括：
步骤S1、提供若干个垫片层和若干个已制备有透明导电薄膜和透镜的镜片层；
步骤S2、在其中一个所述垫片层的一个表面涂覆接着剂；
步骤S3、将其中一个所述镜片层通过所述接着剂与该垫片层进行连接，以使该镜片层和该垫片层构成一敞开的腔体；
步骤S4、在该敞开的腔体中注入光折变材料；
步骤S5、在该垫片层的另一个表面上涂覆接着剂；
步骤S6、选择一个镜片层与该垫片层进行连接，以封闭所述腔体，使得在该封闭的腔体中形成两个相对设置的透明导电薄膜；
步骤S7、重复步骤S2～步骤S6，以使所有的镜片层之间均通过垫片层实现连接，从而完成晶圆级变焦镜头模组的制备；
其中，每个所述镜片层的光轴均重合。
13.如权利要求12所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，若干个所述镜片层包括：
设置于所述晶圆级变焦镜头模组顶部和底部的顶部镜片层和底部镜片层，以及
设置于所述晶圆级变焦镜头模组中部的中部镜片层；
其中，所述顶部镜片层和底部镜片层中的透明导电玻璃基板的一个表面上覆盖有所述透明导电薄膜，所述中部镜片层的透明导电玻璃基板的两个表面上均覆盖有所述透明导电薄膜。
14.如权利要求13所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，制备所述顶部镜片层或底部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜；
在该透明导电薄膜的表面上粘结透镜。
15.如权利要求13所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，制备所述顶部镜片层或底部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜；
在该透明导电玻璃基板暴露的表面上粘结透镜。
16.如权利要求13所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，制备所述顶部镜片层或底部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的一个表面上制备一层透明导电薄膜；
在该透明导电薄膜的表面和该透明导电玻璃基板暴露的表面上均粘结透镜。
17.如权利要求13所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，制备所述中部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的上下两个表面上均制备一层透明导电薄膜；
在其中一层透明导电薄膜的表面粘结透镜。
18.如权利要求13所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，制备所述中部镜片层的方法包括：
在一透明导电玻璃基板的上下两个表面上均制备一层透明导电薄膜；
在该两层透明导电薄膜的表面均粘结透镜。
19.如权利要求12所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，所述光折变材料为液晶。
20.如权利要求19所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，所述液晶为向列型液晶。
21.如权利要求12所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，所述透镜为平凹透镜或平凸透镜。
22.如权利要求12所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，所述垫片层由玻璃材质构成。
23.如权利要求22所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，所述垫片层呈中空的环形状。
24.如权利要求12所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，所述透明导电薄膜的材质包括SnO2、InO2、ZnO、FTO、ATO、ITO、AZO、CTO、MIO、IZO中的一种或多种的组合。
25.如权利要求12所述的制备晶圆级变焦镜头模组的方法，其特征在于，每层透明导电薄膜的厚度均为0.1um～2um；每个所述透明导电玻璃基板的厚度均为0.1mm～2mm；每个所述垫片层的厚度均为0.1mm～2mm；所述接着剂的厚度为1um～50um。
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