CN103956299A - 一种微机械rf开关 - Google Patents
一种微机械rf开关 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103956299A CN103956299A CN201410124757.1A CN201410124757A CN103956299A CN 103956299 A CN103956299 A CN 103956299A CN 201410124757 A CN201410124757 A CN 201410124757A CN 103956299 A CN103956299 A CN 103956299A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- contact
- switch
- spring
- polar plate
- holding wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
一种微机械RF开关，其特征在于：包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线，其中电容由活动极板和固定极板构成；所述弹簧一端与固定点连接，一端与活动极板连接，所述触头位于活动极板下方，触头与活动极板之间通过绝缘块隔离，所述固定极板位于活动极板与触头之间，所述触头下方设有RF信号线。本设计采用静电驱动的开关结构，利用电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力，实现开关的通断。具有快速、低功耗的优点，进一步提高开关速率。
Description
技术领域
本设计涉及一种微机械RF开关，属于射频电子技术领域。
背景技术
微机械RF开关通常的驱动方法有静电驱动、压电驱动、电磁驱动及热驱动等。静电驱动利用带电体之间的静电力实现，是MEMS开关中最简单和最常
用的驱动方式，具有极低的功耗。静电驱动的接触式MEMS开关主要包括纵向和横向两种结构。纵向接触是指开关动作方向垂直于衬底平面，而横向接触是指开关动作方向平行于衬底平面。横向结构在于电容极板面积小，虽然阻尼减小，但不易获得大的驱动力，开关速度不高，需要进行设计优化。
发明内容
针对现有技术的不足，本设计的目的是提供一种微机械RF开关，本文采用静电驱动的横向开关结构，利用平板电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力，实现开关的通断。
为实现上述目的，本设计是通过以下技术手段来实现的：
一种微机械RF开关，其特征在于：包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线，其中电容由活动极板和固定极板构成；所述弹簧一端与固定点连接，一端与活动极板连接，所述触头位于活动极板下方，触头与活动极板之间通过绝缘块隔离，所述固定极板位于活动极板与触头之间，所述触头下方设有RF信号线。
优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于：在开所述弹簧在所述电容的静电力作用下，可产生拉长，使所述触头发生平动，触头与RF信号线接触，实现RF信号线的连通。
优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于：所述弹簧可在弹簧恢复力的作用下，可产生收缩，使触头与RF信号线分离。
优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于：所述电容、弹簧、触头、RF信号线金属部分为Au，所述绝缘块采用用SU8光刻胶。
本发明的有益效果是：本设计采用静电驱动的开关结构，利用电容的静电吸引力和金属弹簧的弹性力，实现开关的通断。具有快速、低功耗的优点，进一步提高开关速率 。
附图说明
图1为本设计组成结构示意图。
附图标号的含义如下：1固定点，2弹簧，3绝缘块，4触头，5RF信号线，6-1固定极板，6-2活动极板。
具体实施方式
下面将结合说明书附图，对设计作进一步的说明。
如图1所示，一种微机械RF开关，其特征在于：包括电容6、弹簧2、绝缘块3、触头4、RF信号线5，其中电容由活动极板6-2和固定极板6-1构成；所述弹簧2一端与固定点1连接，一端与活动极板6-2连接，所述触头4位于活动极板6-2下方，触头4与活动极板6-2之间通过绝缘块3隔离，所述固定极板6-1位于活动极板6-2与触头4之间，所述触头4下方设有RF信号线5。
在开关闭合时，在平板电容6的静电力作用下，可动结构发生横向平
动，触头4与RF信号线5接触，实现了RF信号线5的连通；当开关断开时，在弹簧2恢复力的作用下，触头4与RF信号线5分离，实现了电流的关断。
优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于：在开所述弹簧2在所述电容6的静电力作用下，可产生拉长，使所述触头4发生平动，触头4与RF信号线5接触，实现RF信号线5的连通。
优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于：所述弹簧2可在弹簧恢复力的作用下，可产生收缩，使触头4与RF信号线5分离。
优选的，所述的一种微机械RF开关，其特征在于：所述电容6、弹簧2、触头4、RF信号线5金属部分为Au，所述绝缘块3采用用SU8光刻胶。
SU8光刻胶具有良好的机械强度和绝缘特性。
以上显示和描述了本设计的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本设计不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本设计的原理，在不脱离本设计精神和范围的前提下，本设计还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本设计范围内。本设计要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种微机械RF开关，其特征在于：包括电容、弹簧、绝缘块、触头、RF信号线，其中电容由活动极板和固定极板构成；所述弹簧一端与固定点连接，一端与活动极板连接，所述触头位于活动极板下方，触头与活动极板之间通过绝缘块隔离，所述固定极板位于活动极板与触头之间，所述触头下方设有RF信号线。
2.如权利要求1所述的一种微机械RF开关，其特征在于：在开所述弹簧在所述电容的静电力作用下，可产生拉长，使所述触头发生平动，触头与RF信号线接触，实现RF信号线的连通。
3.如权利要求1所述的一种微机械RF开关，其特征在于：所述弹簧可在弹簧恢复力的作用下，可产生收缩，使触头与RF信号线分离。
4.如权利要求1所述的一种微机械RF开关，其特征在于：所述电容、弹簧、触头、RF信号线金属部分为Au，所述绝缘块采用用SU8光刻胶。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410124757.1A CN103956299A (zh) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 一种微机械rf开关 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410124757.1A CN103956299A (zh) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 一种微机械rf开关 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103956299A true CN103956299A (zh) | 2014-07-30 |
Family
ID=51333559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410124757.1A Pending CN103956299A (zh) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 一种微机械rf开关 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103956299A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6613993B1 (en) * | 1999-03-20 | 2003-09-02 | Abb Research Ltd. | Microrelay working parallel to the substrate |
| CN101197226A (zh) * | 2006-12-08 | 2008-06-11 | 合肥工业大学 | 低阈值电压静电型微继电器 |
| US20110303515A1 (en) * | 2010-06-09 | 2011-12-15 | Sony Corporation | Electrostatically actuated micro-mechanical switching device |
| CN203910685U (zh) * | 2014-03-31 | 2014-10-29 | 苏州锟恩电子科技有限公司 | 一种微机械rf开关 |
-
2014
- 2014-03-31 CN CN201410124757.1A patent/CN103956299A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6613993B1 (en) * | 1999-03-20 | 2003-09-02 | Abb Research Ltd. | Microrelay working parallel to the substrate |
| CN101197226A (zh) * | 2006-12-08 | 2008-06-11 | 合肥工业大学 | 低阈值电压静电型微继电器 |
| US20110303515A1 (en) * | 2010-06-09 | 2011-12-15 | Sony Corporation | Electrostatically actuated micro-mechanical switching device |
| CN203910685U (zh) * | 2014-03-31 | 2014-10-29 | 苏州锟恩电子科技有限公司 | 一种微机械rf开关 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5989384B2 (ja) | 接点要素の二つのセット及び二つの駆動源を有するスイッチ | |
| CN102280304B (zh) | 动触头组件及其应用动触头组件的电磁隔离驱动智能开关 | |
| CN105408976B (zh) | 具有双断开的继电器 | |
| CN104347310B (zh) | 分裂导线输电线路融冰装置的永磁弹簧机构开关 | |
| CN103370759B (zh) | 开关装置 | |
| CN110071010A (zh) | 一种具备气体缓冲装置的固封极柱 | |
| CN105190814A (zh) | 洛伦兹力激活的电开关装置 | |
| CN106357081A (zh) | 电磁推拉器 | |
| CN203910685U (zh) | 一种微机械rf开关 | |
| CN108809144B (zh) | 一种基于微梁振动静电驱动微马达装置 | |
| CN106373826A (zh) | 快速机械开关用操动装置 | |
| CN203910686U (zh) | 一种接触式rf开关 | |
| CN103956299A (zh) | 一种微机械rf开关 | |
| CN104299853A (zh) | 一种具有减小闭合回跳时间的磁保持继电器接触系统 | |
| CN108336882B (zh) | 一种基于电磁自激振动原理的梁式微驱动器 | |
| CN103956300A (zh) | 一种接触式rf开关 | |
| CN208970437U (zh) | 汇流条式三相接触器 | |
| CN204102816U (zh) | 一种具有减小闭合回跳时间的磁保持继电器接触系统 | |
| CN104485195B (zh) | 一种带有缓冲结构的电磁铁 | |
| CN101651065A (zh) | 一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构 | |
| CN205050761U (zh) | 一种户外智能型快速真空永磁断路器 | |
| CN104916474B (zh) | 一种永磁接触器灭弧装置 | |
| CN105990049A (zh) | 隔离开关及其开关设备 | |
| CN111986956A (zh) | 一种石墨烯纳接触控制开关 | |
| CN203950752U (zh) | 电磁接触器的触头结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20140730 |