CN103954578A - 用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置 - Google Patents

用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置 Download PDF

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    • G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
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Abstract

本发明公开了一种用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，包括：光源，斩波器，波数860、中心波长为11.6微米的窄带滤光片，非谐振圆柱体结构的光声池，多个微音器，数据收集分析处理模块，以及红外湿度传感器；所述数据收集分析处理模块，包括：与微音器一一对应连接的锁相放大器，与各个锁相放大器分别连接的数据采集电路，以及与所述数据采集电路连接的数据定量分析子模块。本发明设置有多个微音器，能降低单个微音器在转换出电信号时引起的误差，且多个微音器均布在光声池的环形侧壁上，能减少由于微音器测量位置引起的误差。

Description

用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置
技术领域
本发明涉及用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置。
背景技术
目前用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，其微音器是关键部件，需要通过微音器来转换出电信号，而目前光声光谱检测装置的微音器数量单一，设置位置也不是很合理，容易引起测量误差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，其设置有多个微音器，能降低单个微音器在转换出电信号时引起的误差，且多个微音器均布在光声池的环形侧壁上，能减少由于微音器测量位置引起的误差。
为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，包括：光源，斩波器，波数860、中心波长为11.6微米的窄带滤光片，非谐振圆柱体结构的光声池，多个微音器，数据收集分析处理模块，以及红外湿度传感器；
所述光源连接斩波器，并与滤光片一起设置在光声池一侧；
所述红外湿度传感器设置连接在光声池的另一侧；
所述多个微音器均布在光声池的环形侧壁上；所述微音器采用振动敏感度小于<1dB的硅微微音器，硅微微音器内置有用来检测声压的硅薄膜；
所述光源发出光发射到斩波器，通过斩波器切光，形成调制光；
所述调制光照射到滤光片上后，形成窄带可调制光谱，照射到光声池；
所述数据收集分析处理模块，包括：与微音器一一对应连接的锁相放大器，与各个锁相放大器分别连接的数据采集电路，以及与所述数据采集电路连接的数据定量分析子模块。
优选的，所述光源采用非干涉热辐射源，工作温度为850摄氏度。
所述锁相放大器用于放大微音器输出的电信号；
所述数据采集电路用于综合采集各个锁相放大器输出的放大后的电信号；
所述数据定量分析子模块用于对各个放大后的电信号进行综合处理，并完成硫酰氟残留浓度的定量分析，以此来完成硫酰氟浓度的检测。
本发明的优点和有益效果在于：提供一种用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，其设置有多个微音器，能降低单个微音器在转换出电信号时引起的误差，且多个微音器均布在光声池的环形侧壁上，能减少由于微音器测量位置引起的误差。
附图说明
图1是本发明的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
本发明具体实施的技术方案是：
如图1所示，一种用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，包括：光源1，斩波器2，波数860、中心波长为11.6微米的窄带滤光片3，非谐振圆柱体结构的光声池4，多个微音器5，数据收集分析处理模块6，以及红外湿度传感器7；
所述光声池4设有气体进口41和气体出口42；
所述光源1采用非干涉热辐射源，工作温度为850摄氏度；
所述光源1连接斩波器2，并与滤光片3一起设置在光声池4一侧；
所述红外湿度传感器7设置连接在光声池4的另一侧；
所述多个微音器5均布在光声池4的环形侧壁上；所述微音器5采用振动敏感度小于<1dB的硅微微音器5，硅微微音器5内置有用来检测声压的硅薄膜；
所述光源1发出光发射到斩波器2，通过斩波器2切光，形成调制光；
所述调制光照射到滤光片3上后，形成窄带可调制光谱，照射到光声池4；
所述数据收集分析处理模块6，包括：与微音器5一一对应连接的锁相放大器61，与各个锁相放大器61分别连接的数据采集电路62，以及与所述数据采集电路62连接的数据定量分析子模块63。
所述锁相放大器61用于放大微音器5输出的电信号；
所述数据采集电路62用于综合采集各个锁相放大器61输出的放大后的电信号；
所述数据定量分析子模块63用于对各个放大后的电信号进行综合处理，并完成硫酰氟残留浓度的定量分析，以此来完成硫酰氟浓度的检测。
本发明设置有多个微音器5，能降低单个微音器5在转换出电信号时引起的误差，且多个微音器5均布在光声池4的环形侧壁上，能减少由于微音器5测量位置引起的误差。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (2)

1.用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，其特征在于，包括：光源，斩波器，波数860、中心波长为11.6微米的窄带滤光片，非谐振圆柱体结构的光声池，多个微音器，数据收集分析处理模块，以及红外湿度传感器；
所述光源连接斩波器，并与滤光片一起设置在光声池一侧；
所述红外湿度传感器设置连接在光声池的另一侧；
所述多个微音器均布在光声池的环形侧壁上；所述微音器采用振动敏感度小于<1dB的硅微微音器，硅微微音器内置有用来检测声压的硅薄膜；
所述光源发出光发射到斩波器，通过斩波器切光，形成调制光；
所述调制光照射到滤光片上后，形成窄带可调制光谱，照射到光声池；
所述数据收集分析处理模块，包括：与微音器一一对应连接的锁相放大器，与各个锁相放大器分别连接的数据采集电路，以及与所述数据采集电路连接的数据定量分析子模块。
2.根据权利要求1所述的用于检测硫酰氟气体残留浓度的光声光谱检测装置，其特征在于，所述光源采用非干涉热辐射源，工作温度为850摄氏度。
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