CN103914169B - 一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置 - Google Patents

一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置,用以降低内嵌式触摸屏中遮光区光线的透过率和反射率,提高器件的良品率。本发明提供的内嵌式触摸屏,包括基板,所述基板包括多个像素区以及位于所述像素区之间的遮光区,所述触摸屏还包括:形成在所述基板上沿第一方向分布的位于所述遮光区的多条感应电极,以及形成在所述基板上沿与第一方向垂直的第二方向分布的位于所述遮光区的驱动电极;所述感应电极和所述驱动电极上均设置有用于吸收光线的绝缘层。

Description

一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置。
背景技术
内嵌式触摸屏(In cell Touch Panel)为触摸屏和显示屏集成为一体的装置。用于实现触摸功能的驱动电极和感应电极集成在显示屏中,同时实现触控和图像显示的功能。由于内嵌式触摸屏结构简单、轻、薄、低成本等特点,已经逐渐成为显示领域的主流。
所述驱动电极和感应电极可以同时设置在彩膜基板或者设置在阵列基板;参见图1,为驱动电极和感应电极同时设置在彩膜基板上的示意图。内嵌式触摸屏包括基板10,基板10上的多个像素区以及位于所述像素区之间的遮光区,还包括:形成在基板10上沿第一方向分布的位于所述遮光区的多条感应电极11,位于感应电极11上覆盖遮光区和像素区的色阻层12,位于色阻层12上沿第二方向分布的位于所述遮光区的多条驱动电极13;位于驱动电极13上的保护层14。
在液晶显示屏中,理想内嵌式触摸屏能够达到的效果为,来自背光源的光线,只允许投射到像素区的光线透过显示屏,投射到遮光区的光线既不允许其透过彩膜基板也不允许其反射到阵列基板上。这是因为,投射到像素区的光线为受液晶分子控制的光线,能够显示出正常图像,投射到遮光区的光线不受液晶分子的控制,显示出的图像为不正常图像中的白色条纹现象。也就是说,投射到遮光区的光线不允许其透过液晶屏。此外,投射到遮光区的光线也不允许其反射到阵列基板上,以免光线反射到阵列基板上影响阵列基板上对光线较敏感的器件,影响器件的性能。
图1所示的内嵌式触摸屏会引起器件不良现象的发生。具体地,感应电极11上方设置有色阻层12,色阻层12是一种吸光率较佳的绝缘层,因此当来自背光的光线投射到色阻层12时,会被色阻层12吸收。但是投射到驱动电极13上的光线会被反射率较高的驱动电极13反射到阵列基板,很有可能导致阵列基板上对光线比较敏感的器件的性能降低,触摸屏出现不良,降低了触摸屏的良品率。
发明内容
本发明实施例提供了一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置,用以降低遮光区光线的透过率和反射率,提高内嵌式触摸屏的良品率。
本发明实施例提供的一种内嵌式触摸屏,包括基板,所述基板包括多个像素区以及位于所述像素区之间的遮光区,该触摸屏还包括:形成在所述基板上沿第一方向分布的位于所述遮光区的多条感应电极,以及形成在所述基板上沿与第一方向垂直的第二方向分布的位于所述遮光区的驱动电极;
所述感应电极和所述驱动电极上均设置有用于吸收光线的绝缘层。
较佳地,所述感应电极包括多个位于任意相邻的驱动电极之间的感应子电极,相邻的感应子电极通过导线连接;
所述用于吸收光线的绝缘层包括位于所述驱动电极和所述感应子电极上的第一部分,以及包括位于所述导线上的第二部分;
所述导线与所述驱动电极相绝缘。
较佳地,所述驱动电极包括多个位于任意相邻的感应电极之间的驱动子电极,相邻的驱动子电极通过导线连接;
所述用于吸收光线的绝缘层包括位于所述驱动子电极和所述感应电极上的第一部分,以及包括位于所述导线上的第二部分;
所述导线与所述感应电极相绝缘。
较佳地,所述驱动电极和感应电极同层设置。
较佳地,所述绝缘层的第一部分和第二部分分别由红色色阻、绿色色阻、蓝色色阻和白色色阻至少之一组成。
较佳地,所述绝缘层的第一部分由红色色阻和绿色色阻组成;或所述绝缘层的第一部分由红色色阻、绿色色阻和白色色阻组成;
所述绝缘层的第二部分由蓝色色阻组成。
本发明实施例提供一种内嵌式触摸屏的制作方法,包括:
在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极;
在基板上形成位于所述驱动电极和感应电极上的用于吸收光线的绝缘层。
较佳地,在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极,具体为:
通过镀膜工艺在基板上形成第一导电膜层,对所述第一导电膜层进行构图工艺,形成基板上沿第一方向分布的呈条状的多条驱动电极,以及沿第二方向分布的位于相邻驱动电极之间的感应子电极;
在基板上形成与所述驱动电极和感应子电极相绝缘的第二导电膜层,对所述第二导电膜层进行构图工艺,形成连接所述相邻的感应子电极的导线。
较佳地,在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极,具体为:
通过镀膜工艺在基板上形成一层导电膜层;
对所述导电膜层进行构图工艺,形成基板上沿第一方向分布的呈条状的多条感应电极,以及沿第二方向分布的位于相邻感应电极之间的驱动子电极;
在基板上形成与所述驱动子电极和感应电极相绝缘的第二导电膜层,对所述第二导电膜层进行构图工艺,形成连接所述相邻的驱动子电极的导线。
较佳地,在形成所述导线之前还包括:
在基板上形成覆盖驱动电极和感应子电极的绝缘层,或者覆盖驱动子电极和感应电极的绝缘层的第一部分;
在形成所述导线之后还包括形成覆盖导线的绝缘层的第二部分。
较佳地,在基板上形成绝缘层中的第一部分,具体为:
在基板上依次形成覆盖驱动电极和感应子电极的红色色阻和绿色色阻,红色色阻和绿色色阻构成所述绝缘层的第一部分;或者在基板上依次形成覆盖驱动电极和感应子电极的红色色阻、绿色色阻和白色色阻,红色色阻、绿色色阻和白色色阻构成所述绝缘层的第一部分。
较佳地,形成所述绝缘层的第二部分,具体为,在基板上形成覆盖所述导线的蓝色色阻。
本发明实施例提供一种显示装置,包括上述触摸屏。
本发明实施例通过在驱动电极和感应电极上均设置有用于吸收光线的绝缘层,使得光线投射到位于遮光区的驱动电极和感应电极时,被用于吸收光线的绝缘层吸收,光线既不会大量透过基板被人眼觉察,也不会大量反射到阵列基板上,避免了器件不良现象的发生,提高了内嵌式触摸屏的良品率。
附图说明
图1为现有内嵌式触摸屏结构示意图;
图2为本发明第一实施例提供的内嵌式触摸屏俯视示意图;
图3为图2所示的触摸屏在A-A’向的截面图;
图4为包括图3所示的触摸屏的液晶显示面板;
图5为本发明第二实施例提供的形成有驱动电极和感应子电极的触摸屏结构示意图;
图6为图5所示的触摸屏局部结构放大示意图;
图7为图6所示的形成有连接相邻两个感应子电极的导线的触摸屏结构示意图;
图8为在图7所示的导线下形成绝缘层的触摸屏结构示意图;
图9为本发明实施例提供的制作触摸屏的方法流程图;
图10为本发明实施例提供的形成有红色色阻和绿色色阻的触摸屏俯视示意图;
图11为在图10所示的触摸屏上形成连接感应子电极的触摸屏俯视示意图;
图12为在图11所示的触摸屏上形成还包括蓝色色阻的触摸屏俯视示意图;
图13为在图11所示的触摸屏上形成仅包括蓝色色阻的触摸屏俯视示意图。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种内嵌式触摸屏及其制作方法、显示装置,用以降低遮光区光线的透过率和反射率,提高内嵌式触摸屏的良品率。
本发明实施例通过在内嵌式触摸屏的驱动电极和感应电极上设置一层用于吸收光线的绝缘层,使得来自背光且投射到位于遮光区的驱动电极和感应电极上的光线,被用于吸收光线的绝缘层吸收,避免了因投射到位于遮光区的驱动电极和感应电极上的光线反射到正对的基板上的一些光敏器件上引起器件不良的发生,也避免了因投射到位于遮光区的驱动电极和感应电极上的光线透射到触摸屏外,引起器件不良。
本发明实施例提供的内嵌式触摸屏,可以集成在向列型TN模式下的液晶显示面板,或平面转换(In-Plane Switching,IPS)技术,以及边缘场切换(Fringe-Field Switching,FFS)技术下的液晶显示面板。
本发明实施例提供的内嵌式触摸屏,包括基板,所述基板包括多个像素区以及位于所述像素区之间的遮光区,所述触摸屏还包括:形成在所述基板上沿第一方向分布的位于所述遮光区的多条感应电极,以及形成在所述基板上沿与第一方向垂直的第二方向分布的位于所述遮光区的驱动电极;所述感应电极和所述驱动电极上均设置有用于吸收光线的绝缘层。
需要说明的是,所述第一方向可以为横向,第二方向为纵向;或者所述第一方向可以为纵向,第二方向为横向。所述基板可以为彩膜基板。
下面以驱动电极和感应电极设置在彩膜基板上为例进行说明。
驱动电极和感应电极可以设置在同一层(即同层设置),也可以设置在不同层(即不同层设置)。
实施例1:
驱动电极和感应电极设置在不同层。
参见图2,为实施例1提供的内嵌式触摸屏的俯视示意图,包括:
基板1,基板1上的像素区100(如图2中的R、G、B所示的区域)和遮光区域101(除像素区100之外的区域,也即黑矩阵区域);
触摸屏还包括,位于遮光区域101呈横向分布的多条感应电极3和位于遮光区域101呈纵向分布的多条驱动电极2,感应电极3和驱动电极2均为金属材料,具体地,感应电极3和驱动电极2可以包括铜、铝、钼等金属或者合金;驱动电极2和感应电极3之间通过驱动电极2和感应电极3之间的第一绝缘层(图2中未体现)相绝缘;
触摸屏还包括,位于基板1上与驱动电极2和感应电极3相对应的区域的用于吸收光线的第二绝缘层(图2中未体现)。
参见图3,为图2所示的触摸屏在A-A’向的截面图,包括:基板1,基板1上的感应电极3,感应电极3上的第一绝缘层4,第一绝缘层4上的驱动电极2,第一绝缘层4覆盖所有感应电极3;驱动电极2上的第二绝缘层5,第二绝缘层5覆盖所有驱动电极2。
参见图4为包括有图3所示的触摸屏的液晶显示面板,液晶显示面板包括彩膜基板1、阵列基板9、彩膜基板1和阵列基板9之间填充的液晶层8,阵列基板9上的薄膜晶体管阵列7(TFT Array)。
如图4中来自液晶显示面板背光的光线经阵列基板9投射到彩膜基板1上,具体地,部分投射到像素区,部分投射到遮光区域,透射到像素区的光线用于实现图像显示,透射到遮光区域驱动电极2上的光线可以被第二绝缘层5吸收,遮光区域的光线的亮度降低很多,不会大量反射回阵列基板9上,反射光可能会引起TFT漏电;不会大量投射到彩膜基板1的显示区域外,造成一些类似于水波纹等的不良现象。
在具体实施过程中,彩膜基板上还包括位于像素区的色阻层。色阻层为吸光率较高的绝缘层,因此,色阻层材料可以制作所述第一绝缘层和/或第二绝缘层,也就是说像素区的色阻层和遮光区的第一绝缘层或第二绝缘层同时形成(同一次制作工艺中形成)。
较佳地,所述第一绝缘层和第二绝缘层可以为色阻层。例如:第一绝缘层和第二绝缘层可以分别由红色色阻、绿色色阻、蓝色色阻和白色色阻至少之一组成。第一绝缘层也可以是氮化硅或氧化硅层。
由于色阻层为吸光率较高的绝缘层,并且,在制作像素区的色阻层的过程中,同时制作出第一绝缘层或第二绝缘层时,不增加工艺流程。
较佳地,所述第二绝缘层为蓝色色阻。这是因为,蓝色色阻的吸光率相比较红色色阻和绿色色阻或白色色阻其吸光率较高。
本发明提供的用于吸收光线的第二绝缘层不限于为色组层,也可以是任何吸光率较高的绝缘层。
上述实施例1中驱动电极和感应电极的位置可以互换;或者驱动电极可以为横向设置,感应电极为纵向设置,这里不再赘述。
实施例2:
驱动电极和感应电极设置在同一层。
参见图5,为本发明实施例提供的内嵌式触摸屏的俯视示意图,包括:
多条呈横向分布的感应电极3;多条呈纵向分布的驱动电极2;
感应电极3和驱动电极2位于同一层且交叉排列;感应电极3被纵向分布的驱动电极2分割,也就是说感应电极3包括多个位于相邻两条驱动电极2之间的感应子电极31;感应子电极31与驱动电极2绝缘设置,相邻的感应子电极31通过跨桥的导线连接,跨桥的导线所在的区域称为跨桥区,如图5中的跨桥区33,跨桥的导线与驱动电极2相绝缘。
较佳地,每一感应子电极31位于两行或者多行相邻的像素区域之间的遮光区,例如感应子电极31可以覆盖3~5行像素的像素区内的遮光区。每一驱动电极2位于两列或者多列相邻的像素区域之间的遮光区,例如可以覆盖3~5列像素的像素区内的遮光区。
如图6,为图5中虚线框34内的局部结构放大图,图5中属于一条感应电极3的多个感应子电极31,位于图6所示的多行像素区之间的非显示区域;每一驱动电极2位于多列像素区之间的非显示区。
较佳地,如图6所示,位于跨桥区的驱动电极2的宽度小于非跨桥区的宽度,跨桥区的驱动电极部分位于红素像素和绿色像素之间的遮光区,或者位于蓝色像素与红色像素或蓝色像素与绿色像素之间的遮光区。
较佳地,位于跨桥区的驱动电极2可以位于两列红素像素和绿色像素之间的遮光区,避开两列蓝色像素与红色像素或蓝色像素与绿色像素之间的遮光区。
如图7,相邻的感应子电极31通过导线32连接。可以通过分段的导线32连接属于同一感应电极3的所有感应子电极31,也可以通过一根导线32连接属于同一感应电极3的所有感应子电极31。图7所示为通过分段的导线32连接属于同一感应电极3的所有感应子电极31。
导线32与感应子电极31位于不同层。
参见图8,图7所示的触摸屏上在导线32与感应子电极31之间还设置有第一绝缘层4;
第一绝缘层4至少覆盖相邻两个感应子电极31之间的驱动电极2部分,也就是仅覆盖与图7所示的导线32部分相对应的区域。或者可以仅覆盖驱动电极2,或者可以同时覆盖驱动电极2和感应子电极31;在具体实施过程中,根据制作整个触摸屏的实际需求选择制作第一绝缘层的方式。
图8所示的触摸屏,第一绝缘层4仅覆盖与图7所示的导线32部分相对应的区域。
触摸屏还包括:用于吸收光线的第二绝缘层(图8中未示出),第二绝缘层至少包括覆盖导线32的部分,以及覆盖驱动电极2和感应子电极31的部分;具体地,当第一绝缘层仅覆盖与图7所示的导线32部分相对应的区域时,第二绝缘层需要覆盖驱动电极2和感应子电极31;当第一绝缘层同时覆盖与图7所示的导线32部分相对应的区域以及覆盖驱动电极2和感应子电极31时,第二绝缘层仅需覆盖导线32部分。第一绝缘层和第二绝缘层无论如何设置,需要保证第一绝缘层和第二绝缘层将驱动电极2、感应子电极31以及导线32完全覆盖。
较佳地,所述第一绝缘层可以是透明的氧化硅或氮化硅膜层,也可以是色阻层,如可以是由红色色阻、绿色色阻、蓝色色阻和白色色阻至少之一组成。当第一绝缘层仅覆盖与图7所示的导线32部分相对应的区域时,第一绝缘层可以是氧化硅或氮化硅膜层、或任何具有吸光作用的绝缘层;
当第一绝缘层同时覆盖与图7所示的导线32部分相对应的区域以及覆盖驱动电极2和感应子电极31时,第一绝缘层为任何具有吸光作用的绝缘层;
较佳地,所述第二绝缘层可以是任何具有吸光作用的绝缘层,最好为吸光率较高的绝缘层。
较佳地,所述具有吸光作用的绝缘层可以是由红色色阻、绿色色阻、蓝色色阻和白色色阻至少之一组成。
较佳地,所述第二绝缘层可以是由吸光率较高的蓝色色阻组成。尤其是,第二绝缘层中位于导线上的第二部分由吸光率较高的蓝色色阻组成。
同理,本发明实施例提供的触摸屏还可以为:所述驱动电极包括多个位于任意相邻的感应电极之间的驱动子电极,相邻的驱动子电极通过导线连接;所述感应电极为条状电极。
上述实施例1和实施例2仅是列举其中的两种结构的触摸屏,本发明提供的触摸屏不限于上述两种触摸屏。例如,第二绝缘层中覆盖驱动电极和感应子电极的部分(称为第一部分)可以与覆盖导线32的部分(称为第二部分)不同层设置。也就是说,覆盖驱动电极和感应子电极的绝缘层部分可以在制作导线32之前制作完成,覆盖导线32的绝缘层部分在制作为导线32后制作完成。
下面具体说明本发明实施例提供的内嵌式触摸屏的制作方法。
参见图9,触摸屏的制作方法整体包括以下步骤:
S11、在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极;
S12、在基板上形成位于所述驱动电极和感应电极上的用于吸收光线的绝缘层。
在具体实施过程中,第一绝缘层和第二绝缘层可以是由色阻材料形成,因为彩膜基板的像素区本身需要制作用作滤波器的彩色或白色色阻。因此,本发明结合制作像素区的色阻说明制作触摸屏的工艺流程。
下面以RGB三种色阻为例说明制作触摸屏的工艺流程。
步骤一:通过蒸镀或者溅射法在一张洁净的玻璃基板上形成预设厚度的导电膜层,对所述导电膜层进行构图工艺,形成图5或图6所示的基板1上位于像素区之间的遮光区,沿纵向分布的多条驱动电极2,以及沿横向分布的位于相邻两条驱动电极之间的感应子电极31。
步骤二:参见图10,在基板1上形成覆盖部分驱动电极2和部分感应子电极31的绝缘层。
具体地,在基板1上形成覆盖红色像素和绿色像素区的红色色阻和绿色色阻,以及形成位于红色像素和绿色像素区之间的遮光区的红色色阻或绿色色阻。此时,绿色色阻和红色色阻已经覆盖了驱动电极2的跨桥区的部分。如图10中绝缘层5覆盖的区域。
步骤三:在图10所示的触摸屏上形成连接两个相邻的感应子电极的过孔,在两个过孔之间涂覆或者镀一层导电膜层,得到连接每一行感应子电极31的导线32。当然也可以不用形成所述过孔,直接在红色色阻和绿色色阻上形成导线32,保证导线32与红色色阻和绿色色阻两侧的感应子电极31电性相连。这样就无需形成过孔的工艺,工艺流程更加简单。如图11所示,为在红色色阻和绿色色阻上形成导线32,导线32覆盖的宽度超过相邻的红色色阻和绿色色阻之间的宽度,保证导线32与红色色阻和绿色色阻两侧的感应子电极31电性相连。
步骤四:在图11所示的触摸屏上形成覆盖导线32以及覆盖驱动电极和感应电极未被光阻层遮盖的区域的蓝色色阻层。如图12所示,此时,导线32、驱动电极2和感应子电极31上均设置有色阻层。
为了更清楚地说明步骤四所述覆盖的区域,如图13所示,仅显示了步骤四增加的覆盖区域,包括位于蓝色像素区和蓝色像素区域两侧的遮光区的蓝色色阻,以及包括位于导线32上的蓝色色阻。
RGW四种色阻实现触摸屏的工艺流程与上述工艺流程类似,本发明是将色阻作为第一绝缘层和/或第二绝缘层,在制作像素区的色阻的同时,在遮光区保留部分色阻作为绝缘层以简化工艺流程。在具体实施过程中,也可以单独制作驱动电极和感应电极上的绝缘层,该绝缘层可以是色阻层也可以是其他具有吸收光线的绝缘层。
本发明实施例提供一种显示装置,包括本发明实施例提供的触摸屏。
需要说明的是,本发明制作色阻层的顺序不限于步骤二和步骤四中涉及的顺序。例如,当位于跨桥区的驱动电极部分位于相邻两列红色像素和蓝色像素之间时,在步骤二中可以制作红色像素和蓝色像素区的色阻层,在步骤四中制作绿色像素区的绿色色阻层。此时,绿色色阻层覆盖连接相邻感应子电极的导线。
综上所述,本发明实施例通过在驱动电极和感应电极上均设置有用于吸收光线的绝缘层,使得光线投射到位于遮光区的驱动电极和感应电极时,被用于吸收光线的绝缘层吸收,光线既不会大量透过基板被人眼觉察,也不会大量反射到阵列基板上,避免了器件不良现象的发生,提高了内嵌式触摸屏的良品率。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (13)

1.一种内嵌式触摸屏,包括基板,所述基板包括多个像素区以及位于所述像素区之间的遮光区,所述触摸屏还包括:形成在所述基板上沿第一方向分布的位于所述遮光区的多条感应电极,以及形成在所述基板上沿与第一方向垂直的第二方向分布的位于所述遮光区的驱动电极;其特征在于,
所述感应电极和所述驱动电极上均设置有用于吸收光线的绝缘层。
2.根据权利要求1所述的触摸屏,其特征在于,所述感应电极包括多个位于任意相邻的驱动电极之间的感应子电极,相邻的感应子电极通过导线连接;
所述用于吸收光线的绝缘层包括位于所述驱动电极和所述感应子电极上的第一部分,以及包括位于所述导线上的第二部分;
所述导线与所述驱动电极相绝缘。
3.根据权利要求1所述的触摸屏,其特征在于,所述驱动电极包括多个位于任意相邻的感应电极之间的驱动子电极,相邻的驱动子电极通过导线连接;
所述用于吸收光线的绝缘层包括位于所述驱动子电极和所述感应电极上的第一部分,以及包括位于所述导线上的第二部分;
所述导线与所述感应电极相绝缘。
4.根据权利要求1所述的触摸屏,其特征在于,所述驱动电极和感应电极同层设置。
5.根据权利要求2或3所述的触摸屏,其特征在于,所述绝缘层的第一部分和第二部分分别由红色色阻、绿色色阻、蓝色色阻和白色色阻至少之一组成。
6.根据权利要求5所述的触摸屏,其特征在于,所述绝缘层的第一部分由红色色阻和绿色色阻组成;或所述绝缘层的第一部分由红色色阻、绿色色阻和白色色阻组成;
所述绝缘层的第二部分由蓝色色阻组成。
7.一种内嵌式触摸屏的制作方法,其特征在于,包括:
在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的位于所述遮光区的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极;
在基板上形成位于所述驱动电极和感应电极上的用于吸收光线的绝缘层。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极,具体为:
通过镀膜工艺在基板上形成第一导电膜层,对所述第一导电膜层进行构图工艺,形成基板上沿第一方向分布的呈条状的多条驱动电极,以及沿第二方向分布的位于相邻驱动电极之间的感应子电极;
在基板上形成与所述驱动电极和感应子电极相绝缘的第二导电膜层,对所述第二导电膜层进行构图工艺,形成连接所述相邻的感应子电极的导线。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,在基板上形成位于像素区之间的遮光区,沿第一方向分布的多条感应电极,以及位于所述遮光区沿与第一方向垂直的第二方向分布的驱动电极,具体为:
通过镀膜工艺在基板上形成一层导电膜层;
对所述导电膜层进行构图工艺,形成基板上沿第一方向分布的呈条状的多条感应电极,以及沿第二方向分布的位于相邻感应电极之间的驱动子电极;
在基板上形成与所述驱动子电极和感应电极相绝缘的第二导电膜层,对所述第二导电膜层进行构图工艺,形成连接所述相邻的驱动子电极的导线。
10.根据权利要求8或9所述的方法,其特征在于,在形成所述导线之前还包括:
在基板上形成覆盖驱动电极和感应子电极的绝缘层,或者覆盖驱动子电极和感应电极的绝缘层的第一部分;
在形成所述导线之后还包括形成覆盖导线的绝缘层的第二部分。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,在基板上形成绝缘层中的第一部分,具体为:
在基板上依次形成覆盖驱动电极和感应子电极的红色色阻和绿色色阻,红色色阻和绿色色阻构成所述绝缘层的第一部分;或者在基板上依次形成覆盖驱动电极和感应子电极的红色色阻、绿色色阻和白色色阻,红色色阻、绿色色阻和白色色阻构成所述绝缘层的第一部分。
12.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,形成所述绝缘层的第二部分,具体为,在基板上形成覆盖所述导线的蓝色色阻。
13.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1-6任一权项所述的触摸屏。
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